JPH04101807U - 速度制御機構を有する流体圧シリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ピストンの速度が滑らかに変化する速度制御
機構を有する流体圧シリンダを、コンパクトでかつ小形
化可能にする。 【構成】 ボディ１にシリンダ２ａ，２ｂを並設し、ピ
ストン５ａのロッド６とピストン５ｂのロッド７ａに、
ピストンのストロークに略等しい長さで断面積が正弦曲
線状に変化する溝１２ａと１２ｂを形設し、ロッドカバ
ー４ａとヘッドカバー３ｂに、ポート１５ａ，１５ｂと
圧力室１０ａ，９ｂを連通させる流路１３ａ，１３ｂを
設け、これらの流路の圧力室側に、ロッド６と７ａの外
周面に当接するリング１４ａ，１４ｂを取付ける。 【効果】 ロッドの軸方向長さが短くなってシリンダ全
体がコンパクトになり、かつ流路の形成が容易で小形化
することができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、速度制御機構を有する流体圧シリンダに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

本出願の出願人は、先に、実願平２−８９８００号及び実願平２−９７７９６ 号において、速度制御機構を有する流体圧シリンダを提案した。

【０００３】 これら既提案の流体圧シリンダは、簡単な構成によってピストンの速度を滑ら かに変化させることができるので、急激な速度変動によって破損し易い半導体ウ エハ等の移動に好適であるが、前者は、ピストンの速度を両方向のストロークに おいて制御すると流体圧シリンダの全長が長くなり、後者は、ピストンと２個の ガイドロッドを並設するために軸方向と直交する方向の幅が大きくなり、かつ小 形化すると、ピストン及びガイドロッド内に形設した軸方向流路の加工が困難に なる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

本考案が解決しようとする課題は、コンパクトでかつ小形化できる速度制御機 構を有する流体圧シリンダを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するため、本考案の速度制御機構を有する流体圧シリンダは、 一対のシリンダを並設したボディと、これらのシリンダの両端に設けたカバーと 、上記シリンダ内を往復動するピストン及びロッドと、これらのロッドをボディ 外において連結したプレートとを備え、一対のポートから各ピストンで区画され た圧力室に圧力流体を給排して、ピストン及びロッドを一体に往復動させる流体 圧シリンダにおいて、対角位置にある一組のカバーが、上記ポートに連通して圧 力室側が開口する流路と、該流路の開口に設けたロッドの外周面に当接するリン グを有し、上記ロッドの一方が先端に設けたピストン側を、ロッドの他方が中間 に設けたピストン側をそれぞれ始端として、ピストンのストロークに略等しい軸 方向長さを有し断面積が滑らかに変化する溝を備えていることを特徴としている 。

【０００６】 また、同様の課題を解決するため、溝の断面積を、両端から中央に向けて漸次 増加させ、或いは正弦曲線状に変化させるとよい。

【０００７】

【作用】

圧力室への圧力流体の給排によって一対のピストンが移動すると、圧力室の流 体は、ロッドの外周面に当接するリングによって、ロッドの軸方向に設けた溝を 通って外部に流出する。

【０００８】 この場合、溝の断面積が滑らかに変化するために、ピストンの速度が急激に変 動することなく、しかもストローク時間を短縮することができる。

【０００９】 また、溝の断面積を、両端から中央に向けて漸次増加させ、または正弦曲線状 に変化させたので、ピストンの起動及び停止時の速度が小さく、中間部分の速度 を大きくすることができる。

【００１０】 さらに、ピストンの両方向ストロークにおける速度制御を、各ロッドにそれぞ れ設けた溝によって行うために、シリンダの軸方向長さと幅が短くなって、全体 をコンパクトにすることができる。

【００１１】 また、ロッド等の内部に軸方向の流路を形設する必要がないので、流路の加工 が容易になって小形化することができる。

【００１２】

【実施例】

図は本考案の実施例を示し、この速度制御機構を有する流体圧シリンダのボデ ィ１は、平行に形設したシリンダ２ａ，２ｂを備え、これらのシリンダの両端に ヘッドカバー３ａ，３ｂとロッドカバー４ａ，４ｂが取付けられており、シリン ダ２ａ内を往復動するピストン５ａにはロッド６の一端が取付けられ、シリンダ ２ｂ内を往復動するピストン５ｂは、螺着等の適宜の手段によって一体に連結さ れたロッド７ａ，７ｂの間に挟持され、ロッド６とロッド７ｂの先端はシリンダ 外においてプレート８で連結され、シリンダ２ａと２ｂは、ピストン５ａと５ｂ によって、圧力室９ａ，１０ａと９ｂ，１０ｂに区画されている。

【００１３】 ロッド６と７ａは、ピストン５ａ，５ｂの取付側を始端として、ピストンのス トロークに略等しい軸方向長さの溝１２ａ，１２ｂを備え、これらの溝１２ａ， １２ｂは、軸方向の幅が等しくかつその深さを中央が深い正弦曲線状にしたこと によって、軸方向断面積が正弦曲線状に変化するものとして構成されている。し かしながら、溝１２ａ，１２ｂはこれに限定されるものではなく、軸方向の断面 積が滑らかに変化するものであればよく、また複数設けてもよい。

