JPH07218554A - 光学式センサ - Google Patents
光学式センサInfo
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- JPH07218554A JPH07218554A JP6011621A JP1162194A JPH07218554A JP H07218554 A JPH07218554 A JP H07218554A JP 6011621 A JP6011621 A JP 6011621A JP 1162194 A JP1162194 A JP 1162194A JP H07218554 A JPH07218554 A JP H07218554A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ファラデー素子、偏光子おび検光子を基板に固
着して形成された光学式センサにおいて、これらの光学
部品として薄板状のものを採用した場合の基板に対する
位置決めを正確にし、かつ固着強度を高めること。 【構成】基板１１上に固着されて光路を形成する一対の
コリメータ１２，１３と、前記光路上に配置して固着さ
れた偏光子１４、ファラデー素子１５、および検光子１
７とを具備する光学式センサにおいて、基板１１上に前
記光路に直交する溝部１１ｃを設けて起立壁面を形成
し、起立壁面１１ｅ，１１ｆにファラデー素子１６およ
び検光子１７を固着した。
着して形成された光学式センサにおいて、これらの光学
部品として薄板状のものを採用した場合の基板に対する
位置決めを正確にし、かつ固着強度を高めること。 【構成】基板１１上に固着されて光路を形成する一対の
コリメータ１２，１３と、前記光路上に配置して固着さ
れた偏光子１４、ファラデー素子１５、および検光子１
７とを具備する光学式センサにおいて、基板１１上に前
記光路に直交する溝部１１ｃを設けて起立壁面を形成
し、起立壁面１１ｅ，１１ｆにファラデー素子１６およ
び検光子１７を固着した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学式センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】光学式センサの一形式として光電圧セン
サ、光電界センサ、光磁界センサ等光学式センサがあ
り、当該光学式センサは例えば特開平１−２４４３７６
号公報に示されているように、センサ基板上に並列的ま
たは直列的に配置して固着されて光路を形成する一対の
コリメータと、前記光路上に配置して固着された偏光
子、ポッケルス効果またはファラデー効果を有する光学
素子、および検光子とを具備する構成となっている。ま
た、これらの各光学部品はセンサ基板の端面上または溝
部に配置されて固着されている。
サ、光電界センサ、光磁界センサ等光学式センサがあ
り、当該光学式センサは例えば特開平１−２４４３７６
号公報に示されているように、センサ基板上に並列的ま
たは直列的に配置して固着されて光路を形成する一対の
コリメータと、前記光路上に配置して固着された偏光
子、ポッケルス効果またはファラデー効果を有する光学
素子、および検光子とを具備する構成となっている。ま
た、これらの各光学部品はセンサ基板の端面上または溝
部に配置されて固着されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、当該光学式
センサにおいては、種々の形状の各光学部品が採用され
る。たとえば、上記した光学素子においては立方体の形
状のものが一般に採用されているが、ファラデー素子と
しては強磁性体で高感度のファラデー素子があり、かか
るファラデー素子は薄い板状を呈している。このような
形状の光学素子をセンサ基板の端面上または溝部に正確
に位置決めして配置することは難しい。また、偏光子、
検光子等の偏光素子においては、偏光角を４５゜を代表
例としてその他の角度に傾斜して配置し、高い出力を得
て高感度に使用する方法があるが、偏光素子を予め設定
された傾斜角度に精度良く配置することは難しい。従っ
て、本発明の目的は、これら各光学部品のうち高感度の
