JPH07220245A - 複合型磁気ヘッド - Google Patents
複合型磁気ヘッドInfo
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- JPH07220245A JPH07220245A JP1049594A JP1049594A JPH07220245A JP H07220245 A JPH07220245 A JP H07220245A JP 1049594 A JP1049594 A JP 1049594A JP 1049594 A JP1049594 A JP 1049594A JP H07220245 A JPH07220245 A JP H07220245A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気抵抗効果型ヘッドと誘導型ヘッドとを基
板上に積層して形成し、磁気抵抗効果型ヘッドの上部シ
ールド層と誘導型ヘッドの下部コア層とを磁性薄膜の一
体物にて構成した複合型磁気ヘッドにおいて、実効記録
トラック幅が拡がるのを抑制する。 【構成】 上部シールド層兼下部コア層となる前記磁性
薄膜の一体物を、誘導型ヘッドの上部コア層の平面形状
よりも拡がった平面形状を有する底部と、該底部上に配
され、少なくとも記録媒体対向部の近傍において前記上
部コア層のトラック幅規制部と略同一の平面形状を有す
る凸部とを備えた構成とする。
板上に積層して形成し、磁気抵抗効果型ヘッドの上部シ
ールド層と誘導型ヘッドの下部コア層とを磁性薄膜の一
体物にて構成した複合型磁気ヘッドにおいて、実効記録
トラック幅が拡がるのを抑制する。 【構成】 上部シールド層兼下部コア層となる前記磁性
薄膜の一体物を、誘導型ヘッドの上部コア層の平面形状
よりも拡がった平面形状を有する底部と、該底部上に配
され、少なくとも記録媒体対向部の近傍において前記上
部コア層のトラック幅規制部と略同一の平面形状を有す
る凸部とを備えた構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＨＤＤ（ハード・ディ
スク・ドライブ）等の磁気記録装置に使用される磁気ヘ
ッドに関するものである。
スク・ドライブ）等の磁気記録装置に使用される磁気ヘ
ッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＨＤＤ等の磁気記録装置に使用される磁
気ヘッドとして、磁気抵抗効果素子層及びシールド層を
備える再生用の磁気抵抗効果型ヘッドと磁気コア層及び
通電コイル層を備える記録用の誘導型ヘッドとを、基板
上に積み重ねて形成した複合型磁気ヘッドが特公昭５８
−３６４０６号に開示されている。
気ヘッドとして、磁気抵抗効果素子層及びシールド層を
備える再生用の磁気抵抗効果型ヘッドと磁気コア層及び
通電コイル層を備える記録用の誘導型ヘッドとを、基板
上に積み重ねて形成した複合型磁気ヘッドが特公昭５８
−３６４０６号に開示されている。
【０００３】かかる複合型薄膜ヘッドにおいて、磁気抵
抗効果型ヘッドの上部シールド層と誘導型ヘッドの下部
磁気コア層は、絶縁体層等を介して互いに分離されてい
てもよいが、製造プロセスの簡略化を図るためには、図
６に示すように両者を磁性薄膜の一体物８にて構成して
もよい。
抗効果型ヘッドの上部シールド層と誘導型ヘッドの下部
磁気コア層は、絶縁体層等を介して互いに分離されてい
てもよいが、製造プロセスの簡略化を図るためには、図
６に示すように両者を磁性薄膜の一体物８にて構成して
もよい。
【０００４】図６は、該複合型磁気ヘッドの記録媒体対
向面の構成を示しており、１は基板、２は下部保護層、
３は磁気抵抗効果型ヘッドの下部シールド層、４は下部
シールド層と磁気抵抗効果素子層との間のギャップスペ
ーサ層、５は磁気抵抗効果素子層、６は磁気抵抗効果素
子に通電するためのリード導体層、７は磁気抵抗効果素
子層と上部シールド層との間のギャップスペーサ層、８
は上部シールド層兼誘導型ヘッドの下部コア層、９は下
部コア層と上部コア層との間のギャップスペーサ層、１
０は上部コア層、１１は上部保護層を示している。
向面の構成を示しており、１は基板、２は下部保護層、
３は磁気抵抗効果型ヘッドの下部シールド層、４は下部
シールド層と磁気抵抗効果素子層との間のギャップスペ
ーサ層、５は磁気抵抗効果素子層、６は磁気抵抗効果素
子に通電するためのリード導体層、７は磁気抵抗効果素
