JPH07212090A - 電子部品装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】ノズル収納口の増減を簡単に行える電子部品装
着装置を提供する。 【構成】ノズル保持器の固定部１０は本体基台１１に固
設された支持部１２、これに固着されたノズル供給部１
３、これに摺動自在に配設されたノズル係止爪１４、こ
れに駆動伝達部材１４−１を介して係合する空圧シリン
ダ１２−１及びこれの駆動方向と反対方向へノズル係止
爪１４を付勢する螺旋バネ１５から成る。一方、追加部
２０はノズル供給部２１、これに摺動自在に配設された
ノズル係止爪２２及びこれを固定部１０との連結方向へ
付勢する螺旋バネ２３から成る。固定部１０のノズル供
給部１３と係合部材１６とで形成される間隙に追加部２
０の係合部材２４を挿通し位置決めピン１６−１で止ま
ったところで止ネジ１３−４により固定する。空圧シリ
ンダ１２−１によりノズル係止爪１４が左または右に駆
動されるとノズル２は係止または解除される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の吸着ノズルを収
納するノズル保持器を着脱自在に増減する電子部品装着
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、プリント基板にＩＣ、抵抗、
コンデンサ等多数のチップ状電子部品を自動的に搭載す
る電子部品装着装置がある。この電子部品装着装置は、
チップ状電子部品（以下、単に部品という）をプリント
基板（以下、単に基板という）に搭載する作業を行うた
めに、装置基台上を上下及び前後左右に自在に移動でき
る移載ヘッドを有している。この移載ヘッドは、例えば
図７(a) に示すようなヘッド先端１−１を備え、このヘ
ッド先端１−１に例えば同図(b) に示すような吸着ノズ
ル２を着脱自在に把持し、この吸着ノズル２の先端に例
えば同図(c) に示すような部品３を吸着する。吸着ノズ
ル２は、ノズル先端２−１上部に光拡散板２−２を備
え、不図示の撮像カメラによる下方からの部品撮像のた
めに、ノズル先端２−１に吸着・保持した部品３の上方
に、上記光拡散板２−２によって乳白色の背景を形成す
る。この撮像により得られた画像に基づいて、電子部品
装着装置は部品３の吸着状態を認識し、移載ヘッド１
を、つまりヘッド先端１−１を、回転または昇降させて
基準保持位置の補正を行う。

【０００３】図８は、上述の電子部品装着装置の正面図
である。同図には移載ヘッド１及び基板４のみ符号を付
与して示してある。これによって基板４に搭載される部
品３は、小さなものでは１．５ミリ四方程度の微小なも
のから、大きなものでは一辺の寸法が２０ミリを超える
ものもあって多種多様である。したがって、これらの部
品３を吸着するために、部品３の大きさに対応して口径
の異なる複数種類の吸着ノズル２を用意し、これらを交
換用吸着ノズルとしてノズル保持器に保持するようにし
ている。

【０００４】図９(a) は上記電子部品装着装置の平面図
である。同図に示すように、基板４を搬送する二本の搬
送レール５ａ、５ｂの両側に夫々ノズル保持器６ａ、６
ｂを備えている。通常、６種類の吸着ノズルを備えると
大抵の種類の部品を支障なく吸着できる。この経験に基
づいて、同図のノズル保持器６ａ、６ｂには、夫々６個
のノズル収納口が配設されている。

【０００５】そして、吸着ノズルに吸着される部品は、
種類毎に部品カセットに収納されてカセット台８ａ、８
ｂに配置される。部品カセットは、通常、カセット台８
ａ、８ｂ上に程よく納まるが、同図(a) に示すように、
大形の部品を収納している部品カセット７ａ、７ｂの場
合では、全体の釣り合いを保つために、部品供給口のあ
る頭部を、搬送レール５ａ、５ｂ方向に大きく突き出す
ように配置しなければならない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の搬送
レール５ａ、５ｂ方向に突き出す部品カセットの頭部の
配置は、搬送レール５ａ、５ｂとカセット台８ａ、８ｂ
間に配設されている上記のノズル保持器６ａ、６ｂの配
置延長線上にある。このような大型部品カッセトは、頭
部（部品供給口）が搬送レール５ａ、５ｂ方向に突き出
すばかりでなく、同図(b) に示す部品カセット７ｃ、７
ｄのように、収納する部品が大きくなるに応じてカセッ
トの幅も広がるから、頭部の配置位置がノズル保持器６
ａ、６ｂの配置位置と競合してしまう。したがって、同
図(a) のように６個のノズル収納口を有するノズル保持
器６ａ、６ｂを備えた電子部品装着装置では、同図(b)
に示すような大型部品カッセトを配置することができな
い。すなわち、大型部品の搭載を必要とする基板ユニッ
トの生産ができないという問題があった。

