JPH07214296A - 気相式はんだ付け装置における蒸気回収用分離装置 - Google Patents
気相式はんだ付け装置における蒸気回収用分離装置Info
- Publication number
- JPH07214296A JPH07214296A JP1635194A JP1635194A JPH07214296A JP H07214296 A JPH07214296 A JP H07214296A JP 1635194 A JP1635194 A JP 1635194A JP 1635194 A JP1635194 A JP 1635194A JP H07214296 A JPH07214296 A JP H07214296A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor
- liquid
- separator
- gas
- mists
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separating Particles In Gases By Inertia (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 気相式はんだ付け装置における蒸気回収用分
離装置の蒸気ミスト回収効率およびメンテナンス性の向
上を図る。 【構成】 気相式はんだ付け装置11のワーク搬入口16a
および搬出口16b の近傍より不活性蒸気をブロア24の吸
引力により蒸気吸出管21を経て冷却装置22に吸出す。冷
却装置22の温度低下により微粒子状に成長した蒸気ミス
トを分離装置23に吸込む。分離装置23は、分離タンク本
体31の蒸気入口32より内部に吸込まれた蒸気ミストを、
慣性力により直進させて蒸気衝突板36に衝突させ付着さ
せて気体から分離する。この蒸気衝突板36の表面で成長
した液滴は自重により下方へ垂れ落ち、傾斜底面部34を
下降して最下部の液体出口35より液体タンク25に集ま
る。タンク25内の不活性液Ｌをポンプ26により加熱槽13
へ循環する。分離装置23で蒸気ミストの除去された気体
は、気体出口33より排気する。
離装置の蒸気ミスト回収効率およびメンテナンス性の向
上を図る。 【構成】 気相式はんだ付け装置11のワーク搬入口16a
および搬出口16b の近傍より不活性蒸気をブロア24の吸
引力により蒸気吸出管21を経て冷却装置22に吸出す。冷
却装置22の温度低下により微粒子状に成長した蒸気ミス
トを分離装置23に吸込む。分離装置23は、分離タンク本
体31の蒸気入口32より内部に吸込まれた蒸気ミストを、
慣性力により直進させて蒸気衝突板36に衝突させ付着さ
せて気体から分離する。この蒸気衝突板36の表面で成長
した液滴は自重により下方へ垂れ落ち、傾斜底面部34を
下降して最下部の液体出口35より液体タンク25に集ま
る。タンク25内の不活性液Ｌをポンプ26により加熱槽13
へ循環する。分離装置23で蒸気ミストの除去された気体
は、気体出口33より排気する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気相式はんだ付け装置
における蒸気回収用分離装置に関する。
における蒸気回収用分離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】特公平２−５７４６７号公報に示される
ように、従来の気相式はんだ付け装置における蒸気回収
用分離装置として、蒸気凝縮タンクへの蒸気導入部に金
網を充填し、この金網で蒸気ミストを捕捉し除去するよ
うにしたものがある。
ように、従来の気相式はんだ付け装置における蒸気回収
用分離装置として、蒸気凝縮タンクへの蒸気導入部に金
網を充填し、この金網で蒸気ミストを捕捉し除去するよ
うにしたものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記金網としては、ス
テンレスワイヤをメッシュ状に織ったものが使用されて
いるが、金網により捕捉されたミストは自重落下せずに
網目の中にとどまりやすいとともに、網目の中で成長し
たミスト粒子が強制排気経路に吸引されるおそれもあ
る。また金網は、網目に不純物が目詰りしやすく、メン
テナンスが容易でない。
テンレスワイヤをメッシュ状に織ったものが使用されて
いるが、金網により捕捉されたミストは自重落下せずに
網目の中にとどまりやすいとともに、網目の中で成長し
たミスト粒子が強制排気経路に吸引されるおそれもあ
る。また金網は、網目に不純物が目詰りしやすく、メン
テナンスが容易でない。
【０００４】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、蒸気ミスト回収効率およびメンテナンス性の向上
を図ることを目的とするものである。
ので、蒸気ミスト回収効率およびメンテナンス性の向上
を図ることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、気相式はんだ
付け装置の加熱槽で蒸発された蒸気を吸引して、液体と
気体とに分離する蒸気回収用分離装置において、蒸気入
口、気体出口および液体出口が形成された分離タンク本
体と、この分離タンク本体の内部にて蒸気入口から気体
出口への蒸気の直進を阻止する位置に組込まれた複数の
