JPH07201175A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Publication number
JPH07201175A
JPH07201175A JP5354067A JP35406793A JPH07201175A JP H07201175 A JPH07201175 A JP H07201175A JP 5354067 A JP5354067 A JP 5354067A JP 35406793 A JP35406793 A JP 35406793A JP H07201175 A JPH07201175 A JP H07201175A
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JP
Japan
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circuit
signal
clock signal
noise
internal
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Application number
JP5354067A
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English (en)
Inventor
Yoshinori Matsumoto
美紀 松本
Tsuratoki Ooishi
貫時 大石
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 データ出力バッファの動作にともない電源ノ
イズがクロック信号CLKに与える影響を抑制して、多
ビット構成のシンクロナスDRAM等の信頼性を高め、
その電源電圧の低電圧化を推進する。 【構成】 データ出力バッファが動作状態とされること
による電源ノイズの発生期間を包含する所定期間だけノ
イズサプレス信号NSBを有効レベルつまりロウレベル
とするノイズサプレス生成回路と、ノイズサプレス信号
が無効レベルとされるときクロック信号CLKを内部ク
ロック信号ICK1〜ICK2として伝達し、有効レベ
ルとされるとき内部クロック信号のレベル変化を禁止し
て有効レベルに保持するセレクタラッチSLとを設け
る。ノイズサプレス生成回路は、ノイズサプレス信号が
有効レベルに変化するタイミングを設定する第1の遅延
回路DEL1〜DEL3と、ノイズサプレス信号のパル
ス幅を設定する第2の遅延回路DEL4とを基本に構成
する。遅延回路DEL1〜DEL3は、レイテンシーモ
ードの出力遅延サイクル数L1〜L3に従って切り換え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体装置に関し、例
えば、タイミング発生回路及びデータ出力バッファを備
える多ビット構成のシンクロナスDRAM(ダイナミッ
ク型ランダムアクセスメモリ)に利用して特に有効な技
術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】その動作が外部から入力される所定のク
ロック信号に従って同期化されるいわゆるシンクロナス
DRAMがある。シンクロナスDRAMは、上記クロッ
ク信号をもとに各部の動作を制御するための内部クロッ
ク信号を形成するタイミング発生回路と、選択されたメ
モリセルから出力された読み出し信号をデータ出力端子
を介して外部に出力するためのデータ出力バッファとを
備える。
【0003】シンクロナスDRAMについては、例え
ば、1993年1月18日、株式会社日立製作所発行の
『HM5216800,HM5416800シリーズ
データブック』に記載されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記に記載される従来
のシンクロナスDRAMにおいて、タイミング発生回路
TGは、例えば図6に示されるように、その一方の入力
端子に外部端子CLKを介して入力されるクロック信号
CLKを受けその他方の入力端子に内部制御信号PDM
のインバータV1による反転信号を受けるナンド(NA
ND)ゲートNA1と、その一方の入力端子に上記ナン
ドゲートNA1の出力信号を受けその他方の入力端子に
内部制御信号PDMDのインバータV2による反転信号
を受けるナンドゲートNA2とを含む。内部制御信号P
DM及びPDMDは、シンクロナスDRAMがいわゆる
パワーダウン(低電力)モードとされるときハイレベル
とされ、通常の動作モードとされるときロウレベルとさ
れる。したがって、シンクロナスDRAMが通常の動作
モードとされる場合、クロック信号CLKはナンドゲー
トNA1及びNA2を経て内部クロック信号ICK0と
なり、さらにインバータVD及びVEならびにV4及び
V5を経て内部クロック信号ICK1又はICK2とな
る。これらの内部クロック信号は、シンクロナスDRA
Mの各部に供給され、その動作を制御するためのタイミ
ング信号として用いられる。
【0005】ところが、その多ビット化及び低電圧化が
進むにしたがって、上記シンクロナスDRAMには次の
ような問題点が生じることが本願発明者等によって明ら
かとなった。すなわち、その多ビット化が進み、例えば
シンクロナスDRAMがいわゆる×16ビット構成とさ
れて、16個のデータ入出力端子D0〜D15と同数の
データ出力バッファとを備える場合、これらのデータ出
力バッファが一斉に動作状態とされることによってシン
クロナスDRAMの電源供給経路に比較的大きな電源ノ
イズが発生する。これに対処するため、従来のシンクロ
ナスDRAMでは、データ出力バッファの電源供給経路
とその他の内部回路の電源供給経路を独立に設ける方法
が採られるが、これらの電源供給経路は結局パッケージ
の外側で共通結合されるため、電源ノイズは結果的にシ
ンクロナスDRAMの内部回路に伝達される。これらの
電源ノイズは、シンクロナスDRAMの動作電源が低電
圧化されるにしたがって大きな問題となり、図7に示さ
れるように、特にシンクロナスDRAMがTTL(トラ
ンジスタ・トランジスタ・ロジック)インタフェースと
されることで入力マージンの小さなクロック信号CLK
に重畳され、特にクロック信号CLKの立ち下がり過渡
期に発生したノイズは内部クロック信号ICK0〜IC
K2にパルス状のノイズを発生させる。この結果、内部
クロック信号を受ける各部の動作が不安定となり、これ
によってシンクロナスDRAMの信頼性が低下し、その
