JPH07198612A

JPH07198612A - 成分分析装置

Info

Publication number: JPH07198612A
Application number: JP35233793A
Authority: JP
Inventors: Yuji Yao; 祐史八尾
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Information and Control Systems Corp
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba Information and Control Systems Corp
Priority date: 1993-12-29
Filing date: 1993-12-29
Publication date: 1995-08-01

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は測定対象となる物質を変質させるこ
となく、この物質の成分濃度や成分構成、多種の物質が
混入する物質の成分毎の濃度などを測定し、これによっ
て測定処理の効率化や測定場所の有効利用を図る。【構成】吸着分析部２内に測定対象となる物質（測定
対象物）５を配置した後、酸化ガス・洗浄ガス供給部１
によって前記測定対象物５に洗浄ガスを当てながら、こ
の測定対象物５を加熱してその表面を洗浄し、次いで吸
着ガス・洗浄ガス供給部１によって前記測定対象物５に
吸着ガスを当てて、これを吸着させた後、この測定対象
物５を加熱し、このとき得られた吸着ルミネッセンス効
果による光をスペクトル分析して測定対象物５の成分濃
度や成分構成、成分毎の濃度などを測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は物質成分濃度や物質成分
構成、多種の物質が混入する物質の成分などを分析する
成分分析装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】成分分析対象となる物質の成分などを分
析する成分分析装置として、従来、ガス化分析法や黒体
幅射エネルギー分析法などを用いた成分分析装置が知ら
れている。

【０００３】ガス化分析法を使用した成分分析装置は成
分分析対象となる物質を加熱して、これをガス化させた
後、質量分析器によってガスの質量を測定し、この測定
結果に基づいて前記物質の成分を分析する。

【０００４】また、黒体幅射エネルギー分析法を用いた
成分分析装置は成分分析対象となる物質を加熱してその
黒体幅射エネルギーを測定し、この測定結果に基づいて
前記物質の成分を分析する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の各成分分析装置においては、次に述べるような
問題があった。

【０００６】すなわち、ガス化分析法を使用した成分分
析装置では、測定対象となっている物質を加熱してガス
化してしまうため、この物質を変質させてしまう恐れが
あるとともに、ガス化された物質の質量しか測定するこ
とができないため、物質中に含まれている各成分の濃度
を測定することができない。したがって、物質中に含ま
れている各成分の濃度を測定する必要があるとき、独立
した濃度計が必要になり、その分だけスペースが余分に
必要になってしまうという問題があった。

【０００７】また、黒体幅射エネルギー分析法を用いた
成分分析装置では、測定対象となっている物質を加熱し
たとき、この物質から放射される幅射エネルギーを測定
するようにしているので、ガス化分析法を使用した成分
分析装置と同様に前記物質を変質させてしまう恐れがあ
る。

【０００８】本発明は上記の事情に鑑み、測定対象とな
る物質を変質させることなく、この物質の成分濃度や成
分構成、多種の物質が混入する物質の成分毎の濃度など
を測定することができ、これによって測定処理の効率化
や測定場所の有効利用を図ることができる成分分析装置
を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明による成分分析装置は、請求項１において、
測定対象物を収納する密閉容器を有し、この密閉容器内
に収納している測定対象物の温度を指定された温度にし
て洗浄処理、吸着処理、発光処理を行なう吸着分析部
と、この吸着分析部によって洗浄処理が行われるとき、
前記密閉容器内に収納されている前記測定対象物に対
し、洗浄ガスを供給し、また前記吸着分析部によって吸
着処理が行われるとき、前記密閉容器内に収納されてい
る前記測定対象物に対し、酸化性ガスを供給するガス供
給部と、前記吸着分析部によって発光処理が行われると
き、測定対象物から放射される吸着ルミネッセンス光を
取り込んで記録した後、この記録処理によって得られた
データに基づいて前記測定対象物の成分濃度を演算する
解析部とを備えたことを特徴としている。