点を考慮して薄い板状のものを採用した場合の、これら
光学部品をセンサ基板上に正確に位置決めした状態で配
置することにある。
センサにおいては、種々の形状の各光学部品が採用され
る。たとえば、上記した光学素子においては立方体の形
状のものが一般に採用されているが、ファラデー素子と
しては強磁性体で高感度のファラデー素子があり、かか
るファラデー素子は薄い板状を呈している。このような
形状の光学素子をセンサ基板の端面上または溝部に正確
に位置決めして配置することは難しい。また、偏光子、
検光子等の偏光素子においては、偏光角を４５゜を代表
例としてその他の角度に傾斜して配置し、高い出力を得
て高感度に使用する方法があるが、偏光素子を予め設定
された傾斜角度に精度良く配置することは難しい。従っ
て、本発明の目的は、これら各光学部品のうち高感度の
点を考慮して薄い板状のものを採用した場合の、これら
光学部品をセンサ基板上に正確に位置決めした状態で配
置することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光学式セン
サは、センサ基板上に並列的または直列的に配置して固
着されて光路を形成する一対のコリメータと、前記光路
上に配置して固着された偏光子、ポッケルス効果または
ファラデー効果を有する光学素子、および検光子とを具
備する光学式センサにおいて、前記センサ基板上に前記
光路に直交する溝部を設けて起立壁面を形成し、同起立
壁面に前記偏光子、光学素子および検光子の少なくとも
１つを配置して固着したことを特徴とするものである。
サは、センサ基板上に並列的または直列的に配置して固
着されて光路を形成する一対のコリメータと、前記光路
上に配置して固着された偏光子、ポッケルス効果または
ファラデー効果を有する光学素子、および検光子とを具
備する光学式センサにおいて、前記センサ基板上に前記
光路に直交する溝部を設けて起立壁面を形成し、同起立
壁面に前記偏光子、光学素子および検光子の少なくとも
１つを配置して固着したことを特徴とするものである。
【０００５】当該光学式センサにおいては、前記光学素
子として強磁性体からなる板状のファラデー素子を採用
して、同ファラデー素子を前記起立壁面に配置して固着
すること、前記偏光子または検光子として板状の偏光素
子を採用し、同偏光素子を前記起立壁面に配置して固着
すること、前記光学素子として強磁性体からなる板状の
フアラデー素子を採用するとともに、前記偏光子または
検光子として板状の偏光素子を採用し、これら両素子を
前記溝部の互いに対向する両起立壁面に配置して固着す
ること等の手段を採ることができる。
子として強磁性体からなる板状のファラデー素子を採用
して、同ファラデー素子を前記起立壁面に配置して固着
すること、前記偏光子または検光子として板状の偏光素
子を採用し、同偏光素子を前記起立壁面に配置して固着
すること、前記光学素子として強磁性体からなる板状の
フアラデー素子を採用するとともに、前記偏光子または
検光子として板状の偏光素子を採用し、これら両素子を
前記溝部の互いに対向する両起立壁面に配置して固着す
ること等の手段を採ることができる。
【０００６】
【発明の作用・効果】このように構成した光学式センサ
においては、光学素子を光路に直交する溝部の起立壁面
に配置して固着する手段を採っているため、光学素子と
して板厚の薄い高感度の板状素子を採用した場合には同
素子と基板とは平面状の接合面同士で固着することにな
り、光学素子の正確な位置決めが可能であって固着強度
が高くく、かつ感度の高い光学式センサを得ることがで
きる。また、光学素子として偏光素子を採用した場合に
は偏光角を容易に任意の角度に精度良く位置決めして固
着することができ、高感度の光学式センサを得ることが
できる。特に、偏光素子として板状の素子を採用した場
合には、同素子の偏光角の正確な位置決め、および固着
強度の高い光学式センサが得られる。
においては、光学素子を光路に直交する溝部の起立壁面
に配置して固着する手段を採っているため、光学素子と
して板厚の薄い高感度の板状素子を採用した場合には同
素子と基板とは平面状の接合面同士で固着することにな
