JPH07232103A - 高速回転装置 - Google Patents
高速回転装置Info
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- JPH07232103A JPH07232103A JP2808094A JP2808094A JPH07232103A JP H07232103 A JPH07232103 A JP H07232103A JP 2808094 A JP2808094 A JP 2808094A JP 2808094 A JP2808094 A JP 2808094A JP H07232103 A JPH07232103 A JP H07232103A
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- Japan
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- rotor
- chamber
- rotation
- speed
- speed rotation
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は気体中で高速回転する高速回転装置
に関するものであり、その目的とするところは、回転す
るロータと静止部であるチャンバー間の隙間が少ない回
転装置で、高速回転時に発生する回転周期より長い振動
成分を低減し、安全で静かな高速回転装置を得ることで
ある。 【構成】 チャンバーの内面5aに楔形した凸部があ
り、回転するロータの外周4aと静止部であるチャンバ
ー内面5a間の隙間6が、回転方向において変化する構
造である。ロータ4の回転により空気を巻き込み、高圧
の圧力分布がロータ外周4aとチャンバー内面5aの隙
間6が狭くなる凸部に発生する。ロータ4が偏心すると
狭い方の圧力がより高く、広い方の圧力がやや低くなる
ので、ロータ4をチャンバーの中心5bに戻す作用が発
生し、またロータ中心が回転方向に移動しても圧力分布
の高い部分がチャンバーの内面5aを移動しないため、
ロータを旋回振動させる作用がほとんどない。これより
ロータが微小に振れても回転周期より長い振動が成長せ
ず安定した回転となる。
に関するものであり、その目的とするところは、回転す
るロータと静止部であるチャンバー間の隙間が少ない回
転装置で、高速回転時に発生する回転周期より長い振動
成分を低減し、安全で静かな高速回転装置を得ることで
ある。 【構成】 チャンバーの内面5aに楔形した凸部があ
り、回転するロータの外周4aと静止部であるチャンバ
ー内面5a間の隙間6が、回転方向において変化する構
造である。ロータ4の回転により空気を巻き込み、高圧
の圧力分布がロータ外周4aとチャンバー内面5aの隙
間6が狭くなる凸部に発生する。ロータ4が偏心すると
狭い方の圧力がより高く、広い方の圧力がやや低くなる
ので、ロータ4をチャンバーの中心5bに戻す作用が発
生し、またロータ中心が回転方向に移動しても圧力分布
の高い部分がチャンバーの内面5aを移動しないため、
ロータを旋回振動させる作用がほとんどない。これより
ロータが微小に振れても回転周期より長い振動が成長せ
ず安定した回転となる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は空気等の気体中で高速回
転する高速回転装置に係り、高速回転領域での振動安定
性に関するものである。
転する高速回転装置に係り、高速回転領域での振動安定
性に関するものである。
【0002】
【従来の技術】高速回転装置には、液状のサンプルを遠
心加速度により分離する遠心機があり、例えば特開平3
−127645号に記載されているように遠心機の駆動
部を弾性体で支持し、回転時にサンプルのインバランス
によって発生する振動を、弾性体の振動減衰作用で筐体
に伝達するのを小さくしていた。またロータとロータ収
納部との隙間を大きくし、高速回転時も安定して回転し
ていた。
心加速度により分離する遠心機があり、例えば特開平3
−127645号に記載されているように遠心機の駆動
部を弾性体で支持し、回転時にサンプルのインバランス
によって発生する振動を、弾性体の振動減衰作用で筐体
に伝達するのを小さくしていた。またロータとロータ収