【００１０】また、請求項２では、請求項１の成分分析
装置において、前記解析部は吸着分析部の密閉容器内に
収納される測定対象物の質量を測定し、この測定結果と
前記解析部によって得られた前記測定対象物の成分濃度
とに基づいて前記測定対象物の成分含有率または成分含
有量を演算することを特徴としている。

【００１１】また、請求項３では、請求項１または２の
成分分析装置において、前記解析部によって得られた前
記測定対象物の成分含有量または成分含有率の少なくと
もいずれか１つが予め設定されている値を越えたとき、
警報を発することを特徴としている。

【００１２】

【作用】上記の構成において、請求項１では、測定対象
物を収納する密閉容器を有する吸着分析部によって前記
密閉容器内に収納している測定対象物の温度が指定され
た温度にされて洗浄処理、吸着処理、発光処理が行なわ
れるとともに、ガス供給部によって前記吸着分析部で洗
浄処理が行われるとき、前記密閉容器内に収納されてい
る前記測定対象物に対し、洗浄ガスが供給され、また前
記吸着分析部で吸着処理が行われるとき、前記密閉容器
内に収納されている前記測定対象物に対し、酸化性ガス
が供給される。さらに、解析部によって前記吸着分析部
で発光処理が行われるとき、測定対象物から放射される
吸着ルミネッセンス光が取り込まれて記録された後、こ
の記録処理で得られたデータに基づき前記測定対象物の
成分濃度が演算される。

【００１３】また、請求項２では、請求項１の前記解析
部によって前記吸着分析部の密閉容器内に収納される測
定対象物の質量が測定され、この測定結果と前記解析部
で得られた前記測定対象物の成分濃度とに基づき、前記
測定対象物の成分含有率または成分含有量が演算され
る。

【００１４】また、請求項３では、請求項１または２の
前記解析部によって得られた前記測定対象物の成分含有
量または成分含有率の少なくともいずれか１つが予め設
定されている値を越えたとき、警報が発っせられる。

【００１５】

【実施例】図１は本発明による成分分析装置の一実施例
を示す構成図である。

【００１６】この図に示す成分分析装置は吸着ガス・洗
浄ガス供給部１と、吸着分析部２と、ガス排気部３と、
解析部４とを備えており、吸着分析部２内に測定対象と
なる物質（測定対象物）５を配置した後、酸化ガス・洗
浄ガス供給部１によって前記測定対象物５に洗浄ガス
（この実施例では、窒素ガス）を当てながら、この測定
対象物５を加熱してその表面を洗浄し、次いで吸着ガス
・洗浄ガス供給部１によって前記測定対象物５に吸着ガ
ス（この実施例では、基準となる酸化性ガスとして空
気）を当てて、これを吸着させた後、この測定対象物５
を加熱し、このとき得られた吸着ルミネッセンス効果に
よる光をスペクトル分析して前記測定対象物５の成分濃
度や成分構成、成分毎の濃度などを測定する。

【００１７】吸着ガス・洗浄ガス供給部１は一端が前記
吸着分析部２に接続される共通管６および各一端が前記
共通管６の他端に接続される洗浄ガス支管７、吸着ガス
支管８によって構成される配管９と、前記共通管６の途
中に配置され、開状態になっているとき、前記吸着分析
部２に対して洗浄ガスや吸着ガスの供給を可能にし、閉
状態になっているとき、前記吸着分析部２から洗浄ガス
や吸着ガスが逆流しないようにする仕切弁１０と、前記
洗浄ガス支管７の他端に接続され、貯留している洗浄ガ
ス（窒素ガス）を前記洗浄ガス支管７内に供給する洗浄
ガスタンク１１と、前記洗浄ガス支管７の途中に配置さ
れ、洗浄ガス圧送信号が供給されたとき、動作状態にな
り、前記洗浄ガスタンク１１に貯留されている窒素ガス
を取り込んで共通管６内に圧送する圧送機１２とを備え
ている。