動作電源の低電圧化が制約を受けるものである。
【0006】この発明の目的は、複数のデータ出力バッ
ファが動作状態とされることにともなう電源ノイズの特
にクロック信号等の入力回路に与える影響を抑制するこ
とにある。この発明の他の目的は、多ビット構成とされ
るシンクロナスDRAM等の信頼性を高め、その動作電
源の低電圧化を推進することにある。
【0007】この発明の前記ならびにその他の目的と新
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、複数のデータ出力バッファを
備え多ビット構成とされるシンクロナスDRAM等のタ
イミング発生回路に、複数のデータ出力バッファが同時
に動作状態とされることにともなう電源ノイズの発生期
間を包含する所定期間だけノイズサプレス信号を有効レ
ベルとするノイズサプレス信号生成回路と、ノイズサプ
レス信号が無効レベルとされるときクロック信号を実質
的な内部クロック信号として伝達しノイズサプレス信号
が有効レベルとされるとき内部クロック信号の直前の論
理レベルつまり有効レベルを保持するセレクタラッチと
を設けるとともに、ノイズサプレス信号生成回路を、実
質的にノイズサプレス信号が有効レベルに変化されるタ
イミングを設定するための第1の遅延回路と、実質的に
ノイズサプレス信号が有効レベルとされる期間を設定す
るための第2の遅延回路とを基本に形成し、第1の遅延
回路による遅延時間を、レイテンシーモードの出力遅延
サイクル数に応じて選択的に切り換える。
【0009】
【作用】上記した手段によれば、複数のデータ出力バッ
ファが同時に動作状態とされることにともなう電源ノイ
ズによりクロック信号にノイズが重畳される場合でも、
これらのノイズが内部クロック信号に伝達されるのを防
止し、内部回路の誤動作を防止することができる。この
結果、多ビット構成とされるシンクロナスDRAM等の
信頼性を高め、その動作電源の低電圧化を推進できる。
【0010】
【実施例】図1には、この発明が適用されたシンクロナ
スDRAMの一実施例のブロック図が示されている。同
図をもとに、まずこの実施例のシンクロナスDRAMの
構成及び動作の概要について説明する。なお、図1の各
ブロックを構成する回路素子は、特に制限されないが、
公知のMOSFET(金属酸化物半導体型電界効果トラ
ンジスタ。この明細書では、MOSFETをして絶縁ゲ
ート型電界効果トランジスタの総称とする)集積回路の
製造技術により、単結晶シリコンのような1個の半導体
基板面上に形成される。
【0011】図1において、この実施例のシンクロナス
DRAMは、2個のバンクBANK0及びBANK1を
備え、これらのバンクのそれぞれは、そのレイアウト面
積の大半を占めて配置されるメモリアレイと、直接周辺
回路となるロウアドレスデコーダRD,センスアンプS
A及びカラムアドレスデコーダCDとを含む。
【0012】ここで、バンクBANK0及びBANK1
を構成するメモリアレイMARYのそれぞれは、図の垂
直方向に平行して配置される複数のワード線と、水平方
向に平行して配置される複数の相補ビット線とを含む。
これらのワード線及び相補ビット線の交点には、情報蓄
積キャパシタ及びアドレス選択MOSFETからなる多
数のダイナミック型メモリセルが格子状に配置される。
【0013】バンクBANK0及びBANK1のメモリ
アレイMARYを構成するワード線は、対応するロウア
ドレスデコーダRDにそれぞれ結合され、択一的に選択
状態とされる。ロウアドレスデコーダRDには、ロウア
ドレスバッファRBからその最上位ビットを除くiビッ
トの内部アドレス信号X0〜Xi−1が共通に供給さ
れ、タイミング発生回路TGから図示されない内部制御
信号RG0及びRG1がそれぞれ供給される。また、ロ
ウアドレスバッファRBには、アドレス入力端子A0〜
Aiを介してXアドレス信号AX0〜AXiが時分割的
に供給されるとともに、リフレッシュアドレスカウンタ
RFCからリフレッシュアドレス信号R0〜Riが供給
され、タイミング発生回路TGから内部制御信号RL及
びRFが供給される。リフレッシュアドレスカウンタR
FCには、タイミング発生回路TGから内部制御信号R
Cが供給される。なお、内部制御信号RG0及びRG1
は、バンク選択回路BSからタイミング発生回路TGに
供給されるバンク選択信号BS0及びBS1に従って選
択的に形成され、これらのバンク選択信号BS0及びB
S1は、ロウアドレスバッファRBからバンク選択回路
BSに供給される最上位ビットの内部アドレス信号Xi
に従って選択的に形成される。
【0014】ロウアドレスバッファRBは、シンクロナ
スDRAMが通常の動作モードとされ内部制御信号RF
がロウレベルとされるとき、アドレス入力端子A0〜A
iを介して時分割的に供給されるXアドレス信号AX0
〜AXiを内部制御信号RLに従って取り込み、保持す
る。また、シンクロナスDRAMがリフレッシュモード
され内部制御信号RFがハイレベルとされるとき、リフ
レッシュアドレスカウンタRFCから供給されるリフレ
ッシュアドレス信号R0〜Riを内部制御信号RLに従
って取り込み、保持する。そして、これらのXアドレス
信号又はリフレッシュアドレス信号をもとに、内部アド
レス信号X0〜Xiを形成する。このうち、最上位ビッ
トの内部アドレス信号Xiは、前述のように、バンク選
択回路BSに供給され、他の内部アドレス信号X0〜X
i−1は、バンクBANK0及びBANK1のロウアド
レスデコーダRDに共通に供給される。
【0015】バンク選択回路BSは、ロウアドレスバッ
ファRBから供給される最上位ビットの内部アドレス信
号Xiをデコードして、対応するバンク選択信号BS0
及びBS1を選択的に形成し、タイミング発生回路TG
及びデータ入出力回路IO等に供給する。また、バンク
BANK0及びBANK1のロウアドレスデコーダRD
は、内部制御信号RG0又はRG1がハイレベルとされ
ることで選択的に動作状態とされ、内部アドレス信号X
0〜Xi−1をデコードして、対応するメモリアレイM
ARYのワード線を択一的にハイレベルの選択状態とす
る。
【0016】次に、バンクBANK0及びBANK1の
メモリアレイMARYを構成する相補ビット線は、対応
するセンスアンプSAに結合される。これらのセンスア
ンプSAには、対応するカラムアドレスデコーダCDか
ら所定ビットのビット線選択信号が供給され、タイミン
グ発生回路TGから図示されない内部制御信号PA0又
はPA1がそれぞれ供給される。なお、内部制御信号P
