JPH07204877A - レーザ加工方法およびその装置 - Google Patents
レーザ加工方法およびその装置Info
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- JPH07204877A JPH07204877A JP6003860A JP386094A JPH07204877A JP H07204877 A JPH07204877 A JP H07204877A JP 6003860 A JP6003860 A JP 6003860A JP 386094 A JP386094 A JP 386094A JP H07204877 A JPH07204877 A JP H07204877A
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- Japan
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- laser processing
- nozzle
- laser
- laser beam
- head
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 特に厚板のワークにレーザ加工を行う際のレ
ーザ加工の能力向上を図ったレーザ加工方法およびその
装置を提供することにある。 【構成】 加工ヘッド１１の先端に備えたノズル２７よ
りレーザビームＬＢをワークＷへ向けて照射してレーザ
加工を行う際、前記加工ヘッド１１の進行方向に対して
レーザビームＬＢの光軸を前記ノズル２７の軸心より常
に加工ヘッド１１の進行方向側へ偏心した状態を維持さ
せてレーザ加工を行うことを特徴とする。
ーザ加工の能力向上を図ったレーザ加工方法およびその
装置を提供することにある。 【構成】 加工ヘッド１１の先端に備えたノズル２７よ
りレーザビームＬＢをワークＷへ向けて照射してレーザ
加工を行う際、前記加工ヘッド１１の進行方向に対して
レーザビームＬＢの光軸を前記ノズル２７の軸心より常
に加工ヘッド１１の進行方向側へ偏心した状態を維持さ
せてレーザ加工を行うことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ワーク特に厚板のワ
ークにレーザ加工を行うレーザ加工方法およびその装置
に関する。
ークにレーザ加工を行うレーザ加工方法およびその装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ加工装置において加工ヘッ
ドの先端に備えたノズルからレーザビームをワークに向
けて照射することによりワークにレーザ加工が行われて
いる。しかもノズルからレーザビームをワークへ向けて
照射する際、予め例えば実公平２−１４８７６号公報や
実開平２−８１７８０号公報などで知られているよう
に、レーザビームの光軸とノズルの軸心が通常一致する
ように芯出し調整装置の調整ねじを手動で操作して調整
している。
ドの先端に備えたノズルからレーザビームをワークに向
けて照射することによりワークにレーザ加工が行われて
いる。しかもノズルからレーザビームをワークへ向けて
照射する際、予め例えば実公平２−１４８７６号公報や
実開平２−８１７８０号公報などで知られているよう
に、レーザビームの光軸とノズルの軸心が通常一致する
ように芯出し調整装置の調整ねじを手動で操作して調整
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ワークが例
えば鉄板の場合、レーザ加工はレーザビームを鉄板に照
射し鉄の酸化反応により進行していくため、鉄板の上部
をレーザ熱源により加工し徐々に下面へ進行していくも
のである。
えば鉄板の場合、レーザ加工はレーザビームを鉄板に照
射し鉄の酸化反応により進行していくため、鉄板の上部
をレーザ熱源により加工し徐々に下面へ進行していくも
のである。
【０００４】そのため、鉄板が厚板の場合にはレーザ加
工の能力が悪く、かつ現状の板厚よりも厚いワークにレ
ーザ加工を行うことができなかった。
工の能力が悪く、かつ現状の板厚よりも厚いワークにレ
ーザ加工を行うことができなかった。
【０００５】この発明の目的は、特に厚板のワークにレ
ーザ加工を行う際のレーザ加工の能力向上を図ったレー
ザ加工方法およびその装置を提供することにある。
ーザ加工を行う際のレーザ加工の能力向上を図ったレー
