JPH07231005A - Inspecting method for uncharging of molded part for package type electronic element - Google Patents
Inspecting method for uncharging of molded part for package type electronic elementInfo
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- JPH07231005A JPH07231005A JP2091194A JP2091194A JPH07231005A JP H07231005 A JPH07231005 A JP H07231005A JP 2091194 A JP2091194 A JP 2091194A JP 2091194 A JP2091194 A JP 2091194A JP H07231005 A JPH07231005 A JP H07231005A
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- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14639—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
- B29C45/14655—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体チップ等の素子
の部分を合成樹脂製のモールド部にてパッケージして成
るパッケージ型の電子部品において、その合成樹脂製の
モールド部を、トランスファ成形法にて成形した場合
に、当該モールド部に発生する合成樹脂の未充填の状態
を検出する方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a package type electronic component in which an element such as a semiconductor chip is packaged in a synthetic resin mold portion, and the synthetic resin mold portion is formed by a transfer molding method. The present invention relates to a method for detecting an unfilled state of synthetic resin generated in the mold portion when molded by.
【0002】[0002]
【従来の技術】トランジスター又はダイオード等の電子
部品において、その素子の部分をパッケージする合成樹
脂製のモールド部は、リードフレームをその長手方向に
移送する途中に、当該リードフレームを上下一対の金型
にて挟み付け、この両金型の合わせ面に凹み形成したモ
ールド部成形用キャビティー内に、合成樹脂を溶融状態
で圧入すると言うトランスファ成形法によって成形する
もので、その成形に際しては、原料樹脂の不足、原料樹
脂を押圧するプランジャのストローク不足、及び、モー
ルド部成形用キャビティー内への注入用ゲートの詰ま
り、更には、前記モールド部成形用キャビティー内への
注入中における樹脂の硬化等によって、前記モールド部
成形用キャビティー内への合成樹脂の充填不足の状態が
発生し、前記モールド部における外観形状の一部が欠け
たり、モールド部の内部に大きい気泡が存在したり、或
いは、合成樹脂のリード端子に対する密着性が低下した
りすることになる。2. Description of the Related Art In an electronic component such as a transistor or a diode, a synthetic resin mold portion for packaging a portion of the element is formed by a pair of upper and lower metal molds for the lead frame during transfer of the lead frame in the longitudinal direction. The synthetic resin is molded by a transfer molding method in which a synthetic resin is press-fitted in a molten state in a cavity for molding in a mold part formed by recessing the mating surfaces of the two molds. Insufficient, the stroke of the plunger that presses the raw material resin is insufficient, the injection gate is clogged into the molding cavity, and the resin is cured during injection into the molding cavity. Due to this, a state of insufficient filling of the synthetic resin into the molding cavity is generated, It is chipped part of the external shape of the part, or there are large voids inside the molded part, or adhesion to a lead terminal of the synthetic resin will lowered.
【0003】そこで、従来は、トランスファ成形法にて
成形した後のモールド部における外観形状を、リードフ
レームの移送中において、カメラ等にて撮影し、その画
像を処理することによって、当該モールド部の外観形状
が、予め設定した所定の外観形状になっているか否かを
判定することによって、モールド部に対する合成樹脂未
充填の状態であるか否かを検査するようにしている。Therefore, conventionally, the external shape of the molded portion after being molded by the transfer molding method is photographed by a camera or the like during the transfer of the lead frame, and the image is processed to obtain the image of the molded portion. By judging whether or not the external shape is a preset external shape, it is inspected whether or not the synthetic resin is not filled in the mold portion.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、この検査方法
は、モールド部における外観形状の撮影、撮影した画像
の処理、及び処理した画像の比較と言った複雑なアルコ
リズムを必要として、長い時間がかかることにより、リ
ードフレームの移送速度を遅くするか、或いは、複数の
カメラにて撮影するかしなければならないから、コスト
の大幅なアップを招来するのであった。However, this inspection method requires a complicated algorithm such as photographing the outer shape of the mold portion, processing the photographed images, and comparing the processed images. As a result, the transfer speed of the lead frame must be slowed down or the images must be taken by a plurality of cameras, resulting in a significant increase in cost.