蒸気衝突板とを具備した構成の気相式はんだ付け装置に
おける蒸気回収用分離装置である。
付け装置の加熱槽で蒸発された蒸気を吸引して、液体と
気体とに分離する蒸気回収用分離装置において、蒸気入
口、気体出口および液体出口が形成された分離タンク本
体と、この分離タンク本体の内部にて蒸気入口から気体
出口への蒸気の直進を阻止する位置に組込まれた複数の
蒸気衝突板とを具備した構成の気相式はんだ付け装置に
おける蒸気回収用分離装置である。
【０００６】
【作用】本発明は、分離タンク本体の蒸気入口から内部
に吸込まれた蒸気ミストに慣性力があるため、この蒸気
ミストは、蒸気衝突板にて気体のように迂回することが
できず、直進して蒸気衝突板に当たり、蒸気衝突板に付
着して気体から分離される。この蒸気衝突板面で成長し
た液滴は自重により下方へ落ちて、液体出口より加熱槽
に戻される。また、蒸気ミストの除去された気体は気体
出口より排気される。
に吸込まれた蒸気ミストに慣性力があるため、この蒸気
ミストは、蒸気衝突板にて気体のように迂回することが
できず、直進して蒸気衝突板に当たり、蒸気衝突板に付
着して気体から分離される。この蒸気衝突板面で成長し
た液滴は自重により下方へ落ちて、液体出口より加熱槽
に戻される。また、蒸気ミストの除去された気体は気体
出口より排気される。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を図面に示される一実施例を参
照して詳細に説明する。
照して詳細に説明する。
【０００８】図１（Ａ）において、11はリフロー用の気
相式はんだ付け装置を示し、ヒータ12を内蔵した加熱槽
13を中心に、ワーク（部品実装基板）Ｗを搬入する側の
ダクト部14a と、搬出する側のダクト部14b が設けら
れ、その各ダクト部14a ，14b内に冷却コイル15a ，15b
が設けられている。加熱槽13内には不活性液体Ｌが入
っており、この不活性液体Ｌがヒータ12により加熱され
て蒸発することにより、冷却コイル15a ，15b 間で飽和
蒸気相VPが形成されている。
相式はんだ付け装置を示し、ヒータ12を内蔵した加熱槽
13を中心に、ワーク（部品実装基板）Ｗを搬入する側の
ダクト部14a と、搬出する側のダクト部14b が設けら
れ、その各ダクト部14a ，14b内に冷却コイル15a ，15b
が設けられている。加熱槽13内には不活性液体Ｌが入
っており、この不活性液体Ｌがヒータ12により加熱され
て蒸発することにより、冷却コイル15a ，15b 間で飽和
蒸気相VPが形成されている。
【０００９】冷却コイル15a ，15b は、飽和蒸気相VPを
一定範囲に保つことにより、蒸気がワーク搬入口16a お
よびワーク搬出口16b より外部へ流出することを極力防
止しているが、その作用を完全に行うことはできない。
一定範囲に保つことにより、蒸気がワーク搬入口16a お
よびワーク搬出口16b より外部へ流出することを極力防
止しているが、その作用を完全に行うことはできない。
【００１０】そのため、気相式はんだ付け装置のワーク
搬入口16a およびワーク搬出口16bの近傍より蒸気を吸
出して液化し、加熱槽13に循環する蒸気回収回路が設け
られている。
搬入口16a およびワーク搬出口16bの近傍より蒸気を吸
出して液化し、加熱槽13に循環する蒸気回収回路が設け
られている。
【００１１】この蒸気回収回路は、ワーク搬入口16a お
よびワーク搬出口16b の近傍より引出された蒸気吸出管
21が冷却装置（冷却コイル等）22に接続され、さらに、
この冷却装置22が本発明に係る蒸気回収用分離装置23を
経てブロア24に連通されている。冷却装置22および分離
装置23の液体出口は液体タンク25に連通され、さらに、
この液体タンク25はポンプ26を経て前記加熱槽13に接続
されている。
よびワーク搬出口16b の近傍より引出された蒸気吸出管
21が冷却装置（冷却コイル等）22に接続され、さらに、
この冷却装置22が本発明に係る蒸気回収用分離装置23を
経てブロア24に連通されている。冷却装置22および分離
装置23の液体出口は液体タンク25に連通され、さらに、
この液体タンク25はポンプ26を経て前記加熱槽13に接続
されている。
【００１２】図１（Ｂ）に示されるように、蒸気回収用
分離装置23は、分離タンク本体31の一側に蒸気入口32が
形成され、他側に気体出口33が形成され、分離タンク本
体31の底部には蒸気入口側の最下部より気体出口側に向
かって上昇傾斜状の傾斜底面部34が形成され、最下部に
液体出口35が形成されている。
分離装置23は、分離タンク本体31の一側に蒸気入口32が
形成され、他側に気体出口33が形成され、分離タンク本
体31の底部には蒸気入口側の最下部より気体出口側に向
かって上昇傾斜状の傾斜底面部34が形成され、最下部に
液体出口35が形成されている。
【００１３】さらに、この分離タンク本体31の内部にて
蒸気入口32から気体出口33への蒸気の直進を阻止する位
置に複数の蒸気衝突板36が組込まれている。すなわち、
分離タンク本体31の傾斜底面部34に複数の蒸気衝突板36
が一体に突設され、また、分離タンク本体31の蓋板31a
に複数の蒸気衝突板36が一体に突設され、分離タンク本
体31に蓋板31a を固定することにより、分離タンク本体