【０００７】勿論、同図(b) に示すように、ノズル収納
口を３個に減らしたノズル保持器６ｃ、６ｄを配設し直
せば、上記の問題は解決するが、今度は、この電子部品
装着装置を用いて再び小型多種類の部品の搭載作業を開
始しようとすると、上記ノズル保持器６ｃ、６ｄの配設
し直したことによって、予め保持できる交換用吸着ノズ
ルの種類が少なくなっているため、たちまち作業に支障
を来たすという問題が発生した。そして、上記のノズル
保持器は基台に強固に固定されているから、これの配設
し直しは極めて手数がかかって面倒であり、このため工
程切り替え作業に多大の時間を要して全体の作業能率が
低下するという問題もあった。

【０００８】本発明の課題は、ノズル保持器のノズル収
納口の増減を簡単に行える電子部品装着装置を提供する
ことである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】以下に、本発明の構成を
述べる。本発明は、作業軸の先端に電子部品を保持して
該電子部品を基板に搭載する電子部品装着装置に適用さ
れる。

【００１０】本発明の電子部品装着装置は、交換用の吸
着ノズルを保持する第１のノズル保持器と、交換用の吸
着ノズルを保持可能に構成され上記第１のノズル保持器
に着脱自在に連結する第２のノズル保持器とから構成さ
れる。

【００１１】上記第１のノズル保持器は、例えば請求項
２記載のように、複数の交換用吸着ノズルを保持可能に
構成され、また、例えば請求項３記載のように、保持し
た吸着ノズルを係止する摺動自在な第１の係止部材を有
するように構成され、また、例えば請求項４記載のよう
に、吸着ノズルの着脱に応じて第１の係止部材を摺動さ
せるように構成される。

【００１２】上記第２のノズル保持器は、例えば請求項
５記載のように、複数の交換用吸着ノズルを保持可能に
構成され、また、例えば請求項６記載のように、保持し
た吸着ノズルを係止する摺動自在な第２の係止部材を有
するように構成され、また、例えば請求項７記載のよう
に、単独では動力原を有しないように構成され、また、
例えば請求項８記載のように、第２の係止部材を第１の
ノズル保持器との連結方向に付勢する付勢部材を有する
ように構成される。

【００１３】そして、上記第２の係止部材は、例えば請
求項９記載のように、第２のノズル保持器と第１のノズ
ル保持器との連結部において上記第１の係止部材に当接
するように構成される。

【００１４】

【作用】この発明は、第１のノズル保持器において吸着
ノズルの着脱に応じて第１の係止部材を摺動させ、第２
のノズル保持器において第２の係止部材は第２のノズル
保持器と第１のノズル保持器との連結部において第１の
係止部材に当接し該第１の係止部材が当接部方向に摺動
するとき当接部から加わる押圧によって第１の係止部材
と同一方向に摺動し、該第１の係止部材が当接部方向と
反対方向に摺動するとき付勢部材から加わる付勢力によ
って当接部に当接して第１の係止部材と同一方向に摺動
する。

【００１５】これにより、複数の吸着ノズルを収納する
ノズル保持器を自在に増減することができるようにな
る。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳述する。図１は、一実施例に関わるノズル保持
器の平面図である。図２(a) は、その側面図、同図(b)
は、その一部Ｂ矢視図である。

【００１７】図１及び図２(a),(b) に示すように、ノズ
ル保持器は、大きくは固定部１０と追加部２０から成
る。固定部１０は、本体基台１１に固設された支持部１
２、この支持部１２に固着されたノズル供給部１３、こ
のノズル供給部１３に摺動自在に配設されたノズル係止
爪１４を備えている。同図(a),(b) には参考のため、ノ
ズル供給部１３に収納された図７(b) に示した吸着ノズ
ル２を一個のみ示してある。