A0及びPA1は、バンク選択信号BS0及びBS1に
従って選択的に形成される。
【0017】バンクBANK0及びBANK1のセンス
アンプSAは、対応するメモリアレイMARYの各相補
ビット線に対応して設けられる複数の単位回路をそれぞ
れ含み、これらの単位回路のそれぞれは、一対のCMO
Sインバータが交差接続されてなる単位増幅回路と一対
のスイッチMOSFETとを含む。このうち、各単位回
路の単位増幅回路には、対応する内部制御信号PA0又
はPA1に従って選択的にオン状態とされる一対の駆動
MOSFETを介して、回路の電源電圧及び接地電位が
選択的に供給される。また、各単位回路のスイッチMO
SFETのゲートは16対ごとにそれぞれ共通結合さ
れ、対応するカラムアドレスデコーダCDから対応する
上記ビット線選択信号が共通に供給される。なお、この
実施例において、シンクロナスDRAMはその動作電源
が低電圧化され、回路の電源電圧は例えば+3Vのよう
な比較的絶対値の小さな正の電源電圧とされる。
【0018】これにより、センスアンプSAの各単位回
路を構成する単位増幅回路は、対応する内部制御信号P
A0又はPA1がハイレベルとされることで選択的にか
つ一斉に動作状態とされ、対応するメモリアレイMAR
Yの選択されたワード線に結合される複数のメモリセル
から対応する相補ビット線を介して出力される微小読み
出し信号をそれぞれ増幅して、ハイレベル又はロウレベ
ルの2値読み出し信号とする。また、センスアンプSA
の各単位回路を構成するスイッチMOSFET対は、対
応するビット線選択信号がハイレベルとされることで1
6対ずつ選択的にオン状態とされ、対応するメモリアレ
イMARYの対応する16組の相補ビット線と相補共通
データ線CD00*〜CD015*あるいはCD10*
〜CD115*(ここで、例えば非反転共通データ線C
D00T及び反転共通データ線CD00Bをあわせて相
補ビット線CD00*のように*を付して表す。また、
それが有効とされるとき選択的にハイレベルとされるい
わゆる非反転信号等についてはその名称の末尾にTを付
して表し、それが有効とされるとき選択的にロウレベル
とされるいわゆる反転信号等についてはその名称の末尾
にBを付して表す。以下同様)とを選択的に接続状態と
する。
【0019】バンクBANK0及びBANK1のカラム
アドレスデコーダCDには、カラムアドレスバッファC
Bからi+1ビットの内部アドレス信号Y0〜Yiが共
通に供給され、タイミング発生回路TGから図示されな
い内部制御信号CG0及びCG1がそれぞれ供給され
る。また、カラムアドレスバッファCBには、アドレス
入力端子A0〜Aiを介してYアドレス信号AY0〜A
Yiが時分割的に供給され、タイミング発生回路TGか
ら内部制御信号CLが供給される。
【0020】カラムアドレスバッファCBは、アドレス
入力端子A0〜Aiを介して時分割的に供給されるYア
ドレス信号AY0〜AYiを内部制御信号CLに従って
取り込み、保持するとともに、これらのYアドレス信号
をもとに内部アドレス信号Y0〜Yiを形成し、各バン
クのカラムアドレスデコーダCDに供給する。
【0021】この実施例において、シンクロナスDRA
Mは、所定のモードレジスタセットサイクルにおいてア
ドレス入力端子A0〜Aiから入力される所定ビットの
モード制御信号を取り込み、保持するモードレジスタM
Rを備える。また、シンクロナスDRAMは、選択され
たワード線に結合される所定数のメモリセルに対して連
続アクセスするいわゆるバーストモードと、選択された
メモリセルから出力される読み出し信号をクロック信号
CLKの指定されたサイクル数だけ遅延させて送出する
いわゆるレイテンシーモードを有し、カラムアドレスバ
ッファCBは、バーストモード時において連続アクセス
すべき一連のカラムアドレスを順次指定するためのバー
ストカウンタを備える。
【0022】モードレジスタMRによって保持されるモ
ード制御信号は、所定ビットずつデコードされ、これを
もとに4ビットのバースト長信号B1,B2,B4及び
B8ならびに3ビットのレイテンシー信号L1,L2及
びL3が択一的にハイレベルとされる。このうち、バー
スト長信号B1〜B8は、カラムアドレスバッファCB
のバーストカウンタに供給され、これによってバースト
カウンタの歩進モードが設定される。また、レイテンシ
ー信号L1〜L3は、データ入出力回路IO及びタイミ
ング発生回路TGに供給され、読み出しデータの出力遅
延サイクル制御と後述するノイズサプレス信号のタイミ
ング制御に供される。
【0023】バンクBANK0及びバンクBANK1の
カラムアドレスデコーダCDは、対応する内部制御信号
CG0又はCG1がハイレベルとされることで選択的に
動作状態とされる。この動作状態において、各カラムア
ドレスデコーダCDは、カラムアドレスバッファCBか
ら供給される内部アドレス信号Y0〜Yiをデコードし
て、対応するビット線選択信号を択一的にハイレベルと
する。
【0024】バンクBANK0及びBANK1を構成す
るメモリアレイMARYの指定された16組の相補ビッ
ト線がそれぞれ選択的に接続状態とされる相補共通デー
タ線CD00*〜CD015*ならびにCD10*〜C
D115*は、データ入出力回路IOに結合される。デ
ータ入出力回路IOには、バンク選択回路BSからバン
ク選択信号BS0及びBS1が供給され、タイミング発
生回路TGから内部制御信号MU及びMLが供給され
る。なお、内部制御信号MUは、クロック信号CLKの
立ち上がりエッジにおいてデータマスク信号DQMUが
ハイレベルとされることで選択的にハイレベルとされ、
内部制御信号MLは、データマスク信号DQMLがハイ
レベルとされることで選択的にハイレベルとされる。
【0025】データ入出力回路IOは、相補共通データ
線CD00*〜CD015*ならびにCD10*〜CD
115*に対応して設けられるそれぞれ32個のライト
アンプ及びメインアンプと、それぞれ16個のデータ入
力バッファ及びデータ出力バッファとを含む。このう
ち、各ライトアンプの出力端子とメインアンプの入力端
子は、対応する相補共通データ線CD00*〜CD01
5*あるいはCD10*〜CD115にそれぞれ共通結
合される。また、各ライトアンプの入力端子は、2個ず
つ対応するデータ入力バッファの出力端子に共通結合さ
れ、各データ入力バッファの入力端子は、対応するデー
タ入出力端子D0〜D15に結合される。さらに、各メ
インアンプの出力端子は、2個ずつ対応するデータ出力