ザ加工方法およびその装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明のレーザ加工方法は、加工ヘッドの先端に
備えたノズルよりレーザビームをワークへ向けて照射し
てレーザ加工を行う際、前記加工ヘッドの進行方向に対
してレーザビームの光軸を前記ノズルの軸心より常に加
工ヘッドの進行方向側へ偏心した状態を維持させてレー
ザ加工を行うことを特徴とするものである。
に、この発明のレーザ加工方法は、加工ヘッドの先端に
備えたノズルよりレーザビームをワークへ向けて照射し
てレーザ加工を行う際、前記加工ヘッドの進行方向に対
してレーザビームの光軸を前記ノズルの軸心より常に加
工ヘッドの進行方向側へ偏心した状態を維持させてレー
ザ加工を行うことを特徴とするものである。
【０００７】また、この発明のレーザ加工装置は、加工
ヘッドのヘッドホルダにおける下部に回転自在なハウジ
ングを設け、このハウジング内に、ノズルを下端に備え
たノズルホルダを設けると共にノズルの軸心とレーザビ
ームの光軸を偏心せしめる偏心量調整手段を設け、前記
ハウジングを回転せしめる回転駆動手段を前記ヘッドホ
ルダに設けてなることを特徴とするものである。
ヘッドのヘッドホルダにおける下部に回転自在なハウジ
ングを設け、このハウジング内に、ノズルを下端に備え
たノズルホルダを設けると共にノズルの軸心とレーザビ
ームの光軸を偏心せしめる偏心量調整手段を設け、前記
ハウジングを回転せしめる回転駆動手段を前記ヘッドホ
ルダに設けてなることを特徴とするものである。
【０００８】前記レーザ加工装置において、前記回転駆
動手段がレーザ加工装置のＮＣ装置で制御されるべくＮ
Ｃ装置に接続されていること、前記回転駆動手段が回転
角を検出する回転角検出センサを備えた回転用駆動モー
タで、この回転用駆動モータに連結された駆動伝達部材
が、前記ハウジングに一体化された従動伝達部材に回転
を伝達すべく連結されていること、また、前記駆動伝達
部材，従動伝達部材がそれぞれギアであることが望まし
いものである。
動手段がレーザ加工装置のＮＣ装置で制御されるべくＮ
Ｃ装置に接続されていること、前記回転駆動手段が回転
角を検出する回転角検出センサを備えた回転用駆動モー
タで、この回転用駆動モータに連結された駆動伝達部材
が、前記ハウジングに一体化された従動伝達部材に回転
を伝達すべく連結されていること、また、前記駆動伝達
部材，従動伝達部材がそれぞれギアであることが望まし
いものである。
【０００９】
【作用】以上のようなレーザ加工方法およびその装置と
することにより、加工ヘッドの先端に備えたノズルより
レーザビームをワークへ向けて照射してレーザ加工を行
う際に、加工ヘッドの進行方向に対して、レーザビーム
の光軸をノズルの軸心より常に加工ヘッドの進行方向側
へ偏心した状態を維持させてレーザ加工が行われる。
することにより、加工ヘッドの先端に備えたノズルより
レーザビームをワークへ向けて照射してレーザ加工を行
う際に、加工ヘッドの進行方向に対して、レーザビーム
の光軸をノズルの軸心より常に加工ヘッドの進行方向側
へ偏心した状態を維持させてレーザ加工が行われる。
【００１０】そのために、ワークに照射されるレーザビ
ームのレーザガスは加工ヘッドの進行方向に対して逆方
向へ常に流れるから、ワークの下面へレーザガスの流量
が増加し、レーザ加工の能力が向上し、厚板のワークも
容易にレーザ加工される。
ームのレーザガスは加工ヘッドの進行方向に対して逆方
向へ常に流れるから、ワークの下面へレーザガスの流量
が増加し、レーザ加工の能力が向上し、厚板のワークも
容易にレーザ加工される。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１２】図５を参照するに、レーザ加工装置１は、
水平に敷設された固定のＸＹテーブル３上に被加工材料
としてのワークＷを案内し、このワークＷをレーザビー
ムＬＢで熱切断するものである。
水平に敷設された固定のＸＹテーブル３上に被加工材料
としてのワークＷを案内し、このワークＷをレーザビー
ムＬＢで熱切断するものである。
【００１３】レーザビームＬＢはレーザ加工装置１の機
械本体に設けたレーザ発振装置５で発振され、強度調整
装置７，反射鏡９を介して加工ヘッド１１に案内されて
いる。加工ヘッド１１の内部には集光レンズ１３が設け
られ、レーザビームＬＢはこの集光レンズ１３で集光さ
れ、焦点位置でワークＷを熱切断する。また、ワークＷ
はクランプ１５で把持されて、切断すべき位置が加工ヘ
ッド１１の直下に来るように、ＸＹテーブル３上で水平