納部との隙間を大きくし、高速回転時も安定して回転し
ていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】高速回転装置として、
図2に示す遠心機を例に課題を説明する。先ず主要構成
について記す。筐体1と複数個の弾性体3を介して連結
した駆動部2、前記駆動部2から上方に回転軸を延ば
し、前記回転軸にサンプルを収納するロータ4を装着す
る。ロータ4の外周にロータ4を収納するチャンバー5
があり、前記チャンバー5は筐体1に固定され、ロータ
4が振動しても接触しないための隙間6を有する構造で
ある。図2の遠心機は、従来の遠心機より大量サンプル
を分離し処理時間を短縮するため、ロータに大容量のサ
ンプルが収納できるようにロータの寸法を大きくし、ま
た遠心機の筐体をできるだけ小形化し据付け寸法を小さ
くするため、ロータとチャンバーの隙間6を狭くしロー
タを収納するチャンバーの寸法を小さくしたものであ
る。また回転時のロータの振動が筐体に伝達するのを少
なくするため、筐体と駆動部を連結する弾性体として、
金属バネの外周にゴム管を被せて用いているが、弾性体
として軟質のゴムを用いることもある。
図2に示す遠心機を例に課題を説明する。先ず主要構成
について記す。筐体1と複数個の弾性体3を介して連結
した駆動部2、前記駆動部2から上方に回転軸を延ば
し、前記回転軸にサンプルを収納するロータ4を装着す
る。ロータ4の外周にロータ4を収納するチャンバー5
があり、前記チャンバー5は筐体1に固定され、ロータ
4が振動しても接触しないための隙間6を有する構造で
ある。図2の遠心機は、従来の遠心機より大量サンプル
を分離し処理時間を短縮するため、ロータに大容量のサ
ンプルが収納できるようにロータの寸法を大きくし、ま
た遠心機の筐体をできるだけ小形化し据付け寸法を小さ
くするため、ロータとチャンバーの隙間6を狭くしロー
タを収納するチャンバーの寸法を小さくしたものであ
る。また回転時のロータの振動が筐体に伝達するのを少
なくするため、筐体と駆動部を連結する弾性体として、
金属バネの外周にゴム管を被せて用いているが、弾性体
として軟質のゴムを用いることもある。
【0004】試験した遠心機の大きさはロータの半径が
280mm、ロータとチャンバーの隙間が20mmであ
る。停止から回転数を毎分5000回転まで運転すると
約毎分3500回転以上で回転周期以外の振動成分が発
生した。毎分5000回転運転時のロータの振動波形を
図3に示す。図3においてTRの周期は回転周期の振動
成分で、ロータに入れたサンプルのインバランスに依る
もので、サンプルのインバランスを小さくすると振動も
小さくなる。一方TSの周期は回転周期より長い周期の
振動で回転数が高くなるほど大きな振動となり、サンプ
ルのインバランスを小さくしてもTRの周期の振動は低
下しない。このTRの周期の振動は振幅が大きいため筐
体を振動させ、騒音を発生させたり、遠心機操作者に不
安感を起させる。また更に回転数を上げ、振動が更に大
きくなるとロータ4がチャンバー5に接触し遠心機を破
損することになる。
280mm、ロータとチャンバーの隙間が20mmであ
る。停止から回転数を毎分5000回転まで運転すると
約毎分3500回転以上で回転周期以外の振動成分が発
生した。毎分5000回転運転時のロータの振動波形を
図3に示す。図3においてTRの周期は回転周期の振動
成分で、ロータに入れたサンプルのインバランスに依る
もので、サンプルのインバランスを小さくすると振動も
小さくなる。一方TSの周期は回転周期より長い周期の
振動で回転数が高くなるほど大きな振動となり、サンプ
ルのインバランスを小さくしてもTRの周期の振動は低
下しない。このTRの周期の振動は振幅が大きいため筐
体を振動させ、騒音を発生させたり、遠心機操作者に不
安感を起させる。また更に回転数を上げ、振動が更に大
きくなるとロータ4がチャンバー5に接触し遠心機を破
損することになる。
【0005】上記の高速回転装置はロータ4の半径Rと
ロータ4とチャンバー5の隙間Cの比(C/R)が0.
071で発生したが、C/Rの比が0.1以下でこの現
象が起こりやすい。また上記の高速回転装置では、ロー
タ4の周速が約100m/sec以上の高速領域でこの
現象が発生した。
ロータ4とチャンバー5の隙間Cの比(C/R)が0.
