JPH07224807A - シリンダ装置 - Google Patents
シリンダ装置Info
- Publication number
- JPH07224807A JPH07224807A JP1678894A JP1678894A JPH07224807A JP H07224807 A JPH07224807 A JP H07224807A JP 1678894 A JP1678894 A JP 1678894A JP 1678894 A JP1678894 A JP 1678894A JP H07224807 A JPH07224807 A JP H07224807A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- cylinder
- air
- outer peripheral
- piston rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Actuator (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】より低い推力でより高速度の動作が可能なシリ
ンダ装置を提供する。 【構成】このシリンダ装置は、シリンダ１内に摺動可能
に嵌挿されたピストン２と、ピストン２の外周部に設け
られ、シリンダ１内に供給された圧力空気をシリンダ内
周面に噴出して静圧軸受を形成する静圧軸受部１０とを
有する。さらに、ピストン２に連結されたピストンロッ
ド３には、静圧軸受部１０から噴出した静圧軸受用の空
気を排出するための排気通路１４が設けられる。
ンダ装置を提供する。 【構成】このシリンダ装置は、シリンダ１内に摺動可能
に嵌挿されたピストン２と、ピストン２の外周部に設け
られ、シリンダ１内に供給された圧力空気をシリンダ内
周面に噴出して静圧軸受を形成する静圧軸受部１０とを
有する。さらに、ピストン２に連結されたピストンロッ
ド３には、静圧軸受部１０から噴出した静圧軸受用の空
気を排出するための排気通路１４が設けられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、比較的低い推力で、且
つ高速度で動作する静圧軸受型のシリンダ装置に関す
る。
つ高速度で動作する静圧軸受型のシリンダ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】この種のシリンダ装置として、従来、ピ
ストンの外周部に静圧軸受部を設け、ピストンの摺動部
分に空気の静圧を印加して摺動抵抗を減少させ、比較的
低い推力で動作する静圧軸受型のシリンダ装置が知られ
ている。
ストンの外周部に静圧軸受部を設け、ピストンの摺動部
分に空気の静圧を印加して摺動抵抗を減少させ、比較的
低い推力で動作する静圧軸受型のシリンダ装置が知られ
ている。
【０００３】このシリンダ装置は、図５に示すように、
シリンダチューブ３１内に嵌挿されたピストン３２内
に、静圧軸受用の通気室３３を設けると共に、ピストン
３２の外周部に多孔質金属等からなるポーラス円筒３４
を配設し、ピストン３２に連結されたピストンロッド３
５内に、静圧軸受用の給気通路３６を設けて構成され
る。
シリンダチューブ３１内に嵌挿されたピストン３２内
に、静圧軸受用の通気室３３を設けると共に、ピストン
３２の外周部に多孔質金属等からなるポーラス円筒３４
を配設し、ピストン３２に連結されたピストンロッド３
５内に、静圧軸受用の給気通路３６を設けて構成され
る。
【０００４】そして、このシリンダ装置は、シリンダチ
ューブ３１の両端を閉鎖するエンドカバー３７、ロッド
カバー３８に設けた給排気ポート３９、４０から給排気
を行うことによって、ピストン３２が移動し、このと
き、ピストンロッド３５内の給気通路からピストン３２
内の通気室３３及びポーラス円筒３４内を通して、ピス
トン３２の周囲に空気が噴出され、これによって、ピス
トン３２の外周部に静圧軸受を生じさせ、摺動抵抗を減
少させるように動作する。
ューブ３１の両端を閉鎖するエンドカバー３７、ロッド
カバー３８に設けた給排気ポート３９、４０から給排気
を行うことによって、ピストン３２が移動し、このと
き、ピストンロッド３５内の給気通路からピストン３２
内の通気室３３及びポーラス円筒３４内を通して、ピス
トン３２の周囲に空気が噴出され、これによって、ピス
トン３２の外周部に静圧軸受を生じさせ、摺動抵抗を減
少させるように動作する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この種の従来
のシリンダ装置は、静圧軸受用の給気をピストンロッド
内に設けた給気通路３６を通して行うため、ピストンロ
ッド３５の先端に給気用ホースが接続され、この給気用
ホースが、低推力で動くピストンロッド３５の高速運動
を阻害する問題があった。
のシリンダ装置は、静圧軸受用の給気をピストンロッド
内に設けた給気通路３６を通して行うため、ピストンロ
ッド３５の先端に給気用ホースが接続され、この給気用
ホースが、低推力で動くピストンロッド３５の高速運動
を阻害する問題があった。
【０００６】また、静圧軸受用の圧力空気は、ポーラス