バッファの入力端子に共通結合され、各データ出力バッ
ファの出力端子は、対応するデータ入出力端子D0〜D
15に結合される。バンクBANK0に対応するライト
アンプ及びメインアンプには、バンク選択信号BS0が
共通に供給され、バンクBANK1に対応するライトア
ンプ及びメインアンプには、バンク選択信号BS1が共
通に供給される。また、下位8ビットのデータ入出力端
子D0〜D7に対応するライトアンプ及びデータ出力バ
ッファには、内部制御信号MLが共通に供給され、上位
8ビットのデータ入出力端子D8〜D15に対応するラ
イトアンプ及びデータ出力バッファには、内部制御信号
MUが共通に供給される。
【0026】データ入出力回路IOの各データ入力バッ
ファは、シンクロナスDRAMが書き込みモードで選択
状態とされるとき対応するデータ入出力端子D0〜D1
5を介して供給される16ビットの書き込みデータを取
り込み、対応する2個のライトアンプにそれぞれ伝達す
る。また、各ライトアンプは、対応するバンク選択信号
BS0又はBS1がハイレベルとされかつ対応する内部
制御信号MU又はMLがロウレベルとされることで選択
的に動作状態とされ、対応するデータ入力バッファから
伝達される書き込みデータを所定の相補書き込み信号と
した後、対応する相補共通データ線CD00*〜CD0
15*あるいはCD10*〜CD115*を介してバン
クBANK0又はBANK1のメモリアレイMARYの
選択された16個のメモリセルに8個ずつ選択的に書き
込む。
【0027】一方、データ入出力回路IOの各メインア
ンプは、シンクロナスDRAMが読み出しモードで選択
状態とされるとき、対応するバンク選択信号BS0又は
BS1がハイレベルとされることで選択的に動作状態と
される。この動作状態において、各メインアンプは、バ
ンクBANK0又はBANK1のメモリアレイMARY
の選択された16個のメモリセルから対応する相補共通
データ線CD00*〜CD015*あるいはCD10*
〜CD115*を介して出力される2値読み出し信号を
さらに増幅して、対応するデータ出力バッファに伝達す
る。また、各データ出力バッファは、対応する内部制御
信号MU又はMLがロウレベルとされることで一斉に又
は8個ずつ選択的に動作状態とされ、対応するメインア
ンプから伝達される読み出しデータをさらに増幅した
後、対応するデータ入出力端子D0〜D15を介してシ
ンクロナスDRAMの外部に出力する。なお、データ入
出力回路IOのデータ出力バッファによる読み出しデー
タの出力動作が、モードレジスタMRから供給されるレ
イテンシー信号L1〜L3に対応するサイクル数だけ選
択的に遅延されることは言うまでもない。
【0028】以上の結果、この実施例のシンクロナスD
RAMは、指定されたバンクBANK0又はBANK1
に対して16ビットの記憶データを同時に入力又は出力
するいわゆる2バンク×16ビット構成のメモリとされ
るが、記憶データの入力及び出力動作は、データマスク
信号DQMU及びDQMLつまりは内部制御信号MU及
びMLに従って8ビット単位で選択的に禁止することが
できる。
【0029】タイミング発生回路TGは、外部から供給
されるクロック信号CLKと、起動制御信号となるクロ
ックイネーブル信号CKE,チップ選択信号CSB,ロ
ウアドレスストローブ信号RASB,カラムアドレスス
トローブ信号CASB,ライトイネーブル信号WEBな
らびにデータマスク信号DQMU及びDQMLと、バン
ク選択回路BSから供給されるバンク選択信号BS0及
びBS1とをもとに上記各種内部制御信号や内部クロッ
ク信号を選択的に形成し、シンクロナスDRAMの各部
に供給する。この実施例において、タイミング発生回路
TGは、所定のノイズサプレス信号を形成するノイズサ
プレス生成回路と、このノイズサプレス信号を受けてデ
ータ入出力回路IOを構成する16個のデータ出力バッ
ファが同時に動作状態とされることにともなう電源ノイ
ズのクロック信号CLKに与える影響を抑制するための
セレクタラッチとを含み、ノイズサプレス生成回路は、
ノイズサプレス信号の有効レベルへの変化タイミングを
設定するための第1の遅延回路と、ノイズサプレス信号
のパルス幅を設定するための第2の遅延回路とを含む。
タイミング発生回路TGには、前述のように、モードレ
ジスタMRからレイテンシー信号L1〜L3が供給さ
れ、これらのレイテンシー信号によって第1の遅延回路
の遅延時間が選択的に切り換えられる。タイミング発生
回路TGの具体的構成及び動作については、後で詳細に
説明する。
【0030】図2には、図1のシンクロナスDRAMに
含まれるタイミング発生回路TGの第1の実施例の部分
的な回路図が示され、図3には、そのバーストリードモ
ードにおける一実施例の信号波形図が示されている。こ
れらの図をもとに、この実施例のシンクロナスDRAM
に含まれるタイミング発生回路TGの具体的構成及び動
作ならびにその特徴について説明する。なお、以下の回
路図において、そのチャンネル部に矢印が付されるMO
SFETはPチャンネル型であって、矢印の付されない
NチャンネルMOSFETと区別して示される。
【0031】図2において、タイミング発生回路TG
は、特に制限されないが、ナンドゲートNA1及びNA
2を中心とする入力回路ICと、遅延選択回路DSEL
及びパルス幅設定回路PWCからなるノイズサプレス信
号生成回路と、クロックドインバータCV1及びCV2
を中心とするセレクタラッチSLとを含む。このうち、
入力回路ICを構成するナンドゲートNA1の一方の入
力端子には、外部端子CLKを介してクロック信号CL
Kが供給され、その他方の入力端子には、内部制御信号
PDMのインバータV1による反転信号が供給される。
また、ナンドゲートNA2の一方の入力端子には、ナン
ドゲートNA1の出力信号が供給され、その他方の入力
端子には、内部制御信号PDMDのインバータV2によ
る反転信号が供給される。ここで、内部制御信号PDM
は、シンクロナスDRAMが通常の動作モードとされる
ときロウレベルとされ、パワーダウンモードとされると
きハイレベルとされる。また、内部制御信号PDMD
は、シンクロナスDRAMがパワーダウンモードとされ
るとき内部制御信号PDMにやや遅れてハイレベルとさ
れる。さらに、外部端子CLKを介して入力されるクロ
ック信号CLKは、図3に示されるように、ほぼデュー
ティ50%のパルス信号とされ、その立ち下がりエッジ
近傍には、データ入出力回路IOを構成する16個のデ
ータ出力バッファが同時に動作状態とされることにとも
