JPH07243074A

JPH07243074A - 真空脱脂洗浄装置及びその真空脱脂洗浄方法

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Publication number: JPH07243074A
Application number: JP6452194A
Authority: JP
Inventors: Takeo Kato; 丈夫加藤; Minoru Oda; 稔小田
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1994-03-07
Filing date: 1994-03-07
Publication date: 1995-09-19
Anticipated expiration: 2017-10-15
Also published as: JP3333308B2

Abstract

(57)【要約】［目的］装置コストが低廉で、処理能力の大きい真空
脱脂洗浄装置及びその真空脱脂洗浄方法を提供するこ
と。［構成］真空ポンプ６２、トラップ６１、及び洗浄剤
Ｓの蒸留再生装置６４を共有させて第１、第２洗浄乾燥
室４１、５１を設け、被洗浄物Ｗの真空脱脂洗浄に際し
ては、一方が脱脂洗浄工程にある時は、他方は真空乾燥
工程にあるように作動させ、必要に応じて洗浄剤Ｓの再
生を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置や精密機器
等の工業製品を洗浄剤によって真空系で脱脂洗浄する装
置及びその方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及びその問題点】この種の工業製品を真空
脱脂洗浄するための、第１従来例としての真空脱脂洗浄
装置２０の配管系統図を図５に示した。この装置２０は
二室型と称されるものであり、タンクＴ内に隔壁Ａによ
り乾燥室２１と洗浄室２２とが上下に画成され、隔壁Ａ
の開口Ａａを真空シール可能に仕切弁２４が設けられて
いる。乾燥室２１の一側壁部に形成した開口Ｔａを介し
て被洗浄物Ｗを出し入れし得るように扉２３が設けら
れ、乾燥室２１はバルブ９を介して真空排気装置として
のトラップ１５と真空ポンプ１６とが接続されている。
なお、扉２３の外部には、被洗浄物Ｗの装填装置２９が
設けられている。又、洗浄室２２には洗浄剤Ｓが収容さ
れ、バルブ２５、２６を介して洗浄剤Ｓを再生させるた
めの蒸留再生装置６４が接続されている。すなわち、洗
浄剤Ｓは洗浄室２２の底部からバルブ２５のラインを経
て蒸留再生装置６４へ送り込まれ、油脂分を分離され再
生された洗浄剤Ｓはバルブ２６のラインを経て洗浄室２
２の上部へ戻されるようになっている。更には、受け入
れた被洗浄物Ｗを乾燥室２１から洗浄室２２へ降ろして
洗浄剤Ｓに液浴させ、次いで乾燥室２１へ引き上げるた
めの昇降台２８を備えた昇降装置２７が乾燥室２１内を
主体にして設けられており、図示されていないが乾燥室
２１には系内へＮ₂ ガスを送り込むためのＮ₂ ガス配管
が配設されている。

【０００３】この第１従来例の作用を説明するに、先ず
全バルブは閉の状態にあり、洗浄室２２内はＮ₂ ガス雰
囲気にあるものとする。扉２３を開として、装填装置２
９によって被洗浄物Ｗを乾燥室２１へ押し込み、昇降装
置２７の昇降台２８へ載置して扉２３を密閉する。そし
て、図示しないＮ₂ ガス配管からのＮ₂ ガスで乾燥室２
１内の空気を置換してから、仕切弁２４を開とし、被洗
浄物Ｗを昇降装置２７によって洗浄室２２内へ下降さ
せ、洗浄剤Ｓに液浴させる。所定時間後、乾燥室２１へ
引き上げて仕切弁２４を閉とする。

【０００４】次いで、バルブ９を開とし、真空ポンプ１
６によって乾燥室２１内を真空排気し、被洗浄物Ｗに付
着している洗浄剤Ｓを真空乾燥する。所定時間後にバル
ブ９を閉とし、乾燥室２１内へＮ₂ ガスを導入して大気
圧としてから、扉２３を開とし、被洗浄物Ｗを取り出
す。このようにして真空脱脂洗浄の１サイクルが完了す
るが、以後このサイクルが繰り返される。

【０００５】この間、必要であれば、洗浄剤Ｓの再生を
行なう。すなわち、バルブ２５、２６を開とし、蒸留再
生装置６４に付属する送液ポンプによって、洗浄剤Ｓを
洗浄室２２から蒸留再生装置６４へ送り込み、再生され
た洗浄剤Ｓは蒸留再生装置６４に付属する送液ポンプに
よって洗浄室２２へ戻される。なお、洗浄剤Ｓには通常
は消防法上の第３石油類に該当する炭化水素系のものが
使用される。