り、光学素子の正確な位置決めが可能であって固着強度
が高くく、かつ感度の高い光学式センサを得ることがで
きる。また、光学素子として偏光素子を採用した場合に
は偏光角を容易に任意の角度に精度良く位置決めして固
着することができ、高感度の光学式センサを得ることが
できる。特に、偏光素子として板状の素子を採用した場
合には、同素子の偏光角の正確な位置決め、および固着
強度の高い光学式センサが得られる。
【０００７】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
るに、図１には本発明の第１実施例に係る光学式センサ
が示されている。当該光学式センサは光磁界センサ１０
であって、光磁界センサ１０はセラミック質の基板１１
に一対のコリメータ１２，１３、ミラー１４、偏光ビー
ムスプリッタ１５、ファラデー素子１６、検光子１７が
固着されて構成されている。
るに、図１には本発明の第１実施例に係る光学式センサ
が示されている。当該光学式センサは光磁界センサ１０
であって、光磁界センサ１０はセラミック質の基板１１
に一対のコリメータ１２，１３、ミラー１４、偏光ビー
ムスプリッタ１５、ファラデー素子１６、検光子１７が
固着されて構成されている。
【０００８】当該光磁界センサ１０において、基板１１
は図２に示すように長方形のもので、基板１１の一側面
における両側縁部には互いに平行な第１溝部１１ａおよ
び第２溝部１１ｂが形成されているとともに、基板１１
の一側面における端縁部には各溝部１１ａ，１１ｂに直
交する第３溝部１１ｃが形成されている。第１溝部１１
ａおよび第２溝部１１ｂは基板１１の一端から他端へ延
びているとともに、第３溝部１１ｃは一側縁から他側縁
へ延びているもので、これら各溝部１１ａ〜１１ｃは断
面凹状を呈している。
は図２に示すように長方形のもので、基板１１の一側面
における両側縁部には互いに平行な第１溝部１１ａおよ
び第２溝部１１ｂが形成されているとともに、基板１１
の一側面における端縁部には各溝部１１ａ，１１ｂに直
交する第３溝部１１ｃが形成されている。第１溝部１１
ａおよび第２溝部１１ｂは基板１１の一端から他端へ延
びているとともに、第３溝部１１ｃは一側縁から他側縁
へ延びているもので、これら各溝部１１ａ〜１１ｃは断
面凹状を呈している。
【０００９】各コリメータ１２，１３は円柱状のフェル
ール１２ａ，１３ａと、ロッドレンズ１２ｂ，１３ｂ
と、光ファイバー１２ｃ，１３ｃとからなるもので、光
ファイバー１２ｃ，１３ｃはフェルール１２ａ，１３ａ
の中央部に設けた挿入孔に挿入されていて、その心線が
フェルール１２ａ，１３ａの先端面にて露呈している。
ロッドレンズ１２ｂ，１３ｂは、その後端面にてフェル
ール１２ａ，１３ａの先端面に接着されている。フェル
ール１２ａ，１３ａとロッドレンズ１２ｂ，１３ｂと
は、光ファイバー１２ｃ，１３ｃの軸心とロッドレンズ
１２ｂ，１３ｂの光軸を一致させる光軸調整がなされて
接着されている。第１コリメータ１２は基板１１の第１
溝部１１ａに嵌合して固着され、また第２コリメータ１
３は基板１１の第２溝部１１ｂに嵌合して固着されてい
る。第１溝部１１ａおよび第２溝部１１ｂの深さは、両
コリメータ１２，１３が形成する光路が両溝部１１ａ，
１１ｂ内に位置する深さに設定されている。
ール１２ａ，１３ａと、ロッドレンズ１２ｂ，１３ｂ
と、光ファイバー１２ｃ，１３ｃとからなるもので、光
ファイバー１２ｃ，１３ｃはフェルール１２ａ，１３ａ
の中央部に設けた挿入孔に挿入されていて、その心線が
フェルール１２ａ，１３ａの先端面にて露呈している。
ロッドレンズ１２ｂ，１３ｂは、その後端面にてフェル
ール１２ａ，１３ａの先端面に接着されている。フェル
ール１２ａ，１３ａとロッドレンズ１２ｂ，１３ｂと
は、光ファイバー１２ｃ，１３ｃの軸心とロッドレンズ
１２ｂ，１３ｂの光軸を一致させる光軸調整がなされて
接着されている。第１コリメータ１２は基板１１の第１
溝部１１ａに嵌合して固着され、また第２コリメータ１
３は基板１１の第２溝部１１ｂに嵌合して固着されてい
る。第１溝部１１ａおよび第２溝部１１ｂの深さは、両
コリメータ１２，１３が形成する光路が両溝部１１ａ，