円筒３４からシリンダ室内に流入し、給排気ポート３９
又は４０から排気されることになるため、給排気ポート
の排気圧力が増大して排気効率が悪化し、ピストンロッ
ドの高速動作が阻害される問題があった。
円筒３４からシリンダ室内に流入し、給排気ポート３９
又は４０から排気されることになるため、給排気ポート
の排気圧力が増大して排気効率が悪化し、ピストンロッ
ドの高速動作が阻害される問題があった。
【０００７】本発明は、上記の点に鑑みてなされたもの
で、より低い推力でより高速度の動作が可能なシリンダ
装置を提供することを目的とする。
で、より低い推力でより高速度の動作が可能なシリンダ
装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のシリンダ装置は、シリンダと、シリンダ内
に摺動可能に嵌挿されたピストンと、ピストンの外周部
に設けられ、シリンダ内に供給された圧力空気をシリン
ダ内周面に噴出して静圧軸受を形成する静圧軸受部と、
静圧軸受部から噴出した空気を排出するための排気通路
を設けたピストンロッドと、を備えて構成される。
に、本発明のシリンダ装置は、シリンダと、シリンダ内
に摺動可能に嵌挿されたピストンと、ピストンの外周部
に設けられ、シリンダ内に供給された圧力空気をシリン
ダ内周面に噴出して静圧軸受を形成する静圧軸受部と、
静圧軸受部から噴出した空気を排出するための排気通路
を設けたピストンロッドと、を備えて構成される。
【０００９】ここで、静圧軸受部は、ピストンの外周部
に凹部を形成し、その凹部にシリンダ内の圧力空気を絞
り孔を通して流す通気路を設けて構成することができ、
或はピストンの外周部に多孔質の筒体を固着し、筒体に
シリンダ内の圧力空気を供給する通気路を設けて構成す
ることができる。
に凹部を形成し、その凹部にシリンダ内の圧力空気を絞
り孔を通して流す通気路を設けて構成することができ、
或はピストンの外周部に多孔質の筒体を固着し、筒体に
シリンダ内の圧力空気を供給する通気路を設けて構成す
ることができる。
【００１０】
【作用・効果】このような構成のシリンダ装置では、シ
リンダ内に供給される圧力空気に応じてピストンが移動
するが、このとき、シリンダ内の圧力空気がピストン外
周部の静圧軸受部にも供給され、ピストン外周部からシ
リンダ内周面に圧力空気が噴出し、ピストン外周面とシ
リンダ内周面の間に静圧軸受が形成される。これによ
り、ピストンの摺動抵抗が減少し、ピストンが低い推力
で良好に移動する。
リンダ内に供給される圧力空気に応じてピストンが移動
するが、このとき、シリンダ内の圧力空気がピストン外
周部の静圧軸受部にも供給され、ピストン外周部からシ
リンダ内周面に圧力空気が噴出し、ピストン外周面とシ
リンダ内周面の間に静圧軸受が形成される。これによ
り、ピストンの摺動抵抗が減少し、ピストンが低い推力
で良好に移動する。
【００１１】このシリンダ装置は、上述のような従来の
ものと比べ、ピストンロッドに静圧軸受用の給気ホース
を接続する必要がないため、ピストンロッドの運動が給
気ホースによって阻害されることがなく、低い推力で効
率良く作動させることができる。
ものと比べ、ピストンロッドに静圧軸受用の給気ホース
を接続する必要がないため、ピストンロッドの運動が給
気ホースによって阻害されることがなく、低い推力で効
率良く作動させることができる。
【００１２】さらに、静圧軸受用の圧力空気は、ピスト
ンロッドに設けた排気通路を通して排気され、シリンダ
内の給排気ポートから排気されることがないため、給排
気ポートの排気圧力が増大して排気効率が悪化すること
がなく、低推力且つ高速度でピストンを動作させること
ができる。
ンロッドに設けた排気通路を通して排気され、シリンダ
内の給排気ポートから排気されることがないため、給排
気ポートの排気圧力が増大して排気効率が悪化すること
がなく、低推力且つ高速度でピストンを動作させること
ができる。
【００１３】また、静圧軸受用の圧力空気が給排気ポー
トの排気圧力を増大させることがないため、ピストン外
周面とシリンダ内周面間の空気洩れは、低推力且つ高速
度で動作するピストンにあまり影響を与えない。このた
め、ピストン外周面とシリンダ内周面の間隙はそれ程小
さくする必要がなく、ピストンやシリンダを高精度に加
工する必要がないため、それらを合成樹脂で形成して軽
量化を図ることができる。また、ピストン外周面とシリ
ンダ内周面にパッキン等のシール部材を設ける必要もな
い。
トの排気圧力を増大させることがないため、ピストン外
周面とシリンダ内周面間の空気洩れは、低推力且つ高速
度で動作するピストンにあまり影響を与えない。このた
め、ピストン外周面とシリンダ内周面の間隙はそれ程小
さくする必要がなく、ピストンやシリンダを高精度に加
工する必要がないため、それらを合成樹脂で形成して軽
量化を図ることができる。また、ピストン外周面とシリ
ンダ内周面にパッキン等のシール部材を設ける必要もな
い。
【００１４】したがって、ピストンを合成樹脂で形成す
ることにより、金属製のピストンに比べ、より軽量化す
ることができ、摺動部分にシール部材を使用しないこと
によって摺動抵抗より減少させ、ピストンをより低い推