071で発生したが、C/Rの比が0.1以下でこの現
象が起こりやすい。また上記の高速回転装置では、ロー
タ4の周速が約100m/sec以上の高速領域でこの
現象が発生した。
【0006】上記の回転周期より長周期TSの振動状態
を図4により説明する。停止時にロータの中心4bとチ
ャンバーの中心5bはほとんど一致しているが、回転時
はサンプルのインバランスによる振動や、筐体に操作者
が触れたり床の振動等の外力により、ロータ4とチャン
バーの中心5bはずれを生じる。図4はロータの中心4
bとチャンバーの中心5bがわずかに偏心して回転方向
7に回転している状態で、ロータ4の回転により空気を
巻き込み、ロータ4とチャンバー5間の圧力分布は8の
ようになり、ロータ4は空気の圧力分布による合力Fの
力と駆動部支持弾性体3による反力Pを受けロータの中
心4bが移動する。ロータの中心4bが移動すると圧力
分布の高い部分もチャンバーの内面5aを移動するた
め、ロータ中心4bは9の軌跡を描き旋回振動する。ロ
ータ4が高速回転するほどFの力は大きく、またロータ
4の半径Rとロータ4とチャンバー5の隙間Cの比(C
/R)が小さいほどFの力は大きくなり、回転周期より
長い振動成分が発生しやすくなる。
を図4により説明する。停止時にロータの中心4bとチ
ャンバーの中心5bはほとんど一致しているが、回転時
はサンプルのインバランスによる振動や、筐体に操作者
が触れたり床の振動等の外力により、ロータ4とチャン
バーの中心5bはずれを生じる。図4はロータの中心4
bとチャンバーの中心5bがわずかに偏心して回転方向
7に回転している状態で、ロータ4の回転により空気を
巻き込み、ロータ4とチャンバー5間の圧力分布は8の
ようになり、ロータ4は空気の圧力分布による合力Fの
力と駆動部支持弾性体3による反力Pを受けロータの中
心4bが移動する。ロータの中心4bが移動すると圧力
分布の高い部分もチャンバーの内面5aを移動するた
め、ロータ中心4bは9の軌跡を描き旋回振動する。ロ
ータ4が高速回転するほどFの力は大きく、またロータ
4の半径Rとロータ4とチャンバー5の隙間Cの比(C
/R)が小さいほどFの力は大きくなり、回転周期より
長い振動成分が発生しやすくなる。
【0007】この振動は、回転軸が垂直に配置された縦
型の回転装置で、駆動部と筐体を弾性体で連結する位置
とロータの位置が離れている場合に大きくなりやすく、
すなわちオーバーハング支持の回転装置に発生しやす
い。
型の回転装置で、駆動部と筐体を弾性体で連結する位置
とロータの位置が離れている場合に大きくなりやすく、
すなわちオーバーハング支持の回転装置に発生しやす
い。
【0008】本発明は、回転部であるロータと、静止部
であるチャンバー間の隙間が少ない回転装置において、
高速回転時に発生する回転周期より長い振動成分を低減
し、安全で静かな高速回転装置を得ることを目的として
いる。
であるチャンバー間の隙間が少ない回転装置において、
高速回転時に発生する回転周期より長い振動成分を低減
し、安全で静かな高速回転装置を得ることを目的として
いる。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の高速回転装置においては、静止部であるチ
ャンバーの内面に上下にロータの幅と同じ程度の長さの
凸部を周方向に数個所設けたものである。凸部の断面形
状は円弧形、三角形、矩形、楔形等で効果があるが、ロ
ータの回転方向にロータとチャンバー間の隙間が小さく
なる楔形が、高速回転時の回転周期より長い振動成分の
低減に更に効果的である。
に、本発明の高速回転装置においては、静止部であるチ
ャンバーの内面に上下にロータの幅と同じ程度の長さの
凸部を周方向に数個所設けたものである。凸部の断面形
状は円弧形、三角形、矩形、楔形等で効果があるが、ロ
ータの回転方向にロータとチャンバー間の隙間が小さく
なる楔形が、高速回転時の回転周期より長い振動成分の
低減に更に効果的である。
【0010】また、チャンバーの内面の周方向の形状が
3つの円弧の連結した形状であったり、4つの円弧が連
結した形状、及び多角形のチャンバーも効果がある。円
弧や多角形の辺の数は2から8の範囲においてが高速回
転時の振動安定性の効果があり、特に2から4辺が効果
がある。
3つの円弧の連結した形状であったり、4つの円弧が連
結した形状、及び多角形のチャンバーも効果がある。円
弧や多角形の辺の数は2から8の範囲においてが高速回
転時の振動安定性の効果があり、特に2から4辺が効果
がある。
【0011】更に停止時からロータの中心をチャンバー
の中心と偏心させ、ロータとチャンバー間の隙間を場所
により変化させることも効果がある。
の中心と偏心させ、ロータとチャンバー間の隙間を場所
により変化させることも効果がある。