【００１８】さらに、前記吸着ガス・洗浄ガス供給部１
は前記洗浄ガス支管７の圧送機１２と前記洗浄ガスタン
ク１１との間に配置され、閉状態になっているとき、前
記吸着ガス支管８側からの吸着ガスが前記洗浄ガスタン
ク１１内に入り込まないようにし、開状態になっている
とき、前記洗浄ガスタンク１１内の窒素ガスを前記共通
管６内に流入させる仕切弁１３と、前記吸着ガス支管８
の他端に接続され、貯留している吸着ガス（空気）を前
記吸着ガス支管８内に供給する吸着ガスタンク１４と、
前記吸着ガス支管８の途中に配置され、吸着ガス圧送信
号が供給されたとき、動作状態になり、前記吸着ガスタ
ンク１４に貯留されている空気を取り込んで共通管６内
に圧送する圧送機１５と、前記吸着ガス支管８の圧送機
１５と前記吸着ガスタンク１４との間に配置され、閉状
態になっているとき、前記洗浄ガス支管７側からの窒素
ガスが前記吸着ガスタンク１４内に入り込まないように
し、開状態になっているとき、前記吸着ガスタンク１４
内の空気を前記共通管６内に流入させる仕切弁１６とを
備えている。

【００１９】そして、洗浄ガス供給指令が入力されたと
き、吸着ガス支管８の途中にある仕切弁１６を閉状態に
するとともに、共通管６の途中にある仕切弁１０と、洗
浄ガス支管７の途中にある仕切弁１３とを開状態にし、
この後洗浄ガス支管７の途中に配置された圧送機１２を
動作状態にする。これによって、洗浄ガスタンク１１内
の窒素ガスがこの洗浄ガスタンク１１→洗浄ガス支管７
の他端→仕切弁１３→圧送機１２→洗浄ガス支管７の一
端→共通管６の他端→仕切弁１０→共通管６の一端→吸
着分析部２なる経路で吸着分析部２に供給される。この
後、洗浄ガス供給指令の入力が停止したとき、圧送機１
２の動作を停止させるとともに、各仕切弁１０、１３を
閉じて前記吸着分析部２に対する窒素ガスの供給を停止
する。

【００２０】また、吸着ガス供給指令が入力されたと
き、洗浄ガス支管７の途中にある仕切弁１３を閉状態に
するとともに、共通管６の途中にある仕切弁１０と、吸
着ガス支管８の途中にある仕切弁１６とを開状態にし、
この後吸着ガス支管８の途中に配置された圧送機１５を
動作状態にする。これによって、吸着ガスタンク１４内
の空気がこの吸着ガスタンク１４→吸着ガス支管８の他
端→仕切弁１６→圧送機１５→吸着ガス支管８の一端→
共通管６の他端→仕切弁１０→共通管６の一端→吸着分
析部２なる経路で吸着分析部２に供給される。この後、
吸着ガス供給指令の入力が停止したとき、圧送機１５の
動作を停止させるとともに、各仕切弁１０、１６を閉じ
て前記吸着分析部２に対する空気の供給を停止する。

【００２１】また、吸着分析部２は円筒状の筒部２０と
この筒部２０の上部側に分離可能に設けられるキャップ
状の閉止部２１とによって構成され、前記共通管６の一
端から洗浄ガスや吸着ガスが供給されたとき、これを取
り込んで内部に充填させる吸着分析容器２２と、この吸
着分析容器２２の下部側に貫入されるレンズ２３と、前
記吸着分析容器２２内の前記レンズ２３上に配置される
質量計２４と、前記吸着分析容器２２内の前記質量計２
４上に配置されるカップ状の測定対象物収納容器２５
と、この測定対象物収納容器２５内に収納される測定対
象物５の温度を計測する温度計２６と、前記測定対象物
収納容器２５に巻付けられるヒータ線２７と、前記吸着
分析容器２２の外に配置され、前記温度計２６によって
得られた温度信号に基づいてヒーター駆動信号を生成
し、このヒーター駆動信号に基づいて前記ヒータ線２７
を発熱させて前記測定対象物収納容器２５内に収納され
た測定対象物５の温度を指定された温度にする温度調節
計２８と、前記吸着分析容器２２内の上部に配置され、
前記測定対象物収納容器２５内に収納されている測定対
象物５から放射される吸着ルミネッセンス光を反射して
前記レンズ２３に集光する凹面鏡２９と、前記吸着分析
容器２２の下部に配置され、前記レンズ２３によって集
光された吸着ルミネッセンス光を分光する分光器３０
と、この分光器３０によって分光された吸着ルミネッセ
ンス光を解析部４に導く光伝送路３１とを備えている。