力で、より高速度に動作させることができる。
ることにより、金属製のピストンに比べ、より軽量化す
ることができ、摺動部分にシール部材を使用しないこと
によって摺動抵抗より減少させ、ピストンをより低い推
力で、より高速度に動作させることができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１６】図１はシリンダ装置の断面図を示し、図２
はそのII−II断面図を、図３はそのIII− III断面図を
示している。このシリンダ装置は、両端を閉鎖したシリ
ンダ１内に、ピストン２が移動可能に嵌挿され、ピスト
ン２とピストンロッド３は合成樹脂により一体成形さ
れ、ピストンロッド３の先端はシリンダ１のロッドカバ
ー部から突出する。
はそのII−II断面図を、図３はそのIII− III断面図を
示している。このシリンダ装置は、両端を閉鎖したシリ
ンダ１内に、ピストン２が移動可能に嵌挿され、ピスト
ン２とピストンロッド３は合成樹脂により一体成形さ
れ、ピストンロッド３の先端はシリンダ１のロッドカバ
ー部から突出する。
【００１７】ピストン２の外周部の前部と後部には、各
々約９０°の円周間隔で４個の凹部４、５がシリンダ１
の内周面に対向して各々形成される。さらに、ピストン
２の前端と後端には、４本づつの通気路６、７がシリン
ダ内に連通して設けられ、各凹部４はそれらの通気路６
に細い絞り孔８を介して連通し、同様に各凹部５は通気
路７に細い絞り孔９を介して連通する。
々約９０°の円周間隔で４個の凹部４、５がシリンダ１
の内周面に対向して各々形成される。さらに、ピストン
２の前端と後端には、４本づつの通気路６、７がシリン
ダ内に連通して設けられ、各凹部４はそれらの通気路６
に細い絞り孔８を介して連通し、同様に各凹部５は通気
路７に細い絞り孔９を介して連通する。
【００１８】これらの凹部４、５、絞り孔８、９、及び
通気路６、７から、静圧軸受部１０が形成され、作動
時、ピストン２の外周部とシリンダ内周面との間に、静
圧軸受を発生させる。また、ピストン２の外周部の中間
部つまり凹部４と凹部５との間に排気溝１２が形成され
ると共に、ピストンロッド３からピストン２にかけての
内部に排気通路１４が形成され、排気溝１２はピストン
２内の連通路１３を介してその排気通路１４に接続され
る。そして、排気通路１４はピストンロッド３の先端部
で開口する。
通気路６、７から、静圧軸受部１０が形成され、作動
時、ピストン２の外周部とシリンダ内周面との間に、静
圧軸受を発生させる。また、ピストン２の外周部の中間
部つまり凹部４と凹部５との間に排気溝１２が形成され
ると共に、ピストンロッド３からピストン２にかけての
内部に排気通路１４が形成され、排気溝１２はピストン
２内の連通路１３を介してその排気通路１４に接続され
る。そして、排気通路１４はピストンロッド３の先端部
で開口する。
【００１９】一方、シリンダ１の前部のロッドカバー部
にも、静圧軸受部が形成され、４個の凹部１７が約９０
°の間隔で設けられると共に、各凹部１７は細い絞り孔
１８を介してシリンダ室内に連通する４本の通気路１９
と各々接続される。シリンダ１の前部と後部には、給排
気ポート１５と１６が設けられ、給排気ポート１５、１
６には図示しない圧力空気の給排気ホースが接続され
る。
にも、静圧軸受部が形成され、４個の凹部１７が約９０
°の間隔で設けられると共に、各凹部１７は細い絞り孔
１８を介してシリンダ室内に連通する４本の通気路１９
と各々接続される。シリンダ１の前部と後部には、給排
気ポート１５と１６が設けられ、給排気ポート１５、１
６には図示しない圧力空気の給排気ホースが接続され
る。
【００２０】なお、シリンダ１の内周面とピストン２の
外周面との間隙は、図１では誇張して作図してあるが、
実際には、約０．０３mm〜０．０５mm程度とすればよ
い。このシリンダ内周面とピストン外周面との間隙
（０．０３mm〜０．０５mm程度）は、通常のシリンダ装
置に比べ大きいが、このシリンダ装置は低推力で作動さ
せるため、また、静圧軸受用の圧力空気をピストンロッ
ド３内の排気通路１４を通して外部に放出するため、ピ
ストン２の前後で空気の漏洩が発生したとしても、ピス
トン２の作動に影響は殆ど生じない。また、ピストンの
摺動部にパッキン等のシール部材を必要としないため、
シール部材によるピストン２の摺動抵抗をなくすことが
できる。
外周面との間隙は、図１では誇張して作図してあるが、
実際には、約０．０３mm〜０．０５mm程度とすればよ
い。このシリンダ内周面とピストン外周面との間隙
（０．０３mm〜０．０５mm程度）は、通常のシリンダ装
置に比べ大きいが、このシリンダ装置は低推力で作動さ
せるため、また、静圧軸受用の圧力空気をピストンロッ
ド３内の排気通路１４を通して外部に放出するため、ピ
ストン２の前後で空気の漏洩が発生したとしても、ピス
トン２の作動に影響は殆ど生じない。また、ピストンの
摺動部にパッキン等のシール部材を必要としないため、
シール部材によるピストン２の摺動抵抗をなくすことが
できる。
【００２１】さらに、上記のような理由から、シリンダ
１の内周面とピストン２の外周面間の間隙を一般のシリ
ンダ装置より広くラフに製作できるため、シリンダ１及