【０００６】この二室型の真空脱脂洗浄装置２０は液浴
方式で脱脂効率が高いほか、洗浄剤Ｓを加温すると真空
脱脂洗浄サイクルが短縮されて２０分間程度になり、従
来の各種真空脱脂洗浄装置の中では最短の真空脱脂洗浄
サイクルを与える。又、洗浄室２２内の洗浄剤Ｓは常に
大気に触れることがないように操作されるので、引火、
爆発に対する安全性も高い。

【０００７】しかし、この装置２０は二室型であること
による欠点もある。すなわち、真空シールされる大型の
仕切弁２４や昇降装置２７が全体の装置コストを大巾に
上昇させている。

【０００８】次に第２従来例として、一室型と称される
真空脱脂洗浄装置３０を説明する。図６はこの装置３０
の配管系統図であり、洗浄剤Ｓを収容するタンクＴ’内
の洗浄乾燥室３１は蓋３２によって密閉され、被洗浄物
Ｗは洗浄乾燥室３１内の架台３３の上に載置される。洗
浄乾燥室３１の上部には、バルブ９を介してトラップ１
５と、これに続く真空ポンプ１６が接続されており、図
示しないがＮ₂ ガス配管も配設されている。更には、洗
浄乾燥室３１には、バルブ３５、３６を介して、洗浄剤
Ｓの受器３４が接続されている。これは、洗浄乾燥室３
１内で真空乾燥が行なわれる間、洗浄剤Ｓを一時的に貯
留待避させ、次に洗浄乾燥室３１内で脱脂洗浄が行なわ
れる時には、受器３４から洗浄剤Ｓを再び洗浄乾燥室３
１へ戻すためにある。又、受器３４にはバルブ３７を介
して蒸留再生装置６４が接続され、受器３４中の洗浄剤
Ｓはバルブ３７のラインを経て蒸留再生装置６４へ送り
込まれ、再生された洗浄剤Ｓはバルブ３８のラインを経
て洗浄乾燥室３１へ戻されるようになっている。

【０００９】この第２従来例の装置３０は次のように作
用する。なお、全てのバルブは閉の状態にあり、洗浄乾
燥室３１内の洗浄剤Ｓは受器３４に貯留されているもの
とする。蓋３２を開けて被洗浄物Ｗを洗浄乾燥室３１内
の架台３３に載置し、蓋３２で密閉する。そして、洗浄
乾燥室３１内の空気を図示しないＮ₂ ガス配管からのＮ
₂ ガスで置換する。次に、バルブ３６を開とし、受器３
４に付属する送液ポンプによって洗浄剤Ｓを受器３４か
ら洗浄乾燥室３１へ戻して、被洗浄物Ｗを液浴させる。
図６はその液浴状態を示している。所定時間後、バルブ
３５を開とし、受器３４に付属する送液ポンプによって
洗浄乾燥室３１内の洗浄剤Ｓを受器３４へ移し、バルブ
３５、３６を閉とする。

【００１０】次いで、バルブ９を開とし、真空ポンプ１
６によって洗浄乾燥室３１を真空排気して被洗浄物Ｗに
付着している洗浄剤Ｓを真空乾燥する。乾燥が終了すれ
ばバルブ９を閉とし、洗浄乾燥室３１へＮ₂ ガスを導入
して大気圧としてから、蓋３２を開け被洗浄物Ｗを取り
出して、真空脱脂洗浄の１サイクルが完了する。そし
て、このサイクルが繰り返される。

【００１１】この間、洗浄剤Ｓが油脂分で汚れて来れ
ば、洗浄剤Ｓの再生が行なわれる。すなわち、バルブ３
７を開とし、蒸留再生装置６４に付属する送液ポンプに
よって受器３４中の洗浄剤Ｓを蒸留再生装置６４へ送り
込み、再生された洗浄剤Ｓはバルブ３８を開とし、同じ
く蒸留再生装置６４に付属する送液ポンプによって洗浄
乾燥室３１へ戻した後、バルブ３７、３８は閉とされ
る。