なうノイズが重畳される。
【0032】シンクロナスDRAMが通常の動作モード
とされ内部制御信号PDM及びPDMDがロウレベルと
されるとき、ナンドゲートNA1及びNA2はいわゆる
伝達状態となり、外部端子CLKを介して入力されるク
ロック信号CLKを内部クロック信号ICK0として伝
達する。このとき、クロック信号CLKの立ち下がりエ
ッジ近傍に重畳されたノイズは、ナンドゲートNA1及
びNA2の増幅作用によって増幅され、図3に示される
ように、内部クロック信号ICK0の立ち下がりエッジ
近傍におけるパルス状のノイズとなる。
【0033】一方、シンクロナスDRAMがパワーダウ
ンモードとされるとき、ナンドゲートNA1は、内部制
御信号PDMのハイレベルつまりインバータV1の出力
信号のロウレベルを受けて非伝達状態となり、これによ
ってクロック信号CLKが中間レベルとされることにと
もなう貫通電流を防止すべく作用する。また、ナンドゲ
ートNA2は、内部制御信号PDMDのハイレベルつま
りインバータV2の出力信号のロウレベルを受けて非伝
達状態となり、その出力端子における内部クロック信号
ICK0のレベルをハイレベルに固定すべく作用する。
【0034】次に、ノイズサプレス生成回路を構成する
遅延選択回路DSELは、3個の遅延回路DEL1〜D
EL3(第1の遅延回路)と、これらの遅延回路に対応
して設けられる3個のクロックドインバータCV3〜C
V5を含む。このうち、遅延回路DEL1〜DEL3の
入力端子には、内部クロック信号ICK3のインバータ
V8による反転信号が共通に供給される。また、クロッ
クドインバータCV3の入力端子つまりPチャンネルM
OSFETP5及びNチャンネルMOSFETN5の共
通結合されたゲートには、遅延回路DEL1の出力信号
が供給される。さらに、クロックドインバータCV4の
入力端子つまりPチャンネルMOSFETP7及びNチ
ャンネルMOSFETN7の共通結合されたゲートに
は、遅延回路DEL2の出力信号が供給され、クロック
ドインバータCV5の入力端子つまりPチャンネルMO
SFETP9及びNチャンネルMOSFETN9の共通
結合されたゲートには、遅延回路DEL3の出力信号が
供給される。なお、内部クロック信号ICK3は、上記
内部クロック信号ICK0〜ICK2のいずれかをもと
に形成され、図3に示されるように、そのレベル遷移が
内部クロック信号ICK2からさらに所定時間だけ遅延
されたパルス信号とされる。
【0035】遅延選択回路DSELのクロックドインバ
ータCV3の非反転制御端子つまりNチャンネルMOS
FETN6のゲートには、モードレジスタMRからレイ
テンシー信号L1が供給され、その反転制御端子つまり
PチャンネルMOSFETP6のゲートには、そのイン
バータV9による反転信号が供給される。また、クロッ
クドインバータCV4の非反転制御端子つまりNチャン
ネルMOSFETN8のゲートには、レイテンシー信号
L2が供給され、その反転制御端子つまりPチャンネル
MOSFETP8のゲートには、そのインバータVAに
よる反転信号が供給される。さらに、クロックドインバ
ータCV5の非反転制御端子つまりNチャンネルMOS
FETNAのゲートには、レイテンシー信号L3が供給
され、その反転制御端子つまりPチャンネルMOSFE
TPAのゲートには、そのインバータVBによる反転信
号が供給される。クロックドインバータCV3〜CV5
の出力端子つまりMOSFETP6及びN6,MOSF
ETP8及びN8ならびにMOSFETPA及びNAの
共通結合されたドレインは、内部ノードICK4に共通
結合され、その電位は、遅延選択回路DSELの出力信
号つまり内部クロック信号ICK4としてパルス幅設定
回路PWCに供給される。
【0036】これらのことから、遅延選択回路DSEL
を構成するクロックドインバータCV3〜CV5は、対
応するレイテンシー信号L1〜L3がハイレベルとされ
ることで選択的に伝達状態とされ、対応する遅延回路D
EL1〜DEL3の出力信号を選択的に伝達して、内部
クロック信号ICK4とする。しかるに、レイテンシー
L1が択一的にハイレベルとされる場合、内部クロック
信号ICK3は、図3に例示されるように、遅延回路D
EL1の遅延時間td1だけ遅延されて内部クロック信
号ICK4となり、レイテンシー信号L2又はL3が択
一的にハイレベルとされる場合には、それぞれ遅延回路
DEL2又はDEL3の遅延時間td2又はtd3だけ
遅延されて内部クロック信号ICK4となる。
【0037】一方、ノイズサプレス生成回路を構成する
パルス幅設定回路PWCは、特に制限されないが、遅延
選択回路DSELの出力信号つまり内部クロック信号I
CK4を受ける遅延回路4(第2の遅延回路)と、その
一方の入力端子に内部クロック信号ICK4を受けるナ
ンドゲートNA3とを含む。ナンドゲートNA3の他方
の入力端子には、遅延回路DEL4のインバータV6に
よる反転信号が供給され、その出力信号は、反転ノイズ
サプレス信号NSBとなる。
【0038】これにより、パルス幅設定回路PWCの出
力信号つまり反転ノイズサプレス信号NSBは、内部ク
ロック信号ICK4とインバータV6の出力信号がとも
にハイレベルとされるとき、言い換えるならば、図3に
示されるように、内部クロック信号ICK4がハイレベ
ルとされてから遅延回路DEL4の遅延時間td4が経
過するまでの間、選択的に有効レベルつまりロウレベル
とされる。
【0039】以上の結果、ノイズサプレス信号が有効レ
ベルつまり反転ノイズサプレス信号NSBがロウレベル
に変化され非反転ノイズサプレス信号NSTがハイレベ
ルに変化されるタイミングは、遅延選択回路DSELを
構成する第1の遅延回路つまり遅延回路DEL1〜DE
L3の遅延時間td1〜td3、言い換えるならばモー
ドレジスタMRから供給されるレイテンシー信号L1〜
L3に従って選択的に設定されるものとなり、そのパル
ス幅は、パルス幅設定回路PWCを構成する第2の遅延
回路つまり遅延回路DEL4の遅延時間td4に従って
設定されるものとなる。なお、ノイズサプレス信号が有
効レベルに変化されるタイミングは、図3から類推でき
るように、クロック信号CLKにデータ入出力回路IO
を構成する16個のデータ出力バッファが同時に動作状
態とされることにともなうノイズが重畳される期間を包
含することが必須条件となる。前述のように、シンクロ
ナスDRAMはレイテンシーモードを備え、選択された
メモリセルの読み出しデータが出力されるタイミングは