【００１８】上記の支持部１２には、駆動原としての空
圧シリンダ１２−１が配設され、この空圧シリンダ１２
−１のピストン１２−２の先端は、ノズル係止爪１４に
固着して連結された駆動伝達部材１４−１に当接してい
る。この駆動伝達部材１４−１はスライドレール１４−
２を備え、このスライドレール１４−２に、支持部１２
のスライドナット１２−３が滑動自在に嵌合している。
支持部１２と駆動伝達部材１４−１間には螺旋バネ１５
が連結され、これによって、駆動伝達部材１４−１に対
しピストンの押し出し方向とは反対方向になる引き付勢
力が加えられる。

【００１９】また、ノズル供給部１３は、３個のノズル
収納口１３−１を備え、これらのノズル収納口１３−１
に吸着ノズル２を収納・保持する。これらのノズル収納
口１３−１の四隅の近傍に夫々回転止ピン１３−２が配
設される。隣接するノズル収納口１３−１は隣接する二
隅近傍の回転止ピン１３−２を共有する。これら回転止
ピン１３−２は、ノズル収納口１３−１に収納・保持さ
れた吸着ノズル２を振動等により自由回転しないよう抑
止する。

【００２０】このノズル供給部１３の上記追加部２０と
係合する側（図の右端）のノズル収納口１３−１ａの周
辺部下方に、上記追加部２０と係合する係合部材１６
が、止ネジ１３−４によって遊着している。この係合部
材１６は、上記のノズル収納口１３−１ａと同口径の孔
を有しており、また、ノズル供給部１３との間に後述す
る追加部２０の係合部材２４が挿通される間隙を形成し
ている。また、この係合部材１６が遊着するノズル収納
口１３−１ａの四隅の回転止ピン１３−２のうち、図の
左下隅に位置する回転止ピン１３−２は、その下部が伸
長して形成されており、この伸長した下部が位置決めピ
ン１６−１として追加部２０に係合する。

【００２１】次に、上記追加部２０は、３個のノズル収
納口２１−１を備えたノズル供給部２１と、これに摺動
自在に取り付けられたノズル係止爪２２とを有する。上
記３個のノズル収納口２１−１の四隅には、固定部１０
のノズル供給部１３の場合と同様に回転止ピン２１−２
が配設されている。但し固定部１０と係合する側のノズ
ル収納口２１−１ａの係合側二隅は除いてある。また、
ノズル供給部２１は下部にスライドナット２１−３を備
えている。

【００２２】一方、ノズル係止爪２２は、上記のノズル
供給部２１を外側から包み込むように形成され、ノズル
供給部２１のスライドナット２１−３と滑合するスライ
ドレール２２−１を備えている。このノズル係止爪２２
と上記ノズル供給部２１間には、引き付勢力を備えた螺
旋バネ２３が連結され、これにより、ノズル係止爪２２
はノズル供給部２１に対し固定部１０との係合方向（図
の左方向）へ常に付勢される。

【００２３】この追加部２０の上述のノズル収納口２１
−１ａの周辺部下面に、固定部１０と係合する係合部材
２４が固着している。この係合部材２４は、ノズル収納
口と同口径の二つの孔を有しいる。この二つのうち一方
の孔２４−１ａは上記ノズル収納口２１−１ａと重なっ
ており、他方の孔２４−１ｂは固定部１０と係合する方
向（図の左方向）へ突き出ている。この他方の孔２４−
１ｂの周辺部には、ノズル供給部２１の長手方向に、３
個の切り欠き溝２４−２ａ、２４−２ｂ、及び２４−３
が形成されている。

【００２４】上述の固定部１０に追加部２０が追加・装
着される際には、上記係合部材２４の他方の孔２４−１
ｂ部分が、図２(a) の矢印Ａで示すように、固定部１０
の係合部材１６とノズル供給部１３との間に形成されて
いる間隙に挿通される。

【００２５】図３は、上記固定部１０に追加部２０が追
加・装着された状態を示す一部上面図である。同図に示
すように、上記追加部２０の係合部材２４が固定部１０
に挿通されると、一方では、固定部１０の２個の止ネジ
１３−４が、係合部材２４の切り欠き溝２４−２ａ及び
２４−２ｂに夫々嵌入し、他方では、位置決めピン１６
−１が残る一つの切り欠き溝２４−３に嵌入して、その
切り欠き溝２４−３底部に当接し、挿入された係合部材
２４の固定部１０に対する位置を設定（決定）する。上
記２個の止ネジ１３−４は、締め付けビスによって構成
されている。これらの締め付けビスを、上記位置決めピ
ン１６−１により追加部２０と固定部１０との位置関係
が設定（決定）されたところで締め付けて、追加部２０
を設定位置に固定する。これによって、追加部２０のノ
ズル供給部２１は、固定部１０を介して本体基台１１に
固定される。

【００２６】一方、追加部２０の摺動自在なノズル係止
爪２２は、その係合面２２−３が固定部１０のノズル係
止爪１４の係合面１４−３に当接する。そして、螺旋バ
ネ２３の付勢力によりノズル係止爪１４の係合面１４−
３を押圧する。固定部１０のノズル係止爪１４は、空圧
シリンダ１２−１のピストン１２−２に係合して基準位
置に停止している（図２(a) 参照）。したがって、この
ノズル係止爪１４の係合面１４−３に圧接して係合する
追加部２０のノズル係止爪２２も基準位置に停止する。
図３に示したノズル係止爪１４及び２２は、上記の基準
位置に停止している状態を示している。

【００２７】図４に、上述のようにして固定部１０に追
加部２０が連結・固定されたノズル保持器の側面図を示
す。同図には、後述するノズル保持器の動作を説明する
上で必要な符号のみを再掲してある（他の構成部分につ
いては図２(a) を参照）。

【００２８】更に、図５(a),(b) に、上記連結・固定さ
れた固定部１０と追加部２０のノズル保持器１３及び２
１の全てのノズル収納口に、吸着ノズル２が収納された
状態図を示す。同図(a) はノズル係止爪１４及び２２が
基準位置に在る状態を示している。この位置で、ノズル
係止爪１４及び２２の突起爪１４−３及び２２−２が、
吸着ノズル２の鍔状の光拡散板２−２の両側部の中央上
方近傍に位置して、収納中の吸着ノズル２の脱出を防止
する。そして、同図(b) はノズル係止爪１４及び２２が
基準位置から右方へ摺動して、吸着ノズル２の着脱作業
をする位置にある状態を示している。この位置で、ノズ
ル係止爪１４（及び２２）の突起爪１４−３（及び２２
−２）は、隣接する吸着ノズル２の光拡散板２−２、２
−２の中間に位置して、吸着ノズルの着脱抑止を解除す
る。

【００２９】次に、上述した構成における本実施例の吸
着ノズル着脱に関わる動作を、図６(a) 〜(c) 並びに前
述の図４及び図５を用いて説明する。なお、図６(a) 〜
(c)に示す移載ヘッド１のヘッド先端１−１は、図７に
示したものと同様であり、また、図７に示すノズル保持
器は、説明の便宜上、図２(b) に示したＢ矢視図と同じ
方向から見た図で示している。

【００３０】先ず、まだ吸着ノズルを装備していない移
載ヘッド１が、吸着ノズルを装着する場合の動作を説明
する。図６(a) に示すように、移載ヘッド１が、上記連
結された固定部１０と追加部２０のノズル保持器１３及
び２１（以下、単にノズル保持器という）の上方に移動
し、移載ヘッド１のヘッド先端１−１（以下、単に移載
ヘッド１という）が所定の吸着ノズル２の真上に停止す
る。このとき、固定部１０のピストン１２−２は、図４
に示す基準位置まで空圧シリンダ１２−１内に退去し、
このピストン１２−２先端に当接により係合するノズル
係止爪１４は、螺旋バネ１５の引き付勢力により図の左
方へ付勢されて、図５(a) に示す基準位置に停止する。
また、このノズル係止爪１４の係合面１４−３に圧接し
て係合する追加部２０のノズル係止爪２２も、自己装置
側の螺旋バネ２３の引き付勢力により、ノズル係止爪１
４に一体となって基準位置に停止する。

【００３１】これにより、ノズル保持器の全てのノズル
供給口は吸着ノズル２の着脱を禁止されている。次に、
図６(b) に示すように、移載ヘッド１が降下して、その
先端が吸着ノズル２上部に嵌合する。移載ヘッド１先端
にはバネ１−３により互いに引き合う２個の爪チャック
１−２が設けられており、この爪チャック１−２が上記
移載ヘッド１の吸着ノズル２への嵌合により、吸着ノズ
ル２上部周辺部に設けられている輪状の凹部に係合す
る。

【００３２】これにより、吸着ノズル２が移載ヘッド１
に強固に把持される。続いて、固定部１０の空圧シリン
ダ１２−１に圧縮空気が送り込まれ、ピストン１２−２
が進出して駆動伝達部材１４−１を図４の右方に押し出
し、ストッパ１２−４に当接して停止する。駆動伝達部
材１４−１に固着するノズル係止爪１４は、上記ピスト
ン１２−２先端に当接・係合する駆動伝達部材１４−１
が基準位置からストッパ１２−４まで移動した分、図の
右方へ摺動して、図５(b) に示す吸着ノズル着脱抑止の
解除位置に停止する。

【００３３】これにより、ノズル保持器の全てのノズル
供給口は吸着ノズル２の着脱が可能な状態になる。そし
て、図６(c) に示すように、移載ヘッド１が上昇し、こ
れによって所定の吸着ノズル２が移載ヘッド１に装着さ
れる。

【００３４】この後、空圧シリンダ１２−１の圧縮空気
が除去され、ピストン１２−２が基準位置まで退去し、
ノズル保持器は図６(a) 状態に戻る。次に、吸着ノズル
を装着した移載ヘッド１が、その吸着ノズルを離放する
場合の動作を説明する。この場合は、上記とは反対に、
図６(c),(b),(a) の順に動作する。

【００３５】すなわち、先ず図６(c) に示すように、吸
着ノズルを装着した移載ヘッド１が、ノズル保持器の上
方に移動し、所定の空のノズル供給口の真上に停止す
る。このとき、ノズル保持器は上述した同図(a) の状態
であり、全てのノズル供給口は吸着ノズル２の着脱を禁
止されている。

【００３６】続いて、上述した図６(b) から同図(c) に
移る場合と同様に、固定部１０の空圧シリンダ１２−１
に圧縮空気が送り込まれ、ピストン１２−２が進出し、
駆動伝達部材１４−１が移動する。これにより、再びノ
ズル係止爪１４及び２２が基準位置から吸着ノズル着脱
抑止の解除位置まで摺動して停止する。

【００３７】これにより、ノズル保持器の全てのノズル
供給口は吸着ノズル２の着脱が可能な状態になる。次
に、図６(b) に示すように、移載ヘッド１が降下して、
その先端に装着されていた吸着ノズル２がノズル供給口
内に収納される。

【００３８】続いて、空圧シリンダ１２−１の圧縮空気
が除去され、ピストン１２−２が基準位置まで退去し、
ノズル係止爪１４及び２２が基準位置に停止する。これ
により、ノズル保持器の全てのノズル供給口は吸着ノズ
ル２の着脱を禁止される。

【００３９】そして、図６(a) 示すように、移載ヘッド
１が上昇する。このときノズル係止爪１４及び２２によ
る着脱禁止力が、移載ヘッド１の爪チャック１−２によ
る把持力に打ち勝って、吸着ノズル２がノズル供給口に
残留する。

【００４０】吸着ノズル２の交換は、上述した図６(c)
から同図(a) までの吸着ノズル離放動作と、同図(a) か
ら同図(c) までの吸着ノズル装着動作を繰り返すことに
より容易に可能となる。

【００４１】このように、本実施例によれば、保持器が
吸着ノズルを係止する係止部材としてのノズル係止爪を
備え且つこのノズル係止爪を動作させる動力原を持たな
いように形成された追加用ノズル保持器を新たに構成
し、固定ノズル保持器との間に互いのノズル供給口を固
定して連結し、互いのノズル係止爪をバネの付勢により
当接係合させることにより、追加用ノズル保持器のノズ
ル係止爪を固定ノズル保持器のノズル係止爪とまったく
同様に、固定ノズル保持器の動力原によって動作させる
ことができる。

【００４２】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、動力原のない追加用ノズル保持器を固定ノズル保
持器に着脱可能に構成したので、一台の電子部品装着装
置を用いて、大型部品カッセトの配置、すなわち大型部
品の搭載が可能であるばかりでなく、小型多種類の部品
の搭載も支障なく行うことが容易に可能と成る。また、
動力原のない追加用ノズル保持器であって取り扱いが手
軽であるばかりでなく、追加取り付けや、取り外しも容
易であるため、搭載部品の大きさの異なる作業工程の切
り替えが容易となり、したがって、全体の作業の能率が
向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例のノズル保持器の平面図である。

【図２】(a) は図１の側面図、(b) はその一部Ｂ矢視図
である。

【図３】ノズル保持器の固定部に追加部が装着された状
態を示す一部上面図である。

【図４】ノズル保持器の固定部に追加部が装着された状
態を示す側面図である。

【図５】(a) はノズル保持器に吸着ノズルが収納されノ
ズル係止爪が係止基準位置に在る状態を示す図、(b) は
ノズル係止爪がノズル着脱作業位置にある状態を示す図
である。

【図６】(a),(b),(c) は吸着ノズルを着脱する動作を説
明す図である。

【図７】(a) は移載ヘッドの先端を示す図、(b) は吸着
ノズルを示す図、(c) は吸着ノズルを装着した移載ヘッ
ドの先端に部品を吸着した状態を示す図である。

【図８】従来の電子部品装着装置の正面図である。

【図９】(a),(b) は従来の電子部品装着装置の平面図で
ある。

【符号の説明】

１ 移載ヘッド １−１ ヘッド先端 ２ 吸着ノズル ２−１ ノズル先端 ２−２ 光拡散板 ３ 部品 ４ 基板 ５ａ、５ｂ 搬送レール ６ａ、６ｂ ノズル保持器 ７ａ、７ｂ 部品カセット ８ａ、８ｂ カセット台 １０ 固定部 １１ 本体基台 １２ 支持部 １２−１ 空圧シリンダ １２−２ ピストン １２−３、２１−３ スライドナット １３、２１ ノズル供給部 １３−１、１３−１ａ、２１−１、２１−１ａ ノズル
収納口 １３−２、２１−２ 回転止ピン １３−４ 止ネジ １４、２２ ノズル係止爪 １４−１ 駆動伝達部材 １４−２、２２−１ スライドレール １５、２３ 螺旋バネ １６、２４ 係合部材 １６−１ 位置決めピン ２０ 追加部 ２１−２ 回転止ピン ２４−１ａ、２４−１ｂ 孔 ２４−２ａ、２４−２ｂ、２４−３ 切り欠き溝

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 作業軸の先端に電子部品を保持して該電
   子部品を基板に搭載する電子部品装着装置において、 交換用の吸着ノズルを保持する第１のノズル保持器と、 交換用の吸着ノズルを保持可能に構成され前記第１のノ
   ズル保持器に着脱自在に連結する第２のノズル保持器
   と、 を有することを特徴とする電子部品装着装置。
2. 【請求項２】 前記第１のノズル保持器は、複数の交換
   用吸着ノズルを保持可能であることを特徴とする請求項
   １記載の電子部品装着装置。
3. 【請求項３】 前記第１のノズル保持器は、保持した吸
   着ノズルを係止する摺動自在な第１の係止部材を有する
   ことを特徴とする請求項１又は２記載の電子部品装着装
   置。
4. 【請求項４】 前記第１のノズル保持器は、前記吸着ノ
   ズルの着脱に応じて前記第１の係止部材を摺動させるこ
   とを特徴とする請求項１、２又は３記載の電子部品装着
   装置。
5. 【請求項５】 前記第２のノズル保持器は、複数の交換
   用吸着ノズルを保持可能であることを特徴とする請求項
   １、２，３又は４記載の電子部品装着装置。
6. 【請求項６】 前記第２のノズル保持器は、保持した吸
   着ノズルを係止する摺動自在な第２の係止部材を有する
   ことを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載の電
   子部品装着装置。
7. 【請求項７】 前記第２のノズル保持器は、単独では動
   力原を有しないことを特徴とする請求項１、２、３、
   ４、５又は６記載の電子部品装着装置。
8. 【請求項８】 前記第２のノズル保持器は、前記第２の
   係止部材を、前記第１のノズル保持器との連結方向に付
   勢する付勢部材を有することを特徴とする請求項１、
   ２、３、４、５、６又は７記載の電子部品装着装置。
9. 【請求項９】 前記第２の係止部材は、前記第２のノズ
   ル保持器と前記第１のノズル保持器との連結部において
   前記第１の係止部材に当接することを特徴とする請求項
   １、２、３、４、５、６、７又は８記載の電子部品装着
   装置。