【００１２】この第２従来例の一室型の真空脱脂洗浄装
置３０は、第１従来例のような仕切弁１２、昇降装置２
７を持たないので、装置コストは大巾に低下するが、洗
浄乾燥室３１において脱脂洗浄と真空乾燥とを行なう故
に、洗浄剤Ｓを洗浄乾燥室３１と受器３４との間で往復
させており、これに時間を要して洗浄乾燥室３１に遊び
が生じ、脱脂洗浄サイクルの時間は第１従来例のほぼ２
倍となっている。従って、第２従来例の処理能力当りの
装置コストは、第１従来例の場合と較べて、それ程低下
していない。

【００１３】

【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、装置コストが低く、かつ二室型真空脱
脂洗浄装置と同等以上の処理能力を有する真空脱脂洗浄
装置及びその真空脱脂洗浄方法を提供することを目的と
する。

【００１４】

【問題点を解決するための手段】以上の目的は、被洗浄
物を収容する複数の洗浄乾燥室と、該複数の洗浄乾燥室
に接続される共通の真空排気装置及び洗浄剤の蒸留再生
装置とからなり、前記複数の洗浄乾燥室は対を構成して
前記洗浄剤の移替路で相互に接続され、それぞれの前記
洗浄乾燥室と前記真空排気装置とは排気路で接続され、
前記各洗浄乾燥室と前記蒸留再生装置とは、前記洗浄乾
燥室から前記蒸留再生装置に至る回収洗浄剤路と、前記
蒸留再生装置から前記洗浄乾燥室に至る再生洗浄剤路と
によって、前記洗浄剤が循環可能なように接続されてい
ることを特徴とする真空脱脂洗浄装置、によって達成さ
れる。

【００１５】又、以上の目的は、被洗浄物を収容する複
数の洗浄乾燥室と、該複数の洗浄乾燥室によって共有さ
れる真空排気装置及び洗浄剤の蒸留再生装置とを配設
し、前記複数の洗浄乾燥室は対を構成して前記洗浄剤の
移替路で相互に接続させ、前記各洗浄乾燥室と前記真空
排気装置とは排気路で接続し、前記各洗浄乾燥室と前記
蒸留再生装置とは、前記洗浄乾燥室から前記蒸留再生装
置に至る回収洗浄剤路と、前記蒸留再生装置から前記洗
浄乾燥室に至る再生洗浄剤路とによって、前記洗浄剤の
循環路が形成されて接続されている真空脱脂洗浄装置を
使用して、前記被洗浄物を前記洗浄剤によって脱脂洗浄
し、次いで前記被洗浄物に付着する前記洗浄剤を真空乾
燥するに際し、前記複数の洗浄乾燥室の半数が前記脱脂
洗浄の工程にある時は、他の半数は前記真空乾燥の工程
にあるようにすることを特徴とする真空脱脂洗浄方法、
によって達成される。

【００１６】

【作用】複数設けた洗浄乾燥室の半数が脱脂洗浄の工程
にある時は、他の半数は真空乾燥の工程にあるようにし
ているので、処理能力は従来の一室型真空脱脂洗浄装置
のほぼ複数倍、すなわち従来の二室型真空脱脂洗浄装置
と同等以上の処理が可能であり、かつ真空排気装置及び
蒸留再生装置を共有させているので、装置コストは大巾
には増大しない。又、洗浄剤を圧力差で移替えるので、
運転コストを節減することができ、更には常に再生され
た洗浄剤での脱脂洗浄が可能である。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例による真空脱脂洗浄装
置について、図面を参照して説明する。

【００１８】図１は第１実施例による真空脱脂洗浄装置
１０Ａの配管系統図である。本実施例の装置１０Ａは、
真空排気装置としてのトラップ６１、真空ポンプ６２、
及び蒸留再生装置６４を共有して、第１洗浄乾燥室４１
を画成するタンクＴ₁ と第２洗浄乾燥室５１を画成する
タンクＴ₂ とが対峙して設けられている。