移動されるようになっている。
械本体に設けたレーザ発振装置５で発振され、強度調整
装置７，反射鏡９を介して加工ヘッド１１に案内されて
いる。加工ヘッド１１の内部には集光レンズ１３が設け
られ、レーザビームＬＢはこの集光レンズ１３で集光さ
れ、焦点位置でワークＷを熱切断する。また、ワークＷ
はクランプ１５で把持されて、切断すべき位置が加工ヘ
ッド１１の直下に来るように、ＸＹテーブル３上で水平
移動されるようになっている。
【００１４】クランプ１５は、ワークＷを把持した状態
で、ＸＹ軸用サーボモータで平面Ｘ，Ｙ方向に駆動され
るようになっている。加工ヘッド１１はＺ軸用サーボモ
ータで上下方向に駆動されるようになっている。又、レ
ーザ加工装置１にはＮＣ装置１７が備えられ、このＮＣ
装置１７の操作部にはいわゆる手動パルス発生器１９が
備えられている。
で、ＸＹ軸用サーボモータで平面Ｘ，Ｙ方向に駆動され
るようになっている。加工ヘッド１１はＺ軸用サーボモ
ータで上下方向に駆動されるようになっている。又、レ
ーザ加工装置１にはＮＣ装置１７が備えられ、このＮＣ
装置１７の操作部にはいわゆる手動パルス発生器１９が
備えられている。
【００１５】上記構成により、レーザ発振器５で発振さ
れたレーザビームＬＢは、強度調整装置７を経て反射鏡
９で折曲げられ、さらに集光レンズ１３で集光される。
集光レンズ１３で集光されたレーザビームＬＢはワーク
Ｗへ向けて照射されると共に、クランプ１５にクランプ
されたワークＷをＸ，Ｙ軸方向へＮＣ装置１７で制御し
て移動し位置決めすることによってワークＷの所望位置
に熱切断加工が行われることになる。
れたレーザビームＬＢは、強度調整装置７を経て反射鏡
９で折曲げられ、さらに集光レンズ１３で集光される。
集光レンズ１３で集光されたレーザビームＬＢはワーク
Ｗへ向けて照射されると共に、クランプ１５にクランプ
されたワークＷをＸ，Ｙ軸方向へＮＣ装置１７で制御し
て移動し位置決めすることによってワークＷの所望位置
に熱切断加工が行われることになる。
【００１６】図１を参照するに、前記加工ヘッド１１の
ヘッドホルダ２１における下部にはベアリング２３を介
してハウジング２５が回転自在に支承されている。この
ハウジング２５の下部内にはノズル２７を下端に備えた
ノズルホルダ２９が設けられている。しかも、このノズ
ルホルダ２９は前記ハウジング２５の下部における外側
に設けられた偏心量調整手段としての例えば複数の調整
ねじ部材３１で調整されるものである。
ヘッドホルダ２１における下部にはベアリング２３を介
してハウジング２５が回転自在に支承されている。この
ハウジング２５の下部内にはノズル２７を下端に備えた
ノズルホルダ２９が設けられている。しかも、このノズ
ルホルダ２９は前記ハウジング２５の下部における外側
に設けられた偏心量調整手段としての例えば複数の調整
ねじ部材３１で調整されるものである。
【００１７】前記ヘッドホルダ２１の図１において右側
には回転駆動手段として好ましくは駆動モータ３３が取
付けられている。しかも駆動モータ３３には回転角検出
センサとして好ましくはエンコーダ３５が備えられてい
る。そして駆動モータ３３，エンコーダ３５はそれぞれ
前記ＮＣ装置１７に接続されている。
には回転駆動手段として好ましくは駆動モータ３３が取
付けられている。しかも駆動モータ３３には回転角検出
センサとして好ましくはエンコーダ３５が備えられてい
る。そして駆動モータ３３，エンコーダ３５はそれぞれ
前記ＮＣ装置１７に接続されている。
【００１８】前記駆動モータ３３の出力軸３７には駆動
伝達部材として好ましくはスパーギア３９が連結されて
いる。また、このスパーギア３９に噛合された従動伝達
部材として好ましくはスパーギア４１が前記ハウジング
２５に一体化されている。
伝達部材として好ましくはスパーギア３９が連結されて
いる。また、このスパーギア３９に噛合された従動伝達
部材として好ましくはスパーギア４１が前記ハウジング
２５に一体化されている。
【００１９】上記構成により、複数の調整ねじ部材３１
を調整することにより、ノズル２７の軸心線Ｃ1 に対し
てレーザビームＬＢの光軸Ｃ2 を任意の偏心量ΔＬに調
整することができる。この任意の偏心量ΔＬは加工する
ワークの材質，板厚によって設定されるものである。
を調整することにより、ノズル２７の軸心線Ｃ1 に対し
てレーザビームＬＢの光軸Ｃ2 を任意の偏心量ΔＬに調
整することができる。この任意の偏心量ΔＬは加工する
ワークの材質，板厚によって設定されるものである。
【００２０】また、駆動モータ３３を駆動せしめると、