子層と上部シールド層との間のギャップスペーサ層、８
は上部シールド層兼誘導型ヘッドの下部コア層、９は下
部コア層と上部コア層との間のギャップスペーサ層、１
０は上部コア層、１１は上部保護層を示している。
【０００５】図６に示したような複合型磁気ヘッドによ
って媒体上に形成される記録トラックの幅は、誘導型ヘ
ッドの上部コア９のトラック幅によって規制されるが、
該複合型磁気ヘッドにおいては上部シールド層兼下部コ
ア層８が前記上部コアのトラック幅の側方にも拡がって
いるため、記録電流が大きくなるとギャップ部９からの
漏れ磁束がトラック幅方向側方にまで拡がり、実効的な
記録トラック幅が上部コアのトラック幅よりも拡くなる
ことがある。
って媒体上に形成される記録トラックの幅は、誘導型ヘ
ッドの上部コア９のトラック幅によって規制されるが、
該複合型磁気ヘッドにおいては上部シールド層兼下部コ
ア層８が前記上部コアのトラック幅の側方にも拡がって
いるため、記録電流が大きくなるとギャップ部９からの
漏れ磁束がトラック幅方向側方にまで拡がり、実効的な
記録トラック幅が上部コアのトラック幅よりも拡くなる
ことがある。
【０００６】このような実効記録トラック幅の拡大現象
は「記録にじみ」と称され、ＨＤＤ装置等において５０
００ＴＰＩにも達するような高トラック密度を実現する
ためには、すなわち５μｍ程度以下のトラック幅で記録
を行うためには、隣接トラックとのクロストーク等の原
因となる「記録にじみ」の問題が大きな障害となる。
は「記録にじみ」と称され、ＨＤＤ装置等において５０
００ＴＰＩにも達するような高トラック密度を実現する
ためには、すなわち５μｍ程度以下のトラック幅で記録
を行うためには、隣接トラックとのクロストーク等の原
因となる「記録にじみ」の問題が大きな障害となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、磁気抵抗効
果素子層及びシールド層を備える磁気抵抗効果型ヘッド
と磁気コア層及び通電コイル層を備える誘導型ヘッドと
を、基板上に積み重ねて形成し、前記磁気抵抗効果型ヘ
ッドの上部シールド層と前記誘導型ヘッドの下部コア層
とを、磁性薄膜の一体物にて構成した複合型磁気ヘッド
において、前記「記録にじみ」の問題が改善されるよう
な上部シールド層兼下部コア層の構成を明らかにするも
のである。
果素子層及びシールド層を備える磁気抵抗効果型ヘッド
と磁気コア層及び通電コイル層を備える誘導型ヘッドと
を、基板上に積み重ねて形成し、前記磁気抵抗効果型ヘ
ッドの上部シールド層と前記誘導型ヘッドの下部コア層
とを、磁性薄膜の一体物にて構成した複合型磁気ヘッド
において、前記「記録にじみ」の問題が改善されるよう
な上部シールド層兼下部コア層の構成を明らかにするも
のである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明による複合型磁気
ヘッドにおいては、上部シールド層兼下部コア層となる
前記磁性薄膜の一体物を、前記誘導型ヘッドの上部コア
層の平面形状よりも拡がった平面形状を有する底部と、
該底部上に配され、少なくとも記録媒体対向部の近傍に
おいて前記上部コア層のトラック幅規制部と略同一の平
面形状を有する凸部とを備えた構成とする。
ヘッドにおいては、上部シールド層兼下部コア層となる
前記磁性薄膜の一体物を、前記誘導型ヘッドの上部コア
層の平面形状よりも拡がった平面形状を有する底部と、
該底部上に配され、少なくとも記録媒体対向部の近傍に
おいて前記上部コア層のトラック幅規制部と略同一の平
面形状を有する凸部とを備えた構成とする。
【０００９】
【作用】上記本発明の構成によれば、上部シールド層兼
下部コア層の底部が十分に拡がった平面形状を有するた
め、磁気抵抗効果素子が十分にシールドされ、上部シー
ルド層兼下部コア層の凸部が上部コア層のトラック幅規
制部と略同一の平面形状で対向するため、ギャップ部か
らの漏れ磁束がトラック幅方向の側方に拡がりにくくな
る。
下部コア層の底部が十分に拡がった平面形状を有するた
め、磁気抵抗効果素子が十分にシールドされ、上部シー
ルド層兼下部コア層の凸部が上部コア層のトラック幅規
制部と略同一の平面形状で対向するため、ギャップ部か
らの漏れ磁束がトラック幅方向の側方に拡がりにくくな
る。
【００１０】また、上記本発明の構成によれば、上部シ
ールド層兼下部コア層の底部と凸部とを合わせた厚さが
下部コア層の厚さとして寄与するので、上部シールド層