【0012】
【作用】上記のように構成された回転装置を高速で回転
した時の作用について図により説明する。
した時の作用について図により説明する。
【0013】図10はチャンバーの内面に楔形の凸部を
周方向に3個所設けた場合の高速回転時のロータとチャ
ンバー間の圧力分布を示したものである。高い圧力はロ
ータ4とチャンバー5の隙間6が狭くなる所に発生する
ので、凸部の周囲だけが高い圧力となる。またロータ4
が偏心すると狭い方の圧力がより高く広い方の圧力がや
や低くなるので、ロータ4をチャンバーの中心5bに戻
す作用が発生する。またロータ中心が従来例のように回
転方向に移動しても、本発明の回転装置は圧力分布の高
い部分がチャンバーの内面5aを移動しないため、ロー
タを旋回振動させる作用がほとんどない。これよりロー
タが微小に振れても回転周期より長い振動が成長せず安
定した回転となる。楔形が特に優れているのは、高速回
転時に各凸部に発生する圧力分布の合力がチャンバーの
中心5bに向くように、楔の長さや角度を設定でき、ロ
ータが微小に振れてもロータ4をチャンバーの中心5b
に正確に戻す作用が発生し、ロータを旋回振動させる作
用がほとんどないことである。
周方向に3個所設けた場合の高速回転時のロータとチャ
ンバー間の圧力分布を示したものである。高い圧力はロ
ータ4とチャンバー5の隙間6が狭くなる所に発生する
ので、凸部の周囲だけが高い圧力となる。またロータ4
が偏心すると狭い方の圧力がより高く広い方の圧力がや
や低くなるので、ロータ4をチャンバーの中心5bに戻
す作用が発生する。またロータ中心が従来例のように回
転方向に移動しても、本発明の回転装置は圧力分布の高
い部分がチャンバーの内面5aを移動しないため、ロー
タを旋回振動させる作用がほとんどない。これよりロー
タが微小に振れても回転周期より長い振動が成長せず安
定した回転となる。楔形が特に優れているのは、高速回
転時に各凸部に発生する圧力分布の合力がチャンバーの
中心5bに向くように、楔の長さや角度を設定でき、ロ
ータが微小に振れてもロータ4をチャンバーの中心5b
に正確に戻す作用が発生し、ロータを旋回振動させる作
用がほとんどないことである。
【0014】図11はチャンバーの内面の周方向の形状
が3つの円弧の連結した形状とした場合の高速回転時の
ロータとチャンバー間の圧力分布を示したものである。
高い圧力はロータ4とチャンバー5の隙間6が狭くなる
3ヵ所に発生し、図10と同様にロータ4が偏心すると
ロータ4をチャンバーの中心5bに戻す作用が発生し、
ロータを旋回振動させる作用がほとんどない。これより
ロータが微小に振れても回転周期より長い振動が成長せ
ず安定した回転となる。
が3つの円弧の連結した形状とした場合の高速回転時の
ロータとチャンバー間の圧力分布を示したものである。
高い圧力はロータ4とチャンバー5の隙間6が狭くなる
3ヵ所に発生し、図10と同様にロータ4が偏心すると
ロータ4をチャンバーの中心5bに戻す作用が発生し、
ロータを旋回振動させる作用がほとんどない。これより
ロータが微小に振れても回転周期より長い振動が成長せ
ず安定した回転となる。
【0015】図12は停止時のロータの中心4b0をチ
ャンバーの中心5bと偏心させた場合の高速回転時のロ
ータとチャンバー間の圧力分布を示したものである。高
速回転時、ロータ4の中心は空気の圧力分布8による合
力Fと駆動部支持弾性体3による反力Pが釣り合った位
置4bに移動し安定している。ロータ中心4bは停止時
の偏心量εが大きいので駆動部支持弾性体3による反力
Pの作用で、高速回転時もチャンバーの中心5bより停
止時のロータの中心4b0側に有り、高圧の圧力分布の
発生位置が実質上移動しないため、圧力分布の高い部分
がチャンバーの内面5aを移動せずロータを旋回振動さ
せる作用がほとんどない。これよりロータが微小に振れ
ても回転周期より長い振動が成長せず安定した回転とな
る。。
ャンバーの中心5bと偏心させた場合の高速回転時のロ
ータとチャンバー間の圧力分布を示したものである。高
速回転時、ロータ4の中心は空気の圧力分布8による合
力Fと駆動部支持弾性体3による反力Pが釣り合った位
置4bに移動し安定している。ロータ中心4bは停止時
の偏心量εが大きいので駆動部支持弾性体3による反力
Pの作用で、高速回転時もチャンバーの中心5bより停
止時のロータの中心4b0側に有り、高圧の圧力分布の
発生位置が実質上移動しないため、圧力分布の高い部分
がチャンバーの内面5aを移動せずロータを旋回振動さ
せる作用がほとんどない。これよりロータが微小に振れ
ても回転周期より長い振動が成長せず安定した回転とな
る。。
【0016】上記の図10、図11、図12の本発明の
例はロータが微小に振れても高速回転時の圧力分布の高