１１ｂ内に位置する深さに設定されている。
【００１０】ミラー１４は立方体形状のもので、基板１
１における他端側の端面１１ｄにて第１溝部１１ａの他
端側の開口部に対向して固着されている。同様に、偏光
ビームスプリッタ１５は立方体形状のもので、基板１１
における他端側の端面１１ｄにて第２溝部１１ｂの他端
側の開口部に対向して固着されている。一方、ファラデ
ー素子１６は強磁性体からなる薄板状で平板状のもの
で、高感度の特性を有している。また、検光子１７は金
属をガラス中に一方向に配列して偏光特性を付与した偏
光ガラス製のもので、ファラデー素子１６と同様に肉厚
の薄い平板状のものである。ファラデー素子１６は第３
溝部１１ｃにおける一方の起立面１１ｅにて、第２溝部
１１ｂの開口部に対向して固着されている。また、検光
子１７は第３溝部１１ｃにおける他方の起立壁面１１ｆ
にて、第２溝部１１ｂの開口部に対向して固着されてい
る。
１における他端側の端面１１ｄにて第１溝部１１ａの他
端側の開口部に対向して固着されている。同様に、偏光
ビームスプリッタ１５は立方体形状のもので、基板１１
における他端側の端面１１ｄにて第２溝部１１ｂの他端
側の開口部に対向して固着されている。一方、ファラデ
ー素子１６は強磁性体からなる薄板状で平板状のもの
で、高感度の特性を有している。また、検光子１７は金
属をガラス中に一方向に配列して偏光特性を付与した偏
光ガラス製のもので、ファラデー素子１６と同様に肉厚
の薄い平板状のものである。ファラデー素子１６は第３
溝部１１ｃにおける一方の起立面１１ｅにて、第２溝部
１１ｂの開口部に対向して固着されている。また、検光
子１７は第３溝部１１ｃにおける他方の起立壁面１１ｆ
にて、第２溝部１１ｂの開口部に対向して固着されてい
る。
【００１１】当該光磁界センサ１０においては、光源１
８ａから出射した光が第１コリメータ１２の光ファイバ
ー１２ｃを経てロツドレンズ１２ｂに入射され、ロツド
レンズ１２ｂにて平行光とされてミラー１４に入射され
て直角に向変換され、偏光子として機能する偏光ビーム
スプリツタ１３に入射される。入射光は偏光ビームスプ
リッタ１３にて直線偏光とされてファラデー素子１２に
入射される。入射光はファラデー素子１２において、印
加された磁界に応じて偏光面が回転され、検光子１７に
入射される。入射光は検光子１７にて印加磁界に応じた
強度の変調光として第２コリメータ１３のロツドレンズ
１３ｂに入射され、集光して光ファイバー１３ｃに入射
されて受光装置１８ｂに伝達される。
８ａから出射した光が第１コリメータ１２の光ファイバ
ー１２ｃを経てロツドレンズ１２ｂに入射され、ロツド
レンズ１２ｂにて平行光とされてミラー１４に入射され
て直角に向変換され、偏光子として機能する偏光ビーム
スプリツタ１３に入射される。入射光は偏光ビームスプ
リッタ１３にて直線偏光とされてファラデー素子１２に
入射される。入射光はファラデー素子１２において、印
加された磁界に応じて偏光面が回転され、検光子１７に
入射される。入射光は検光子１７にて印加磁界に応じた
強度の変調光として第２コリメータ１３のロツドレンズ
１３ｂに入射され、集光して光ファイバー１３ｃに入射
されて受光装置１８ｂに伝達される。
【００１２】このように構成した光磁界センサ１０にお
いては、ファラデー素子１６を光路に直交する溝部であ
る第３溝部１１ｃにおける一方の起立壁面１１ｅに配置
して固着する手段を採っているため、ファラデー素子と
して板厚の薄い高感度の板状ファラデー素子１６を採用
した場合には、ファラデー素子１６と基板１１とは平面
状の接合面同士で固着することになり、ファラデー素子
１６の正確な位置決めが可能であって固着強度が高く、
かつ感度の高い光磁界センサを得ることができる。ま
た、当該光磁界センサ１０においては、検光子１７を光
路に直交する溝部である第３溝部１１ｃにおける他方の
起立壁面１１ｆに配置して固着する手段を採っているた
め、板厚の薄い偏光素子を検光子１７として採用した場
合には、検光子１７の偏光角（図１において破線で示
す）を容易に任意の設定角度に精度良く位置決めして固
着することができ、高感度の光磁界センサを得ることが
できるとともに、検光子１７の固着強度を高めることが