びピストン２を高精度に加工する必要がなく、それらを
合成樹脂で製作することが可能となり、金属に比べ軽量
化することができる。
１の内周面とピストン２の外周面間の間隙を一般のシリ
ンダ装置より広くラフに製作できるため、シリンダ１及
びピストン２を高精度に加工する必要がなく、それらを
合成樹脂で製作することが可能となり、金属に比べ軽量
化することができる。
【００２２】このように構成されたシリンダ装置は、前
部の給排気ポート１５から排気を行うと共に、後部の給
排気ポート１６から圧力空気をシリンダ１内に供給する
と、その圧力によりピストン２が図１の左方向に押され
て移動し、ピストンロッド３が押出し作動する。
部の給排気ポート１５から排気を行うと共に、後部の給
排気ポート１６から圧力空気をシリンダ１内に供給する
と、その圧力によりピストン２が図１の左方向に押され
て移動し、ピストンロッド３が押出し作動する。
【００２３】このとき、シリンダ内後部の圧力空気は、
ピストン２内の通気路７から絞り孔９を通ってピストン
外周の凹部５に噴出するため、この部分つまりピストン
外周面とシリンダ内周面間に静圧軸受が発生し、これに
よって、その間の摺動抵抗は非常に小さくなる。
ピストン２内の通気路７から絞り孔９を通ってピストン
外周の凹部５に噴出するため、この部分つまりピストン
外周面とシリンダ内周面間に静圧軸受が発生し、これに
よって、その間の摺動抵抗は非常に小さくなる。
【００２４】また、ピストンロッド３の軸受部において
も、ロッドカバー部の通気路１９から絞り孔１８を通っ
て凹部１７に空気が噴出するため、この部分つまりピス
トンロッド外周面とロッドカバー部の軸受面間に、静圧
軸受が発生し、これによって、その間の摺動抵抗は非常
に小さくなる。
も、ロッドカバー部の通気路１９から絞り孔１８を通っ
て凹部１７に空気が噴出するため、この部分つまりピス
トンロッド外周面とロッドカバー部の軸受面間に、静圧
軸受が発生し、これによって、その間の摺動抵抗は非常
に小さくなる。
【００２５】このとき、凹部５から噴出する圧力空気
は、排気溝１２から連通路１３及びピストンロッド３内
の排気通路１４を通って外部に排気され、凹部１７から
噴出する空気は、ピストンロッド外周面とロッドカバー
部の軸受面の間隙から外部に排気されるため、ピストン
前部のシリンダ１内に静圧軸受用の空気圧が印加される
ことはない。
は、排気溝１２から連通路１３及びピストンロッド３内
の排気通路１４を通って外部に排気され、凹部１７から
噴出する空気は、ピストンロッド外周面とロッドカバー
部の軸受面の間隙から外部に排気されるため、ピストン
前部のシリンダ１内に静圧軸受用の空気圧が印加される
ことはない。
【００２６】したがって、ピストン２及びピストンロッ
ド３が静圧軸受で支持されると共に、ピストン前部のシ
リンダ内に空気圧が殆ど印加されないため、低推力且つ
高速度でピストン２及びピストンロッド３は前進移動す
ることができる。
ド３が静圧軸受で支持されると共に、ピストン前部のシ
リンダ内に空気圧が殆ど印加されないため、低推力且つ
高速度でピストン２及びピストンロッド３は前進移動す
ることができる。
【００２７】一方、後部の給排気ポート１６から排気を
行うと共に、前部の給排気ポート１５から圧力空気をシ
リンダ１内に供給すると、その圧力によりピストン２が
図１の右方向に押されて移動し、ピストンロッド３が引
き戻される。
行うと共に、前部の給排気ポート１５から圧力空気をシ
リンダ１内に供給すると、その圧力によりピストン２が
図１の右方向に押されて移動し、ピストンロッド３が引
き戻される。
【００２８】このとき、シリンダ内前部の圧力空気は、
ピストン２内の通気路６から絞り孔８を通ってピストン
外周の凹部４に噴出するため、この部分つまりピストン
外周面とシリンダ内周面間に静圧軸受が発生し、これに
よって、その間の摺動抵抗は非常に小さくなる。
ピストン２内の通気路６から絞り孔８を通ってピストン
外周の凹部４に噴出するため、この部分つまりピストン
外周面とシリンダ内周面間に静圧軸受が発生し、これに
よって、その間の摺動抵抗は非常に小さくなる。
【００２９】また、ピストンロッド３の軸受部において
も、ロッドカバー部の通気路１９から絞り孔１８を通っ
て凹部１７に空気が噴出するため、この部分つまりピス
トンロッド外周面とロッドカバー部の軸受面間に、静圧
軸受が発生し、これによって、その間の摺動抵抗は非常
に減少する。
も、ロッドカバー部の通気路１９から絞り孔１８を通っ
て凹部１７に空気が噴出するため、この部分つまりピス
トンロッド外周面とロッドカバー部の軸受面間に、静圧
軸受が発生し、これによって、その間の摺動抵抗は非常
に減少する。
【００３０】このとき、凹部４から噴出する圧力空気
は、排気溝１２から連通路１３及びピストンロッド３内
の排気通路１４を通って外部に排気され、凹部１７から
噴出する空気はピストンロッド外周面とロッドカバー部
の軸受面の間隙から外部に排気されるため、ピストン後
部のシリンダ１内に静圧軸受用の空気圧が印加されるこ
とはない。
は、排気溝１２から連通路１３及びピストンロッド３内
の排気通路１４を通って外部に排気され、凹部１７から