出力軸３７を介してスパーギア３９が回転される。この
スパーギア３９の回転により、スパーギア４１を介して
ハウジング２５が回転されるから、ノズルホルダ２９に
備えられたノズル２７も同方向へ回転されることにな
る。ノズル２７の回転角は駆動モータ３５に備えられた
エンコーダ３５により検出される。
出力軸３７を介してスパーギア３９が回転される。この
スパーギア３９の回転により、スパーギア４１を介して
ハウジング２５が回転されるから、ノズルホルダ２９に
備えられたノズル２７も同方向へ回転されることにな
る。ノズル２７の回転角は駆動モータ３５に備えられた
エンコーダ３５により検出される。
【００２１】例えば図２（Ａ）に示されているように、
偏心量ΔＬを保持した状態で回転角０度から、反時計方
向廻りへ９０度，１８０度，２７０度回動させることに
より、偏心量ΔＬを保持したまま回動するから、図２
（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）に示されたような状態となる。
偏心量ΔＬを保持した状態で回転角０度から、反時計方
向廻りへ９０度，１８０度，２７０度回動させることに
より、偏心量ΔＬを保持したまま回動するから、図２
（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）に示されたような状態となる。
【００２２】図３に示されているように、ワークＷに加
工ヘッド１１の先端に備えられたノズル２７からレーザ
ビームＬＢを照射してレーザ加工を行う場合に、加工ヘ
ッド１１の進行方向に対してレーザビームＬＢの光軸Ｃ
2 をノズル２７の軸心線Ｃ1より常に加工ヘッド１１の
進行方向側へ偏心した状態を維持させてレーザ加工を行
うことにより、レーザガスが加工ヘッド１１の進行方向
とは反対側へ流れる。そのため、ワークＷの下面へレー
ザガスの流量が増加するので、レーザ加工の能力が向上
して厚板のレーザ加工を安定させて行うことができる。
工ヘッド１１の先端に備えられたノズル２７からレーザ
ビームＬＢを照射してレーザ加工を行う場合に、加工ヘ
ッド１１の進行方向に対してレーザビームＬＢの光軸Ｃ
2 をノズル２７の軸心線Ｃ1より常に加工ヘッド１１の
進行方向側へ偏心した状態を維持させてレーザ加工を行
うことにより、レーザガスが加工ヘッド１１の進行方向
とは反対側へ流れる。そのため、ワークＷの下面へレー
ザガスの流量が増加するので、レーザ加工の能力が向上
して厚板のレーザ加工を安定させて行うことができる。
【００２３】特にワークＷが鉄板の場合のレーザ加工で
は、鉄の酸化反応により進行していくため、鉄板の上部
をレーザ熱源によりレーザ加工し、鉄板の下面に行くに
従って酸化反応を有利にするため、上述のごとく、加工
ヘッド１１の進行方向に対してレーザビームＬＢの光軸
Ｃ2 をノズル２７の軸心線Ｃ1 より常に加工ヘッド１１
の進行方向側へ偏心した状態を維持させることにより、
鉄板の下面へのレーザガスの流量が増加するのでレーザ
加工の能力が向上し、特に厚板の鉄板をレーザ加工する
のに有効である。
は、鉄の酸化反応により進行していくため、鉄板の上部
をレーザ熱源によりレーザ加工し、鉄板の下面に行くに
従って酸化反応を有利にするため、上述のごとく、加工
ヘッド１１の進行方向に対してレーザビームＬＢの光軸
Ｃ2 をノズル２７の軸心線Ｃ1 より常に加工ヘッド１１
の進行方向側へ偏心した状態を維持させることにより、
鉄板の下面へのレーザガスの流量が増加するのでレーザ
加工の能力が向上し、特に厚板の鉄板をレーザ加工する
のに有効である。
【００２４】例えば加工ヘッド１１の進行方向が図４に
示されているように種々変更した場合にも、ノズル２７
の偏心方向もノズル２７を回転させて加工ヘッド１１の
進行方向へ常に維持させるようにすることにより、単な
る直線方向のレーザ加工だけでなく、円あるいは曲線方
向のレーザ加工に対しても容易に行うことができるもの
である。
示されているように種々変更した場合にも、ノズル２７
の偏心方向もノズル２７を回転させて加工ヘッド１１の
進行方向へ常に維持させるようにすることにより、単な
る直線方向のレーザ加工だけでなく、円あるいは曲線方
向のレーザ加工に対しても容易に行うことができるもの
である。
【００２５】前記ハウジング２５を回動させる回転駆動
手段として駆動モータ３３，駆動，従動伝達部材として
スパーギア３９，４１を用いたことにより、簡単にハウ
ジング２５を回動させることができると共にコンパクト
