JPH07236Y2 - 真空紫外線酸化分解装置 - Google Patents
真空紫外線酸化分解装置Info
- Publication number
- JPH07236Y2 JPH07236Y2 JP1989093456U JP9345689U JPH07236Y2 JP H07236 Y2 JPH07236 Y2 JP H07236Y2 JP 1989093456 U JP1989093456 U JP 1989093456U JP 9345689 U JP9345689 U JP 9345689U JP H07236 Y2 JPH07236 Y2 JP H07236Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- treated
- vacuum ultraviolet
- oxidative decomposition
- bacteria
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- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 イ．考案の目的 〈産業上の利用分野〉 本考案は、半導体製造工場、医製薬製造工場、その他原
子力発電所等で使用する超純水や純水等の被処理液の有
機物の分解及び細菌類の殺菌等の酸化分解処理を行う真
空紫外線酸化分解装置に関するものである。
子力発電所等で使用する超純水や純水等の被処理液の有
機物の分解及び細菌類の殺菌等の酸化分解処理を行う真
空紫外線酸化分解装置に関するものである。
〈従来の技術〉 従来、超純水や純水の被処理液の有機物の酸化分解及び
細菌類の殺菌を行うために、水銀灯を光源とする184.9n
mの波長の紫外線を被処理液に照射して被処理液中のOH
ラジカルを生成させ、これが液中の有機物と対応して酸
化分解が行なわれることは公知である。
細菌類の殺菌を行うために、水銀灯を光源とする184.9n
mの波長の紫外線を被処理液に照射して被処理液中のOH
ラジカルを生成させ、これが液中の有機物と対応して酸
化分解が行なわれることは公知である。
また、254nmや365nmの波長の紫外線と過酸化水素やオゾ
ンのような酸化剤を併用して被処理液中の有機物の酸化
分解することも既に知られている。
ンのような酸化剤を併用して被処理液中の有機物の酸化
分解することも既に知られている。
しかし、いずれの場合も、OHラジカルの生成効率が悪い
ので、その対策としては、被処理液への紫外線照射量を
増加する以外になく、そのためには、紫外線を発生させ
る光源の照度を高める必要があり、コスト高になる問題
があり、あるいは紫外線照射時間を長くせざるをえな
く、非効率的であった。
ので、その対策としては、被処理液への紫外線照射量を
増加する以外になく、そのためには、紫外線を発生させ
る光源の照度を高める必要があり、コスト高になる問題
があり、あるいは紫外線照射時間を長くせざるをえな
く、非効率的であった。
〈本考案が解決しようとする課題〉 本考案は、従来の紫外線酸化分解装置において問題とな
っている液体中のOHラジカルの生成効率を高め、半導体
や医製薬製造用水または原子力発電所の冷却水に使用さ
れる超純水や純水等の液体中の有機物の分解、細菌類の
殺菌等の酸化分解処理を短時間に低コストで高効率で除
去することを目的とするものである。
っている液体中のOHラジカルの生成効率を高め、半導体
や医製薬製造用水または原子力発電所の冷却水に使用さ
れる超純水や純水等の液体中の有機物の分解、細菌類の
殺菌等の酸化分解処理を短時間に低コストで高効率で除
去することを目的とするものである。
ロ．考案の構成 〈課題を解決するための手段〉 本考案は、被処理液の通液路に真空紫外線の透過する窓
を設け、その透過窓の近くに設置した真空紫外線発生光
源より放射した真空紫外線を透過窓から被処理液に照射
することによって、被処理液中にOHラジカルを生成さ
せ、このOHラジカルで被処理液中の有機物の酸化分解、
細菌類の殺菌等の酸化分解処理を行う真空紫外線酸化分
解装置であり、本考案の実施態様の一例を以下に図面に
従って説明をする。
を設け、その透過窓の近くに設置した真空紫外線発生光
源より放射した真空紫外線を透過窓から被処理液に照射
することによって、被処理液中にOHラジカルを生成さ
せ、このOHラジカルで被処理液中の有機物の酸化分解、
細菌類の殺菌等の酸化分解処理を行う真空紫外線酸化分
解装置であり、本考案の実施態様の一例を以下に図面に
従って説明をする。
図面において、１は超純水や純水等の被処理液の通液路
であり、ステンレス製の配管を用いることが多いが、こ