その出力遅延サイクル数つまりレイテンシー信号L1〜
L3に応じて変化する。このため、前述のように、レイ
テンシー信号L1〜L3に従って選択的に有効とされる
遅延回路DEL1〜DEL3を設け、ノイズサプレス信
号が有効レベルに変化されるタイミングを選択的に切り
換えうるようにすることで、ノイズサプレス信号の有効
レベルとされる期間が確実にデータ出力バッファによる
ノイズ発生期間を包含するものとなる。
【0040】次に、セレクタラッチSLは、Pチャンネ
ルMOSFETP1及びP2ならびにNチャンネルMO
SFETN1及びN2からなるクロックドインバータC
V1と、PチャンネルMOSFETP3及びP4ならび
にNチャンネルMOSFETN3及びN4からなるクロ
ックドインバータCV2とを含む。このうち、クロック
ドインバータCV1の入力端子つまりMOSFETP1
及びN1の共通結合されたゲートには、入力回路ICか
ら内部クロック信号ICK0が供給される。また、クロ
ックドインバータCV1の非反転制御端子つまりMOS
FETN2のゲートには、ノイズサプレス信号NSの出
力信号つまり反転ノイズサプレス信号NSBが供給さ
れ、その反転制御端子つまりMOSFETP2のゲート
には、反転ノイズサプレス信号NSBのインバータV7
による反転信号つまり非反転ノイズサプレス信号NST
が供給される。
【0041】クロックドインバータCV1の出力端子つ
まりMOSFETP2及びN2の共通結合されたドレイ
ンは、クロックドインバータCV2の出力端子つまりM
OSFETP4及びN4の共通結合されたドレインに結
合されるとともに、インバータV3の入力端子に結合さ
れる。このインバータV3の出力信号は、内部クロック
信号ICK1としてタイミング発生回路TGの図示され
ない後段回路に供給されるとともに、クロックドインバ
ータCV2の入力端子つまりMOSFETP3及びN3
の共通結合されたゲートに供給される。クロックドイン
バータCV2の反転制御端子つまりMOSFETP4の
ゲートには、反転ノイズサプレス信号NSBが供給さ
れ、その非反転制御端子つまりMOSFETN4のゲー
トには、非反転ノイズサプレス信号NSTが供給され
る。内部クロック信号ICK1は、さらに2個のインバ
ータV4及びV5を経て内部クロック信号ICK2とな
り、タイミング発生回路TGの図示されない後段回路に
供給される。
【0042】これらのことから、ノイズサプレス信号が
無効レベルつまり反転ノイズサプレス信号NSBがハイ
レベルとされ非反転ノイズサプレス信号NSTがロウレ
ベルとされるとき、セレクタラッチSLでは、クロック
ドインバータCV1が伝達状態とされ、クロックドイン
バータCV2は非伝達状態とされる。このため、入力回
路ICから出力される内部クロック信号ICK0は、ク
ロックドインバータCV1を介してインバータV3に伝
達され、少しずつ遅延された同相の内部クロック信号I
CK1及びICK2となって後段回路に供給される。
【0043】一方、ノイズサプレス信号が有効レベルつ
まり反転ノイズサプレス信号NSBがロウレベルとされ
非反転ノイズサプレス信号NSTがハイレベルとされる
と、セレクタラッチSLでは、クロックドインバータC
V1が非伝達状態とされ、代わってクロックドインバー
タCV2が伝達状態とされる。このため、入力回路IC
から出力される内部クロック信号ICK0のレベルは、
クロックドインバータCV1を介してインバータV3に
伝達されず、その直前の論理レベルが、クロックドイン
バータCV2及びインバータV3からなるラッチ回路に
保持される。言い換えるならば、ノイズサプレス信号が
有効レベルとされる期間、例えばデータ入出力回路IO
を構成する16個のデータ出力バッファが同時に動作状
態とされることにともなって内部クロック信号ICK0
つまりクロック信号CLKに重畳されるノイズは、セレ
クタラッチSLで無視され、内部クロック信号ICK1
及びICK2の論理レベルは、そのままクロック信号C
LKの有効レベルつまりハイレベルを保持するものとな
る。この結果、複数のデータ出力バッファが動作状態と
されることにともなう電源ノイズによるシンクロナスD
RAMの各内部回路の誤動作を防止できるため、シンク
ロナスDRAMの信頼性を高め、その動作電源の低電圧
化を推進することができるものである。
【0044】なお、ノイズサプレス信号が無効レベルに
戻されると、セレクタラッチSLではクロックドインバ
ータCV2が非伝達状態とされ、クロックドインバータ
CV1が伝達状態とされる。このとき、クロック信号C
LKはすでにロウレベルとされているため、内部クロッ
ク信号ICK1はクロックドインバータCV1が伝達状
態とされたのを受けてロウレベルとされ、この内部クロ
ック信号ICK1のロウレベルを受けて内部クロック信
号ICK2もロウレベルとなる。
【0045】図4には、図1のシンクロナスDRAMを
応用したコンピュータシステムの一実施例のブロック図
が示されている。同図をもとに、この実施例のシンクロ
ナスDRAMの応用例とその特徴について説明する。
【0046】図4において、この実施例のコンピュータ
システムは、いわゆるストアドプログラム方式の中央処
理装置CPUをその基本構成要素とする。中央処理装置
CPUには、特に制限されないが、システムバスSBU
Sを介して、通常のスタティック型RAMからなるラン
ダムアクセスメモリRAM1と、この発明が適用された
シンクロナスDRAMからなるランダムアクセスメモリ
RAM2とが結合される。システムバスSBUSには、
さらにマスクROM等からなるリードオンリーメモリR
OM,ディスプレイ制御装置DPYC,周辺装置コント
ローラPERCならびに電源装置POWSが結合され
る。また、ディスプレイ制御装置DPYCには、ディス
プレイ装置DPYが結合され、周辺装置コントローラP
ERCにはキーボードKBD及び外部記憶装置EXMが
結合される。
【0047】中央処理装置CPUは、予めリードオンリ
ーメモリROMに格納された制御プログラムに従ってス
テップ動作し、コンピュータシステムの各部を制御・統
轄する。また、ランダムアクセスメモリRAM1は、例
えばキャッシュメモリ等として使用され、ランダムアク
セスメモリRAM2は、例えばリードオンリーメモリR
OMから中央処理装置CPUに伝達される制御プログラ
ムや演算データ等を一時的に格納し、中継するバッファ
メモリとして使用される。
【0048】一方、ディスプレイ制御装置DPYCは、
この発明が適用されたシンクロナスDRAM又はVRA