【００１９】すなわち、第１洗浄乾燥室４１はシーリン
グ材４３を介して蓋４２によって密閉され、同じく第２
洗浄乾燥室５１はシーリング材５３を介して蓋５２によ
って密閉される。そして、第１洗浄乾燥室４１はバルブ
１を介し、又、第２洗浄乾燥室５１はバルブ２を介し
て、共有するトラップ６１と、これに続く真空ポンプ６
２とに接続されて排気路とされている。更には第１洗浄
乾燥室４１の底部がバルブ３、チーズ６６、フィルタ６
３、バルブ５、蒸留再生装置６４に含まれるバイパスラ
イン、バルブ８を経て第２洗浄乾燥室５１と接続されて
洗浄剤Ｓの移替路とされ、第２洗浄乾燥室５１の底部は
バルブ４、チーズ６６、フィルタ６３、バルブ５、蒸留
再生装置６４に含まれるバイパスライン、バルブ７を経
て第１洗浄乾燥室４１と接続されて洗浄剤Ｓのもう一方
の移替路とされる。

【００２０】又更には、第１洗浄乾燥室４１の底部から
バルブ３、チーズ６６、フィルタ６３、バルブ５、蒸留
再生装置６４、又は、第２洗浄乾燥室５１の底部からバ
ルブ４、チーズ６６、フィルタ６３、バルブ５、蒸留再
生装置６４に至るラインはそれぞれの回収洗浄剤回路と
されている。この蒸留再生装置６４はバルブ７を介して
第１洗浄乾燥室４１と接続され、又、バルブ８を介して
第２洗浄乾燥室５１と接続されて、それぞれへの再生洗
浄剤路とされている。なお、図示していないが、第１洗
浄乾燥室４１、第２洗浄乾燥室５１の上部には、それぞ
れＮ₂ ガス配管が配設されている。

【００２１】本実施例による真空脱脂洗浄装置１０Ａは
以上のように構成されるが、次にその作用を説明する。

【００２２】本実施例の装置１０Ａは、第１洗浄乾燥室
４１と第２洗浄乾燥室５１に関し、一方が被洗浄物Ｗを
洗浄剤Ｓに液浴させての脱脂洗浄の工程にある時は、他
方は被洗浄物Ｗに付着する洗浄剤Ｓを乾燥させる真空乾
燥の工程にあるように作動され、洗浄剤Ｓは交互に脱脂
洗浄工程となる第１洗浄乾燥室４１と第２洗浄乾燥室５
１との間を往復される。

【００２３】すなわち、図１を参照して、第１洗浄乾燥
室４１内にはこれから脱脂洗浄される被洗浄物Ｗ₂ が収
容されて、シーリング材４３を介し蓋４２で密閉され、
かつ既に真空排気して減圧にされているものとし、第２
洗浄乾燥室５１内では、被洗浄物Ｗ₁ が洗浄剤Ｓに液浴
されて脱脂洗浄工程は完了しているものとする。又、真
空ポンプ６２は常時運転されており、全バルブは閉の状
態にあるものとする。

【００２４】バルブ４、５、７を開とすることにより、
第２洗浄乾燥室５１内の洗浄剤Ｓは圧力差によってチー
ズ６６、フィルタ６３、蒸留再生装置６４に含まれるバ
イパスラインを通って第１洗浄乾燥室４１内へ移る。こ
の時、洗浄剤Ｓに固形分が含まれるならば、これはフィ
ルタ６３によって瀘別される。この洗浄剤Ｓの移替え
後、バルブ４、５、７を閉とすると共に、バルブ２を開
として、第２洗浄乾燥室５１を真空ポンプ６２と繋ぐ。
これらの操作によって、第１洗浄乾燥室４１では被洗浄
物Ｗ₂ の脱脂洗浄が開始され、第２洗浄乾燥室５１では
被洗浄物Ｗ₁ に付着している洗浄剤Ｓの真空乾燥が開始
される。

【００２５】所定時間の経過後、第２洗浄乾燥室５１の
方はバルブ２を閉とし、図示しないＮ₂ ガス配管からＮ
₂ ガスを導入して大気圧としてから、蓋５２を開けて被
洗浄物Ｗ₁ を取り出す。続いて、次の被洗浄物Ｗ₃ を収
容し（図示されていない）、シーリング材５３を介し
て、蓋５２によって密閉する。次いで、第２洗浄乾燥室
５１内の空気をＮ₂ ガスで置換した後、バルブ２を開と
して、真空ポンプ１６によって第２洗浄乾燥室５１を真
空排気し、減圧にしてバルブ２を閉とする。一方、第１
洗浄乾燥室４１の方では、この間に被洗浄物Ｗ₂ の脱脂
洗浄が完了する。