【００２２】そして、吸着分析容器２２の閉止部２１が
開けられて、測定対象物収納容器２５内に測定対象物５
が収納され、この後吸着分析容器２２の閉止部２１が閉
じられ、洗浄指令が入力されたとき、温度計２６によっ
て測定対象物収納容器２５内に収納されている測定対象
物５の温度を計測し、温度調節計２８によって前記計測
結果に基づきヒータ線２７を発熱させて前記測定対象物
５の温度を指定された温度まで上昇させた後、この温度
を一定に保持させ、吸着分析容器２２内に充填された窒
素ガスによって前記測定対象物５を洗浄させる。この
後、吸着分析容器２２内の窒素ガスが排気された後、前
記吸着分析容器２２内に空気が充填されて、前記測定物
収納容器２５内に収納されている測定対象物５に前記空
気中の酸素を吸着させる。そして、この吸着処理が終了
して、計測指令が入力されたとき、温度計２６によって
測定対象物収納容器２５内に収納されている測定対象物
５の温度を計測し、温度調節計２８によって前記計測結
果に基づきヒータ線２７を発熱させて前記測定対象物５
の温度を指定された温度まで上昇させながら、凹面鏡２
９によって前記測定対象物５から放射される吸着ルミネ
ッセンス光をレンズ２３側に集光させるとともに、分光
器３０によって前記レンズ２３で集光された吸着ルミネ
ッセンス光を分光し、光伝送路３１を介して解析部４に
送る。

【００２３】また、ガス排気部３は一端が前記吸着分析
容器２２に接続される排気管３５と、この排気管３５の
途中に設けられ、排気信号が供給されたとき、動作状態
になり、前記吸着分析容器２２内に充填されている窒素
ガスや空気を取り込んで大気中に排気する圧送機３６
と、前記排気管３５の前記圧送機３６と前記排気管３５
の前記一端との間に配置され、開状態になっていると
き、前記吸着分析容器２２内に充填されている窒素ガス
や空気の排気を行ない、閉状態となっているとき、前記
吸着分析容器２２内に窒素ガスや空気を充填させる仕切
弁３７とを備えている。

【００２４】そして、排気指令が入力されたとき、仕切
弁３７を開状態にするとともに、圧送機３６を動作状態
にして、吸着分析容器２２内に充填されている窒素ガス
や空気を排気する。また、前記排気指令の入力が停止し
たとき、圧送機３６の動作を停止するとともに、仕切弁
３７を閉状態にして前記吸着分析容器２２内に窒素ガス
や空気を充填可能な状態にし、さらに連通指令が入力さ
れたとき、仕切弁３７を開状態にして前記吸着分析容器
２２内の窒素ガスや空気を大気中に放出可能な状態にす
る。

【００２５】また、解析部４は前記光伝送路３１によっ
て導かれた吸着ルミネッセンス光を電気信号に変換して
そのスペクトルを分析するＴＶカメラ４０と、このＴＶ
カメラ４０によって得られた各波長毎の光強度を示す画
像データを記録するＶＴＲ装置４１と、このＶＴＲ装置
４１によって得られた各測定処理毎のデータを取り込ん
でアベレージ積分処理などのノイズ低減処理を行ない、
各波長毎の光強度データを演算するとともに、この光強
度データに基づいて前記測定対象物５の物質成分濃度や
物質成分構成、多種の物質が混入する物質の成分などを
分析する分析装置４２と、この分析装置４２によって得
られた前記測定対象物５の物質成分濃度や物質成分構
成、多種の物質が混入する物質の成分などおよび前記質
量計２４によって得られた前記測定対象物５の質量に基
づいて前記測定対象物５の各成分含有率の演算やこの成
分含有率や成分含有量が予め設定されている値を越えた
とき、警報を発する処理などを行なうオプション機能装
置４３とを備えている。