と分離された下部コア層が前記凸部と等しい厚さを有す
る場合に比べて、下部コア層としての磁気飽和の問題も
起こりにくくなる。
ールド層兼下部コア層の底部と凸部とを合わせた厚さが
下部コア層の厚さとして寄与するので、上部シールド層
と分離された下部コア層が前記凸部と等しい厚さを有す
る場合に比べて、下部コア層としての磁気飽和の問題も
起こりにくくなる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【００１２】本発明実施例による複合型磁気ヘッドは、
図１に示すような記録媒体対向面構造を有する。図１に
おいて、１は基板、２は下部保護層、３は磁気抵抗効果
型ヘッドの下部シールド層、４は下部シールド層と磁気
抵抗効果素子層との間のギャップスペーサ層、５は磁気
抵抗効果素子層、６は磁気抵抗効果素子層に通電するた
めのリード導体層、７は磁気抵抗効果素子層と上部シー
ルド層との間のギャップスペーサ層、８は上部シールド
層兼誘導型ヘッドの下部コア層、９は下部コア層と上部
コア層との間のギャップスペーサ層、１０は上部コア
層、１１は上部保護層を示している。
図１に示すような記録媒体対向面構造を有する。図１に
おいて、１は基板、２は下部保護層、３は磁気抵抗効果
型ヘッドの下部シールド層、４は下部シールド層と磁気
抵抗効果素子層との間のギャップスペーサ層、５は磁気
抵抗効果素子層、６は磁気抵抗効果素子層に通電するた
めのリード導体層、７は磁気抵抗効果素子層と上部シー
ルド層との間のギャップスペーサ層、８は上部シールド
層兼誘導型ヘッドの下部コア層、９は下部コア層と上部
コア層との間のギャップスペーサ層、１０は上部コア
層、１１は上部保護層を示している。
【００１３】図１に示した複合型磁気ヘッドは、磁気抵
抗効果素子層５及びシールド層３、８を備える磁気抵抗
効果型ヘッドと磁気コア層８、１０及び通電コイル層
（図示せず）を備える誘導型ヘッドとを基板１の上に積
層して形成し、前記磁気抵抗効果型ヘッドの上部シール
ド層と前記誘導型ヘッドの下部コア層とを磁性薄膜の一
体物８にて構成した複合型磁気ヘッドであって、前記従
来技術の項で図６に基づいて説明した複合型磁気ヘッド
と比較すれば、前記上部シールド層兼下部コア層８が、
上部コア層１０の平面形状よりも拡がった平面形状を有
する底部８１と、該底部上に配され、記録媒体対向部近
傍において前記上部コア層のトラック幅規制部と略同一
の平面形状を有する凸部８２とを備えた構成となってい
ることを特徴とするものである。
抗効果素子層５及びシールド層３、８を備える磁気抵抗
効果型ヘッドと磁気コア層８、１０及び通電コイル層
（図示せず）を備える誘導型ヘッドとを基板１の上に積
層して形成し、前記磁気抵抗効果型ヘッドの上部シール
ド層と前記誘導型ヘッドの下部コア層とを磁性薄膜の一
体物８にて構成した複合型磁気ヘッドであって、前記従
来技術の項で図６に基づいて説明した複合型磁気ヘッド
と比較すれば、前記上部シールド層兼下部コア層８が、
上部コア層１０の平面形状よりも拡がった平面形状を有
する底部８１と、該底部上に配され、記録媒体対向部近
傍において前記上部コア層のトラック幅規制部と略同一
の平面形状を有する凸部８２とを備えた構成となってい
ることを特徴とするものである。
【００１４】ここで、前記上部シールド層兼下部コア層
８における凸部８２及び底部８１の形成方法について、
図２を参照しながら説明する。
８における凸部８２及び底部８１の形成方法について、
図２を参照しながら説明する。
【００１５】まず、図２（ａ）に示すように、前記下部
保護層、下部シールド層、下部シールド層と磁気抵抗効
果素子層との間のギャップスペーサ層、磁気抵抗効果素
子層、リード導体層、磁気抵抗化素子層と上部シールド
層との間のギャップスペーサ層等が形成された基体１０
の上面全体に、厚さ１〜１０μｍの磁性薄膜８０を形成
する。
保護層、下部シールド層、下部シールド層と磁気抵抗効
果素子層との間のギャップスペーサ層、磁気抵抗効果素
子層、リード導体層、磁気抵抗化素子層と上部シールド
層との間のギャップスペーサ層等が形成された基体１０
の上面全体に、厚さ１〜１０μｍの磁性薄膜８０を形成
する。
【００１６】次に、図２（ｂ）に示すように、後工程で
形成する上部コア層と略同一の平面形状を有するレジス
トパターンに従って、前記磁性薄膜８０を深さ３〜７μ
ｍに至るまでエッチングすることにより、凸部８２を形
成する。
形成する上部コア層と略同一の平面形状を有するレジス