【００２６】この状態は、当初において被洗浄物Ｗ₂ を
収容して真空減圧下にあった第１洗浄乾燥室４１は脱脂
洗浄の完了状態にあり、被洗浄物Ｗ₁ の脱脂洗浄を完了
していた第２洗浄乾燥室５１は被洗浄物Ｗ₃ を収容して
真空減圧下にあり、丁度、洗浄乾燥室４１と５１とが当
初の工程を入れ替えた状態である。以降、このような操
作が繰り返される。

【００２７】上記の真空脱脂洗浄が繰り返されて、洗浄
剤Ｓが汚れて来ると、それに含まれる油脂分を蒸留再生
装置６４によって除去するべく、洗浄剤Ｓの再生が行な
われる。すなわち、図１によって説明すれば、真空脱脂
洗浄を中断して、第１洗浄乾燥室４１は被洗浄物Ｗ_n を
収容せずに減圧とされ、第２洗浄乾燥室５１は被洗浄物
Ｗ_m の脱脂洗浄が完了しているものとする。

【００２８】第２洗浄乾燥室５１内の洗浄剤Ｓは上記で
説明したように圧力差によって第１洗浄乾燥室４１へ移
され、第２洗浄乾燥室５１では、被洗浄物Ｗ_m の真空乾
燥、取り出し、続いて被洗浄物Ｗ_n の収容が通常の操作
通り行なわれるが、減圧のみ行なわれない。

【００２９】第１洗浄乾燥室４１へ移替えられた洗浄剤
Ｓはバルブ３、バルブ５を開とし、蒸留再生装置６４に
付属する送液ポンプによって蒸留再生装置６４へ送り込
まれる。蒸留再生装置６４で油脂分が除かれ再生された
洗浄剤Ｓは、バルブ８を開とし、蒸留再生装置６４に付
属する送液ポンプによって、第２洗浄乾燥室５１へ送ら
れて、既に収容されている被洗浄物Ｗ_n の脱脂洗浄に使
用される。空になった第１洗浄乾燥室４１は次の被洗浄
物Ｗ_o が収容され減圧とされて、真空脱脂洗浄の再開に
備えられる。

【００３０】洗浄剤Ｓの再生は上述のように真空脱脂洗
浄プロセスの途中に行なうほかに、真空脱脂洗浄プロセ
スの終了後に、被洗浄物Ｗのない状態でプロセスとは別
に蒸留再生のみを行なってもよい。

【００３１】上記の再生は洗浄剤Ｓが汚れた時点で、そ
の再生のために蒸留再生装置６４を間欠的に運転する再
生方法であるが、蒸留再生装置６４を連続的に運転し、
常に再生された洗浄剤Ｓで脱脂洗浄することも可能であ
る。

【００３２】すなわち、図２は図１と同じく本実施例の
装置１０Ａの配管系統図であるが、図２に示すように、
第２洗浄乾燥室５１が脱脂洗浄工程にある時に、バルブ
４、バルブ５、バルブ８を開とし、洗浄剤Ｓを第２洗浄
乾燥室５１と蒸留再生装置６４との間で矢印Ｍで示すよ
うに循環させ再生させる方法である。こうすることによ
って、第２洗浄乾燥室５１には常に再生された洗浄剤Ｓ
が供給されるので脱脂洗浄効率が向上する。次に第１洗
浄乾燥室４１が脱脂洗浄工程となった時は、洗浄剤Ｓ
は、勿論、第１洗浄乾燥室４１と蒸留再生装置６４との
間を矢印Ｎのように循環される。なお、これらの循環を
させながら被洗浄物Ｗのない状態で蒸留再生のみを行な
ってもよい。

【００３３】以上の実施例では２室の洗浄乾燥室が同じ
形状であることを想定しているが、例えば図３の斜視図
に示すように、一方の洗浄乾燥室４１’を円筒体、他方
の洗浄乾燥室５１’を直方体とし、両者をほぼ同一の容
積とすれば、形状の異なる被洗浄物の真空脱脂洗浄が可
能となる。