い部分は1または3か所と定まり、ロータが微小に振れ
るた時に圧力分布の高い部分がチャンバーの内面5aを
移動せず、ロータを旋回振動させる作用がほとんどな
い。
例はロータが微小に振れても高速回転時の圧力分布の高
い部分は1または3か所と定まり、ロータが微小に振れ
るた時に圧力分布の高い部分がチャンバーの内面5aを
移動せず、ロータを旋回振動させる作用がほとんどな
い。
【0017】
【実施例】以下実施例図面を参照して本発明を説明す
る。図1はロータとチャンバーの上面図で、チャンバー
の内面5aの3ヵ所に凸部10があり、凸部10はロー
タ4の回転方向に隙間6が狭くなるような楔形をしてい
る。前記凸部10の上下方向の長さは、ロータとチャン
バーの隙間が狭い部分あれば良い。本構造の高速回転装
置の毎分5000回転運転時のロータの振動波形を図5
に示す。図3の従来の高速回転装置の振動波形と比較
し、回転周期より長い振動成分がほとんど消えており、
安定した回転となっている。また図示していないが凸部
10の断面形状は円弧形、三角形、矩形でも効果があ
る。
る。図1はロータとチャンバーの上面図で、チャンバー
の内面5aの3ヵ所に凸部10があり、凸部10はロー
タ4の回転方向に隙間6が狭くなるような楔形をしてい
る。前記凸部10の上下方向の長さは、ロータとチャン
バーの隙間が狭い部分あれば良い。本構造の高速回転装
置の毎分5000回転運転時のロータの振動波形を図5
に示す。図3の従来の高速回転装置の振動波形と比較
し、回転周期より長い振動成分がほとんど消えており、
安定した回転となっている。また図示していないが凸部
10の断面形状は円弧形、三角形、矩形でも効果があ
る。
【0018】図6に示される実施例は、ロータ4とチャ
ンバー5の上面図でチャンバーの内面5aが3つの円弧
を連結した形の構造のものである。また図7に示される
実施例は、ロータ4とチャンバー5の上面図でチャンバ
ーの内面5aが4つの円弧を連結した形の構造のもの
で、ロータ4とチャンバー5の隙間がロータの回転方向
において変化している。
ンバー5の上面図でチャンバーの内面5aが3つの円弧
を連結した形の構造のものである。また図7に示される
実施例は、ロータ4とチャンバー5の上面図でチャンバ
ーの内面5aが4つの円弧を連結した形の構造のもの
で、ロータ4とチャンバー5の隙間がロータの回転方向
において変化している。
【0019】図8に示される実施例は、ロータ4とチャ
ンバー5の上面図でチャンバーの内面5aが多角形で、
上記と同様の効果がある。
ンバー5の上面図でチャンバーの内面5aが多角形で、
上記と同様の効果がある。
【0020】図9に示される実施例はロータの中心4b
とチャンバーの中心5bが偏心量eだけずれて取付けた
構造で、偏心量eが大きい方が回転周期より長い振動を
発生する回転数が高くなり、高速まで安定して運転でき
る。
とチャンバーの中心5bが偏心量eだけずれて取付けた
構造で、偏心量eが大きい方が回転周期より長い振動を
発生する回転数が高くなり、高速まで安定して運転でき
る。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ロ
ータが微小に振れたときの回転により発生した空気の圧
力分布はチャンバー周方向の凹凸による隙間変化により
断続になり、回転周期より長い振動が成長せず安定した
回転となる。
ータが微小に振れたときの回転により発生した空気の圧
力分布はチャンバー周方向の凹凸による隙間変化により
断続になり、回転周期より長い振動が成長せず安定した
回転となる。
【0022】また、回転軸が垂直で、ロータをオーバー
ハング支持している高速回転装置で、ロータの外周とチ
ャンバーの隙間を小さくしロータの半径Rとロータとチ
ャンバーの隙間Cの比(C/R)が0.1以下、及びロ
ータの周速が約100m/sec以上の高速領域におい
て、この効果が特に表れる。
ハング支持している高速回転装置で、ロータの外周とチ
ャンバーの隙間を小さくしロータの半径Rとロータとチ
ャンバーの隙間Cの比(C/R)が0.1以下、及びロ
ータの周速が約100m/sec以上の高速領域におい
て、この効果が特に表れる。
【0023】本発明によりロータの外径が大きくても筐
体の大きさをあまり大きくすることなく、安全で静かな
高速回転装置を得ることができる。
体の大きさをあまり大きくすることなく、安全で静かな
高速回転装置を得ることができる。
【図1】 本発明の高速回転装置の一実施例を示す上面
図である。
図である。
【図2】 従来の高速回転装置の例を示す縦断面図であ
る。
る。
【図3】 従来の高速回転装置のロータの振動波形の例
である。
である。
【図4】 従来の高速回転装置の上面図によるロータの
振動状態説明図である。
振動状態説明図である。