【００１４】 ロッドカバー４ａとヘッドカバー３ｂは、いずれもピストンのストローク長さ に略等しい軸方向長さを有し、ロッド６と７ａが遊挿される軸方向の孔と、圧力 室１０ａと９ｂ側が開口する流路１３ａと１３ｂとを備え、流路１３ａと１３ｂ の開口にロッド６と７ａの外周面に当接するリング１４ａと１４ｂが取付けられ ており、流路１３ａと１３ｂは、ボディ１に形設したポート１５ａと１５ｂにそ れぞれ連通している。

【００１５】 また、ロッドカバー４ａとヘッドカバー３ｂは、外周面の凹みによって軸方向 の流路１６ａ，１６ｂが形成され、流路１６ａ，１６ｂの一端はカバー４ａ，３ ｂに形設した通路１７ａ，・・、１７ｂ，・・によって圧力室１０ａ，９ｂに連 通し、他端はボディ１に形設した通路１８ａ，１８ｂによって圧力室１０ｂ，９ ａに連通している。したがって、圧力室１０ａと１０ｂ及び９ａと９ｂは、通路 １７ａ，１７ｂ、流路１６ａ，１６ｂ、及び通路１８ａ，１８ｂによって相互に 連通している。

【００１６】 図１は、切換弁２０からポート１５ａを介して圧力室１０ａ，１０ｂに圧縮空 気が供給され、圧力室９ａ，９ｂの空気がポート１５ｂと切換弁２０を介して外 部に排出された状態を示し、ピストン５ａ，５ｂは右動ストロークの終端位置に ある。

【００１７】 切換弁２０のソレノイドの励磁により、ポート１５ｂから圧縮空気を圧力室９ ａ，９ｂに供給するとともに、ポート１５ａから圧力室１０ａ，１０ｂの空気を 排出すると、ピストン５ａ，５ｂが図において左動する。この場合、ピストン５ ａ，５ｂは、ストローク当初は溝１２ａ，１２ｂの断面積が小さいために低速で 起動し、ストロークに伴って溝１２ａ，１２ｂの断面積が漸次増加するので、そ の速度が滑らかに増加する。ピストン５ａ，５ｂがストロークの中央位置を過ぎ ると、溝１２ａ，１２ｂの断面積が漸次減少するので、ピストン５ａ，５ｂの速 度が滑らかに減少して左動ストローク終端位置に停止する。

【００１８】 切換弁２０を切換えてポート１５ａから圧力室１０ａ，１０ｂに圧縮空気を供 給すると、ピストン５ａ，５ｂが図において右動する。この場合のピストン５ａ ，５ｂの速度変化は、左動の場合と同じであるから、詳細な説明は省略する。

【００１９】 上記実施例は、平行に設けたロッド６，７ａに、それぞれ軸方向の溝１２ａ， １２ｂを設けたために、１個のピストンの両側のロッド等にそれぞれ溝を設ける 場合に比べて、全体の軸方向長さが短くなって、流体圧シリンダをコンパクトに することができる。

【００２０】 またピストン５ａ，５ｂを並設したのみであるから、軸方向と直交する方向の 幅が短く、かつロッド等に軸方向の流路を内設する必要がないので、流路の加工 が簡単で小形化することができる。

【００２１】

【考案の効果】 本考案の速度制御機構を有する流体圧シリンダは、並設した一対のシリンダ内 を往復動するピストンのロッドが、それぞれ断面積が滑らかに変化する軸方向を 備えているので、ピストンの両方向ストロークにおいてその速度が急激に変動し ない流体圧シリンダの全長が短くなって、コンパクトにすることができる。

【００２２】 また、軸方向と直交する方向の幅が小さく、かつ流路の加工が容易なため、小 形化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の断面図である。

【図２】図１の要部拡大図である。

【符号の説明】

１ ボディ ２ａ，２ｂ シリンダ ３ａ，３ｂ ヘッドカバー ４ａ，４ｂ ロッドカバー ５ａ，５ｂ ピストン ６，７ａ，７ｂ ロッド ８ プレート ９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂ 圧力室 １２ａ，１２ｂ 溝 １３ａ，１３ｂ 流路 １４ａ，１４ｂ リング １５ａ，１５ｂ ポート

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対のシリンダを並設したボディと、こ
   れらのシリンダの両端に設けたカバーと、上記シリンダ
   内を往復動するピストン及びロッドと、これらのロッド
   をボディ外において連結したプレートとを備え、一対の
   ポートから各ピストンで区画された圧力室に圧力流体を
   給排して、ピストン及びロッドを一体に往復動させる流
   体圧シリンダにおいて、対角位置にある一組のカバー
   が、上記ポートに連通して圧力室側が開口する流路と、
   該流路の開口に設けたロッドの外周面に当接するリング
   を有し、上記ロッドの一方が先端に設けたピストン側
   を、ロッドの他方が中間に設けたピストン側をそれぞれ
   始端として、ピストンのストロークに略等しい軸方向長
   さを有し断面積が滑らかに変化する溝を備えている、こ
   とを特徴とする速度制御機構を有する流体圧シリンダ。
2. 【請求項２】 溝の断面積を、両端から中央に向けて漸
   次増加させた、ことを特徴とする請求項１に記載した速
   度制御機構を有する流体圧シリンダ。
3. 【請求項３】 溝の断面積を、正弦曲線状に変化させ
   た、ことを特徴とする請求項２に記載した速度制御機構
   を有する流体圧シリンダ。