【００３４】又、真空ポンプ６２と蒸留再生装置６４の
能力が大きい場合には、洗浄乾燥室を４室以上の複数と
することができる。図４はこのような第２実施例を示す
が、ｎ対の洗浄乾燥室からなる真空脱脂洗浄装置１０Ｂ
の配管系統図である。すなわち、洗浄乾燥室は、第１グ
ループのＧ₁₁、Ｇ₁₂、Ｇ₁₃、・・・Ｇ_1nと、第２グルー
プのＧ₂₁、Ｇ₂₂、Ｇ₂₃、・・・Ｇ_2nとのｎ対からなって
おり、第１グループの洗浄乾燥室が脱脂洗浄の工程にあ
る時は、第２グループの洗浄乾燥室は真空乾燥の工程に
あるように作動される。各洗浄乾燥室と、トラップ６
１、真空ポンプ６２とはそれぞれのバルブ１’又は２’
を介して接続されて排気路とされる。第１グループの洗
浄乾燥室Ｇ₁₁、Ｇ₁₂、Ｇ₁₃、・・・Ｇ_1nの底部は、それ
ぞれのバルブ３’、チーズ６６、フィルタ６３、バルブ
５、蒸留再生装置６４に含まれるバイパスラインを経て
第２グループの洗浄乾燥室Ｇ₂₁、Ｇ₂₂、Ｇ₂₃、・・・Ｇ
_2nと接続されて洗浄剤Ｓの移替路とされ、第２グループ
の洗浄乾燥室Ｇ₂₁、Ｇ₂₂、Ｇ ₂₃、・・・Ｇ_2nの底部は、
それぞれのバルブ４’、チーズ６６、フィルタ６３、バ
ルブ５、蒸留再生装置６４に含まれるバイパスラインを
経て第１グループの洗浄乾燥室Ｇ₁₁、Ｇ₁₂、Ｇ₁₃、・・
・Ｇ_1nと接続されて洗浄剤Ｓのもう一方の移替路とされ
る。なお、バルブ１’、２’、３’又は４’は第１実施
例におけるバルブ１、２、３又は４と対応する。又更に
は、第１グループの洗浄乾燥室Ｇ₁₁、Ｇ₁₂、Ｇ₁₃、・・
・Ｇ_1nの底部から、それぞれのバルブ３’、チーズ６
６、フィルタ６３、バルブ５、蒸留再生装置６４、又は
第２グループの洗浄乾燥室Ｇ₂₁、Ｇ₂₂、Ｇ₂₃、・・・Ｇ
_2nの底部から、それぞれのバルブ４’、チーズ６６、フ
ィルタ６３、バルブ５、蒸留再生装置６４に至るライン
はそれぞれの回収洗浄剤回路とされている。この蒸留再
生装置６４と各洗浄乾燥室の上部とを直接に結ぶライン
はそれぞれの再生洗浄路である。

【００３５】以上、本発明の各実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれらによって限定されることな
く、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能で
ある。

【００３６】例えば以上の実施例においては、脱脂洗浄
中にある洗浄剤Ｓの加温装置を設けていないが、各洗浄
乾燥室の周囲に加熱スチームの配管を巻装して、洗浄剤
Ｓを加温するようにしてもよい。

【００３７】又、以上の実施例において、例えば第１洗
浄乾燥室４１から蒸留再生装置６４への回収洗浄剤路に
よる洗浄剤Ｓの移送に際し、第１洗浄乾燥室４１と蒸留
再生装置６４との間に別に均圧ラインを設けて移送をス
ムースにすることは好ましく、これとは別の方法とし
て、第１洗浄乾燥室４１へＮ₂ ガスを送り込むことも洗
浄剤Ｓの移送を容易にする。

【００３８】又、以上の実施例においては２室を対とす
る洗浄乾燥室としたが、脱脂洗浄工程と真空乾燥工程と
の所要時間が均等でない場合には、長時間の工程を２室
で分担し、短時間の工程を１室で行なうような３室をユ
ニットとする構成にしてもよい。

【００３９】

【発明の効果】従来の一室型真空脱脂洗浄装置における
と同様な洗浄乾燥室を複数設けて半数を脱脂洗浄に、他
の半数を真空乾燥に使用するので、洗浄乾燥室に遊びを
生ずることなく、例えば２室とした場合には、従来の一
室型と較べてほぼ２倍の処理能力となり、かつ真空排気
装置と蒸留再生装置とは共有させているので、装置コス
トはそれ程増大しない。従って、処理能力当りの装置コ
ストは大巾に低下する。

【００４０】又、脱脂洗浄工程にある洗浄乾燥室と、真
空乾燥工程にある洗浄乾燥室との間で洗浄剤を移替えて
使用するので、別な洗浄剤タンクや配管を必要としな
い。更には、その移替えを圧力差で行なうので、運転コ
ストを節減し得る。