Mを内蔵し、ディスプレイ装置DPYの表示制御に供さ
れる。また、周辺装置コントローラPERCは、キーボ
ードKBD及び外部記憶装置EXM等の各種周辺装置を
制御・統轄し、電源装置POWSは、所定の入力交流電
圧をもとに安定した所定の直流電源電圧を形成してコン
ピュータシステムの各部に供給する。
【0049】この実施例において、ランダムアクセスメ
モリRAM2とディスプレイ制御装置DPYCの画像用
メモリは、前述のように、この発明が適用されたシンク
ロナスDRAMからなり、これらのシンクロナスDRA
Mは、前述のように、セレクタラッチ及びノイズサプレ
ス生成回路を含むタイミング発生回路TGを備えること
でその動作が安定化される。この結果、相応してコンピ
ュータシステムとしての動作が安定化され、その信頼性
が高められるものとなる。
【0050】以上の本実施例に示されるように、この発
明をタイミング発生回路及びデータ出力バッファを備え
かつ多ビット構成とされるシンクロナスDRAM等の半
導体装置に適用することで、次のような作用効果が得ら
れる。すなわち、 (1)多ビット構成を採るシンクロナスDRAM等のタ
イミング発生回路に、複数のデータ出力バッファが同時
に動作状態とされることにともなう電源ノイズの発生期
間を包含する所定期間だけノイズサプレス信号を有効レ
ベルとするノイズサプレス信号生成回路と、ノイズサプ
レス信号が無効レベルとされるときクロック信号を実質
的な内部クロック信号として伝達しノイズサプレス信号
が有効レベルとされるとき内部クロック信号の直前の論
理レベルつまり有効レベルを保持するセレクタラッチと
を設けるとともに、ノイズサプレス信号生成回路を、実
質的にノイズサプレス信号が有効レベルに変化されるタ
イミングを設定する第1の遅延回路と、実質的にノイズ
サプレス信号が有効レベルとされる期間を設定する第2
の遅延回路とを基本に形成し、第1の遅延回路による遅
延時間を、レイテンシーモードの出力遅延サイクル数に
応じて選択的に切り換えることで、複数のデータ出力バ
ッファが同時に動作状態とされることにともなう電源ノ
イズによってクロック信号にノイズが重畳される場合で
も、これらのノイズが内部クロック信号に伝達されるの
を防止することができるという効果が得られる。
【0051】(2)上記(1)項により、ノイズによる
シンクロナスDRAMの内部回路の誤動作を防止するこ
とができるという効果が得られる。 (3)上記(1)項及び(2)項により、シンクロナス
DRAM等の信頼性を高め、その動作電源の低電圧化を
推進できるという効果が得られる。
【0052】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1において、シンクロナスDRAMは、いわゆる
×1ビット又は×8ビット構成等、任意のビット構成を
採ることができる。また、シンクロナスDRAMには、
任意数のバンクを設けることができるし、各バンクを複
数のマットに分割することもできる。シンクロナスDR
AMのレイテンシーモードは、4種以上の出力遅延サイ
クル数を有することができるし、そのバーストモードも
5種以上のバースト長を有することができる。データ入
出力端子D0〜D15は、データ入力端子及びデータ出
力端子として専用化できる。さらに、シンクロナスDR
AMのブロック構成は、この実施例による制約を受けな
いし、起動制御信号やアドレス信号及び内部制御信号の
組み合わせならびにその論理レベル等は、種々の実施形
態を採りうる。
【0053】図2において、セレクタラッチSLは、例
えば図5に示されるように、その一方の入力端子に内部
クロック信号ICK0のインバータVCによる反転信号
を受けその他方の入力端子に反転ノイズサプレス信号N
SBを受けるナンドゲートNA4に置き換えることがで
きる。この場合、ナンドゲートNA4の出力信号として
得られる内部クロック信号ICK1の論理レベルは、反
転ノイズサプレス信号NSBが有効レベルつまりロウレ
ベルとされる間、強制的に有効レベルつまりハイレベル
とされ、これによって内部クロック信号ICK0に重畳
されたノイズが除去される。図2及び図5において、遅
延回路DEL1〜DEL4は、それぞれ直列形態とされ
かつ例えばマスタースライスによって選択的に有効とさ
れる複数の単位遅延回路に置き換えることができる。ま
た、遅延選択回路DSELを構成するクロックドインバ
ータCV3〜CV5のそれぞれは、例えばPチャンネル
MOSFET及びNチャンネルMOSFETが並列結合
されてなる相補ゲートに置き換えることができるし、こ
れらのクロックドインバータ又は相補ゲートを選択的に
伝達状態とするためのレイテンシー信号L1〜L3は、
例えばマスタースライスにより選択的に有効レベルとさ
れる固定信号としてもよい。さらに、タイミング発生回
路TGの具体的な回路構成や電源電圧の極性及び絶対値
ならびにMOSFETの導電型等は、種々の実施形態を
採りうるし、図3に示される内部クロック信号等の組み
合わせや論理レベルならびに図4に示されるコンピュー
タシステムのブロック構成等は、これらの実施例による
制約を受けない。
【0054】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野であるシン
クロナスDRAMに適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、例えば、同様な多ビッ
ト構成を採るダイナミック型RAM等の各種メモリ集積
回路やこれらのメモリ集積回路を搭載する論理集積回路
装置等にも適用できる。言うまでもなく、ダイナミック
型RAM等の場合、いわゆるロウアドレスストローブ信
号がクロック信号CLKに代わるものとなる。この発明
は、少なくともクロック信号に従って動作しかつ所定の
タイミングで内部ノイズを発生する内部回路を含む半導
体装置に広く適用できる。
【0055】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、複数のデータ出力バッファ
を備え多ビット構成とされるシンクロナスDRAM等の
タイミング発生回路に、複数のデータ出力バッファが同
時に動作状態とされることにともなう電源ノイズの発生
期間を包含する所定期間だけノイズサプレス信号を有効
レベルとするノイズサプレス信号生成回路と、ノイズサ
プレス信号が無効レベルとされるときクロック信号を実
質的な内部クロック信号として伝達しノイズサプレス信
号が有効レベルとされるとき内部クロック信号の直前の
