JPH0723574A - 超音波アクチュエーター - Google Patents
超音波アクチュエーターInfo
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- JPH0723574A JPH0723574A JP5164330A JP16433093A JPH0723574A JP H0723574 A JPH0723574 A JP H0723574A JP 5164330 A JP5164330 A JP 5164330A JP 16433093 A JP16433093 A JP 16433093A JP H0723574 A JPH0723574 A JP H0723574A
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- JP
- Japan
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- elastic body
- ultrasonic actuator
- relative density
- resilient body
- metal powder
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】製作コストが少なくて、振動減衰が小さいアク
チュエーターの弾性体を提供する。 【構成】超音波アクチュエータの弾性体１１として、金
属粉末を射出成形により焼結し相対密度９５％以上にし
たものを用いるため、合金内の空孔率が少なくなり振動
減衰を小さくすることができる。これにより、高駆動効
率が必要な超音波アクチュエ−タ−の弾性体にも適用す
ることができる。また、射出成形するために、櫛歯形状
のような複雑な形状のものも一発で成形することがで
き、製作コストを低減することができる。
チュエーターの弾性体を提供する。 【構成】超音波アクチュエータの弾性体１１として、金
属粉末を射出成形により焼結し相対密度９５％以上にし
たものを用いるため、合金内の空孔率が少なくなり振動
減衰を小さくすることができる。これにより、高駆動効
率が必要な超音波アクチュエ−タ−の弾性体にも適用す
ることができる。また、射出成形するために、櫛歯形状
のような複雑な形状のものも一発で成形することがで
き、製作コストを低減することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波アクチュエータ
ーの固定子の材料に関するものである。
ーの固定子の材料に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】超音波アクチュエーターの代表例として
進行波型超音波アクチュエーターがある。この進行波型
超音波アクチュエーターは特公平１―１７３５４等で公
知であるが、この進行波型超音波モーターは電気―機械
変換素子である圧電体（以下、圧電体と記述する）の伸
縮を利用して弾性体の駆動面に進行波を発生させ、この
進行波によって駆動面に加圧接触した移動体を駆動させ
ている。
進行波型超音波アクチュエーターがある。この進行波型
超音波アクチュエーターは特公平１―１７３５４等で公
知であるが、この進行波型超音波モーターは電気―機械
変換素子である圧電体（以下、圧電体と記述する）の伸
縮を利用して弾性体の駆動面に進行波を発生させ、この
進行波によって駆動面に加圧接触した移動体を駆動させ
ている。
【０００３】超音波アクチュエーターの弾性体は、駆動
効率を向上するために櫛歯形状といった複雑な形状をし
ていることから、製作に膨大な費用がかかるといった問
題点があった。 この問題点に対して、粉末冶金により
複雑な形状の弾性体を一発成形することで製作コストを
低下させる方法が特開平４―１０９８７８により開示さ
れている。
効率を向上するために櫛歯形状といった複雑な形状をし
ていることから、製作に膨大な費用がかかるといった問
題点があった。 この問題点に対して、粉末冶金により
複雑な形状の弾性体を一発成形することで製作コストを
低下させる方法が特開平４―１０９８７８により開示さ
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平４―１