側の蒸気衝突板36と蓋板側の蒸気衝突板36とが上下方向
から相互に入り込んで蛇行経路を形成する。傾斜底面部
34上の蒸気衝突板36には通液孔37が設けられている。
蒸気入口32から気体出口33への蒸気の直進を阻止する位
置に複数の蒸気衝突板36が組込まれている。すなわち、
分離タンク本体31の傾斜底面部34に複数の蒸気衝突板36
が一体に突設され、また、分離タンク本体31の蓋板31a
に複数の蒸気衝突板36が一体に突設され、分離タンク本
体31に蓋板31a を固定することにより、分離タンク本体
側の蒸気衝突板36と蓋板側の蒸気衝突板36とが上下方向
から相互に入り込んで蛇行経路を形成する。傾斜底面部
34上の蒸気衝突板36には通液孔37が設けられている。
【００１４】次に、図１（Ａ）に示された部分の作用を
説明すると、気相式はんだ付け装置11のワーク搬入口16
a および搬出口16b の近傍にある蒸気は、ブロア24の吸
引力により蒸気吸出管21を経て冷却装置22に吸出され、
ここで冷却された蒸気の多くは凝縮して不活性液体に戻
り、液体タンク25に回収される。冷却装置22で液化しな
くても温度低下により微粒子状に成長した蒸気ミストは
分離装置23に吸込まれ、ここで不活性液体と気体とに分
離され、不活性液体は液体タンク25に回収され、気体は
ブロア24を経て排気される。液体タンク25に回収された
不活性液体Ｌは、所定液位に達するとフロートスイッチ
27により始動したポンプ26により加熱槽13へ循環され
る。
説明すると、気相式はんだ付け装置11のワーク搬入口16
a および搬出口16b の近傍にある蒸気は、ブロア24の吸
引力により蒸気吸出管21を経て冷却装置22に吸出され、
ここで冷却された蒸気の多くは凝縮して不活性液体に戻
り、液体タンク25に回収される。冷却装置22で液化しな
くても温度低下により微粒子状に成長した蒸気ミストは
分離装置23に吸込まれ、ここで不活性液体と気体とに分
離され、不活性液体は液体タンク25に回収され、気体は
ブロア24を経て排気される。液体タンク25に回収された
不活性液体Ｌは、所定液位に達するとフロートスイッチ
27により始動したポンプ26により加熱槽13へ循環され
る。
【００１５】さらに、図１（Ｂ）に示された分離装置23
の作用を説明すると、分離タンク本体31の蒸気入口32よ
り内部に吸込まれた蒸気ミストは、質量を持ち慣性力が
あるため蒸気衝突板36にて気体のように迂回することが
できず、直進して蒸気衝突板36に当たり、この蒸気衝突
板36に付着して気体から分離される。この蒸気衝突板面
で成長した液滴は自重により下方へ垂れ落ち、傾斜底面
部34を下降して最下部の液体出口35に集まり、この液体
出口35より液体タンク25に回収される。また、蒸気ミス
トの除去された気体は、気体出口33よりブロア24により
排気される。
の作用を説明すると、分離タンク本体31の蒸気入口32よ
り内部に吸込まれた蒸気ミストは、質量を持ち慣性力が
あるため蒸気衝突板36にて気体のように迂回することが
できず、直進して蒸気衝突板36に当たり、この蒸気衝突
板36に付着して気体から分離される。この蒸気衝突板面
で成長した液滴は自重により下方へ垂れ落ち、傾斜底面
部34を下降して最下部の液体出口35に集まり、この液体
出口35より液体タンク25に回収される。また、蒸気ミス
トの除去された気体は、気体出口33よりブロア24により
排気される。
【００１６】メンテナンスの必要があるときは、分離タ
ンク本体31の蓋板31a を外すことにより、分離タンク本
体31の上面を開口するとともに、蒸気衝突板36の半数を
分離タンク本体内から取出すことができるため、両者の
清掃等を簡単に行うことができる。
ンク本体31の蓋板31a を外すことにより、分離タンク本
体31の上面を開口するとともに、蒸気衝突板36の半数を
分離タンク本体内から取出すことができるため、両者の
清掃等を簡単に行うことができる。
【００１７】次に、図２は蒸気回収用分離装置23の他の
実施例を示し、この分離装置は、図２（Ａ）に示される
ように幅広形かつ図２（Ｂ）に示されるように偏平形に
形成された分離タンク本体31の一側に蒸気入口32が、他
側に気体出口33がそれぞれ設けられ、分離タンク本体31
の全体が蒸気入口側より気体出口側に向かって上昇傾斜
状に設置され、その傾斜底面部34の下部に液体出口35が
設けられている。
実施例を示し、この分離装置は、図２（Ａ）に示される
ように幅広形かつ図２（Ｂ）に示されるように偏平形に
形成された分離タンク本体31の一側に蒸気入口32が、他
側に気体出口33がそれぞれ設けられ、分離タンク本体31
の全体が蒸気入口側より気体出口側に向かって上昇傾斜
状に設置され、その傾斜底面部34の下部に液体出口35が
設けられている。
【００１８】さらに、この分離タンク本体31の内部にて
蒸気入口32から気体出口33への蒸気の直進を阻止する位
置にＶ形に形成された多数の蒸気衝突板36が組込まれて
いる。この各蒸気衝突板36は、分離タンク本体31の蓋板
31a に一体に設けられ、この蓋板31a を分離タンク本体
31に固定することにより、各蒸気衝突板36も分離タンク
本体内にセットされる。
蒸気入口32から気体出口33への蒸気の直進を阻止する位
置にＶ形に形成された多数の蒸気衝突板36が組込まれて
いる。この各蒸気衝突板36は、分離タンク本体31の蓋板