【００２６】そして、各測定処理毎に、前記吸着分析部
２の光伝送路３１を介して分光された吸着ルミネッセン
ス光を取り込むとともに、ＴＶカメラ４０によって前記
吸着ルミネッセンス光を電気信号に変換し、これをＶＴ
Ｒ装置４１に記録する。この後、分析指令が入力された
とき、分析装置４２によってＶＴＲ装置４１に記録され
ている各測定処理毎のデータを取り込んで、ノイズ低減
処理を行ない、各波長毎の光強度データを演算するとと
もに、この光強度データに基づいて前記測定対象物５の
物質成分濃度や物質成分構成、多種の物質が混入する物
質の成分などを分析する。また、この動作と並行して、
オプション機能装置４３によって前記分析装置４２によ
って得られた前記測定対象物５の物質成分濃度や物質成
分構成、多種の物質が混入する物質の成分などと、前記
質量計２４によって得られた前記測定対象物５の質量と
に基づいて前記測定対象物５の各成分含有率の演算やこ
の成分含有率や成分含有量が予め設定されている値を越
えたとき、警報を発する処理などを行なう。

【００２７】次に、図２、図３に示すフローチャートを
参照しながら、この実施例の動作を説明する。

【００２８】《測定処理》＜洗浄処理＞まず、吸着分析容器２２の閉止部２１が開
けられて、測定対象物収納容器２５内に測定対象物５が
収納された後、吸着分析容器２２の閉止部２１が閉じら
れる。次いで、吸着ガス・洗浄ガス供給部１に対し、洗
浄ガス供給指令が入力されるとともに、吸着分析部２に
対し、洗浄指令が入力され、さらにガス排気部３に対
し、連通指令が入力される。

【００２９】これにより、吸着ガス・洗浄ガス供給部２
の吸着ガス支管８に設けられた仕切弁１６が閉状態にさ
れるとともに、共通管６に設けられた仕切弁１０と、洗
浄ガス支管７に設けられた仕切弁１３とが開状態にさ
れ、さらに洗浄ガス支管７に設けられた圧送機１２が動
作状態にされ、洗浄ガスタンク１１内の窒素ガスがこの
洗浄ガスタンク１１→洗浄ガス支管７の他端→仕切弁１
３→圧送機１２→洗浄ガス支管７の一端→共通管６の他
端→仕切弁１０→共通管６の一端→吸着分析部２の吸着
分析容器２２なる経路で吸着分析部２の吸着分析容器２
２内に供給される。

【００３０】また、この動作と並行して、ガス排気部３
の仕切弁３７が開状態にされ、吸着分析部２の吸着分析
容器２２内と、大気とが連通状態にされる。

【００３１】この状態で、吸着分析部２の温度計２６に
よって測定対象物収納容器２５内に収納されている測定
対象物５の温度が計測され、温度調節計２８によって前
記計測結果に基づきヒータ線２７が発熱駆動されて前記
測定対象物５の温度が指定された温度まで上昇させられ
た後、この温度が一定に保持され、吸着分析容器２２内
に充填された窒素ガスによって図４（ａ）、（ｂ）に示
す如く前記測定対象物５が洗浄される（ステップＳＴ
１）。

【００３２】この後、所定の時間が経過し（ステップＳ
Ｔ２）、図４（ｃ）に示す如く測定対象物５から不純ガ
ス成分が除去されれば、吸着ガス・洗浄ガス供給部１に
対する洗浄ガス供給指令の入力が停止させられるととも
に、吸着分析部２に対する洗浄指令の入力が停止させら
れ、さらにガス排気部３に対しする連通指令の入力が停
止させれて排気指令が入力される。

【００３３】これによって、吸着ガス・洗浄ガス供給部
１の洗浄ガス支管７に設けられた圧送機１２が停止状態
にされるとともに、共通管６に設けられた仕切弁１０お
よび洗浄ガス支管７に設けられた仕切弁１３が閉状態に
されて、前記吸着分析部２に対する窒素ガスの供給が停
止させられる。