論理レベルつまり有効レベルを保持するセレクタラッチ
とを設けるとともに、ノイズサプレス信号生成回路を、
実質的にノイズサプレス信号が有効レベルに変化される
タイミングを設定するための第1の遅延回路と、実質的
にノイズサプレス信号が有効レベルとされる期間を設定
するための第2の遅延回路とを基本に形成し、第1の遅
延回路による遅延時間を、レイテンシーモードの出力遅
延サイクル数に応じて選択的に切り換えることで、複数
のデータ出力バッファが同時に動作状態とされることに
ともなう電源ノイズによってクロック信号にノイズが重
畳される場合でも、これらのノイズが内部クロック信号
に伝達されるのを防止し、内部回路の誤動作を防止する
ことができる。この結果、多ビット構成とされるシンク
ロナスDRAM等の信頼性を高め、その動作電源の低電
圧化を推進することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用されたシンクロナスDRAMの
一実施例を示すブロック図である。
【図2】図1のシンクロナスDRAMに含まれるタイミ
ング発生回路の第1の実施例を示す部分的な回路図であ
る。
【図3】図2のタイミング発生回路の一実施例を示す信
号波形図である。
【図4】図1のシンクロナスDRAMを応用したコンピ
ュータシステムの一実施例を示すブロック図である。
【図5】図1のシンクロナスDRAMに含まれるタイミ
ング発生回路の第2の実施例を示す部分的な回路図であ
る。
【図6】従来のシンクロナスDRAMに含まれるタイミ
ング発生回路の一例を示す部分的な回路図である。
【図7】図6のタイミング発生回路の一例を示す信号波
形図である。
【符号の説明】
BANK0〜BANK1・・・バンク、MARY・・・
メモリアレイ、RD・・・・ロウアドレスデコーダ、S
A・・・センスアンプ、CD・・・カラムアドレスデコ
ーダ、BS・・・バンク選択回路、RB・・・ロウアド
レスバッファ、RFC・・・リフレッシュアドレスカウ
ンタ、CB・・・カラムアドレスバッファ、MR・・・
モードレジスタ、IO・・・データ入出力回路、TG・
・・タイミング発生回路。IC・・・入力回路、DSE
L・・・遅延選択回路、PWC・・・パルス幅設定回
路、SL・・・セレクタラッチ、DEL1〜DEL4・
・・遅延回路、P1〜PA・・・PチャンネルMOSF
ET、N1〜NA・・・NチャンネルMOSFET、V
1〜VE・・・インバータ、CV1〜CV5・・・クロ
ックドインバータ、NA1〜NA4・・・ナンドゲー
ト。CPU・・・中央処理装置、SBUS・・・システ
ムバス、RAM1〜RAM2・・・ランダムアクセスメ
モリ、ROM・・・・リードオンリーメモリ、DPYC
・・・ディスプレイ制御装置、VRAM・・・画像メモ
リ、DPY・・・ディスプレイ装置、PERC・・・周
辺装置コントローラ、KBD・・・キーボード、EXM
・・・外部記憶装置、POWS・・・電源装置。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/822 H01L 27/04 H

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定のクロック信号が入力される外部端
    子と、上記クロック信号をもとに所定の内部クロック信
    号を形成する第1の内部回路と、実質的に上記内部クロ
    ック信号に従って同期動作しその動作にともなって内部
    ノイズを発生する第2の内部回路とを具備し、上記第1
    の内部回路における上記内部クロック信号のレベル変化
    が、上記内部ノイズの発生期間を包含する所定のタイミ
    ングで選択的に禁止されることを特徴とする半導体装
    置。
  2. 【請求項2】 上記半導体装置は、上記クロック信号に
    従って同期動作するシンクロナスDRAMであって、上
    記第1の内部回路は、上記シンクロナスDRAMのタイ
    ミング発生回路であり、上記第2の内部回路は、そのデ
    ータ出力バッファであることを特徴とする請求項1の半
    導体装置。
  3. 【請求項3】 上記タイミング発生回路は、所定のノイ
    ズサプレス信号を形成するノイズサプレス信号生成回路
    と、上記ノイズサプレス信号が無効レベルとされるとき
    上記クロック信号を実質的な上記内部クロック信号とし
    て伝達し上記ノイズサプレス信号が有効レベルとされる
    とき上記内部クロック信号のレベル変化を禁止して有効
    レベルに保持するセレクタラッチとを含むものであっ
    て、上記ノイズサプレス信号生成回路は、実質的に上記
    ノイズサプレス信号が有効レベルに変化されるタイミン
    グを設定するための第1の遅延回路と、実質的に上記ノ
    イズサプレス信号が有効レベルとされる期間を設定する
    ための第2の遅延回路とを含むものであることを特徴と
    する請求項2の半導体装置。
  4. 【請求項4】 上記シンクロナスDRAMは、上記クロ
    ック信号に対する読み出しデータの出力遅延サイクル数
    が選択的に切り換えられるレイテンシーモードを有する
    ものであって、上記第1の遅延回路の遅延時間は、上記
    レイテンシーモードの出力遅延サイクル数に応じて選択
    的に切り換えられるものであることを特徴とする請求項
    2又は請求項3の半導体装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5808961A (en) * 1997-02-18 1998-09-15 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Internal clock generating circuit for clock synchronous type semiconductor memory device
US6181609B1 (en) 1998-09-17 2001-01-30 Nec Corporation Semiconductor memory device having circuit for controlling data-output timing
US6545528B2 (en) 2000-08-08 2003-04-08 Nec Corporation Semiconductor device

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