31a に一体に設けられ、この蓋板31a を分離タンク本体
31に固定することにより、各蒸気衝突板36も分離タンク
本体内にセットされる。
【００１９】そして、この図２の分離装置23は、分離タ
ンク本体31の蒸気入口32から内部に吸込まれた蒸気ミス
トに慣性力があるため、この蒸気ミストは、蒸気衝突板
36にて気体のように迂回することができず、直進して蒸
気衝突板36のＶ溝内側面に当たり、このＶ溝内側面に付
着して気体から分離される。この蒸気衝突板36のＶ溝内
側面で成長した液滴は自重により傾斜底面部34へ落ち
て、この傾斜底面部34から液体出口35に集められて液体
タンク25に回収され、さらに加熱槽13に戻される。蒸気
ミストの除去された気体は気体出口33より排気される。
メンテナンスの必要があるときは、分離タンク本体31の
蓋板31a を外すことにより、分離タンク本体31を全面的
に開口するとともに、全てのＶ形蒸気衝突板36を分離タ
ンク本体内から取出すことができるため、両者の清掃等
を簡単に行うことができる。
ンク本体31の蒸気入口32から内部に吸込まれた蒸気ミス
トに慣性力があるため、この蒸気ミストは、蒸気衝突板
36にて気体のように迂回することができず、直進して蒸
気衝突板36のＶ溝内側面に当たり、このＶ溝内側面に付
着して気体から分離される。この蒸気衝突板36のＶ溝内
側面で成長した液滴は自重により傾斜底面部34へ落ち
て、この傾斜底面部34から液体出口35に集められて液体
タンク25に回収され、さらに加熱槽13に戻される。蒸気
ミストの除去された気体は気体出口33より排気される。
メンテナンスの必要があるときは、分離タンク本体31の
蓋板31a を外すことにより、分離タンク本体31を全面的
に開口するとともに、全てのＶ形蒸気衝突板36を分離タ
ンク本体内から取出すことができるため、両者の清掃等
を簡単に行うことができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、蒸気ミストの慣性力に
よる直進性を利用して、蒸気ミストを蒸気衝突板の板面
に衝突させて気体から分離除去し、その板面で成長した
液滴を自重で落下させて回収するようにしたから、従来
の金網のような線材からなる障害物より蒸気衝突板の板
面で蒸気ミストを効率良く液滴化して回収することがで
きる。また、蒸気衝突板間には金網のような目詰りの問
題も発生せず、メンテナンス性でも優れている。
よる直進性を利用して、蒸気ミストを蒸気衝突板の板面
に衝突させて気体から分離除去し、その板面で成長した
液滴を自重で落下させて回収するようにしたから、従来
の金網のような線材からなる障害物より蒸気衝突板の板
面で蒸気ミストを効率良く液滴化して回収することがで
きる。また、蒸気衝突板間には金網のような目詰りの問
題も発生せず、メンテナンス性でも優れている。
【図１】（Ａ）は本発明に係る蒸気回収回路を備えた気
相式はんだ付け装置の断面図、（Ｂ）は同上蒸気回収回
路における分離装置の一実施例を示す断面図である。
相式はんだ付け装置の断面図、（Ｂ）は同上蒸気回収回
路における分離装置の一実施例を示す断面図である。
【図２】（Ａ）は同上分離装置の他の実施例を示す平面
的な断面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
的な断面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
11 気相式はんだ付け装置 13 加熱槽 23 蒸気回収用分離装置 31 分離タンク本体 32 蒸気入口 33 気体出口 35 液体出口 36 蒸気衝突板
Claims (1)
- 【請求項１】 気相式はんだ付け装置の加熱槽で蒸発さ
れた蒸気を吸引して、液体と気体とに分離する蒸気回収
用分離装置において、 蒸気入口、気体出口および液体出口が形成された分離タ
ンク本体と、 この分離タンク本体の内部にて蒸気入口から気体出口へ
の蒸気の直進を阻止する位置に組込まれた複数の蒸気衝
突板とを具備したことを特徴とする気相式はんだ付け装
置における蒸気回収用分離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1635194A JPH07214296A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 気相式はんだ付け装置における蒸気回収用分離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1635194A JPH07214296A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 気相式はんだ付け装置における蒸気回収用分離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07214296A true JPH07214296A (ja) | 1995-08-15 |
Family