で製作できるものである。この回転駆動手段としてはエ
アなどもよく、また、駆動，従動伝達部材としてプー
リ，タイミングベルトによるものや、スプロケット，チ
エーンによるものなどでもよいものである。さらにイン
デックスシリンダなど４位置の角度割りで行ってもよい
ものである。
手段として駆動モータ３３，駆動，従動伝達部材として
スパーギア３９，４１を用いたことにより、簡単にハウ
ジング２５を回動させることができると共にコンパクト
で製作できるものである。この回転駆動手段としてはエ
アなどもよく、また、駆動，従動伝達部材としてプー
リ，タイミングベルトによるものや、スプロケット，チ
エーンによるものなどでもよいものである。さらにイン
デックスシリンダなど４位置の角度割りで行ってもよい
ものである。
【００２６】前記回転駆動手段としての駆動モータ３３
の制御はレーザ加工装置１自体を制御せしめるＮＣ装置
１７で行われる。すなわち、ＮＣ装置１７からのＮＣ指
令により駆動モータ３３が回転されると共に、ノズル２
７の回転はエンコーダ３５で検出され、ＮＣ装置１７へ
フィードバックされるものである。したがって、駆動モ
ータ３３の制御は既存のＮＣ加工プログラムにて対応可
能である。
の制御はレーザ加工装置１自体を制御せしめるＮＣ装置
１７で行われる。すなわち、ＮＣ装置１７からのＮＣ指
令により駆動モータ３３が回転されると共に、ノズル２
７の回転はエンコーダ３５で検出され、ＮＣ装置１７へ
フィードバックされるものである。したがって、駆動モ
ータ３３の制御は既存のＮＣ加工プログラムにて対応可
能である。
【００２７】なお、この発明は、前述した実施例に限定
されるものでなく、適宜な変更を行うことにより、その
他の態様で実施し得るものである。
されるものでなく、適宜な変更を行うことにより、その
他の態様で実施し得るものである。
【００２８】
【発明の効果】以上のごとき実施例の説明より理解され
るように、この発明によれば、ワークに加工ヘッドの先
端に備えられたノズルよりレーザビームを照射してレー
ザ加工を行う際に、加工ヘッドの進行方向に対してレー
ザビームの光軸をノズルの軸心より常に加工ヘッドの進
行方向側へ偏心した状態を維持させた状態でレーザ加工
を行うことにより、レーザ加工の能力を向上させること
ができる。特に従来レーザ加工が難しかった厚板のワー
クを安定してレーザ加工を行うことができる。
るように、この発明によれば、ワークに加工ヘッドの先
端に備えられたノズルよりレーザビームを照射してレー
ザ加工を行う際に、加工ヘッドの進行方向に対してレー
ザビームの光軸をノズルの軸心より常に加工ヘッドの進
行方向側へ偏心した状態を維持させた状態でレーザ加工
を行うことにより、レーザ加工の能力を向上させること
ができる。特に従来レーザ加工が難しかった厚板のワー
クを安定してレーザ加工を行うことができる。
【００２９】回転駆動手段はレーザ加工装置自体のＮＣ
装置により制御されるので、あらたな制御装置を用意す
る必要がなく、既存のＮＣ加工プログラムで制御するこ
とができる。
装置により制御されるので、あらたな制御装置を用意す
る必要がなく、既存のＮＣ加工プログラムで制御するこ
とができる。
【００３０】回転駆動手段として回転用駆動モータを、
駆動，従動伝達部材としてそれぞれギアを用いることに
より、簡単にハウジングを回転させることができると共
にコンパクトに製作できる。
駆動，従動伝達部材としてそれぞれギアを用いることに
より、簡単にハウジングを回転させることができると共
にコンパクトに製作できる。
【図１】この発明の主要部を示す加工ヘッドの拡大側面
図である。
図である。
【図２】ノズルを回動させた場合におけるノズルの軸心
線に対するレーザビームの光軸の偏心状態を説明する説
明図である。
線に対するレーザビームの光軸の偏心状態を説明する説
明図である。
【図３】ノズルよりワークへ向けてレーザビームを照射
した場合のレーザガスの流れを説明する説明図である。
した場合のレーザガスの流れを説明する説明図である。
【図４】加工ヘッドの進行方向とノズルの偏心方向との
関係を示した図である。
関係を示した図である。
【図５】この発明を実施する一実施例のレーザ加工装置
の側面図である。
の側面図である。
１ レーザ加工装置 １１ 加工ヘッド １７ ＮＣ装置 ２１ ヘッドホルダ ２５ ハウジング ２７ ノズル ２９ ノズルホルダ ３１ 調整ねじ部材（偏心量調整手段） ３３ 駆動モータ（回転駆動手段） ３５ エンコーダ（回転角検出センサ） ３９ スパーギア（駆動伝達部材） ４１ スパーギア（従動伝達部材）