【0005】しかも、モールド部の外観形状のチェック
のみでは、モールド部の内部における気泡の状態、及び
合成樹脂のリード端子に対する密着性までも十分にチェ
ックすることができないと言う問題もあった。本発明
は、電子部品において、その半導体チップ等の素子の部
分をパッケージするモールド部に対する合成樹脂の未充
填の状態を、前記のような問題を招来することなく、至
極簡単に検査できるようにした方法を提供することを技
術的課題とするものである。Moreover, there is a problem that it is not possible to sufficiently check the state of bubbles inside the mold part and the adhesion of the synthetic resin to the lead terminals only by checking the external shape of the mold part. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention makes it possible to very easily inspect an unfilled state of a synthetic resin in a mold part for packaging a part of an element such as a semiconductor chip in an electronic component without causing the problems as described above. It is a technical task to provide a method.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「電子部品製造に使用するリードフレ
ームをその長手方向に沿って移送する経路のうち各電子
部品における素子の部分をパッケージする合成樹脂製モ
ールド部の成形工程よりも後方の部位において、前記モ
ールド部における側面の一部に形成される合成樹脂バリ
のうち当該モールド部の成形用金型に設けられているエ
アーベントに隣接する部分に、空洞があるか否かを光透
過型センサーにて検出する。」ことにした。In order to achieve this technical object, the present invention provides "a part of an element in each electronic component in a path for transferring a lead frame used for manufacturing an electronic component along its longitudinal direction. At a location behind the molding step of the synthetic resin mold part to be packaged, among the synthetic resin burrs formed on a part of the side surface of the mold part, to the air vent provided in the molding die of the mold part. The light transmissive sensor detects whether or not there is a cavity in the adjacent area. "
【0007】[0007]
【作 用】一般に、モールド部の成形は、両金型の合
わせ面に凹み形成したモールド部成形用キャビティー内
に、当該キャビティーの一端部に連通する注入用ゲート
から溶融状態の合成樹脂を、キャビティー内における空
気を他端部に連通する微小断面積のエアーベントより大
気中に放出しながら、注入するものであり、この溶融合
成樹脂が、前記エアーベントの部分にまで達すると、こ
の溶融合成樹脂は、エアーベントへの入口において詰ま
って、エアーベントから外への流出が止まることによ
り、以後、当該溶融合成樹脂は、高い圧力に加圧され、
この加圧された状態で硬化すると言う過程をとる。[Operation] Generally, molding of the mold part is performed by molding a synthetic resin in a molten state from an injection gate communicating with one end of the mold part into the mold part molding cavity formed by recessing the mating surfaces of both molds. The air in the cavity is injected into the atmosphere while being released into the atmosphere from an air vent having a minute cross-section communicating with the other end, and when the molten synthetic resin reaches the air vent, The molten synthetic resin is clogged at the inlet to the air vent and stops flowing out from the air vent, so that the molten synthetic resin is thereafter pressurized to a high pressure,
The process of curing in this pressurized state is performed.
【0008】この溶融合成樹脂のキャビティー内への充
填に際して、原料樹脂の不足、原料樹脂を押圧するプラ
ンジャのストローク不足、モールド部成形用キャビティ
ー内への注入用ゲートの詰まり、及び前記モールド部成
形用キャビティー内への注入中における樹脂の硬化等に
よって、前記モールド部成形用キャビティー内への合成
樹脂の充填不足が発生すると、前記エアーベントの部分
に空洞ができることになる。When the molten synthetic resin is filled in the cavity, the raw material resin is insufficient, the stroke of the plunger for pressing the raw material resin is insufficient, the injection gate is clogged in the molding cavity, and the mold portion is filled. When insufficient filling of the synthetic resin into the molding cavity occurs due to resin curing during injection into the molding cavity, a cavity is formed in the air vent.