の通液路１には窓枠２を設けるとともに、この窓枠２に
真空紫外線を透過させる材質例えば、フッ化リチウム製
の透過板３をはめ込んで透過窓４を形成する。
であり、ステンレス製の配管を用いることが多いが、こ
の通液路１には窓枠２を設けるとともに、この窓枠２に
真空紫外線を透過させる材質例えば、フッ化リチウム製
の透過板３をはめ込んで透過窓４を形成する。
また透過窓４の近傍には真空紫外線を放射する光源５を
設けるが、光源５としては、例えば第２図に示すような
白金膜６、アルミ電極７よりなり、水素の出入口８と水
の出入口９を有する水素放電管を使用する。
設けるが、光源５としては、例えば第２図に示すような
白金膜６、アルミ電極７よりなり、水素の出入口８と水
の出入口９を有する水素放電管を使用する。
真空紫外線の波長としては、105〜147nmの波長のものが
OHラジカルの生成効率の点でよい。なお、被処理液の通
液路１としては配管以外にも、処理筒や容器状に構成し
てもよく、材質としてはステンレスの外に処理液中に溶
出物や不純物が流出しない材質であればどのようなもの
でもかまわない。
OHラジカルの生成効率の点でよい。なお、被処理液の通
液路１としては配管以外にも、処理筒や容器状に構成し
てもよく、材質としてはステンレスの外に処理液中に溶
出物や不純物が流出しない材質であればどのようなもの
でもかまわない。
また透過板３の材質としては、フッ化リチウム（LiF2）
が最も望ましいが、真空紫外線の透過性があるものであ
れば、これに限らずフッ化カルシウム（CaF2）、サファ
イア（Al2O3）も用いることができる。
が最も望ましいが、真空紫外線の透過性があるものであ
れば、これに限らずフッ化カルシウム（CaF2）、サファ
イア（Al2O3）も用いることができる。
真空紫外線発生光源、すなわち105〜147nmの真空紫外線
を放射する光源５としては、前述の水素放電管、例えば
Mcpherson製のヒンテレッガー型放電管を用いることが
できるが、水素放電管以外にもヘリウム放電管、アルゴ
ン放電管、クリプトン放電管、キセノン放電管等も用い
ることができる。
を放射する光源５としては、前述の水素放電管、例えば
Mcpherson製のヒンテレッガー型放電管を用いることが
できるが、水素放電管以外にもヘリウム放電管、アルゴ
ン放電管、クリプトン放電管、キセノン放電管等も用い
ることができる。
なお、105〜147nmの真空紫外線を照射すると、従来の18
5nmや254nmの紫外線を用いた場合に比較して、OHラジカ
ルの生成率は、従来の100〜1000倍となる。
5nmや254nmの紫外線を用いた場合に比較して、OHラジカ
ルの生成率は、従来の100〜1000倍となる。
〈作用〉 純水や超純水の被処理液を通液路１に流入させ、光源５
から放射される105〜147nmの真空紫外線を、透過窓４を
介して通液路１中の被処理液に照射すると、次の（１）
式に示すようにOHラジカルが被処理液中に生成する。
から放射される105〜147nmの真空紫外線を、透過窓４を
介して通液路１中の被処理液に照射すると、次の（１）
式に示すようにOHラジカルが被処理液中に生成する。
以上のように生成したOHラジカルによって、被処理液中
に存在する有機物の分解、細菌類の殺菌等の酸化分解処
理を行うが、その例を有機物としてメタノールを選んで
説明すると、次に（２）式のようになる。
に存在する有機物の分解、細菌類の殺菌等の酸化分解処
理を行うが、その例を有機物としてメタノールを選んで
説明すると、次に（２）式のようになる。
以上のように、本考案においては、被処理液中の有機
物、細菌類等の不純物に対して、105〜147nmの真空紫外
線の直接的照射による結合解離と、真空紫外線で従来に
ない高効率で被処理液中に生成したOHラジカルの間接的
分解との相乗的酸化分解作用によって被処理液中の有機
物、細菌類を効果的に除去する。
物、細菌類等の不純物に対して、105〜147nmの真空紫外
線の直接的照射による結合解離と、真空紫外線で従来に
ない高効率で被処理液中に生成したOHラジカルの間接的
分解との相乗的酸化分解作用によって被処理液中の有機
物、細菌類を効果的に除去する。
ハ．効果 本考案によると、被処理液、すなわち活性炭、逆浸透
膜、イオン交換、精密濾過膜及び窒素脱気で処理した、
いわゆる一次純水の有機物細菌類を短時間に効率的に除
去できる。
膜、イオン交換、精密濾過膜及び窒素脱気で処理した、
いわゆる一次純水の有機物細菌類を短時間に効率的に除
去できる。
例えばギ酸（HCOOH）についてみると、５×10-2mol/1を
５×10-4mol/1まで除去効果を高めることができる。
５×10-4mol/1まで除去効果を高めることができる。