できる。
いては、ファラデー素子１６を光路に直交する溝部であ
る第３溝部１１ｃにおける一方の起立壁面１１ｅに配置
して固着する手段を採っているため、ファラデー素子と
して板厚の薄い高感度の板状ファラデー素子１６を採用
した場合には、ファラデー素子１６と基板１１とは平面
状の接合面同士で固着することになり、ファラデー素子
１６の正確な位置決めが可能であって固着強度が高く、
かつ感度の高い光磁界センサを得ることができる。ま
た、当該光磁界センサ１０においては、検光子１７を光
路に直交する溝部である第３溝部１１ｃにおける他方の
起立壁面１１ｆに配置して固着する手段を採っているた
め、板厚の薄い偏光素子を検光子１７として採用した場
合には、検光子１７の偏光角（図１において破線で示
す）を容易に任意の設定角度に精度良く位置決めして固
着することができ、高感度の光磁界センサを得ることが
できるとともに、検光子１７の固着強度を高めることが
できる。
【００１３】図３には本発明の第２実施例に係る光学式
センサが示されている。当該光学式センサは光磁界セン
サ２０であって、光磁界センサ２０はセラミック質の基
板２１に一対のコリメータ２２，２３、ミラー２４、偏
光ビームスプリッタ２５、ファラデー素子２６、検光子
２７を固着して構成されているもので、基板２１に形成
された第１，第２溝部２１ａ，２１ｂの断面形状および
検光子２７の形状が第１実施例の光磁界センサ１０とは
相違するが、その他の構成は同光磁界センサ１０と同様
である。
センサが示されている。当該光学式センサは光磁界セン
サ２０であって、光磁界センサ２０はセラミック質の基
板２１に一対のコリメータ２２，２３、ミラー２４、偏
光ビームスプリッタ２５、ファラデー素子２６、検光子
２７を固着して構成されているもので、基板２１に形成
された第１，第２溝部２１ａ，２１ｂの断面形状および
検光子２７の形状が第１実施例の光磁界センサ１０とは
相違するが、その他の構成は同光磁界センサ１０と同様
である。
【００１４】当該光磁界センサ２０において、基板２１
は図４に示すように長方形のもので、基板２１の一側面
における両側縁部に形成されている第１溝部２１ａおよ
び第２溝部２１ｂは断面Ｖ字状もので、基板２１の一端
から他端へ延びている。また、第３溝部２１ｃはこれら
両溝部２１ａ，２１ｂに直交して基板２１の一側縁から
他側縁へ延びているもので、断面凹状を呈している。か
かる基板２１においては、第１溝部２１ａおよび第２溝
部２１ｂに第１コリメータ２２および第２コリメータ２
３が嵌合して固着されているとともに、第２溝部２１ｂ
における第２コリメータ２３の前側に検光子２７が嵌合
して固着されている。検光子２７は偏光ヒームスプリッ
タ２５と同じ立方形状のもので、第２溝部２１ｂ内に偏
光角を略４５゜となるように嵌合して固着されている。
第１溝部２１ａおよび第２溝部２１ｂの深さは、両コリ
メータ２２，２３が形成する光路が両溝部２１ａ，２１
ｂ内に位置する深さに設定されている。
は図４に示すように長方形のもので、基板２１の一側面
における両側縁部に形成されている第１溝部２１ａおよ
び第２溝部２１ｂは断面Ｖ字状もので、基板２１の一端
から他端へ延びている。また、第３溝部２１ｃはこれら
両溝部２１ａ，２１ｂに直交して基板２１の一側縁から
他側縁へ延びているもので、断面凹状を呈している。か
かる基板２１においては、第１溝部２１ａおよび第２溝
部２１ｂに第１コリメータ２２および第２コリメータ２
３が嵌合して固着されているとともに、第２溝部２１ｂ
における第２コリメータ２３の前側に検光子２７が嵌合
して固着されている。検光子２７は偏光ヒームスプリッ
タ２５と同じ立方形状のもので、第２溝部２１ｂ内に偏
光角を略４５゜となるように嵌合して固着されている。
第１溝部２１ａおよび第２溝部２１ｂの深さは、両コリ
メータ２２，２３が形成する光路が両溝部２１ａ，２１
ｂ内に位置する深さに設定されている。
【００１５】ミラー２４および偏光ビームスプリッタ２
５は、第１実施例の光磁界センサ１０と同様に基板２１
における他端側の端面２１ｄに固着されていて、第１溝
部２１ａ、第２溝部２１ｂの他端側の開口部に対向して