【0009】すなわち、前記エアーベントの部分に空洞
ができたときは、キャビティー内への溶融合成樹脂の充
填が不完全なときであり、このときには、高い圧力に加
圧することができずに、モールド部の一部に欠けができ
たり、モールド部内に大きな気泡が存在したり、或い
は、モールド部における合成樹脂がリード端子に対して
十分に密着していないと言うことが発生するものと予測
される。That is, when a cavity is formed in the air vent portion, it means that the filling of the molten synthetic resin into the cavity is incomplete. At this time, it is impossible to pressurize to a high pressure, It is expected that a part of the mold part may be chipped, large air bubbles may exist in the mold part, or that the synthetic resin in the mold part is not sufficiently adhered to the lead terminals. It
【0010】そこで、前記したように、モールド部にお
ける側面の一部に形成される合成樹脂バリのうち当該モ
ールド部の成形用金型に設けられているエアーベントに
隣接する部分に、空洞があるか否かを光透過型センサー
にて検出することにより、この光透過型センサーからの
信号によって、モールド部の成形に際して、当該モール
ド部成形用キャビティー内への溶融合成樹脂の充填に未
充填の状態があったか否を、リードフレームの移送中に
おいて、確実に検出することができるのである。Therefore, as described above, among the synthetic resin burrs formed on a part of the side surface of the mold portion, there is a cavity in the portion adjacent to the air vent provided in the molding die of the mold portion. By detecting whether or not it is a light transmission type sensor, by the signal from this light transmission type sensor, at the time of molding of the mold part, the filling of the molten synthetic resin into the cavity for molding the mold part is not filled. Whether or not there is a state can be reliably detected during the transfer of the lead frame.
【0011】[0011]
【発明の効果】このように、本発明によると、リードフ
レームにおける各電子部品のモールド部の成形に際し
て、合成樹脂の充填に未充填の状態があったか否かを、
モールド部の成形後において検出することができるか
ら、この検出によって、モールド部の外観形状を検査す
ることができるばかりか、モールド部の内部における気
泡の状態、及び合成樹脂のリード端子に対する密着性ま
でも検査することが可能であり、しかも、前記の検出を
光透過型センサーによって行うことにより、従来のよう
に、当該モールド部の外観形状を撮影したのちこの画像
を処理する場合よりも遙かに短い時間で検出することが
できて、リードフレームの移送速度を早くすることがで
きるから、これに要するコストを大幅に低減できると言
う効果を有する。As described above, according to the present invention, it is possible to determine whether or not there is an unfilled state of the synthetic resin when molding the mold portion of each electronic component in the lead frame.
Since it can be detected after the molding of the molded part, this detection can not only check the external shape of the molded part, but also the state of bubbles inside the molded part and the adhesion of the synthetic resin to the lead terminals. It is also possible to inspect, and moreover, by performing the above-mentioned detection by a light transmission type sensor, much more than in the conventional case in which this image is processed after the appearance shape of the mold part is photographed. Since the detection can be performed in a short time and the transfer speed of the lead frame can be increased, the cost required for this can be significantly reduced.
【0012】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例を、図1〜図7の図面
について説明する。この図において符号1は、矢印Aで
示すように、長手方向に移送されるフープ状のリードフ
レームを示し、このリードフレーム1には、その左右一
対のサイドフレーム2,3の相互間を連結する各セクシ
ョンバー4間の部位に、一つの電子部品を構成する少な
くとも一対のリード端子5,6が、長手方向に沿って適
宜ピッチの間隔で一体的に造形されており、この両リー
ド端子5,6のうち一方のリード端子5の先端には、半
導体チップ7がマウントされ、この半導体チップ7と他
方のリード端子6の先端との間は、金属線8によるワイ
ヤボンディングにて電気的に接続されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings of FIGS. In the figure, reference numeral 1 indicates a hoop-shaped lead frame which is transported in the longitudinal direction as indicated by an arrow A. The lead frame 1 connects the pair of left and right side frames 2 and 3 to each other. At least a pair of lead terminals 5 and 6 that constitute one electronic component are integrally formed in a portion between the section bars 4 along the longitudinal direction at appropriate pitch intervals. A semiconductor chip 7 is mounted on the tip of one of the lead terminals 5 of 6, and the semiconductor chip 7 and the tip of the other lead terminal 6 are electrically connected by wire bonding with a metal wire 8. ing.
【0013】前記リードフレーム1の移送経路中には、
当該リードフレーム1を挟み付けるようにした上下一対
の成形用金型9,10が配設され、この両成形用金型
9,10の合わせ面には、前記リードフレーム1におけ
る各リード端子5,6の箇所ごとにモールド部成形用キ
ャビティー11,12が凹み形成され、また、両成形用
金型9,10のうち下部金型9の上面には、前記リード
フレーム1の一側縁に沿って延びるランナー溝13と、
このランナー溝13と前記各キャビティー11の一端部
とを連通する注入用ゲート14とが刻設され、更にま
た、両成形用金型9,10のうち上部金型10の下面に
は、前記キャビティー12の他端部に連通する微小断面
積のエアーベント15が、各他方のリード端子6の左右
両側の部位に刻設されている。In the transfer path of the lead frame 1,
A pair of upper and lower molding dies 9, 10 are arranged so as to sandwich the lead frame 1, and the lead terminals 5, 5 of the lead frame 1 are provided on the mating surfaces of the molding dies 9, 10. Mold portions forming cavities 11 and 12 are formed in each of the six positions, and the upper surface of the lower mold 9 of the molding dies 9 and 10 is formed along one side edge of the lead frame 1. Runner groove 13 that extends
An injection gate 14 that communicates the runner groove 13 with one end of each of the cavities 11 is engraved. Furthermore, the lower surface of the upper mold 10 of the molding molds 9 and 10 has the above-mentioned structure. Air vents 15 having a minute cross-sectional area and communicating with the other end of the cavity 12 are formed on the left and right sides of the other lead terminal 6, respectively.
【0014】そして、前記上部金型10に、前記下部金
型9におけるランナー溝13に連通するように穿設した
原料装填室16内に原料樹脂17を装填し、この原料樹
脂17を溶融したのち、前記原料装填室16内に、プラ
ンジャ18を押し込むことにより、溶融合成樹脂は、ラ
ンナー溝13内を通りこれに連通する注入用ゲート14
を介して各キャビティー11,12内に注入される一
方、各キャビティー11,12内における空気は、その
各々に対するエアーベント15から大気中に放出される
から、前記各キャビティー11,12内に、両リード端
子5,6の先端部をパッケージするためのモールド部1
9を成形することができるのである。この場合におい
て、他方のリード端子6おける左右両側には、リードフ
レーム1における厚さと同じ厚さの合成樹脂バリ19
a,19bが同時に成形されることになる。Then, a raw material resin 17 is loaded into a raw material loading chamber 16 which is formed in the upper die 10 so as to communicate with the runner groove 13 in the lower die 9, and the raw material resin 17 is melted. By injecting the plunger 18 into the raw material loading chamber 16, the molten synthetic resin passes through the runner groove 13 and communicates therewith.
While the air is injected into each of the cavities 11 and 12 through the air, the air in each of the cavities 11 and 12 is released into the atmosphere from the air vent 15 for each of the cavities 11 and 12. And a mold part 1 for packaging the tip parts of both lead terminals 5 and 6.
9 can be molded. In this case, the synthetic resin burr 19 having the same thickness as that of the lead frame 1 is provided on both left and right sides of the other lead terminal 6.
Therefore, a and 19b are simultaneously molded.
【0015】すなわち、前記モールド部19の成形は、
両成形用金型9,10の合わせ面に凹み形成したモール
ド部成形用ギャビティー11,12内に、当該キャビテ
ィー11,12の一端部に連通する注入用ゲート14か
ら溶融状態の合成樹脂を、キャビティー11,12内に
おける空気を他端部に連通する微小断面積のエアーベン
ト15より大気中に放出しながら、注入するものであ
り、この溶融合成樹脂が、前記エアーベント15の部分
にまで達すると、この溶融合成樹脂は、エアーベント1
5への入口において詰まって、エアーベント15から外
への流出が止まることにより、以後、当該溶融合成樹脂
は、プランジャ18の更なる押し込みによって、高い圧
力に加圧され、この加圧された状態で硬化すると言う過
程をとるものである。That is, the molding of the mold portion 19 is performed as follows.
A synthetic resin in a molten state is injected from an injection gate 14 communicating with one end of the cavity 11, 12 into a molding portion forming cavity 11, 12 formed in a concave shape on the mating surfaces of the molding dies 9, 10. The air in the cavities 11 and 12 is injected into the atmosphere while being discharged into the atmosphere from an air vent 15 having a minute cross-section communicating with the other end, and the molten synthetic resin reaches the air vent 15 part. When it reaches this molten synthetic resin, the air vent 1
5 is blocked at the inlet to 5 and stops flowing out of the air vent 15, so that the molten synthetic resin is pressed to a high pressure by the further pushing of the plunger 18, and the pressurized state is maintained. It takes the process of curing with.
【0016】この溶融合成樹脂のキャビティー11,1
2内への充填に際して、原料樹脂の不足、原料樹脂を押
圧するプランジャ18のストローク不足、モールド部成
形用キャビティー11,12内への注入用ゲート14の
詰まり、及び前記モールド部成形用キャビティー11,
12内への注入中における樹脂の硬化等によって、前記
モールド部成形用キャビティー11,12内への合成樹
脂の充填不足が発生すると、前記各エアーベント15へ
の入口部分に、図7に二点鎖線で示すように、空洞20
ができることになる。The cavities 11, 1 of this molten synthetic resin
When filling the inside of 2, the raw material resin is insufficient, the stroke of the plunger 18 that presses the raw material resin is insufficient, the injection gate 14 is clogged into the mold portion molding cavities 11 and 12, and the mold portion molding cavity. 11,
When the synthetic resin is insufficiently filled in the molding cavity 11 or 12 due to the curing of the resin during the injection into the inside 12, the air vents 15 are filled with the resin shown in FIG. As shown by the dotted line, the cavity 20
You will be able to
【0017】そこで、この空洞20の有無を、前記リー
ドフレーム1における移送経路のうち前記両成形用金型
9,10よりも後方の部位に配設した発光素子21aと
受光素子21bとから成る光透過型センサー21にて検
出するように構成するのである。これにより、前記光透
過型センサー21からの信号によって、モールド部19
の成形に際して、当該モールド部成形用キャビティー1
1,12内への溶融合成樹脂の充填に未充填の状態があ
ったか否を、リードフレーム1の移送中において、確実
に検出することができるのである。Therefore, the presence / absence of the cavity 20 is detected by a light-emitting element 21a and a light-receiving element 21b which are arranged in a portion of the transfer path of the lead frame 1 behind the molding dies 9, 10. The transmissive sensor 21 is used for detection. As a result, the signal from the light transmissive sensor 21 causes the molded portion 19 to
When molding, the cavity 1 for molding the mold part
It is possible to reliably detect whether or not there is an unfilled state in the filling of the molten synthetic resin into the insides of 1 and 12 during the transfer of the lead frame 1.
【0018】すなわち、モールド部19の成形に際し
て、当該モールド部19における側面の一部に同時に成
形される合成樹脂バリ19a,19bのうち、成形用金
型9,10に設けられている各エアーベント15に隣接
する部分に、空洞20が存在しているか否かを、光透過
型センサー21にて検出することにより、モールド部1
9の外観形状を検査することができるばかりか、モール
ド部19の内部における気泡の状態、及び合成樹脂の各
リード端子5,6に対する密着性までも検査することが
可能である。That is, when molding the mold portion 19, of the synthetic resin burrs 19a and 19b simultaneously molded on a part of the side surface of the mold portion 19, each air vent provided in the molding dies 9 and 10. The light transmissive sensor 21 detects whether or not the cavity 20 exists in the portion adjacent to the mold portion 1,
Not only can the external shape of 9 be inspected, but also the state of bubbles inside the mold part 19 and the adhesion of the synthetic resin to the lead terminals 5, 6 can be inspected.
【0019】なお、前記実施例は、モールド部19の成
形時に発生する合成樹脂バリ19a,19bを、リード
フレーム1における一方のサイドフレーム3と各セクシ
ョンバー4とによって成形する場合を示したが、本発明
は、これに限らず、モールド部における合成樹脂バリ
を、リード端子とセクションバーとの間に一体的に設け
たダムバーによって成形するとか、或いは、リード端子
が複数本の場合には、その各リード端子の間に一体的に
設けたダムバーによって成形する場合にも適用できるこ
とは言うまでもない。In the above embodiment, the synthetic resin burrs 19a and 19b generated at the time of molding the mold portion 19 are molded by the one side frame 3 and each section bar 4 of the lead frame 1. The present invention is not limited to this, the synthetic resin burr in the molding portion is formed by a dam bar integrally provided between the lead terminal and the section bar, or when there are a plurality of lead terminals, It goes without saying that the present invention can also be applied to the case of molding with a dam bar integrally provided between the lead terminals.
【図1】本発明の実施例を示す全体の斜視図である。FIG. 1 is an overall perspective view showing an embodiment of the present invention.
【図2】図1のII−II視拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along line II-II of FIG.
【図3】図2のIII −III 視平面図である。FIG. 3 is a plan view taken along the line III-III in FIG.
【図4】一対の成形用金型にてリードフレームを挟み付
け状態の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a lead frame sandwiched between a pair of molding dies.
【図5】モールド部を成形している状態の断面図であ
る。FIG. 5 is a cross-sectional view of a state in which a mold portion is being molded.
【図6】図1のVI−VI視拡大断面図である。6 is an enlarged sectional view taken along line VI-VI of FIG.
【図7】図6の平面図である。FIG. 7 is a plan view of FIG.
1 リードフレーム 2,3 サイドフレーム 4 セクションバー 5,6 リード端子 7 半導体チップ 8 金属線 9,10 成形用金型 11,12 モールド部成形用キャビティー 13 ランナー溝 14 注入用ゲート 15 エアーベント 16 原料装填室 18 プランジャ 19 モールド部 19a,19b 合成樹脂バリ 20 空洞 21 光透過型センサー 1 lead frame 2,3 side frame 4 section bar 5,6 lead terminal 7 semiconductor chip 8 metal wire 9,10 molding die 11,12 mold cavity 13 runner groove 14 injection gate 15 air vent 16 raw material Loading chamber 18 Plunger 19 Mold part 19a, 19b Synthetic resin burr 20 Cavity 21 Light transmission type sensor
Claims (1)
その長手方向に沿って移送する経路のうち各電子部品に
おける素子の部分をパッケージする合成樹脂製モールド
部の成形工程よりも後方の部位において、前記モールド
部における側面の一部に形成される合成樹脂バリのうち
当該モールド部の成形用金型に設けられているエアーベ
ントに隣接する部分に、空洞があるか否かを光透過型セ
ンサーにて検出することを特徴とするパッケージ型電子
部品におけるモールド部の未充填検査方法。1. A portion of a path for transporting a lead frame used for manufacturing an electronic component along its longitudinal direction, which is behind a molding step of a synthetic resin mold portion for packaging a portion of an element in each electronic component, Among the synthetic resin burrs formed on a part of the side surface of the mold portion, a light transmissive sensor determines whether or not there is a cavity in a portion adjacent to the air vent provided in the molding die of the mold portion. A method for inspecting unfilling of a mold part in a package type electronic component, which is characterized in that
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2091194A JPH07231005A (en) | 1994-02-18 | 1994-02-18 | Inspecting method for uncharging of molded part for package type electronic element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2091194A JPH07231005A (en) | 1994-02-18 | 1994-02-18 | Inspecting method for uncharging of molded part for package type electronic element |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07231005A true JPH07231005A (en) | 1995-08-29 |
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Family Applications (1)
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JP2091194A Pending JPH07231005A (en) | 1994-02-18 | 1994-02-18 | Inspecting method for uncharging of molded part for package type electronic element |
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Country | Link |
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1994
- 1994-02-18 JP JP2091194A patent/JPH07231005A/en active Pending
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