【００４１】又、洗浄乾燥室を異なる形状の対として、
異なる形状の被洗浄物を真空脱脂洗浄し得る。

【００４２】又、被洗浄物の脱脂洗浄と、洗浄剤の再生
とを同時に行なって、常に再生された洗浄剤で脱脂洗浄
できるので、脱脂洗浄効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による真空脱脂洗浄装置の
配管系統図である。

【図２】図１と同じ図であるが、被洗浄物の脱脂洗浄と
洗浄剤の再生とを同時に行なう真空脱脂洗浄方法におけ
る、洗浄剤の流れを示す。

【図３】洗浄乾燥室の他例を示す斜視図である。

【図４】第２実施例でｎ対の洗浄乾燥室からなる真空脱
脂洗浄装置の配管系統図である。

【図５】第１従来例による真空脱脂洗浄装置の配管系統
図である。

【図６】第２従来例による真空脱脂洗浄装置の配管系統
図である。

【符号の説明】４１第１洗浄乾燥室５１第２洗浄乾燥室６１トラップ６２真空ポンプ６３フィルタ６４蒸留再生装置Ｓ洗浄剤Ｗ被洗浄物

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被洗浄物を収容する複数の洗浄乾燥室
と、該複数の洗浄乾燥室に接続される共通の真空排気装
置及び洗浄剤の蒸留再生装置とからなり、前記複数の洗
浄乾燥室は対を構成して前記洗浄剤の移替路で相互に接
続され、それぞれの前記洗浄乾燥室と前記真空排気装置
とは排気路で接続され、前記各洗浄乾燥室と前記蒸留再
生装置とは、前記洗浄乾燥室から前記蒸留再生装置に至
る回収洗浄剤路と、前記蒸留再生装置から前記洗浄乾燥
室に至る再生洗浄剤路とによって、前記洗浄剤が循環可
能なように接続されていることを特徴とする真空脱脂洗
浄装置。
【請求項２】前記移替路の一部が前記回収洗浄剤路の
一部として共用される請求項１に記載の真空脱脂洗浄装
置。
【請求項３】前記複数の洗浄乾燥室がほぼ同一容積で
異なった形状の対で構成される請求項１又は請求項２に
記載の真空脱脂洗浄装置。
【請求項４】被洗浄物を収容する複数の洗浄乾燥室
と、該複数の洗浄乾燥室によって共有される真空排気装
置及び洗浄剤の蒸留再生装置とを配設し、前記複数の洗
浄乾燥室は対を構成して前記洗浄剤の移替路で相互に接
続させ、前記各洗浄乾燥室と前記真空排気装置とは排気
路で接続し、前記各洗浄乾燥室と前記蒸留再生装置と
は、前記洗浄乾燥室から前記蒸留再生装置に至る回収洗
浄剤路と、前記蒸留再生装置から前記洗浄乾燥室に至る
再生洗浄剤路とによって、前記洗浄剤の循環路が形成さ
れて接続されている真空脱脂洗浄装置を使用して、前記
被洗浄物を前記洗浄剤によって脱脂洗浄し、次いで前記
被洗浄物に付着する前記洗浄剤を真空乾燥するに際し、
前記複数の洗浄乾燥室の半数が前記脱脂洗浄の工程にあ
る時は、他の半数は前記真空乾燥の工程にあるようにす
ることを特徴とする真空脱脂洗浄方法。
【請求項５】前記脱脂洗浄の工程を完了した半数の前
記洗浄乾燥室から、次に前記脱脂洗浄の工程に入る他の
半数の前記洗浄乾燥室へ、前記移替路によって前記洗浄
剤の移替えを行なう請求項４に記載の真空脱脂洗浄方
法。
【請求項６】前記洗浄剤の移替えが、半数の前記洗浄
乾燥室を常圧とし、他の半数の前記洗浄乾燥室を減圧と
する圧力差によって行なわれる請求項５に記載の真空脱
脂洗浄方法。
【請求項７】前記洗浄乾燥室が前記脱脂洗浄の工程に
ある時に、前記洗浄乾燥室と前記蒸留再生装置との間で
前記洗浄剤を循環させて、前記被洗浄物の前記脱脂洗浄
と、前記洗浄剤の再生とを同時に行なう請求項４に記載
の真空脱脂洗浄方法。