【００３４】また、この動作と並行して、ガス排気部３
の仕切弁３７が開状態にされたまま、排気管３５に取り
付けられた圧送機３６が動作状態にされて、吸着分析部
２の吸着分析容器２２内に残っている窒素ガスが強制的
に大気中に排気されるとともに、吸着分析部２の温度調
節計２８によるヒータ線２７の駆動が停止されて、測定
対象物収納容器２５内にある測定対象物５の温度が下げ
られる（ステップＳＴ３）。

【００３５】この後、ガス排気部３に対しする排気指令
の入力が停止させられ、これによってガス排気部３の圧
送機３６が停止状態にされるとともに、仕切弁３７が閉
状態にされ、吸着分析部２の吸着分析容器２２内と、大
気とが遮断状態にされる（ステップＳＴ４）。

【００３６】＜吸着処理＞この後、吸着ガス・洗浄ガス
供給部１に対し、吸着ガス供給指令が入力されるととも
に、吸着分析部２に対し、吸着指令が入力される。

【００３７】これにより、吸着ガス・洗浄ガス供給部１
の洗浄ガス支管７の途中にある仕切弁１３が閉状態にさ
れるとともに、共通管６の途中にある仕切弁１０と、吸
着ガス支管８の途中にある仕切弁１６とが開状態にさ
れ、この後吸着ガス支管８の途中に配置された圧送機１
５が動作状態にされる。これによって、吸着ガスタンク
１４内の空気がこの吸着ガスタンク１４→吸着ガス支管
８の他端→仕切弁１６→圧送機１５→共通管６の他端→
仕切弁１０→共通管６の一端→吸着分析部２のなる経路
で吸着分析部２に供給され、吸着分析部２内に設けられ
ている吸着分析容器２２内に充填される。

【００３８】これによって、図４（ｄ）に示す如く前記
吸着分析容器２２内の測定対象物収納容器２５内に収納
されている測定対象物５に空気中の酸素が吸着される
（ステップＳＴ５）。

【００３９】そして、図４（ｅ）に示す如く測定対象物
５に酸素が十分に吸着されると（ステップＳＴ６）、吸
着ガス・洗浄ガス供給部１に対する吸着ガス供給指令の
入力が停止されるとともに、吸着分析部２に対する吸着
指令の入力が停止される。

【００４０】これにより、吸着ガス・洗浄ガス供給部１
の吸着ガス支管８に設けられた圧送機１５が停止状態に
されるとともに、共通管６に設けられた仕切弁１０およ
び洗浄ガス支管７に設けられた仕切弁１３、吸着ガス支
管８に設けられた仕切弁１６が閉状態にされて、前記吸
着分析部２に対する空気の供給が停止させれる（ステッ
プＳＴ７）。

【００４１】＜発光処理および吸着ルミネッセンス光記
録処理＞そして、この吸着処理が終了して、計測指令が
入力されたると、吸着分析部２の温度計２６によって測
定対象物収納容器２５内に収納されている測定対象物５
の温度が計測され、温度調節計２８によって前記計測結
果に基づきヒータ線２７が発熱駆動させられて前記測定
対象物５の温度が指定された温度まで上昇させられる
（ステップＳＴ８）。これによって、図４（ｆ）に示す
如く測定対象物５から吸着ルミネッセンス光が放出さ
れ、これが凹面鏡２９によって反射されてレンズ２３側
に集光されるとともに、分光器３０によって前記レンズ
２３で集光された吸着ルミネッセンス光が分光され、光
伝送路３１を介して解析部４に送られる。

【００４２】そして、この解析部４のＴＶカメラ４０に
よって前記吸着分析部２からの分光された吸着ルミネッ
センス光が取り込まれて電気信号に変換され、ＶＴＲ装
置４１によってこれが記録される（ステップＳＴ９、Ｓ
Ｔ１０）。

【００４３】以下、１つの測定対象物５に対して、上述
した洗浄処理、吸着処理、発光処理および吸着ルミネッ
センス光記録処理が順次、繰り返され、これによって得
られた測定対象物５からの吸着ルミネッセンス光に対
し、分光処理、光電変換処理を行なって得られた電気信
号がＶＴＲ装置４１によって記録される（ステップＳＴ
１〜ＳＴ１１）。