噴出する空気はピストンロッド外周面とロッドカバー部
の軸受面の間隙から外部に排気されるため、ピストン後
部のシリンダ１内に静圧軸受用の空気圧が印加されるこ
とはない。
【００３１】したがって、上記と同様に、ピストン２及
びピストンロッド３が静圧軸受によって良好に支持さ
れ、ピストン後部のシリンダ内に空気圧が殆ど印加され
ないため、ピストン２及びピストンロッド３は低推力且
つ高速度で後退移動することができる。
びピストンロッド３が静圧軸受によって良好に支持さ
れ、ピストン後部のシリンダ内に空気圧が殆ど印加され
ないため、ピストン２及びピストンロッド３は低推力且
つ高速度で後退移動することができる。
【００３２】図４は他の実施例を示し、ここでは、上記
の凹部４、５を有する静圧軸受部１０に代えて、多孔質
の筒体を有する静圧軸受部２０がピストン２の外周部に
設けられる。即ち、図４に示すように、ピストン２の外
周部には、上記絞り孔と凹部の代わりに、ポーラス状
（多孔質）の筒体２４、２５が、ピストン２の前部と後
部に形成された凹部に嵌込むように取付けられ、筒体２
４、２５の背面側には通気路２６、２７が設けられ、通
気路２６、２７の端部はピストン２の前部と後部のシリ
ンダ１内に開口する。
の凹部４、５を有する静圧軸受部１０に代えて、多孔質
の筒体を有する静圧軸受部２０がピストン２の外周部に
設けられる。即ち、図４に示すように、ピストン２の外
周部には、上記絞り孔と凹部の代わりに、ポーラス状
（多孔質）の筒体２４、２５が、ピストン２の前部と後
部に形成された凹部に嵌込むように取付けられ、筒体２
４、２５の背面側には通気路２６、２７が設けられ、通
気路２６、２７の端部はピストン２の前部と後部のシリ
ンダ１内に開口する。
【００３３】また、ピストンロッド３を支持するロッド
カバー部の支持部分にも、ポーラス状（多孔質）筒体２
７が取付けられ、筒体２７の背面側に通気路２９が形成
され、通気路２９の端部はシリンダ内に開口する。
カバー部の支持部分にも、ポーラス状（多孔質）筒体２
７が取付けられ、筒体２７の背面側に通気路２９が形成
され、通気路２９の端部はシリンダ内に開口する。
【００３４】このシリンダ装置も上記実施例と同様に動
作し、作動時、シリンダ内に供給された圧力空気は、ピ
ストン２内の通気路２７又は２６を通って多孔質の筒体
２５又は２４から噴出するため、この部分つまりピスト
ン外周面とシリンダ内周面間に静圧軸受が発生し、これ
によって、その間の摺動抵抗は非常に小さくなる。この
ときの静圧軸受用の圧力空気は、排気溝１２、連通路１
３からピストンロッド３内の排気通路１４を通り外部に
排気される。
作し、作動時、シリンダ内に供給された圧力空気は、ピ
ストン２内の通気路２７又は２６を通って多孔質の筒体
２５又は２４から噴出するため、この部分つまりピスト
ン外周面とシリンダ内周面間に静圧軸受が発生し、これ
によって、その間の摺動抵抗は非常に小さくなる。この
ときの静圧軸受用の圧力空気は、排気溝１２、連通路１
３からピストンロッド３内の排気通路１４を通り外部に
排気される。
【００３５】また、ピストンロッド３の軸受部において
も、ロッドカバー部の通気路２９から多孔質の筒体２７
を通って空気が噴出するため、この部分つまりピストン
ロッド外周面とロッドカバー部の軸受面間に、静圧軸受
が発生し、これによって、その間の摺動抵抗は非常に小
さくなる。
も、ロッドカバー部の通気路２９から多孔質の筒体２７
を通って空気が噴出するため、この部分つまりピストン
ロッド外周面とロッドカバー部の軸受面間に、静圧軸受
が発生し、これによって、その間の摺動抵抗は非常に小
さくなる。
【００３６】このように、ピストン２及びピストンロッ
ド３が静圧軸受で支持されると共に、ピストンの移動側
のシリンダ内に静圧軸受用の空気圧が殆ど印加されない
ため、低推力且つ高速度でピストン２及びピストンロッ
ド３は移動することができる。
ド３が静圧軸受で支持されると共に、ピストンの移動側
のシリンダ内に静圧軸受用の空気圧が殆ど印加されない
ため、低推力且つ高速度でピストン２及びピストンロッ
ド３は移動することができる。
【図１】本発明の一実施例を示すシリンダ装置の断面図
である。
である。
【図２】図１のII−II断面図である。
【図３】図１の III− III断面図である。
【図４】他の実施例のシリンダ装置の断面図である。
【図５】従来のシリンダ装置の断面図である。
１−シリンダ、 ２−ピストン、 ３−ピストンロッド、 ４、５−凹部、 ６、７−通気路、 ８、９−絞り孔、 １０−静圧軸受部、 １４−排気通路。
Claims (3)
- 【請求項１】 シリンダと、 該シリンダ内に摺動可能に嵌挿されたピストンと、 該ピストンの外周部に設けられ、該シリンダ内に供給さ
れた圧力空気をシリンダ内周面に噴出して静圧軸受を形
成する静圧軸受部と、 該静圧軸受部から噴出した空気を排出するための排気通
路を設けたピストンロッドと、 を備えたことを特徴とするシリンダ装置。 - 【請求項２】 前記静圧軸受部は、該ピストンの外周部
に凹部が形成され、該凹部に該シリンダ内の圧力空気を
絞り孔を通して流す通気路を備えている請求項１記載の
シリンダ装置。 - 【請求項３】 前記静圧軸受部は、該ピストンの外周部