【図5】 本発明の高速回転装置のロータの振動波形の
例である。
例である。
【図6】 本発明の高速回転装置の一実施例を示す上面
図である。
図である。
【図7】 本発明の高速回転装置の一実施例を示す上面
図である。
図である。
【図8】 本発明の高速回転装置の一実施例を示す上面
図である。
図である。
【図9】 本発明の高速回転装置の一実施例を示す上面
図である。
図である。
【図10】 本発明になるチャンバーの内面に楔形の凸
部を設けた状態での高速回転時におけるロータとチャン
バー間の圧力分布を示す圧力分布図である。
部を設けた状態での高速回転時におけるロータとチャン
バー間の圧力分布を示す圧力分布図である。
【図11】 本発明になるチャンバーの内面の周方向の
形状が3つの円弧の連結した形状である場合における高
速回転時のロータとチャンバー間の圧力分布を示す圧力
分布図である。
形状が3つの円弧の連結した形状である場合における高
速回転時のロータとチャンバー間の圧力分布を示す圧力
分布図である。
【図12】 本発明になる停止時のロータの中心をチャ
ンバーの中心と偏心させた場合における高速回転時のロ
ータとチャンバー間の圧力分布を示す圧力分布図であ
る。
ンバーの中心と偏心させた場合における高速回転時のロ
ータとチャンバー間の圧力分布を示す圧力分布図であ
る。
本発明において4aはロータの外周、5aはチャンバー
内面、6はロータの外周とチャンバー内面の隙間、10
は凸部、4bはロータの中心、5aはチャンバーの中心
である。
内面、6はロータの外周とチャンバー内面の隙間、10
は凸部、4bはロータの中心、5aはチャンバーの中心
である。
Claims (7)
- 【請求項1】 筐体と弾性体で連結した駆動部と、該駆
動部の回転軸と連結して高速回転するロータと、該ロー
タの外周に配置し前記筐体に固定したチャンバーを有し
気体中で回転する高速回転装置において、前記チャンバ
ーの内面の周方向に1ヶ所以上の凸部を有することを特
徴とする高速回転装置。 - 【請求項2】 前記チャンバーにおいて、内面の周方向
形状が2つ以上の円弧が連結した形状であることを特徴
とする請求項1記載の高速回転装置。 - 【請求項3】 前記チャンバーにおいて、内面の周方向
形状が多角形であることを特徴とする請求項1記載の高
速回転装置。 - 【請求項4】 前記チャンバーにおいて、前記チャンバ
ーの中心と前記ロータの中心が偏心していることを特徴
とする請求項1記載の高速回転装置 - 【請求項5】 前記ロータの半径Rと前記ロータと前記
チャンバーの隙間の比が0.1以下であることを特徴と
する請求項1乃至請求項4記載の高速回転装置。 - 【請求項6】 回転時に前記ロータの外周の速度が10
0m/sec以上の高速回転することを特徴とした請求
項1乃至請求項4記載の高速回転装置。 - 【請求項7】 前記回転軸が垂直に配置された縦型の回
転装置で、前記駆動部と前記筐体を前記弾性体で連結す
る位置と前記ロータの位置が離れ前記ロータをオーバー
ハング支持していることを特徴とする請求項1乃至請求
項4記載の高速回転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2808094A JPH07232103A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 高速回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2808094A JPH07232103A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 高速回転装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07232103A true JPH07232103A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=12238806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2808094A Pending JPH07232103A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 高速回転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07232103A (ja) |
-
1994
- 1994-02-25 JP JP2808094A patent/JPH07232103A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021008 |