トパターンに従って、前記磁性薄膜８０を深さ３〜７μ
ｍに至るまでエッチングすることにより、凸部８２を形
成する。
【００１７】そして、図２（ｃ）に示すように、前記上
部コア層全体の平面形状よりも拡がった平面形状を有す
るレジストパターンに従って、前記磁性薄膜８０の周辺
部が消えるまでエッチングすることにより、底部８１を
整形する。
部コア層全体の平面形状よりも拡がった平面形状を有す
るレジストパターンに従って、前記磁性薄膜８０の周辺
部が消えるまでエッチングすることにより、底部８１を
整形する。
【００１８】なお、前記凸部８２の平面形状は、図３に
示すように、記録媒体対向部近傍のトラック幅規制部の
みが上部コア層と略同一の平面形状となっていてもよ
い。
示すように、記録媒体対向部近傍のトラック幅規制部の
みが上部コア層と略同一の平面形状となっていてもよ
い。
【００１９】一方、前記上部シールド層兼下部コア層
は、単一の磁性材料で構成されてもよいし、図４に示す
ように、その下層部８１１と上層部８２２が異なる磁性
材料で構成されてもよい。
は、単一の磁性材料で構成されてもよいし、図４に示す
ように、その下層部８１１と上層部８２２が異なる磁性
材料で構成されてもよい。
【００２０】下層部８１１と上層部８２２との区分は材
料に関する区分であって、形状に関する底部８１と凸部
８２との区分と必ずしも一致しない。すなわち、図４
（ａ）は材料区分上の下層部と形状区分上の底部、材料
区分上の上層部と形状区分上の凸部がそれぞれ一致した
例を示しているが、（ｂ）は下層部が凸部の下部にまで
拡がった例、（ｃ）は上層部が底部の上部にまで拡がっ
た例を示している。図４（ａ）〜（ｃ）に示したような
構成は、下部層、上部層それぞれの厚さと、図２（ｂ）
に示した凸部形成工程におけるエッチング深さとの関係
を適宜設計することによって実現される。
料に関する区分であって、形状に関する底部８１と凸部
８２との区分と必ずしも一致しない。すなわち、図４
（ａ）は材料区分上の下層部と形状区分上の底部、材料
区分上の上層部と形状区分上の凸部がそれぞれ一致した
例を示しているが、（ｂ）は下層部が凸部の下部にまで
拡がった例、（ｃ）は上層部が底部の上部にまで拡がっ
た例を示している。図４（ａ）〜（ｃ）に示したような
構成は、下部層、上部層それぞれの厚さと、図２（ｂ）
に示した凸部形成工程におけるエッチング深さとの関係
を適宜設計することによって実現される。
【００２１】前記下層部８１１の典型的な構成材料とし
ては、Ｎｉ−Ｆｅ系合金薄膜が挙げられ、上層部８２２
の典型的な構成材料としては、前記Ｎｉ−Ｆｅ系合金薄
膜よりも飽和磁束密度が高くて一軸異方性の大きいＣｏ
−Ｚｒ−Ｓｎ系合金薄膜、Ｆｅ−Ｚｒ−Ｎ系合金薄膜、
Ｆｅ−Ｔａ−Ｃ系合金薄膜等が挙げられる。
ては、Ｎｉ−Ｆｅ系合金薄膜が挙げられ、上層部８２２
の典型的な構成材料としては、前記Ｎｉ−Ｆｅ系合金薄
膜よりも飽和磁束密度が高くて一軸異方性の大きいＣｏ
−Ｚｒ−Ｓｎ系合金薄膜、Ｆｅ−Ｚｒ−Ｎ系合金薄膜、
Ｆｅ−Ｔａ−Ｃ系合金薄膜等が挙げられる。
【００２２】高飽和磁束密度の磁性薄膜は磁気飽和を抑
制し、一軸異方性の大きい磁性薄膜は還流磁区の発生を
抑制するので、そのような磁性薄膜が上部シールド層兼
下部コア層の凸部最上層に配されていれば、ギャップ部
からの漏れ磁束がトラック幅方向の側方に拡がりにくく
なる。
制し、一軸異方性の大きい磁性薄膜は還流磁区の発生を
抑制するので、そのような磁性薄膜が上部シールド層兼
下部コア層の凸部最上層に配されていれば、ギャップ部
からの漏れ磁束がトラック幅方向の側方に拡がりにくく
なる。
【００２３】ここで、本発明による「記録にじみ」低減
の効果について説明する。
の効果について説明する。
【００２４】図５は、表１に示すような構成上の特徴を
有する３種類の複合型磁気ヘッドを準備し、「記録にじ
み」の記録電流依存性について調べた実験の結果を示す
ものである。
有する３種類の複合型磁気ヘッドを準備し、「記録にじ
み」の記録電流依存性について調べた実験の結果を示す
ものである。
【００２５】
【表１】
【００２６】表１において、実施例１、２は前記図１に
示したような記録媒体対向面構造を有する複合型磁気ヘ
ッドであり、従来例は前記図５に示したような記録媒体
対向面構造を有する複合型磁気ヘッドである。
示したような記録媒体対向面構造を有する複合型磁気ヘ
ッドであり、従来例は前記図５に示したような記録媒体