いる。ファラデー素子２６は第１実施例の光磁界センサ
１０のファラデー素子１７と同じもので、強磁性体から
なる薄板状の平板で高感度の特性のものである。ファラ
デー素子２６は第３溝部２１ｃにおける他方の起立壁面
２１ｆに固着されていて、第２溝部２１ｂの開口部に対
向して固着されている。従って、当該光磁界センサ２０
においては第１実施例にの光磁界センサ１０と同様の光
路を形成し、かつ同様に機能する。
５は、第１実施例の光磁界センサ１０と同様に基板２１
における他端側の端面２１ｄに固着されていて、第１溝
部２１ａ、第２溝部２１ｂの他端側の開口部に対向して
いる。ファラデー素子２６は第１実施例の光磁界センサ
１０のファラデー素子１７と同じもので、強磁性体から
なる薄板状の平板で高感度の特性のものである。ファラ
デー素子２６は第３溝部２１ｃにおける他方の起立壁面
２１ｆに固着されていて、第２溝部２１ｂの開口部に対
向して固着されている。従って、当該光磁界センサ２０
においては第１実施例にの光磁界センサ１０と同様の光
路を形成し、かつ同様に機能する。
【００１６】このように構成した光磁界センサ２０にお
いては、ファラデー素子２６を光路に直交する溝部であ
る第３溝部２１ｃにおける他方の起立壁面２１ｆに配置
して固着する手段を採っているため、ファラデー素子と
して板厚の薄い高感度の板状ファラデー素子２６を採用
した場合には、ファラデー素子２６と基板２１とは平面
状の接合面同士で固着することになり、ファラデー素子
２６の正確な位置決めが可能であって固着強度が高く、
かつ感度の高い光磁界センサを得ることができる。
いては、ファラデー素子２６を光路に直交する溝部であ
る第３溝部２１ｃにおける他方の起立壁面２１ｆに配置
して固着する手段を採っているため、ファラデー素子と
して板厚の薄い高感度の板状ファラデー素子２６を採用
した場合には、ファラデー素子２６と基板２１とは平面
状の接合面同士で固着することになり、ファラデー素子
２６の正確な位置決めが可能であって固着強度が高く、
かつ感度の高い光磁界センサを得ることができる。
【００１７】なお、当該光磁界センサ２０においては、
検光子２７を断面Ｖ字状の第２溝部２１ｂ内に嵌合して
固着する手段を採っているため、検光子２７の偏光角の
傾斜角度と第２溝部２１ｂのＶ形状との関係を予め設定
しておくことにより、検光子２７の偏光角を設定角度に
精度良く位置決めして固着することができて高感度の光
磁界センサを得ることができるとともに、検光子２７の
固着強度を高めることができる。
検光子２７を断面Ｖ字状の第２溝部２１ｂ内に嵌合して
固着する手段を採っているため、検光子２７の偏光角の
傾斜角度と第２溝部２１ｂのＶ形状との関係を予め設定
しておくことにより、検光子２７の偏光角を設定角度に
精度良く位置決めして固着することができて高感度の光
磁界センサを得ることができるとともに、検光子２７の
固着強度を高めることができる。
【００１８】なお、上記第１実施例おいては、ファラデ
ー素子１６をポッケルス素子に変更して光電界センサ、
光電圧センサを構成することができる。この場合に採用
するポッケルス素子は、ミラー１４および偏光ビームス
プリッタ１５と同様に立方形状のものであり、ミラー１
４および偏光ビームスプリッタ１５間にてこれらと直列
的に基板１１の端面１１ｄに固着される。また、上記各
実施例においては、第１溝部１１ａ，２１ａおよび第２
溝部１１ｂ，２１ｂを並列的に配設してコ字状の光路を
形成する例について示しているが、これら両溝部を直列
的に配設して、直線の光路を形成する光学式センサに構
成することができる。この場合には、第３溝部１１ｃ，
２１ｃは第１溝部１１ａ，２１ａおよび第２溝部１１
ｂ，２１ｂに対して直交して配設し、かかる第３溝部１
１ｃ，２１ｃの起立壁面には検光子に換えて薄板状の偏
光子を固着するようにしてもよい。
ー素子１６をポッケルス素子に変更して光電界センサ、
光電圧センサを構成することができる。この場合に採用
するポッケルス素子は、ミラー１４および偏光ビームス
プリッタ１５と同様に立方形状のものであり、ミラー１
４および偏光ビームスプリッタ１５間にてこれらと直列