に多孔質の筒体が固着され、該筒体に該シリンダ内の圧
力空気を供給する通気路を備えている請求項１記載のシ
リンダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1678894A JPH07224807A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | シリンダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1678894A JPH07224807A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | シリンダ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07224807A true JPH07224807A (ja) | 1995-08-22 |
Family
ID=11925924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1678894A Pending JPH07224807A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | シリンダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07224807A (ja) |
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010000690A (ko) * | 2000-10-13 | 2001-01-05 | 김경섭 | 피스톤의 정압베어링 |
| JP2005268293A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Psc Kk | 微小移動機構 |
| JP2006205308A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Seiko Instruments Inc | 流体供給機構、直線移動装置および工作機械 |
| JP2006292135A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Sharp Corp | 気体軸受構造およびスターリング機関ならびにスターリング冷却庫 |
| JP2006297504A (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Nippei Toyama Corp | 工作機械の空気静圧バランサ |
| JP2008064115A (ja) * | 1997-09-24 | 2008-03-21 | Hitachi Ltd | 往復動型圧縮機 |
| JP2008082513A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Ckd Corp | シリンダ装置 |
| US7624672B2 (en) | 2005-01-07 | 2009-12-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Piston apparatus |
| US7624574B2 (en) | 2004-12-27 | 2009-12-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Piston apparatus, stirling engine, external combustion engine, and fluid device |
| JP2011522193A (ja) * | 2008-06-06 | 2011-07-28 | アイゼントロピック リミテッド | 流体サーボ及び用途 |
| CN103016445A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-03 | 浙江工业大学 | 卸气槽均压式气悬浮无摩擦气缸 |
| CN103016443A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-03 | 浙江工业大学 | 一种带卸压槽的气悬浮无摩擦气缸 |
| CN103016441A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-03 | 浙江工业大学 | 一种采用微孔材料形成稳定气膜的气浮无摩擦气缸 |
| CN103016444A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-03 | 浙江工业大学 | 一种缸筒供气的气悬浮无摩擦气缸 |
| CN103016531A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-03 | 浙江工业大学 | 无摩擦旋转供气气浮装置 |
| CN103047220A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-17 | 浙江工业大学 | 缸筒供气均压式气浮无摩擦气缸 |