０９８７８によると、粉末冶金で製作した弾性体は、相
対密度約９５％が上限であり、合金内の空孔が少なくと
も約５％存在していた。この合金内の空孔は、振動を減
衰される作用がある。従って、これにより移動子の駆動
効率が大きく低減していた。この様なことは、電源容量
等が限られる場合等で、高効率が要求された超音波アク
チュエーターの弾性体に適用するに対して大き課題点と
なっていた。
０９８７８によると、粉末冶金で製作した弾性体は、相
対密度約９５％が上限であり、合金内の空孔が少なくと
も約５％存在していた。この合金内の空孔は、振動を減
衰される作用がある。従って、これにより移動子の駆動
効率が大きく低減していた。この様なことは、電源容量
等が限られる場合等で、高効率が要求された超音波アク
チュエーターの弾性体に適用するに対して大き課題点と
なっていた。
【０００５】本発明は、この様な課題点を解決すること
で、製作コストが少なくて、振動減衰が小さい超音波ア
クチュエーターの弾性体を提供することを目的とする。
で、製作コストが少なくて、振動減衰が小さい超音波ア
クチュエーターの弾性体を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明では、駆動信号により励振される電
気―機械変換素子と、前記電気―機械変換素子に接合さ
れ前記励振により駆動面に振動波を生ずる弾性体と、前
記弾性体の駆動面に加圧接触する接触部材とから構成さ
れ、前記振動波により接触部材または弾性体が駆動され
る超音波アクチュエーターにおいて、前記弾性体は、溶
性材に対しての相対密度を９５％以上とした焼結合金か
らなるように構成した。
に、請求項１の発明では、駆動信号により励振される電
気―機械変換素子と、前記電気―機械変換素子に接合さ
れ前記励振により駆動面に振動波を生ずる弾性体と、前
記弾性体の駆動面に加圧接触する接触部材とから構成さ
れ、前記振動波により接触部材または弾性体が駆動され
る超音波アクチュエーターにおいて、前記弾性体は、溶
性材に対しての相対密度を９５％以上とした焼結合金か
らなるように構成した。
【０００７】また、請求項２の発明では、請求項１の発
明において、弾性体として金属粉末を射出成形して焼結
させたものを使用している。さらに、請求項３の発明
は、請求項１または２の発明において、弾性体として平
均結晶粒経が２０μｍ以下のものを使用している。
明において、弾性体として金属粉末を射出成形して焼結
させたものを使用している。さらに、請求項３の発明
は、請求項１または２の発明において、弾性体として平
均結晶粒経が２０μｍ以下のものを使用している。
【０００８】
【作用】本発明によれば、弾性体１１は金属粉末を射出
成形により焼結され相対密度９５％以上であるので、合
金内の空孔率が少なくなることで、振動減衰を小さくす
ることができる。これにより、高駆動効率が必要な超音
波アクチュエーターの弾性体にも適用することができ
る。また、射出成形するために、櫛歯形状のような複雑
な形状のものも一発で成形することができ、製作コスト
を低減することができる。
成形により焼結され相対密度９５％以上であるので、合
金内の空孔率が少なくなることで、振動減衰を小さくす
ることができる。これにより、高駆動効率が必要な超音
波アクチュエーターの弾性体にも適用することができ
る。また、射出成形するために、櫛歯形状のような複雑
な形状のものも一発で成形することができ、製作コスト
を低減することができる。
【０００９】請求項３の発明によれば、弾性体の平均結
晶粒経を２０μｍ以下にすることで、さらに弾性体の振
動減衰を低下させることができる。
晶粒経を２０μｍ以下にすることで、さらに弾性体の振
動減衰を低下させることができる。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の第１実施例を示した図であ
る。固定子１は、駆動信号により励振する圧電体１２
と、該圧電体に接合され前記励振により駆動面１１ａに
進行性振動波を生ずる弾性体１１とから構成され、弾性
体１１の外周面にフランジ１３が形成されている。この
フランジ１３は、弾性体と連接される薄肉部１３ａと、
該薄肉部１３ａの外縁に連接される肉厚部１３ｂとから
なる。肉厚部１３ｂは固定子支持体３に接合され、該固
定子支持体は不図示の超音波アクチュエーターを搭載す
る機器に固定される。
る。固定子１は、駆動信号により励振する圧電体１２
と、該圧電体に接合され前記励振により駆動面１１ａに
進行性振動波を生ずる弾性体１１とから構成され、弾性
体１１の外周面にフランジ１３が形成されている。この
フランジ１３は、弾性体と連接される薄肉部１３ａと、
該薄肉部１３ａの外縁に連接される肉厚部１３ｂとから
なる。肉厚部１３ｂは固定子支持体３に接合され、該固
定子支持体は不図示の超音波アクチュエーターを搭載す
る機器に固定される。
【００１１】移動子２は、移動子母材２１と、移動子母
材に接合され、摺動面２２ａで前記弾性体の駆動面１１
ａに加圧接触されている摺動材２２とから構成され、移
動子母材２１の外周面にはフランジ２１ａが形成され、
その外縁部に肉厚部２１ｂが連接されている。該肉厚部
２１ｂには、不図示の加圧部材による加圧力が加えられ
ていて、これにより、摺動面２２ａと駆動面１１ａに加
圧接触される。さらに該肉厚部２１ｂは、不図示の移動
目的体にも連接されている。
材に接合され、摺動面２２ａで前記弾性体の駆動面１１
ａに加圧接触されている摺動材２２とから構成され、移
動子母材２１の外周面にはフランジ２１ａが形成され、
その外縁部に肉厚部２１ｂが連接されている。該肉厚部
２１ｂには、不図示の加圧部材による加圧力が加えられ
ていて、これにより、摺動面２２ａと駆動面１１ａに加
圧接触される。さらに該肉厚部２１ｂは、不図示の移動
目的体にも連接されている。
【００１２】この様な構成によると、弾性体１１の駆動
力は移動子２に摩擦的に伝達され、さらに、この駆動力
は該肉厚部２１ｂから不図示の移動目的体に伝達され
る。弾性体１１は、相対密度９５％以上の材料により構
成されている。従来の粉末冶金では相対密度９５％位が
上限であったが、金属粉末を射出成形して焼結させるこ
と（メタルインジェクションモールディング）で、相対
密度９５％以上の合金を得ることができるようになっ
た。相対密度が大きいと、空孔率が少なくなり振動減衰
が小さくなる。これは、本出願人の実験結果によっても
明らかにすることができる。
力は移動子２に摩擦的に伝達され、さらに、この駆動力
は該肉厚部２１ｂから不図示の移動目的体に伝達され
る。弾性体１１は、相対密度９５％以上の材料により構
成されている。従来の粉末冶金では相対密度９５％位が
上限であったが、金属粉末を射出成形して焼結させるこ
と（メタルインジェクションモールディング）で、相対
密度９５％以上の合金を得ることができるようになっ
た。相対密度が大きいと、空孔率が少なくなり振動減衰
が小さくなる。これは、本出願人の実験結果によっても
明らかにすることができる。
【００１３】供試材は短冊状に加工したものを用い、こ
れを加振器により振動させてみた。前記供試材は固有周
波数で共振するのであるが、この共振時の周波数（約２
０ｋＨｚ）の内部摩擦を測定してみた。材料は、超音波
アクチュエーターの弾性体として特開平２−２９０１７
１に開示されているインバー（鉄系Ｎｉ合金）を用い
た。
れを加振器により振動させてみた。前記供試材は固有周
波数で共振するのであるが、この共振時の周波数（約２
０ｋＨｚ）の内部摩擦を測定してみた。材料は、超音波
アクチュエーターの弾性体として特開平２−２９０１７
１に開示されているインバー（鉄系Ｎｉ合金）を用い
た。
【００１４】図２に相対密度と内部摩擦と関係を測定し
た図を示した。内部摩擦Ｑ−1は、次の式で示される。
た図を示した。内部摩擦Ｑ−1は、次の式で示される。
【００１５】
【数１】
【００１６】ここでｆｒは供試材の共振周波数、ｆ１と
ｆ２は共振曲線でｆｒ時の振幅値の２1/2 倍になるｆｒ
の下と上の周波数を表している。この図によれば、相対
密度が大きいほど内部摩擦が小さくなっていることがわ
かる。従って、この様な材料を超音波アクチュエーター
の弾性体に使用した場合に、内部摩擦が小さい（相対密
度が大きい）ほどエネルギーの損失が少なくなる。特に
相対密度が９５％以上になると、超音波アクチュエータ
ーの弾性体として用いても駆動効率が低下しないで好適
である。