的に基板１１の端面１１ｄに固着される。また、上記各
実施例においては、第１溝部１１ａ，２１ａおよび第２
溝部１１ｂ，２１ｂを並列的に配設してコ字状の光路を
形成する例について示しているが、これら両溝部を直列
的に配設して、直線の光路を形成する光学式センサに構
成することができる。この場合には、第３溝部１１ｃ，
２１ｃは第１溝部１１ａ，２１ａおよび第２溝部１１
ｂ，２１ｂに対して直交して配設し、かかる第３溝部１
１ｃ，２１ｃの起立壁面には検光子に換えて薄板状の偏
光子を固着するようにしてもよい。
【図１】本発明の光学式センサである第１実施例に係る
光磁界センサの斜視図である。
光磁界センサの斜視図である。
【図２】同光磁界センサを構成する基板の斜視図であ
る。
る。
【図３】本発明の光学式センサである第２実施例に係る
光磁界センサの斜視図である。
光磁界センサの斜視図である。
【図４】同光磁界センサを構成する基板の斜視図であ
る。
る。
１０，２０…光磁界センサ、１１，２１…基板、１１
ａ，２１ａ…第１溝部、１１ｂ，２１ｂ…第２溝部、１
１ｃ，２１ｃ…第３溝部、１２，１３，２２，２３…コ
リメータ、１５，２５…偏光ビームスプリッタ、１６，
２６…ファラデー素子、１７，２７…検光子。
ａ，２１ａ…第１溝部、１１ｂ，２１ｂ…第２溝部、１
１ｃ，２１ｃ…第３溝部、１２，１３，２２，２３…コ
リメータ、１５，２５…偏光ビームスプリッタ、１６，
２６…ファラデー素子、１７，２７…検光子。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年４月１４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、当該光学式
センサにおいては、種々の形状の各光学部品が採用され
る。たとえば、ファラデー素子としては強磁性体で高感
度のファラデー素子があり、かかるファラデー素子は薄
い板状を呈している。このような形状の光学素子をセン
サ基板の端面上または溝部に正確に位置決めして配置す
ることは難しい。また、偏光子、検光子等の偏光素子に
おいては、立方体の形状のものが一般に採用されてお
り、偏光角を４５゜を代表例としてその他の角度に傾斜
して配置し、高い出力を得て高感度に使用する方法があ
るが、偏光素子を予め設定された傾斜角度に精度良く配
置することは難しい。従って、本発明の目的は、これら
各光学部品のうち高感度の点を考慮して薄い板状のもの
を採用した場合の、これら光学部品をセンサ基板上に正
確に位置決めした状態で配置することにある。
センサにおいては、種々の形状の各光学部品が採用され
る。たとえば、ファラデー素子としては強磁性体で高感
度のファラデー素子があり、かかるファラデー素子は薄
い板状を呈している。このような形状の光学素子をセン
サ基板の端面上または溝部に正確に位置決めして配置す
ることは難しい。また、偏光子、検光子等の偏光素子に
おいては、立方体の形状のものが一般に採用されてお
り、偏光角を４５゜を代表例としてその他の角度に傾斜
して配置し、高い出力を得て高感度に使用する方法があ
るが、偏光素子を予め設定された傾斜角度に精度良く配
置することは難しい。従って、本発明の目的は、これら
各光学部品のうち高感度の点を考慮して薄い板状のもの
を採用した場合の、これら光学部品をセンサ基板上に正
確に位置決めした状態で配置することにある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【発明の作用・効果】このように構成した光学式センサ
においては、光学素子を光路に直交する溝部の起立壁面
に配置して固着する手段を採っているため、光学素子と
して板厚の薄い高感度の板状素子を採用した場合には同
素子と基板とは平面状の接合面同士で固着することにな
り、光学素子の正確な位置決めが可能であって固着強度
が高く、かつ感度の高い光学式センサを得ることができ
る。また、偏光子または検光子として板状の偏光素子を
採用した場合には偏光角を容易に任意の角度に精度良く
位置決めして固着することができ、高感度の光学式セン
サを得ることができる。
においては、光学素子を光路に直交する溝部の起立壁面