| CN103511368A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-15 | 浙江工业大学 | 超长恒力输出气浮装置 |
| CN103511392A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-15 | 浙江工业大学 | 一种不受气管扰动影响的恒力输出装置 |
| WO2014090288A1 (de) * | 2012-12-12 | 2014-06-19 | Eitzenberger Luftlagertechnik Gmbh | Hubeinheit und positioniervorrichtung |
| CN105179362A (zh) * | 2015-09-02 | 2015-12-23 | 张响芝 | 抗偏载伺服油缸 |
| KR101722651B1 (ko) * | 2017-01-16 | 2017-04-03 | (주)테크놀로지선진 | 가이드 커버 |
| CN107830008A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-03-23 | 江苏大学 | 一种通用的双作用气浮无摩擦气缸 |
-
1994
- 1994-02-10 JP JP1678894A patent/JPH07224807A/ja active Pending
Cited By (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008064115A (ja) * | 1997-09-24 | 2008-03-21 | Hitachi Ltd | 往復動型圧縮機 |
| KR20010000690A (ko) * | 2000-10-13 | 2001-01-05 | 김경섭 | 피스톤의 정압베어링 |
| JP2005268293A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Psc Kk | 微小移動機構 |
| US7624574B2 (en) | 2004-12-27 | 2009-12-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Piston apparatus, stirling engine, external combustion engine, and fluid device |
| US7624672B2 (en) | 2005-01-07 | 2009-12-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Piston apparatus |
| JP2006205308A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Seiko Instruments Inc | 流体供給機構、直線移動装置および工作機械 |
| JP2006292135A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Sharp Corp | 気体軸受構造およびスターリング機関ならびにスターリング冷却庫 |
| JP2006297504A (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Nippei Toyama Corp | 工作機械の空気静圧バランサ |
| JP2008082513A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Ckd Corp | シリンダ装置 |
| JP2011522193A (ja) * | 2008-06-06 | 2011-07-28 | アイゼントロピック リミテッド | 流体サーボ及び用途 |
| WO2014090288A1 (de) * | 2012-12-12 | 2014-06-19 | Eitzenberger Luftlagertechnik Gmbh | Hubeinheit und positioniervorrichtung |
| CN103016531A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-03 | 浙江工业大学 | 无摩擦旋转供气气浮装置 |
| CN103016444B (zh) * | 2012-12-31 | 2015-02-25 | 浙江工业大学 | 一种缸筒供气的气悬浮无摩擦气缸 |
| CN103016444A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-03 | 浙江工业大学 | 一种缸筒供气的气悬浮无摩擦气缸 |
| CN103016443A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-03 | 浙江工业大学 | 一种带卸压槽的气悬浮无摩擦气缸 |