【００４４】《吸着ルミネッセンス光分析処理》そし
て、上述した測定処理が所定回（例えば、数十回〜数百
回）だけ繰り返されて、ＶＴＲ装置４１に各測定処理毎
にデータが記録された後、分析指令が入力されると、分
析装置４２によってＶＴＲ装置４１に記録されている各
測定処理毎のデータが取り込まれて、ノイズ低減処理が
行なわれ、各波長毎の光強度データＤ’が演算される
（ステップＳＴ１２）。

【００４５】この後、スペクトル分析によって得られた
各波長毎の光強度データＤ’と、予め測定されている前
記測定対象物５に空気中の酸素を吸着させる前における
各波長毎の光強度データＤ0 との差ΔＤλが演算されて
（ステップＳＴ１３）、図５に示すような各波長毎に光
強度（光数）を示すデータ表５０が求められるとともに
（ステップＳＴ１４）、図６に示す如く予め設定されて
いる各成分毎の光強度データを示すテーブル５１と、前
記演算処理によって得られた各波長毎の差ΔＤλを示す
データ表５０とが比較されて図７に示す如く前記測定対
象物５の物質成分（物質名）と、単位質量当たりの含有
量（成分濃度）とを示すデータ表５２が求められる（ス
テップＳＴ１５）。

【００４６】《オプション処理》また、この動作と並行
して、オプション機能装置４３によって前記分析装置４
２で得られた前記測定対象物５の物質成分濃度や物質成
分構成、多種の物質が混入する物質の成分などと（ステ
ップＳＴ１６）、前記質量計２４によって得られた前記
測定対象物５の質量とに基づいて（ステップＳＴ１
７）、図８に示す如く前記測定対象物５の各成分含有率
の演算が行なわれて図８に示す如く前記測定対象物５の
成分、成分含有量、成分含有率を示すデータ表５３が作
成された後（ステップＳＴ１８）、これら各成分含有率
や各成分含有量が予め設定されている値を越えたとき、
警報を発する処理などが行なわれる（ステップＳＴ２
０）。

【００４７】そして、上述した手順によって、ＢａＳＯ
₄と、Ａｌ₂Ｏ₃とを混合比１：１で混合した物を測定
対象物５とし、これを測定対象物収納容器２５に１ｇだ
け収納して発光温度を３５０℃にして発光させたとき、
図９に示すような測定結果を得ることができた。

【００４８】また、この測定結果と、図１０に示す如く
ＢａＳＯ₄と、Ａｌ₂Ｏ₃とを各々、測定対象物５と
し、これらを測定対象物収納容器２５に各々、０．５ｇ
だけ収納して発光温度を３５０℃にして発光させたとき
の測定結果とを比較すると明らかなように、ＢａＳＯ₄
と、Ａｌ₂Ｏ₃とを混合比１：１で混合した物の吸着ル
ミネッセンス光のスペクトルはＢａＳＯ₄の吸着ルミネ
ッセンス光と、Ａｌ₂Ｏ₃の吸着ルミネッセンス光とを
スペクトルを合成した値になる。

【００４９】この結果、各物質毎の吸着ルミネッセンス
光のスペクトルを予め測定しておくことにより、これら
の各物質が混合されていても、その成分毎の濃度などを
測定することができることを確認することができた。

【００５０】このようにこの実施例においては、吸着分
析部２内に測定対象となる物質（測定対象物）５を配置
した後、酸化ガス・洗浄ガス供給部１によって前記測定
対象物５に洗浄ガスを当てながら、この測定対象物５を
加熱してその表面を洗浄し、次いで吸着ガス・洗浄ガス
供給部１によって前記測定対象物５に吸着ガスを当て
て、これを吸着させた後、この測定対象物５を加熱し、
このとき得られた吸着ルミネッセンス効果による光をス
ペクトル分析して測定対象物５の成分濃度や成分構成、
成分毎の濃度などを測定するようにしているので、測定
対象となる物質を変質させることなく、この物質の成分
濃度や成分構成、多種の物質が混入する物質の成分毎の
濃度などを測定することができ、これによって測定処理
の効率化や測定場所の有効利用を図ることができる。