に配置して固着する手段を採っているため、光学素子と
して板厚の薄い高感度の板状素子を採用した場合には同
素子と基板とは平面状の接合面同士で固着することにな
り、光学素子の正確な位置決めが可能であって固着強度
が高く、かつ感度の高い光学式センサを得ることができ
る。また、偏光子または検光子として板状の偏光素子を
採用した場合には偏光角を容易に任意の角度に精度良く
位置決めして固着することができ、高感度の光学式セン
サを得ることができる。
Claims (4)
- 【請求項１】センサ基板上に並列的または直列的に配置
して固着されて光路を形成する一対のコリメータと、前
記光路上に配置して固着された偏光子、ポッケルス効果
またはファラデー効果を有する光学素子、および検光子
とを具備する光学式センサにおいて、前記センサ基板上
に前記光路に直交する溝部を設けて起立壁面を形成し、
同起立壁面に前記偏光子、光学素子および検光子の少な
くとも１つを配置して固着したことを特徴とする光学式
センサ。 - 【請求項２】請求項１に記載の光学式センサにおいて、
前記光学素子として強磁性体からなる板状のファラデー
素子を採用して、同ファラデー素子を前記起立壁面に配
置して固着したことを特徴とする光学式センサ。 - 【請求項３】請求項１に記載の光学式センサにおいて、
前記偏光子または検光子として板状の偏光素子を採用
し、同偏光素子を前記起立壁面に配置して固着したこと
を特徴とする光学式センサ。 - 【請求項４】請求項１に記載の光学式センサにおいて、
前記光学素子として強磁性体からなる板状のフアラデー
素子を採用するとともに、前記偏光子または検光子とし
て板状の偏光素子を採用し、これら両素子を前記溝部の
互いに対向する両起立壁面に配置して固着したことを特
徴とする光学式センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6011621A JPH07218554A (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 光学式センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6011621A JPH07218554A (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 光学式センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218554A true JPH07218554A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=11783000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6011621A Pending JPH07218554A (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 光学式センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07218554A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9823359B2 (en) | 2013-04-09 | 2017-11-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image detection device |
-
1994
- 1994-02-03 JP JP6011621A patent/JPH07218554A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9823359B2 (en) | 2013-04-09 | 2017-11-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image detection device |
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