ID=11913951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1635194A Pending JPH07214296A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 気相式はんだ付け装置における蒸気回収用分離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07214296A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007103638A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理における排気装置 |
| WO2018105010A1 (ja) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 強制空冷装置 |
| EP3778088A1 (de) * | 2019-08-14 | 2021-02-17 | Rehm Thermal Systems GmbH | Reflow-kondensationslötanlage |
-
1994
- 1994-02-10 JP JP1635194A patent/JPH07214296A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007103638A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理における排気装置 |
| WO2018105010A1 (ja) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 強制空冷装置 |
| EP3778088A1 (de) * | 2019-08-14 | 2021-02-17 | Rehm Thermal Systems GmbH | Reflow-kondensationslötanlage |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0145969B1 (en) | Vapor tank | |
| US11896926B2 (en) | Devices, systems and methods for flux removal from furnace process gas | |
| EP0501540B1 (en) | Separator for separating water from a flow of air | |
| KR940009583A (ko) | 배플시스템 이용 유동층반응기 및 그 동작방법 | |
| US6367491B1 (en) | Apparatus for contaminant removal using natural convection flow and changes in solubility concentration by temperature | |
| JPH07214296A (ja) | 気相式はんだ付け装置における蒸気回収用分離装置 | |
| US6799587B2 (en) | Apparatus for contaminant removal using natural convection flow and changes in solubility concentrations by temperature | |
| JPH0343935B2 (ja) | ||
| JP2531343Y2 (ja) | 除塵装置 | |
| US20180304190A1 (en) | Separation apparatus for a gas component from spent drilling mud | |
| CA2062339A1 (en) | Fume purification system | |
| EP0404070B1 (en) | Mist recovery apparatus | |
| JP3183899B2 (ja) | 吹上げ型空気清浄装置 | |
| JP3803921B2 (ja) | 溶剤分離装置及びこれを使用した洗浄システム | |
| US4502871A (en) | Apparatus and method for separating wax from an entrainer gas | |
| DE10040548A1 (de) | Einrichtung zur Trocknung von feuchter Luft | |
| US4971613A (en) | Vane type mist extractor with extended drain | |
| JP3040306B2 (ja) | 蒸気洗浄装置 | |
| JP3021715B2 (ja) | 液槽式熱衝撃試験装置の液蒸発防止装置 | |
| US20020121360A1 (en) | Direct-contact steam-to-water condenser | |
| KR102563143B1 (ko) | 자체 열교환 방식을 가지는 배기가스 정화장치 | |
| JP3363243B2 (ja) | めっき工程の蒸気回収装置 | |
| JP3808956B2 (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH0577037A (ja) | 気相式はんだ付け装置 | |
| JPH0623206A (ja) | 排気装置 |