対向面構造を有する複合型磁気ヘッドである。
【００２７】実験では、各試料ヘッドを用いて抗磁力Ｈ
ｃ＝１６７０Ｏｅの磁気ディスクに記録を行った後、該
ヘッドをトラック幅方向に０．１μｍ間隔で移動させな
がら再生出力を測定し、ヘッド移動に伴う出力の減衰傾
向から出力ゼロとなるまでのヘッド移動量を推定してそ
の移動量を実効記録トラック幅Ｔｅとし、ヘッドの上部
コア層のトラック幅Ｔｏとの差（Ｔｅ−Ｔｏ）を「記録
にじみ」とした。
ｃ＝１６７０Ｏｅの磁気ディスクに記録を行った後、該
ヘッドをトラック幅方向に０．１μｍ間隔で移動させな
がら再生出力を測定し、ヘッド移動に伴う出力の減衰傾
向から出力ゼロとなるまでのヘッド移動量を推定してそ
の移動量を実効記録トラック幅Ｔｅとし、ヘッドの上部
コア層のトラック幅Ｔｏとの差（Ｔｅ−Ｔｏ）を「記録
にじみ」とした。
【００２８】図５を見ればわかるように、上部シールド
層兼下部コア層が平坦でＮｉ−Ｆｅ合金薄膜単層からな
る従来例に比べて、上部シールド層兼下部コア層が凸部
を有する実施例２においては、記録電流の増大に伴う
「記録にじみ」の増大が抑制され、上部シールド層兼下
部コア層が凸部を有するとともにその上層部がＣｏ−Ｚ
ｒ−Ｓｎ合金薄膜からなる実施例１においては、「記録
にじみ」の増大がさらに抑制されている。
層兼下部コア層が平坦でＮｉ−Ｆｅ合金薄膜単層からな
る従来例に比べて、上部シールド層兼下部コア層が凸部
を有する実施例２においては、記録電流の増大に伴う
「記録にじみ」の増大が抑制され、上部シールド層兼下
部コア層が凸部を有するとともにその上層部がＣｏ−Ｚ
ｒ−Ｓｎ合金薄膜からなる実施例１においては、「記録
にじみ」の増大がさらに抑制されている。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、本発明の複合型磁気ヘッ
ドによれば実効的な記録トラック幅の拡がりが抑制さ
れ、高トラック密度の磁気記録システムを実現すること
が可能になる。
ドによれば実効的な記録トラック幅の拡がりが抑制さ
れ、高トラック密度の磁気記録システムを実現すること
が可能になる。
【図１】本発明実施例による複合型磁気ヘッドの記録媒
体対向面図である。
体対向面図である。
【図２】本発明実施例による複合型磁気ヘッドの上部シ
ールド層兼下部コア層の形成プロセスを示す斜視図であ
る。
ールド層兼下部コア層の形成プロセスを示す斜視図であ
る。
【図３】本発明実施例による複合型磁気ヘッドの上部シ
ールド層兼下部コア層の形成プロセスを示す斜視図であ
る。
ールド層兼下部コア層の形成プロセスを示す斜視図であ
る。
【図４】本発明実施例による複合型磁気ヘッドの上部シ
ールド層兼下部コア層の記録媒体対向面図である。
ールド層兼下部コア層の記録媒体対向面図である。
【図５】本発明実施例及び従来例による複合型磁気ヘッ
ドの記録にじみ特性に関する実験の結果を示す図であ
る。
ドの記録にじみ特性に関する実験の結果を示す図であ
る。
【図６】従来例による複合型磁気ヘッドの記録媒体対向
面図である。
面図である。
１ 基板 ２ 下部保護層 ３ 下部シールド層 ４ 下部シールド層と磁気抵抗効果素子層との間のギ
ャップスペーサ層 ５ 磁気抵抗効果素子層、 ６ 磁気抵抗効果素子層に通電するためのリード導体
層 ７ 磁気抵抗効果素子層と上部シールド層との間のギ
ャップスペーサ層 ８ 上部シールド層兼下部コア層 ８１ 上部シールド層兼下部コア層の底部 ８２ 上部シールド層兼下部コア層の凸部 ９ 下部コア層と上部コア層との間のギャップスペー
サ層 １０ 上部コア層 １１ 上部保護層
ャップスペーサ層 ５ 磁気抵抗効果素子層、 ６ 磁気抵抗効果素子層に通電するためのリード導体
層 ７ 磁気抵抗効果素子層と上部シールド層との間のギ
ャップスペーサ層 ８ 上部シールド層兼下部コア層 ８１ 上部シールド層兼下部コア層の底部 ８２ 上部シールド層兼下部コア層の凸部 ９ 下部コア層と上部コア層との間のギャップスペー
サ層 １０ 上部コア層 １１ 上部保護層
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年１月３１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】まず、図２（ａ）に示すように、前記下部
保護層、下部シールド層、下部シールド層と磁気抵抗効
果素子層との間のギャップスペーサ層、磁気抵抗効果素
子層、リード導体層、磁気抵抗化素子層と上部シールド