また細菌類の殺菌については、例えば枯草菌芽胞体1.0
×106箇/1を1.0×102箇/1まで除去することが可能であ
る。
×106箇/1を1.0×102箇/1まで除去することが可能であ
る。
さらに本考案はOHラジカルの生成効率が高いので、従来
の紫外線酸化処理装置のように水銀灯の本数を増加させ
たり、その照度を高めることも必要がなく、装置の低コ
スト化、省スペース化が可能である。
の紫外線酸化処理装置のように水銀灯の本数を増加させ
たり、その照度を高めることも必要がなく、装置の低コ
スト化、省スペース化が可能である。
第１図は本考案の真空紫外線酸化分解装置の斜視図であ
り、第２図は本考案の真空紫外線酸化分解装置の断面図
である。 １…通液路、４…透過窓 ２…窓枠、５…光源 ３…透過板
り、第２図は本考案の真空紫外線酸化分解装置の断面図
である。 １…通液路、４…透過窓 ２…窓枠、５…光源 ３…透過板
Claims (2)
- 【請求項１】超純水や純水等の被処理液の通液路に真空
紫外線の透過窓を設け、その透過窓の近傍に設置した真
空紫外線発生光源より放射した105〜147nmの真空紫外線
を透過窓から被処理液に照射し、被処理液中に生成させ
たOHラジカルによって被処理液中の有機物の分解及び細
菌類の殺菌等の酸化分解処理を行う真空紫外線酸化分解
装置。 - 【請求項２】第１請求項の被処理液の通液路として配管
を使用し、その配管の一側面にフッ化リチウム製の透過
窓を設けた真空紫外線酸化分解装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989093456U JPH07236Y2 (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 | 真空紫外線酸化分解装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989093456U JPH07236Y2 (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 | 真空紫外線酸化分解装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0334892U JPH0334892U (ja) | 1991-04-05 |
| JPH07236Y2 true JPH07236Y2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=31642839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989093456U Expired - Lifetime JPH07236Y2 (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 | 真空紫外線酸化分解装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07236Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200461131Y1 (ko) * | 2008-10-14 | 2012-06-25 | 권영두 | 진공청소기용 먼지흡입관 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55109431A (en) * | 1979-02-14 | 1980-08-22 | Eiichiro Shimada | Waste liquid or waste gas treating method by ozone |
| JPS6467293A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-13 | Nippon Akamizu Boshi Taisaku P | Nonelectrode-type ultraviolet ray sterilizer for water pipe |
| JPH01164488A (ja) * | 1987-12-21 | 1989-06-28 | Kurita Water Ind Ltd | 純水製造装置 |
-
1989
- 1989-08-10 JP JP1989093456U patent/JPH07236Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0334892U (ja) | 1991-04-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |