JPH0722485Y2 - 速度制御機構を有する流体圧シリンダ - Google Patents
速度制御機構を有する流体圧シリンダInfo
- Publication number
- JPH0722485Y2 JPH0722485Y2 JP1207891U JP1207891U JPH0722485Y2 JP H0722485 Y2 JPH0722485 Y2 JP H0722485Y2 JP 1207891 U JP1207891 U JP 1207891U JP 1207891 U JP1207891 U JP 1207891U JP H0722485 Y2 JPH0722485 Y2 JP H0722485Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- rod
- fluid pressure
- pressure cylinder
- speed control
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、速度制御機構を有する
流体圧シリンダに関するものである。
流体圧シリンダに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】本出願の出願人は、先に、実願平２−８
９８００号及び実願平２−９７７９６号において、速度
制御機構を有する流体圧シリンダを提案した。
９８００号及び実願平２−９７７９６号において、速度
制御機構を有する流体圧シリンダを提案した。
【０００３】これら既提案の流体圧シリンダは、簡単な
構成によってピストンの速度を滑らかに変化させること
ができるので、急激な速度変動によって破損し易い半導
体ウエハ等の移動に好適であるが、前者は、ピストンの
速度を両方向のストロークにおいて制御すると流体圧シ
リンダの全長が長くなり、後者は、ピストンと２個のガ
イドロッドを並設するために軸方向と直交する方向の幅
が大きくなり、かつ小形化すると、ピストン及びガイド
ロッド内に形設した軸方向流路の加工が困難になる。
構成によってピストンの速度を滑らかに変化させること
ができるので、急激な速度変動によって破損し易い半導
体ウエハ等の移動に好適であるが、前者は、ピストンの
速度を両方向のストロークにおいて制御すると流体圧シ
リンダの全長が長くなり、後者は、ピストンと２個のガ
イドロッドを並設するために軸方向と直交する方向の幅
が大きくなり、かつ小形化すると、ピストン及びガイド
ロッド内に形設した軸方向流路の加工が困難になる。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】本考案が解決しようと
する課題は、コンパクトでかつ小形化できる速度制御機
構を有する流体圧シリンダを提供することにある。
する課題は、コンパクトでかつ小形化できる速度制御機
構を有する流体圧シリンダを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本考案の速度制御機構を有する流体圧シリンダは、
一対のシリンダを並設したボディと、これらのシリンダ
の両端に設けたカバーと、上記シリンダ内を往復動する
ピストン及びロッドと、これらのロッドをボディ外にお
いて連結したプレートとを備え、一対のポートから各ピ
ストンで区画された圧力室に圧力流体を給排して、ピス
トン及びロッドを一体に往復動させる流体圧シリンダに
おいて、対角位置にある一組のカバーが、上記ポートに
連通して圧力室側が開口する流路と、該流路の開口に設
けたロッドの外周面に当接するリングを有し、上記ロッ
ドの一方が先端に設けたピストン側を、ロッドの他方が
中間に設けたピストン側をそれぞれ始端として、ピスト
ンのストロークに略等しい軸方向長さを有し断面積が滑
らかに変化する溝を備えていることを特徴としている。
め、本考案の速度制御機構を有する流体圧シリンダは、
一対のシリンダを並設したボディと、これらのシリンダ
の両端に設けたカバーと、上記シリンダ内を往復動する
ピストン及びロッドと、これらのロッドをボディ外にお
いて連結したプレートとを備え、一対のポートから各ピ
ストンで区画された圧力室に圧力流体を給排して、ピス
トン及びロッドを一体に往復動させる流体圧シリンダに
おいて、対角位置にある一組のカバーが、上記ポートに
連通して圧力室側が開口する流路と、該流路の開口に設
けたロッドの外周面に当接するリングを有し、上記ロッ
ドの一方が先端に設けたピストン側を、ロッドの他方が
中間に設けたピストン側をそれぞれ始端として、ピスト
ンのストロークに略等しい軸方向長さを有し断面積が滑
らかに変化する溝を備えていることを特徴としている。
【０００６】また、同様の課題を解決するため、溝の断
面積を、両端から中央に向けて漸次増加させ、或いは正
弦曲線状に変化させるとよい。
面積を、両端から中央に向けて漸次増加させ、或いは正
弦曲線状に変化させるとよい。
【０００７】
【作用】圧力室への圧力流体の給排によって一対のピス
トンが移動すると、圧力室の流体は、ロッドの外周面に
当接するリングによって、ロッドの軸方向に設けた溝を
通って外部に流出する。
トンが移動すると、圧力室の流体は、ロッドの外周面に
当接するリングによって、ロッドの軸方向に設けた溝を
通って外部に流出する。
【０００８】この場合、溝の断面積が滑らかに変化する
ために、ピストンの速度が急激に変動することなく、し
かもストローク時間を短縮することができる。
ために、ピストンの速度が急激に変動することなく、し
かもストローク時間を短縮することができる。
【０００９】また、溝の断面積を、両端から中央に向け
て漸次増加させ、または正弦曲線状に変化させたので、
ピストンの起動及び停止時の速度が小さく、中間部分の
速度を大きくすることができる。
て漸次増加させ、または正弦曲線状に変化させたので、
ピストンの起動及び停止時の速度が小さく、中間部分の
速度を大きくすることができる。
【００１０】さらに、ピストンの両方向ストロークにお
ける速度制御を、各ロッドにそれぞれ設けた溝によって
行うために、シリンダの軸方向長さと幅が短くなって、
全体をコンパクトにすることができる。
ける速度制御を、各ロッドにそれぞれ設けた溝によって
行うために、シリンダの軸方向長さと幅が短くなって、
全体をコンパクトにすることができる。
【００１１】また、ロッド等の内部に軸方向の流路を形
設する必要がないので、流路の加工が容易になって小形
化することができる。
設する必要がないので、流路の加工が容易になって小形
化することができる。
【００１２】
【実施例】図は本考案の実施例を示し、この速度制御機
構を有する流体圧シリンダのボディ１は、平行に形設し
たシリンダ２ａ，２ｂを備え、これらのシリンダの両端
にヘッドカバー３ａ，３ｂとロッドカバー４ａ，４ｂが
取付けられており、シリンダ２ａ内を往復動するピスト
ン５ａにはロッド６の一端が取付けられ、シリンダ２ｂ
内を往復動するピストン５ｂは、螺着等の適宜の手段に
よって一体に連結されたロッド７ａ，７ｂの間に挟持さ
れ、ロッド６とロッド７ｂの先端はシリンダ外において
プレート８で連結され、シリンダ２ａと２ｂは、ピスト
ン５ａと５ｂによって、圧力室９ａ，１０ａと９ｂ，１
０ｂに区画されている。
構を有する流体圧シリンダのボディ１は、平行に形設し
たシリンダ２ａ，２ｂを備え、これらのシリンダの両端
にヘッドカバー３ａ，３ｂとロッドカバー４ａ，４ｂが
取付けられており、シリンダ２ａ内を往復動するピスト
ン５ａにはロッド６の一端が取付けられ、シリンダ２ｂ
内を往復動するピストン５ｂは、螺着等の適宜の手段に
よって一体に連結されたロッド７ａ，７ｂの間に挟持さ
れ、ロッド６とロッド７ｂの先端はシリンダ外において
プレート８で連結され、シリンダ２ａと２ｂは、ピスト
ン５ａと５ｂによって、圧力室９ａ，１０ａと９ｂ，１
０ｂに区画されている。
【００１３】ロッド６と７ａは、ピストン５ａ，５ｂの
取付側を始端として、ピストンのストロークに略等しい
軸方向長さの溝１２ａ，１２ｂを備え、これらの溝１２
ａ，１２ｂは、軸方向の幅が等しくかつその深さを中央
が深い正弦曲線状にしたことによって、軸方向断面積が
正弦曲線状に変化するものとして構成されている。しか
しながら、溝１２ａ，１２ｂはこれに限定されるもので
はなく、軸方向の断面積が滑らかに変化するものであれ
ばよく、また複数設けてもよい。
取付側を始端として、ピストンのストロークに略等しい
軸方向長さの溝１２ａ，１２ｂを備え、これらの溝１２
ａ，１２ｂは、軸方向の幅が等しくかつその深さを中央
が深い正弦曲線状にしたことによって、軸方向断面積が
正弦曲線状に変化するものとして構成されている。しか
しながら、溝１２ａ，１２ｂはこれに限定されるもので
はなく、軸方向の断面積が滑らかに変化するものであれ
ばよく、また複数設けてもよい。
【００１４】ロッドカバー４ａとヘッドカバー３ｂは、
いずれもピストンのストローク長さに略等しい軸方向長
さを有し、ロッド６と７ａが遊挿される軸方向の孔と、
圧力室１０ａと９ｂ側が開口する流路１３ａと１３ｂと
を備え、流路１３ａと１３ｂの開口にロッド６と７ａの
外周面に当接するリング１４ａと１４ｂが取付けられて
おり、流路１３ａと１３ｂは、ボディ１に形設したポー
ト１５ａと１５ｂにそれぞれ連通している。
いずれもピストンのストローク長さに略等しい軸方向長
さを有し、ロッド６と７ａが遊挿される軸方向の孔と、
圧力室１０ａと９ｂ側が開口する流路１３ａと１３ｂと
を備え、流路１３ａと１３ｂの開口にロッド６と７ａの
外周面に当接するリング１４ａと１４ｂが取付けられて
おり、流路１３ａと１３ｂは、ボディ１に形設したポー
ト１５ａと１５ｂにそれぞれ連通している。
【００１５】また、ロッドカバー４ａとヘッドカバー３
ｂは、外周面の凹みによって軸方向の流路１６ａ，１６
ｂが形成され、流路１６ａ，１６ｂの一端はカバー４
ａ，３ｂに形設した通路１７ａ，・・、１７ｂ，・・に
よって圧力室１０ａ，９ｂに連通し、他端はボディ１に
形設した通路１８ａ，１８ｂによって圧力室１０ｂ，９
ａに連通している。したがって、圧力室１０ａと１０ｂ
及び９ａと９ｂは、通路１７ａ，１７ｂ、流路１６ａ，
１６ｂ、及び通路１８ａ，１８ｂによって相互に連通し
ている。
ｂは、外周面の凹みによって軸方向の流路１６ａ，１６
ｂが形成され、流路１６ａ，１６ｂの一端はカバー４
ａ，３ｂに形設した通路１７ａ，・・、１７ｂ，・・に
よって圧力室１０ａ，９ｂに連通し、他端はボディ１に
形設した通路１８ａ，１８ｂによって圧力室１０ｂ，９
ａに連通している。したがって、圧力室１０ａと１０ｂ
及び９ａと９ｂは、通路１７ａ，１７ｂ、流路１６ａ，
１６ｂ、及び通路１８ａ，１８ｂによって相互に連通し
ている。
【００１６】図１は、切換弁２０からポート１５ａを介
して圧力室１０ａ，１０ｂに圧縮空気が供給され、圧力
室９ａ，９ｂの空気がポート１５ｂと切換弁２０を介し
て外部に排出された状態を示し、ピストン５ａ，５ｂは
右動ストロークの終端位置にある。
して圧力室１０ａ，１０ｂに圧縮空気が供給され、圧力
室９ａ，９ｂの空気がポート１５ｂと切換弁２０を介し
て外部に排出された状態を示し、ピストン５ａ，５ｂは
右動ストロークの終端位置にある。
【００１７】切換弁２０のソレノイドの励磁により、ポ
ート１５ｂから圧縮空気を圧力室９ａ，９ｂに供給する
とともに、ポート１５ａから圧力室１０ａ，１０ｂの空
気を排出すると、ピストン５ａ，５ｂが図において左動
する。この場合、ピストン５ａ，５ｂは、ストローク当
初は溝１２ａ，１２ｂの断面積が小さいために低速で起
動し、ストロークに伴って溝１２ａ，１２ｂの断面積が
漸次増加するので、その速度が滑らかに増加する。ピス
トン５ａ，５ｂがストロークの中央位置を過ぎると、溝
１２ａ，１２ｂの断面積が漸次減少するので、ピストン
５ａ，５ｂの速度が滑らかに減少して左動ストローク終
端位置に停止する。
ート１５ｂから圧縮空気を圧力室９ａ，９ｂに供給する
とともに、ポート１５ａから圧力室１０ａ，１０ｂの空
気を排出すると、ピストン５ａ，５ｂが図において左動
する。この場合、ピストン５ａ，５ｂは、ストローク当
初は溝１２ａ，１２ｂの断面積が小さいために低速で起
動し、ストロークに伴って溝１２ａ，１２ｂの断面積が
漸次増加するので、その速度が滑らかに増加する。ピス
トン５ａ，５ｂがストロークの中央位置を過ぎると、溝
１２ａ，１２ｂの断面積が漸次減少するので、ピストン
５ａ，５ｂの速度が滑らかに減少して左動ストローク終
端位置に停止する。
【００１８】切換弁２０を切換えてポート１５ａから圧
力室１０ａ，１０ｂに圧縮空気を供給すると、ピストン
５ａ，５ｂが図において右動する。この場合のピストン
５ａ，５ｂの速度変化は、左動の場合と同じであるか
ら、詳細な説明は省略する。
力室１０ａ，１０ｂに圧縮空気を供給すると、ピストン
５ａ，５ｂが図において右動する。この場合のピストン
５ａ，５ｂの速度変化は、左動の場合と同じであるか
ら、詳細な説明は省略する。
【００１９】上記実施例は、平行に設けたロッド６，７
ａに、それぞれ軸方向の溝１２ａ，１２ｂを設けたため
に、１個のピストンの両側のロッド等にそれぞれ溝を設
ける場合に比べて、全体の軸方向長さが短くなって、流
体圧シリンダをコンパクトにすることができる。
ａに、それぞれ軸方向の溝１２ａ，１２ｂを設けたため
に、１個のピストンの両側のロッド等にそれぞれ溝を設
ける場合に比べて、全体の軸方向長さが短くなって、流
体圧シリンダをコンパクトにすることができる。
【００２０】またピストン５ａ，５ｂを並設したのみで
あるから、軸方向と直交する方向の幅が短く、かつロッ
ド等に軸方向の流路を内設する必要がないので、流路の
加工が簡単で小形化することができる。
あるから、軸方向と直交する方向の幅が短く、かつロッ
ド等に軸方向の流路を内設する必要がないので、流路の
加工が簡単で小形化することができる。
【００２１】
【考案の効果】本考案の速度制御機構を有する流体圧シ
リンダは、並設した一対のシリンダ内を往復動するピス
トンのロッドが、それぞれ断面積が滑らかに変化する軸
方向を備えているので、ピストンの両方向ストロークに
おいてその速度が急激に変動しない流体圧シリンダの全
長が短くなって、コンパクトにすることができる。
リンダは、並設した一対のシリンダ内を往復動するピス
トンのロッドが、それぞれ断面積が滑らかに変化する軸
方向を備えているので、ピストンの両方向ストロークに
おいてその速度が急激に変動しない流体圧シリンダの全
長が短くなって、コンパクトにすることができる。
【００２２】また、軸方向と直交する方向の幅が小さ
く、かつ流路の加工が容易なため、小形化することがで
きる。
く、かつ流路の加工が容易なため、小形化することがで
きる。
【図１】本考案の実施例の断面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
１ ボディ ２ａ，２ｂ シリンダ ３ａ，３ｂ ヘッドカバー ４ａ，４ｂ ロッドカバー ５ａ，５ｂ ピストン ６，７ａ，７ｂ ロッド ８ プレート ９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂ 圧力室 １２ａ，１２ｂ 溝 １３ａ，１３ｂ 流路 １４ａ，１４ｂ リング １５ａ，１５ｂ ポート
Claims (3)
- 【請求項１】 一対のシリンダを並設したボディと、こ
れらのシリンダの両端に設けたカバーと、上記シリンダ
内を往復動するピストン及びロッドと、これらのロッド
をボディ外において連結したプレートとを備え、一対の
ポートから各ピストンで区画された圧力室に圧力流体を
給排して、ピストン及びロッドを一体に往復動させる流
体圧シリンダにおいて、対角位置にある一組のカバー
が、上記ポートに連通して圧力室側が開口する流路と、
該流路の開口に設けたロッドの外周面に当接するリング
を有し、上記ロッドの一方が先端に設けたピストン側
を、ロッドの他方が中間に設けたピストン側をそれぞれ
始端として、ピストンのストロークに略等しい軸方向長
さを有し断面積が滑らかに変化する溝を備えている、こ
とを特徴とする速度制御機構を有する流体圧シリンダ。 - 【請求項２】 溝の断面積を、両端から中央に向けて漸
次増加させた、ことを特徴とする請求項１に記載した速
度制御機構を有する流体圧シリンダ。 - 【請求項３】 溝の断面積を、正弦曲線状に変化させ
た、ことを特徴とする請求項２に記載した速度制御機構
を有する流体圧シリンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1207891U JPH0722485Y2 (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 速度制御機構を有する流体圧シリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1207891U JPH0722485Y2 (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 速度制御機構を有する流体圧シリンダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04101807U JPH04101807U (ja) | 1992-09-02 |
| JPH0722485Y2 true JPH0722485Y2 (ja) | 1995-05-24 |
Family
ID=31745806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1207891U Expired - Lifetime JPH0722485Y2 (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 速度制御機構を有する流体圧シリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722485Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-12 JP JP1207891U patent/JPH0722485Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04101807U (ja) | 1992-09-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |