JPH0721170U - 板材用両面洗浄乾燥具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 チェーンコンベヤに取り付けることが可能
で、半導体の基板や各種電気，電子部品等の板材の両面
を洗浄，乾燥することができる板材用両面洗浄乾燥具を
提供することにある。 【構成】 略Ｖ字状の線材から成る複数の枠体と、棒状
の線材から成る複数の補強体と、チェーンコンベヤに連
結する取付具とを有し、複数の枠体を同一方向に配列す
るとともに、各枠体の両端部，両側部および底部を夫々
補強体によって連結して駕籠体を形成し、かつ、その両
端面に取付具を取り付けて成る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体の基板や各種電気，電子部品等の板材の両面を洗浄，乾燥す るための板材用両面洗浄乾燥具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、半導体の基板や各種電気，電子部品等の板材の両面を洗浄，乾燥するに は、例えば、フロン，トリクロロエタン等の即乾性の高い薬品によって行われて いた。

【０００３】 処が、これらの薬品は、地球環境破壊に繋がるものとして、その使用が禁止さ れる方向にある。 そのため、これらの即乾性の高い薬品に代わって水系のアルカリ洗剤や炭化水 素系の洗剤が使用されるようになってきた。

【０００４】 また、生産性を高めるために、板材をチェーンコンベヤにて搬送しながら、洗 浄，乾燥することが要求されている。 図５にその一例を示す。

【０００５】 図５の装置においては、チェーンコンベヤで無端移動するメッシュ状の担体１ の間に、板材３を配置し、担体１の移動時に、その両面から洗浄し、乾燥するよ うになっている。

【０００６】 処が、この装置では、洗浄は可能であるが、乾燥時に板材３とメッシュ状の担 体１との接触部分の乾燥が確実にできず、シミになるという問題があった。 そこで、図６に示すように、チェーンコンベヤに取り付けた略Ｌ字状の治具７ に、板材５を立て掛ける方式の装置が提案されている。

【０００７】 図６の装置においては、板材５が立て掛けられているから、板材５と治具７と の接触部分が少ないため、乾燥時にシミを作るような不具合がなくなる。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、図６の装置においては、板材５が治具７に立て掛けられているため 、板材５の表面５ａの洗浄，乾燥は可能であるが、板材５の裏面５ｂを洗浄，乾 燥しようとすると、板材５は立て掛けられているため、板材５が洗浄水の圧力や エアナイフと称される所定の圧力を有する乾燥風の圧力によって飛ばされて落下 することとなり、片面の洗浄，乾燥のみにしか供することができないという問題 があった。

【０００９】 なお、板材５の裏面５ｂを処理するために、治具７に板材５の係止手段を設け ると、板材５の治具７に対する搬入，搬出が面倒になり、生産性を著しく損なう という問題がある。

【００１０】 本考案はこのような従来の問題点を解決するためになされたもので、その目的 は、チェーンコンベヤに取り付けることが可能で、半導体の基板や各種電気，電 子部品等の板材の両面を洗浄，乾燥することができる板材用両面洗浄乾燥具を提 供することにある。

【００１１】

【考案が解決しようとする課題】

本考案に係る板材用両面洗浄乾燥具は、略Ｖ字状の線材から成る複数の枠体と 、棒状の線材から成る複数の補強体と、チェーンコンベヤに連結する取付具とを 有し、複数の枠体を同一方向に配列するとともに、各枠体の両端部，両側部およ び底部を夫々補強体によって連結して駕籠体を形成し、かつ、その両端面に取付 具を取り付けて成るものである。

【００１２】

【作用】

本考案においては、複数の略Ｖ字状の枠体を所定間隔で同一方向に並べ、各枠 体の両端部，両側部および底部を補強体によって連結することによって、略Ｖ字 状をなす骨組みだけの駕籠体とすることができる。

【００１３】 そして、その骨組みだけの駕籠体の両端面にチェーンコンベヤに連結する取付 具を取り付けることによって、板材用両面洗浄乾燥具を形成する。 この板材用両面洗浄乾燥具は、両端面に取り付けた取付具を介してチェーンコ ンベヤに取り付けられる。

【００１４】 したがって、この板材用両面洗浄乾燥具を連続的にチェーンコンベヤに取り付 けることによって、板材の両面洗浄乾燥機を構成することができる。 この板材の両面洗浄乾燥機においては、所定の速度で移動する各板材用両面洗 浄乾燥具に板材を連続的に投入し、各板材の表面側および裏面側から別々に洗浄 水を吹き付けることによって洗浄することができる。

【００１５】 この際、板材は、板材用両面洗浄乾燥具内に傾倒自在に保持されているので、 表面側から洗浄水が吹き付けられると、裏面側へ倒れ、次に、裏面側から洗浄水 が吹き付けられると、表面側へ倒れる。

【００１６】 その後、板材には、必要に応じてリンスが吹き付けられる。 この際にも、洗浄水による洗浄と同様に、板材が板材用両面洗浄乾燥具内で吹 き付け方向へ傾倒する。

【００１７】 次に、乾燥工程においては、エアナイフと称される所定の圧力を有する乾燥風 が板材用両面洗浄乾燥具内の板材に吹き付けられる。 この際にも、洗浄水による洗浄と同様に、板材が板材用両面洗浄乾燥具内で乾 燥風の吹き付け方向へ傾倒し、洗浄水やリンスを確実に板材から飛散させること ができる。

【００１８】 最後に、チェーンコンベヤの終端部位で、反転する板材用両面洗浄乾燥具に伴 って板材用両面洗浄乾燥具内の板材が、板材用両面洗浄乾燥具の開口部から落下 する。

【００１９】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 図１は本考案の板材用両面洗浄乾燥具１０を示す斜視図である。

【００２０】 図において、１１は枠体である。この枠体１１は、例えば３ｍｍφのステンレ ス製の線材を略Ｖ字状に折り曲げたものである。なお、枠体１１の頂部１１ａは 、丸みが設けられている。そして、枠体１１の高さｈは、板材３０の高さＨより も低くしてある。

【００２１】 １３，１５，１７は補強体である。これらの補強体１３，１５，１７は、例え ば３ｍｍφのステンレス製の線材で構成されている。 １９は取付具である。この取付具１９は、チェーンコンベヤ２１に取り付ける ためのアタッチメントである。

【００２２】 次に、本実施例の板材用両面洗浄乾燥具１０の加工方法を説明する。 まず、複数の略Ｖ字状の枠体１１を所定間隔で同一方向に並べる。次に、各枠 体１１の両端部，両側部および底部に、補強体１３，１５，１７を配し、各接点 を溶接により固定する。なお、これらの補強体１３，１５，１７の長手方向の長 さＬは、板材３０の長さよりも長くしてある。

【００２３】 これにより、略Ｖ字状をなす骨組みだけの駕籠体とすることができる。 そして、その骨組みだけの駕籠体の両端面に、チェーンコンベヤ２１に連結す る取付具１９を溶接またはボルト・ナットにより固定する。

【００２４】 このようにして形成された板材用両面洗浄乾燥具１０は、図２に示すように、 両端面に取り付けた取付具１９を介してボルト・ナットによりチェーンコンベヤ ２１に隙間無く連続的に取り付けられる。

【００２５】 これにより、板材３０の両面洗浄乾燥機４０を構成することができる。 次に、この両面洗浄乾燥機４０を用いた板材３０の洗浄，乾燥処理について説 明する。

【００２６】 この板材３０の両面洗浄乾燥機４０においては、図３に示すように、板材投入 工程４０ａにおいて、所定の速度で移動する各板材用両面洗浄乾燥具１０に板材 ３０が連続的に投入される。

【００２７】 次に、洗浄工程４０ｂにおいて、各板材３０の表面３０ａ側および裏面３０ｂ 側から別々に洗浄水を吹き付けることによって洗浄することができる。 この際、板材３０は、図４に示すように、板材３０の下端部３０ｃが板材用両 面洗浄乾燥具１０の枠体１１の頂部１１ａ近傍で点接触した状態で、左右いずれ の方向にも傾倒できるように配されている。

【００２８】 したがって、板材３０は、板材用両面洗浄乾燥具１０内に傾倒自在に保持され ているので、表面３０ａ側から洗浄水が吹き付けられると、板材３０が一点鎖線 で示すように裏面３０ｂ側へ倒れ、逆に、裏面３０ｂ側から洗浄水が吹き付けら れると、板材３０が二点鎖線で示すように表面３０ａ側へ倒れる。

【００２９】 このようにして、板材３０は、両面が確実に洗浄される。 その後、板材３０は、リンス工程４０ｃに送られる。このリンス工程４０ｃで は、リンスが１回ないし数回吹き付けられる。

【００３０】 この際にも、洗浄水による洗浄と同様に、板材３０が板材用両面洗浄乾燥具１ ０内で吹き付け方向へ傾倒する。 次に、板材３０は、乾燥工程４０ｄに送られる。この乾燥工程４０ｄにおいて 、エアナイフ称される所定の圧力を有する乾燥風が板材用両面洗浄乾燥具１０内 の板材３０に吹き付けられる。

【００３１】 この際にも、洗浄水による洗浄と同様に、板材３０が板材用両面洗浄乾燥具１ ０内で乾燥風の吹き付け方向へ傾倒し、洗浄水やリンスを確実に板材から飛散さ せることができる。

【００３２】 そして、チェーンコンベヤ２１の終端における排出工程４０ｅにおいては、板 材用両面洗浄乾燥具１０が反転し板材用両面洗浄乾燥具１０の開口部１０ａが下 を向くので、板材用両面洗浄乾燥具１０内の板材３０が確実に落下する。

【００３３】 以上のように、本実施例の板材用両面洗浄乾燥具１０によれば、略Ｖ字状の線 材から成る複数の枠体１１と、棒状の線材から成る複数の補強体１３，１５，１ ７と、チェーンコンベヤ２１に連結する取付具１９とを有し、複数の枠体１１を 同一方向に配列するとともに、各枠体１１の両端部，両側部および底部を夫々補 強体１３，１５，１７によって連結して駕籠体を形成し、かつ、その両端面に取 付具１９を取り付けて成るので、板材３０を立てた状態で収容できるとともに、 板材３０の表面３０ａと裏面３０ｂのいずれからも洗浄，乾燥でき、板材３０の 洗浄，乾燥を確実に行うことができる。

【００３４】 また、板材３０を傾倒自在に保持することができるので、洗浄水，リンス，乾 燥風の吹出口を板材３０の両面側から吹き出せるように配置することができる。 さらに、両端面に取り付けた取付具１９を介してチェーンコンベヤ２１に取り 付けることができるので、補強体１３同士を接した形でチェーンコンベヤ２１に 対して隙間無く連続的に配設することが可能となり、例えば１枚／２秒の速度で 板材３０を投入することができる。

【００３５】 さらに、本実施例の板材用両面洗浄乾燥具１０は、開口部１０ａが板材３０の 厚みよりはるかに広くなっているので、板材３０の投入が容易にできる。 さらにまた、本実施例の板材用両面洗浄乾燥具１０を用いた両面洗浄乾燥機４ ０によれば、従来の装置に比してチェーンコンベヤ２１の長さを短くすることが できるとともに、短時間で確実に洗浄，乾燥することが可能となる。

【００３６】 なお、本考案の板材用両面洗浄乾燥具は、対象とする板材の大きさによって、 その長さと高さを適宜選択することができる。 また、上記実施例では、枠体１１，補強体１３，１５，１７は、耐蝕性を考慮 してステンレス製の線材を用いたが、形状保持機能があればよいので、鋼材でも よい。

【００３７】 さらに、上記実施例では、取付具１９を板材用両面洗浄乾燥具１０の中段位置 に設けた場合について説明したが、下段でも上段でもよく、その位置は任意であ る。

【００３８】 また、上記実施例では、枠体１１の高さｈを、板材３０の高さＨよりも低くし たが、逆に、枠体１１の高さｈを、板材３０の高さＨよりも高くしてもよい。 さらに、本考案の適用できる板材としては、半導体の基板や各種電気，電子部 品等の板材であれば、特に限定するものではなく、金属製，樹脂製を問わない。

【００３９】 さらにまた、その形状も、矩形に限らず、楕円形状，円形状等任意である。 なお、板材が矩形以外の形状の場合には、投入時，洗浄時，乾燥時，搬送時等 において、落下しないように、枠体，補強体の間隔を密にする必要がある。

【００４０】

【考案の効果】

上述したように、本考案は、板材を立てた状態で板材の両面を確実に洗浄，乾 燥することができるので、従来の装置に比してきわめて短時間で確実に処理する ことができる。

【００４１】 また、板材を傾倒自在に保持することができるので、洗浄水，リンス，乾燥風 の吹出口を板材の両面側から吹き出せるように配置することができる。 さらに、板材を傾倒自在に保持することができるので、洗浄時，乾燥時におい て洗浄水や乾燥風の圧力によって板材が飛ばされるとか落下する等の不具合がな くなる。

【００４２】 さらにまた、チェーンコンベヤに対して開口部を接した状態で連続的に配設す ることが可能となり、板材の投入が確実にできるとともに、投入速度を早めるこ とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係る板材用両面洗浄乾燥具
を示す斜視図である。

【図２】図１に示す板材用両面洗浄乾燥具の取付状態を
示す斜視図である。

【図３】本考案の一実施例に係る板材用両面洗浄乾燥具
を用いた板材の両面洗浄乾燥機を示す説明図である。

【図４】図１に示す板材用両面洗浄乾燥具の作用を示す
説明図である。

【図５】従来の板材の洗浄乾燥具を示す説明図である。

【図６】従来の板材の洗浄乾燥具を示す説明図である。

【符号の説明】

１０ 板材用両面洗浄乾燥具１０ １１ 枠体 １３，１５，１７ 補強体 １９ 取付具 ２１ チェーンコンベヤ ３０ 板材 ３０ａ 板材３０の表面 ３０ｂ 板材３０の裏面

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【手続補正書】

【提出日】平成５年９月２８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

【手続補正４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 略Ｖ字状の線材から成る複数の枠体と、
   棒状の線材から成る複数の補強体と、チェーンコンベヤ
   に連結する取付具とを有し、複数の枠体を同一方向に配
   列するとともに、各枠体の両端部，両側部および底部を
   夫々補強体によって連結して駕籠体を形成し、かつ、そ
   の両端面に取付具を取り付けて成ることを特徴とする板
   材用両面洗浄乾燥具。