層との間のギャップスペーサ層等が形成された基体１０
０の上面全体に、厚さ１〜１０μｍの磁性薄膜８０を形
成する。
保護層、下部シールド層、下部シールド層と磁気抵抗効
果素子層との間のギャップスペーサ層、磁気抵抗効果素
子層、リード導体層、磁気抵抗化素子層と上部シールド
層との間のギャップスペーサ層等が形成された基体１０
０の上面全体に、厚さ１〜１０μｍの磁性薄膜８０を形
成する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【符号の説明】 １ 基板 ２ 下部保護層 ３ 下部シールド層 ４ 下部シールド層と磁気抵抗効果素子層との間のギ
ャップスペーサ層 ５ 磁気抵抗効果素子層 ６ 磁気抵抗効果素子層に通電するためのリード導体
層 ７ 磁気抵抗効果素子層と上部シールド層との間のギ
ャップスペーサ層 ８ 上部シールド層兼下部コア層 ８１ 上部シールド層兼下部コア層の底部 ８２ 上部シールド層兼下部コア層の凸部 ９ 下部コア層と上部コア層との間のギャップスペー
サ層 １０ 上部コア層 １１ 上部保護層
ャップスペーサ層 ５ 磁気抵抗効果素子層 ６ 磁気抵抗効果素子層に通電するためのリード導体
層 ７ 磁気抵抗効果素子層と上部シールド層との間のギ
ャップスペーサ層 ８ 上部シールド層兼下部コア層 ８１ 上部シールド層兼下部コア層の底部 ８２ 上部シールド層兼下部コア層の凸部 ９ 下部コア層と上部コア層との間のギャップスペー
サ層 １０ 上部コア層 １１ 上部保護層
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
Claims (3)
- 【請求項１】 磁気抵抗効果素子層及びシールド層を備
える磁気抵抗効果型ヘッドと磁気コア層及び通電コイル
層を備える誘導型ヘッドとを、基板上に積み重ねて形成
し、前記磁気抵抗効果型ヘッドの上部シールド層と前記
誘導型ヘッドの下部コア層とを、磁性薄膜の一体物にて
構成した複合型磁気ヘッドにおいて、前記磁性薄膜の一
体物が、前記誘導型ヘッドの上部コア層の平面形状より
も拡がった平面形状を有する底部と、該底部上に配さ
れ、少なくとも記録媒体対向部近傍において前記上部コ
ア層のトラック幅規制部と略同一の平面形状を有する凸
部とを備えることを特徴とする複合型磁気ヘッド。 - 【請求項２】 前記凸部が、前記上部コア層の全体と略
同一の平面形状を有することを特徴とする請求項１記載
の複合型磁気ヘッド。 - 【請求項３】 前記凸部の最上層を構成する磁性材料の
飽和磁束密度が、前記底部の最下層を構成する磁性材料
の飽和磁束密度よりも大きいことを特徴とする請求項１
記載の複合型磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1049594A JPH07220245A (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | 複合型磁気ヘッド |
| US08/761,933 US5739991A (en) | 1994-02-01 | 1996-12-09 | Composite thin film head having magnetoresistive and inductive head portions with nonmagnetic thin film interposed between core and shield portions of core layer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1049594A JPH07220245A (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | 複合型磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07220245A true JPH07220245A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=11751777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1049594A Pending JPH07220245A (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | 複合型磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07220245A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07262519A (ja) * | 1994-03-09 | 1995-10-13 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | Ｍｒ複合ヘッド及びその製造方法 |