【００５１】また、この実施例においては、オプション
機能によって分析装置４２で得られた前記測定対象物５
の物質成分濃度や物質成分構成、多種の物質が混入する
物質の成分などと、前記質量計２４によって得られた前
記測定対象物５の質量とに基づいて前記測定対象物５の
各成分含有率や成分含有量の演算を行なうようにしてい
るので、濃度分析動作と並行して測定対象物５を構成す
る各成分の含有率を測定することができ、これによって
測定処理の効率化や測定場所の有効利用を図ることがで
きる。

【００５２】さらに、この実施例においては、オプショ
ン機能によって測定対象物５の成分含有率や成分含有量
が予め設定されている値を越えたとき、警報を発するよ
うにしているので、測定対象物５内に含まれる特定の成
分が指定された含有率や含有量を越えたとき、これを確
実に認識させることができる。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、請
求項１では、測定対象となる物質を変質させることな
く、この物質の成分濃度や成分構成、多種の物質が混入
する物質の成分毎の濃度などを測定することができ、こ
れによって測定処理の効率化や測定場所の有効利用を図
ることができる。また、請求項２では、独立した濃度計
を必要とすることなく、測定対象となる物質の成分含有
量や成分含有率などを測定することができ、その分だけ
スペースを有効活用することができる。また、請求項３
では、測定対象物の成分含有量または成分含有率の少な
くともいずれか１つが予め設定されている値を越えたと
き、警報を発することができ、これによって測定処理の
効率化などを達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による成分分析装置の一実施例を示す構
成図である。

【図２】図１に示す成分分析装置の動作例を示すフロー
チャートである。

【図３】図１に示す成分分析装置の動作例を示すフロー
チャートである。

【図４】図１に示す成分分析装置による測定対象物の処
理例を示す模式図である。

【図５】図１に示す成分分析装置による演算処理によっ
て作成されるデータ表の一例を示す図である。

【図６】図１に示す成分分析装置による演算処理によっ
て使用されるテーブルの一例を示す図である。

【図７】図１に示す成分分析装置による演算処理によっ
て作成されるデータ表の一例を示す図である。

【図８】図１に示す成分分析装置による演算処理によっ
て作成されるデータ表の一例を示す図である。

【図９】図１に示す成分分析装置によって得られる測定
結果の一例を示す図である。

【図１０】図１に示す成分分析装置によって得られる測
定結果の一例を示す図である。

【符号の説明】

１吸着ガス・洗浄ガス供給部（ガス供給部）２吸着分析部３ガス排気部４解析部５測定対象物２２吸着分析容器（密閉容器）２４質量計

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定対象物を収納する密閉容器を有し、
この密閉容器内に収納している測定対象物の温度を指定
された温度にして洗浄処理、吸着処理、発光処理を行な
う吸着分析部と、この吸着分析部によって洗浄処理が行われるとき、前記
密閉容器内に収納されている前記測定対象物に対し、洗
浄ガスを供給し、また前記吸着分析部によって吸着処理
が行われるとき、前記密閉容器内に収納されている前記
測定対象物に対し、酸化性ガスを供給するガス供給部
と、前記吸着分析部によって発光処理が行われるとき、測定
対象物から放射される吸着ルミネッセンス光を取り込ん
で記録した後、この記録処理によって得られたデータに
基づいて前記測定対象物の成分濃度を演算する解析部
と、を備えたことを特徴とする成分分析装置。
【請求項２】前記解析部は吸着分析部の密閉容器内に
収納される測定対象物の質量を測定し、この測定結果と
前記解析部によって得られた前記測定対象物の成分濃度
とに基づいて前記測定対象物の成分含有率または成分含
有量を演算する請求項１記載の成分分析装置。
【請求項３】前記解析部によって得られた前記測定対
象物の成分含有量または成分含有率の少なくともいずれ
か１つが予め設定されている値を越えたとき、警報を発
する請求項１または２記載の成分分析装置。