Claims (5)
- 【請求項１】 加工ヘッドの先端に備えたノズルよりレ
ーザビームをワークへ向けて照射してレーザ加工を行う
際、前記加工ヘッドの進行方向に対してレーザビームの
光軸を前記ノズルの軸心より常に加工ヘッドの進行方向
側へ偏心した状態を維持させてレーザ加工を行うことを
特徴とするレーザ加工方法。 - 【請求項２】 加工ヘッドのヘッドホルダにおける下部
に回転自在なハウジングを設け、このハウジング内に、
ノズルを下端に備えたノズルホルダを設けると共にノズ
ルの軸心とレーザビームの光軸を偏心せしめる偏心量調
整手段を設け、前記ハウジングを回転せしめる回転駆動
手段を前記ヘッドホルダに設けてなることを特徴とする
レーザ加工装置。 - 【請求項３】 前記回転駆動手段がレーザ加工装置のＮ
Ｃ装置で制御されるべくＮＣ装置に接続されていること
を特徴とする請求項２記載のレーザ加工装置。 - 【請求項４】 前記回転駆動手段が回転角を検出する回
転角検出センサを備えた回転用駆動モータで、この回転
用駆動モータに連結された駆動伝達部材が、前記ハウジ
ングに一体化された従動伝達部材に回転を伝達すべく連
結されていることを特徴とする請求項２記載のレーザ加
工装置。 - 【請求項５】 前記駆動伝達部材，従動伝達部材がそれ
ぞれギアであることを特徴とする請求項４記載のレーザ
加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6003860A JPH07204877A (ja) | 1994-01-19 | 1994-01-19 | レーザ加工方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6003860A JPH07204877A (ja) | 1994-01-19 | 1994-01-19 | レーザ加工方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07204877A true JPH07204877A (ja) | 1995-08-08 |
Family
ID=11568954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6003860A Pending JPH07204877A (ja) | 1994-01-19 | 1994-01-19 | レーザ加工方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07204877A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012152788A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
| JP2012157892A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2014018839A (ja) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザ切断方法 |
| US11554444B2 (en) * | 2019-03-18 | 2023-01-17 | Fanuc Corporation | Laser machine for cutting workpiece |
-
1994
- 1994-01-19 JP JP6003860A patent/JPH07204877A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012152788A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
| JP2012157892A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2014018839A (ja) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザ切断方法 |
| US11554444B2 (en) * | 2019-03-18 | 2023-01-17 | Fanuc Corporation | Laser machine for cutting workpiece |
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