| US5850325A (en) * | 1996-04-02 | 1998-12-15 | Tdk Corporation | Magnetic head having a read element upper shield film and a write element lower magnetic film separated by a non-magnetic film having a thickness such that magnetic coupling is enduced therebetween |
| US6178065B1 (en) | 1997-05-29 | 2001-01-23 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head and manufacturing method of the head |
| US6233813B1 (en) | 1997-11-11 | 2001-05-22 | Tdk Corporation | Method of manufacturing thin film head |
| US6330743B1 (en) | 1997-11-26 | 2001-12-18 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head and method of manufacturing the same |
-
1994
- 1994-02-01 JP JP1049594A patent/JPH07220245A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07262519A (ja) * | 1994-03-09 | 1995-10-13 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | Ｍｒ複合ヘッド及びその製造方法 |
| US5850325A (en) * | 1996-04-02 | 1998-12-15 | Tdk Corporation | Magnetic head having a read element upper shield film and a write element lower magnetic film separated by a non-magnetic film having a thickness such that magnetic coupling is enduced therebetween |
| US6178065B1 (en) | 1997-05-29 | 2001-01-23 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head and manufacturing method of the head |
| US6233813B1 (en) | 1997-11-11 | 2001-05-22 | Tdk Corporation | Method of manufacturing thin film head |
| US6490130B2 (en) | 1997-11-11 | 2002-12-03 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head with recess for positional reference |
| US6330743B1 (en) | 1997-11-26 | 2001-12-18 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head and method of manufacturing the same |
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