| CN103047220A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-17 | 浙江工业大学 | 缸筒供气均压式气浮无摩擦气缸 |
| CN103016441A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-03 | 浙江工业大学 | 一种采用微孔材料形成稳定气膜的气浮无摩擦气缸 |
| CN103016443B (zh) * | 2012-12-31 | 2015-08-12 | 浙江工业大学 | 一种带卸压槽的气悬浮无摩擦气缸 |
| CN103016445A (zh) * | 2012-12-31 | 2013-04-03 | 浙江工业大学 | 卸气槽均压式气悬浮无摩擦气缸 |
| CN103047220B (zh) * | 2012-12-31 | 2015-02-18 | 浙江工业大学 | 缸筒供气均压式气浮无摩擦气缸 |
| CN103016441B (zh) * | 2012-12-31 | 2015-02-18 | 浙江工业大学 | 一种采用微孔材料形成稳定气膜的气浮无摩擦气缸 |
| CN103016445B (zh) * | 2012-12-31 | 2015-02-25 | 浙江工业大学 | 卸气槽均压式气悬浮无摩擦气缸 |
| CN103511368A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-15 | 浙江工业大学 | 超长恒力输出气浮装置 |
| CN103511392A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-15 | 浙江工业大学 | 一种不受气管扰动影响的恒力输出装置 |
| CN105179362A (zh) * | 2015-09-02 | 2015-12-23 | 张响芝 | 抗偏载伺服油缸 |
| KR101722651B1 (ko) * | 2017-01-16 | 2017-04-03 | (주)테크놀로지선진 | 가이드 커버 |
| CN107830008A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-03-23 | 江苏大学 | 一种通用的双作用气浮无摩擦气缸 |
| CN107830008B (zh) * | 2017-11-29 | 2023-09-26 | 江苏大学 | 一种通用的双作用气浮无摩擦气缸 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07224807A (ja) | シリンダ装置 | |
| WO2015159444A1 (ja) | 流体圧シリンダ | |
| JP2011167767A (ja) | 単一ピストンまたは２重ピストンを使用する低衝撃スポット溶接シリンダ | |
| JP2017082916A (ja) | 流体制御弁 | |
| WO2015159443A1 (ja) | 流体圧シリンダ | |
| FI97991C (fi) | Uppoporakone | |
| US3511137A (en) | Composite article and method of manufacture | |
| KR20020089566A (ko) | 재공급 그루브를 포함하는 마스터 실린더 | |
| SE437066B (sv) | Kolv- och cylinderanordning for en kompressor | |
| JP2000097206A (ja) | 油圧シリンダ | |
| GB1456316A (en) | Rotary jacks in particular for the control of the chucks of machine tools | |
| JPH11166506A (ja) | 流体圧シリンダ | |
| KR100704999B1 (ko) | 시일이 없는 공기 실린더 | |
| JPH0834343A (ja) | 液圧ブースタ | |
| JPH11230117A (ja) | 流体圧シリンダ | |
| KR100306037B1 (ko) | 드럼 코팅용 척 | |
| JP3814562B2 (ja) | シリンダクッション | |
| JPS59164407A (ja) | 真空室を有するシリンダ−装置 | |
| JP2575593B2 (ja) | 流体圧による往復動の発生方法及び発生装置 | |
| JP2557633Y2 (ja) | 溶接機用４ポート２段ストロークシリンダ | |
| JPH0949507A (ja) | 流体圧シリンダ装置 | |
| JPH11117912A (ja) | エアベアリングシリンダ及びシリンダシステム | |
| JP3781219B2 (ja) | シリンダー装置 | |
| FR2331701A1 (fr) | Dispositif telescopique adapte pour exercer une force differentielle | |
| JP2005133879A (ja) | 空油変換増圧器 |