ｆ２は共振曲線でｆｒ時の振幅値の２1/2 倍になるｆｒ
の下と上の周波数を表している。この図によれば、相対
密度が大きいほど内部摩擦が小さくなっていることがわ
かる。従って、この様な材料を超音波アクチュエーター
の弾性体に使用した場合に、内部摩擦が小さい（相対密
度が大きい）ほどエネルギーの損失が少なくなる。特に
相対密度が９５％以上になると、超音波アクチュエータ
ーの弾性体として用いても駆動効率が低下しないで好適
である。
【００１７】図３に金属粉末を射出成形して焼結させた
弾性体を用いた超音波アクチュエーターの共振抵抗及び
駆動性能について測定した結果である。弾性体は、イン
バー材の金属粉末を射出成形して焼結させたもので、そ
の相対密度は９８．２％である。この弾性体を図１に示
したような超音波アクチュエーターに組立てた。この時
の固定子の共振抵抗値は９０（Ω）、移動子を定格駆動
（ある負荷与えた時、ある回転速度を保たせた）させた
時、消費電流は１．０５（Ｗ）となった。
弾性体を用いた超音波アクチュエーターの共振抵抗及び
駆動性能について測定した結果である。弾性体は、イン
バー材の金属粉末を射出成形して焼結させたもので、そ
の相対密度は９８．２％である。この弾性体を図１に示
したような超音波アクチュエーターに組立てた。この時
の固定子の共振抵抗値は９０（Ω）、移動子を定格駆動
（ある負荷与えた時、ある回転速度を保たせた）させた
時、消費電流は１．０５（Ｗ）となった。
【００１８】この様に、弾性体を射出成形して焼結させ
る方法は、相対密度が９５％以上が得られるために、超
音波アクチュエーターとしては好適な結果が得られるこ
とがわかる。本実施例では、図１に示したような構成と
したが、これは一例であり、本発明の範囲が本実施例の
図のみに適用されるものではない。
る方法は、相対密度が９５％以上が得られるために、超
音波アクチュエーターとしては好適な結果が得られるこ
とがわかる。本実施例では、図１に示したような構成と
したが、これは一例であり、本発明の範囲が本実施例の
図のみに適用されるものではない。
【００１９】次に、第２実施例について説明する。第２
実施例では、弾性体１１を相対密度９５％以上で結晶粒
径の小さな材料より構成されている。具体的には平均結
晶粒径２０μｍ以下としている。平均結晶粒径２０μｍ
以下といった数値は、次に説明する本発明者の実験によ
る。まず、供試材は短冊状に溶製材のインバー材を加工
したものを用い、これを加振器により振動させてみた。
前記供試材は固有周波数で共振するのであるが、この共
振時の周波数（約２０ｋＨｚ）の内部摩擦を測定してみ
た。
実施例では、弾性体１１を相対密度９５％以上で結晶粒
径の小さな材料より構成されている。具体的には平均結
晶粒径２０μｍ以下としている。平均結晶粒径２０μｍ
以下といった数値は、次に説明する本発明者の実験によ
る。まず、供試材は短冊状に溶製材のインバー材を加工
したものを用い、これを加振器により振動させてみた。
前記供試材は固有周波数で共振するのであるが、この共
振時の周波数（約２０ｋＨｚ）の内部摩擦を測定してみ
た。
【００２０】また、供試材のインバーは二種類を用意
し、一方は再結晶温度を越えた焼き鈍し（１３５０℃、
１時間）を行い、他方は焼き鈍しを行わなかった。この
二種類の供試材の平均結晶粒径を測定したところ、焼き
鈍しを行わなかった方は２０μｍ、行った方は７０μｍ
であった。実験の結果を図４に示した。２０μｍと７０
μｍを比較すると、２０μｍの方は内部摩擦Ｑー1が低
くなっている。
し、一方は再結晶温度を越えた焼き鈍し（１３５０℃、
１時間）を行い、他方は焼き鈍しを行わなかった。この
二種類の供試材の平均結晶粒径を測定したところ、焼き
鈍しを行わなかった方は２０μｍ、行った方は７０μｍ
であった。実験の結果を図４に示した。２０μｍと７０
μｍを比較すると、２０μｍの方は内部摩擦Ｑー1が低
くなっている。
【００２１】この様に、結晶粒径が小さくなると、一定
体積当たりの結晶粒界の密となり、内部摩擦Ｑー1が小
さくなることがわかる。この原因として、転位の挙動が
関与しているものと考えられる。弾性体の振動は、弾性
体内にある周期的な応力が生じている状態と考えると、
その応力に応じて材料内に存在する転位が動くことがで
きる。一般的な材料内には、必ず結晶格子の点欠陥であ
る転位が存在し、材料の降伏応力以下でも応力に応じて
動くことができる。この転位が動くということは、エネ
ルギーがそこで消費されるということであり、これが振
動エネルギーの損失の主原因と考えられる。従って、転
位が動きにくい様な工夫を加えれば、振動エネルギーの
損失が抑えられ、振動の減衰性の小さい材料が得られ
る。転位が動きにくい状態とは、複数の方向から動いて
きた転位が障害物により幾つも堆積し、複雑にもつれた
状態が知られている。転位を堆積する障害物には、結晶
粒界がある。つまり、一定体積の中で結晶粒界が多けれ
ば、転位の動きにくい状態が発生されやすく、内部摩擦
が低減すると考えられる。
体積当たりの結晶粒界の密となり、内部摩擦Ｑー1が小
さくなることがわかる。この原因として、転位の挙動が
関与しているものと考えられる。弾性体の振動は、弾性
体内にある周期的な応力が生じている状態と考えると、
その応力に応じて材料内に存在する転位が動くことがで
きる。一般的な材料内には、必ず結晶格子の点欠陥であ
る転位が存在し、材料の降伏応力以下でも応力に応じて
動くことができる。この転位が動くということは、エネ
ルギーがそこで消費されるということであり、これが振
動エネルギーの損失の主原因と考えられる。従って、転
位が動きにくい様な工夫を加えれば、振動エネルギーの
損失が抑えられ、振動の減衰性の小さい材料が得られ
る。転位が動きにくい状態とは、複数の方向から動いて
きた転位が障害物により幾つも堆積し、複雑にもつれた
状態が知られている。転位を堆積する障害物には、結晶
粒界がある。つまり、一定体積の中で結晶粒界が多けれ
ば、転位の動きにくい状態が発生されやすく、内部摩擦
が低減すると考えられる。
【００２２】本発明では、平均結晶粒径を２０μｍ以下
にすることで、内部摩擦がさらに小さくなり、超音波ア
クチュエーターの弾性体としてさらに好適となった。金
属粉末を射出成形して焼結する方法において、結晶粒径
を小さくする方法としては、金属粉末の粒径を小さくす
る方法、射出成形するときの圧力を高めることで加工硬
化させる方法等とがある。特に、金属粉末を射出成形し
て焼結する方法では、金属粉末の径を数μｍという様
に、従来の粉末冶金より粉末の径を極めて小さくできる
ために、結晶粒径を小さくすることに対しては有効であ
る。
にすることで、内部摩擦がさらに小さくなり、超音波ア
クチュエーターの弾性体としてさらに好適となった。金
属粉末を射出成形して焼結する方法において、結晶粒径
を小さくする方法としては、金属粉末の粒径を小さくす
る方法、射出成形するときの圧力を高めることで加工硬
化させる方法等とがある。特に、金属粉末を射出成形し
て焼結する方法では、金属粉末の径を数μｍという様
に、従来の粉末冶金より粉末の径を極めて小さくできる
ために、結晶粒径を小さくすることに対しては有効であ
る。
【００２３】次に、第３実施例について説明する。第
１、２実施例では、本発明の弾性体を円環状の進行波型
超音波アクチュエーターに使用した場合を示したが、本
発明は超音波アクチュエーターの振動子にも適用でき
る。この様な超音波アクチュエーターの駆動原理は、特
開平１−３１５２８２等により開示されているために、
ここでは概略的に述べる。
１、２実施例では、本発明の弾性体を円環状の進行波型
超音波アクチュエーターに使用した場合を示したが、本
発明は超音波アクチュエーターの振動子にも適用でき
る。この様な超音波アクチュエーターの駆動原理は、特
開平１−３１５２８２等により開示されているために、
ここでは概略的に述べる。
【００２４】移動子１０２は、端面が駆動面１２１ｄと
なる互いに平行な駆動部１２１ａと該駆動部を連結する
連結部１２１ｂとから成り、駆動部と連結部との結合部
が面取りされた面取り部１２１ｃを有し、圧電体１２２
の励振で駆動面１２１ｄに振動波を発する弾性体１２１
と、前記面取り部１２１ｃに設けられ、駆動信号により
励振する圧電体１２２と、から構成されている。
なる互いに平行な駆動部１２１ａと該駆動部を連結する
連結部１２１ｂとから成り、駆動部と連結部との結合部
が面取りされた面取り部１２１ｃを有し、圧電体１２２
の励振で駆動面１２１ｄに振動波を発する弾性体１２１
と、前記面取り部１２１ｃに設けられ、駆動信号により
励振する圧電体１２２と、から構成されている。
【００２５】固定子１０１は、前記弾性体の駆動面１１
ａに加圧接触されているレール材から構成されている。
この様な構成によると、圧電体１２２の駆動信号により
弾性体１２１の駆動面１２１ｄに振動波が生じ、固定子
１０１からの反力により移動子１０２が駆動される。
ａに加圧接触されているレール材から構成されている。
この様な構成によると、圧電体１２２の駆動信号により
弾性体１２１の駆動面１２１ｄに振動波が生じ、固定子
１０１からの反力により移動子１０２が駆動される。
【００２６】弾性体１２１は、金属粉末を射出成形して
焼結した相対密度９５％以上の材料により構成されてい
る。従って、振動減衰が小さくなり、エネルギーの損出
を少なくすることができる。また、一発成形のために切
削工程が省略され、製作費を低減することができる。ま
た他にも、他のリニア型超音波アクチュエーターや定在
波型超音波アクチュエーターも、圧電体の振動を振動子
で励振してその弾性体の振動により駆動力を発生させる
ものならば、相対密度９５％以上にすることで、または
／かつ平均結晶粒径２０μｍ以下の材料を弾性体に用い
ることで、内部摩擦が小さくなることから、超音波アク
チュエーターの弾性体として好適となるといった点とに
おいては、本発明の効果が生じる。
焼結した相対密度９５％以上の材料により構成されてい
る。従って、振動減衰が小さくなり、エネルギーの損出
を少なくすることができる。また、一発成形のために切
削工程が省略され、製作費を低減することができる。ま
た他にも、他のリニア型超音波アクチュエーターや定在
波型超音波アクチュエーターも、圧電体の振動を振動子
で励振してその弾性体の振動により駆動力を発生させる
ものならば、相対密度９５％以上にすることで、または
／かつ平均結晶粒径２０μｍ以下の材料を弾性体に用い
ることで、内部摩擦が小さくなることから、超音波アク
チュエーターの弾性体として好適となるといった点とに
おいては、本発明の効果が生じる。
【００２７】また、本発明の実施例では、電気的エネル
ギーを機械的なエネルギーに変換する電気ー機械変換素
子に圧電素子を用いたが、電歪素子を用いてもよい。
ギーを機械的なエネルギーに変換する電気ー機械変換素
子に圧電素子を用いたが、電歪素子を用いてもよい。
【００２８】
【発明・考案の効果】以上説明したように、本発明によ
れば、金属粉末を射出成形して焼結する方法は、相対密
度９５％以上にすることができる。従って、合金内の空
孔率が少なくなることで、振動減衰を小さくすることが
できる。これにより、超音波アクチュエーターの弾性体
への使用に好適になった。また、射出成形するために、
櫛歯形状のような複雑な形状のものも一発で成形するこ
とができ、製作コストも低減された。
れば、金属粉末を射出成形して焼結する方法は、相対密
度９５％以上にすることができる。従って、合金内の空
孔率が少なくなることで、振動減衰を小さくすることが
できる。これにより、超音波アクチュエーターの弾性体
への使用に好適になった。また、射出成形するために、
櫛歯形状のような複雑な形状のものも一発で成形するこ
とができ、製作コストも低減された。
【００２９】また、弾性体の平均結晶粒経を２０μｍ以
下にすることで、振動減衰をさらに低下させることがで
きるようになり、超音波アクチュエーターの弾性体への
使用にさらに好適になった。
下にすることで、振動減衰をさらに低下させることがで
きるようになり、超音波アクチュエーターの弾性体への
使用にさらに好適になった。
【図１】本発明の第１実施例を説明する概略図である。
【図２】相対密度と損失係数の関係を示した図である。
【図３】第１実施例の弾性体を使用した超音波アクチュ
エーターの性能を測定した結果である。
エーターの性能を測定した結果である。
【図４】平均結晶粒径と損失係数の関係を示した図であ
る。
る。
【図５】本発明の第３実施例を説明する概略図である。
１ ─固定子 １０１ ─固定子 ２ ─移動子 １０２ ─移動子 ３ ─支持体 １１ ─弾性体 １２１ ─弾性体 １１ａ ─駆動面 １２１ｄ─駆動面 １２ ─圧電体 １２２ ─圧電体 ２１ ─移動子母材 ２２ ─摺動材 ２２ａ ─摺動面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 市川 正典 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内
Claims (3)
- 【請求項１】 駆動信号により励振される電気―機械変
換素子と、前記電気―機械変換素子に接合され前記励振
により駆動面に振動波を生ずる弾性体と、前記弾性体の
駆動面に加圧接触する接触部材とから構成され、前記振
動波により接触部材または弾性体が駆動される超音波ア
クチュエーターにおいて、 前記弾性体は、溶性材に対しての相対密度を９５％以上
とした焼結合金からなることを特徴とする超音波アクチ
ュエーター。 - 【請求項２】 請求項１記載の超音波アクチュエーター
において、 前記弾性体は金属粉末を射出成形して、焼結したことに
より製作されたことを特徴とした超音波アクチュエータ
ー。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２記載の超音波ア
クチュエーターにおいて、 前記弾性体の結晶粒径を２０μｍ以下としたことを特徴
とした超音波アクチュエーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16433093A JP3252539B2 (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | 超音波アクチュエーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16433093A JP3252539B2 (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | 超音波アクチュエーター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0723574A true JPH0723574A (ja) | 1995-01-24 |
| JP3252539B2 JP3252539B2 (ja) | 2002-02-04 |
Family
ID=15791125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16433093A Expired - Lifetime JP3252539B2 (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | 超音波アクチュエーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3252539B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005195590A (ja) * | 2003-12-29 | 2005-07-21 | Robert Bosch Gmbh | 圧力センサを製造する方法及び圧力センサ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11376006B2 (en) | 2019-02-06 | 2022-07-05 | Covidien Lp | End effector force measurement with digital drive circuit |
-
1993
- 1993-07-02 JP JP16433093A patent/JP3252539B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005195590A (ja) * | 2003-12-29 | 2005-07-21 | Robert Bosch Gmbh | 圧力センサを製造する方法及び圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3252539B2 (ja) | 2002-02-04 |
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