JPH07198417A - 対象物の位置を求めるための方法および装置 - Google Patents
対象物の位置を求めるための方法および装置Info
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- JPH07198417A JPH07198417A JP6297955A JP29795594A JPH07198417A JP H07198417 A JPH07198417 A JP H07198417A JP 6297955 A JP6297955 A JP 6297955A JP 29795594 A JP29795594 A JP 29795594A JP H07198417 A JPH07198417 A JP H07198417A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24471—Error correction
- G01D5/2448—Correction of gain, threshold, offset or phase control
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D18/001—Calibrating encoders
-
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/2449—Error correction using hard-stored calibration data
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 正弦状の出力信号を有するインクレメンタル
発信器の評価の際に位相誤差を補正するための方法を提
供する。 【構成】 正弦波状のほぼ９０°（電気角）だけ互いに
ずらされた発信器から発生された２つの位置角度信号φ
1 を発生する発信器系を用いて対象物の位置を求めるた
めの方法において、位相補正段２、３において位相誤差
角度αを知った上で補正角度信号Δφが関係式 Δφ＝ａｒｃｔａｎ〔ｓｉｎφ1 ／ｃｏｓ（φ1 ＋
α）〕−φ1 に従って求められ、この補正角度信号Δφが加算器４内
で位置角度信号φ1 に加算的に付加され、またその際に
このようにして発生された信号が補正された位置角度信
号φとしてその後の処理装置に供給される。
発信器の評価の際に位相誤差を補正するための方法を提
供する。 【構成】 正弦波状のほぼ９０°（電気角）だけ互いに
ずらされた発信器から発生された２つの位置角度信号φ
1 を発生する発信器系を用いて対象物の位置を求めるた
めの方法において、位相補正段２、３において位相誤差
角度αを知った上で補正角度信号Δφが関係式 Δφ＝ａｒｃｔａｎ〔ｓｉｎφ1 ／ｃｏｓ（φ1 ＋
α）〕−φ1 に従って求められ、この補正角度信号Δφが加算器４内
で位置角度信号φ1 に加算的に付加され、またその際に
このようにして発生された信号が補正された位置角度信
号φとしてその後の処理装置に供給される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、９０°だけ位相をずら
され変位または角度に関係し等しい振幅および周期を有
する２つの正弦波状の信号を供給し、これらの２つの信
号から内挿用電子回路を介して角度を計算する発信器系
における位置誤差を補正するための方法および装置に関
する。
され変位または角度に関係し等しい振幅および周期を有
する２つの正弦波状の信号を供給し、これらの２つの信
号から内挿用電子回路を介して角度を計算する発信器系
における位置誤差を補正するための方法および装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】工作機械または機械部分の回転運動を検
出するため、光学的ならびに磁気的な正弦‐余弦発信器
が利用される。それらの信号は内挿され、それによって
工具または機械の位置検出が行われる。このような正弦
‐余弦発信器の位置を内挿するための種々の装置が既に
知られている。それらは２種類の方法に基づいている。
最も多く利用されているのは、信号軌跡の正接関数を形
成する方法である。別の方法、いわゆる“ＨＭＳ”法は
ヨーロッパ特許第 0390936号明細書に記載されている。
この方法では変位または角度に直線的に関係するディジ
タル化可能な追従信号が形成される。
出するため、光学的ならびに磁気的な正弦‐余弦発信器
が利用される。それらの信号は内挿され、それによって
工具または機械の位置検出が行われる。このような正弦
‐余弦発信器の位置を内挿するための種々の装置が既に
知られている。それらは２種類の方法に基づいている。
最も多く利用されているのは、信号軌跡の正接関数を形
成する方法である。別の方法、いわゆる“ＨＭＳ”法は
ヨーロッパ特許第 0390936号明細書に記載されている。
この方法では変位または角度に直線的に関係するディジ
タル化可能な追従信号が形成される。
【０００３】しかしこれらのすべての方法は、位置情報
（正弦および余弦軌跡）を含んでいる信号が正確に９０
°の位相ずれを有することを前提としている。しかし、
発信器の製造および調節の際の許容差に基づいて、情報
を含んでいる軌跡は理想的な９０°から多少偏差する位
相ずれを有する。上記の方法ではこの種の誤差に対して
ある程度の感度が与えられている。なぜならば、両信号
の位相誤差に基づいて内挿により、位置調節ループ内で
誤った誤差位置を与え、または回転数調節器に位置リッ
プル、従ってまた回転数リップルを与える位置誤差が生
ずるからである。
（正弦および余弦軌跡）を含んでいる信号が正確に９０
°の位相ずれを有することを前提としている。しかし、
発信器の製造および調節の際の許容差に基づいて、情報
を含んでいる軌跡は理想的な９０°から多少偏差する位
相ずれを有する。上記の方法ではこの種の誤差に対して
ある程度の感度が与えられている。なぜならば、両信号
の位相誤差に基づいて内挿により、位置調節ループ内で
誤った誤差位置を与え、または回転数調節器に位置リッ
プル、従ってまた回転数リップルを与える位置誤差が生
ずるからである。
【０００４】最近の制御および駆動では位置および回転
数調節はディジタルに行われているので、位相誤差を知
った上で、位置および回転数調節器に対する位置情報を
補正することが可能であろう。工作機械におけるますま
す精密になる位置検出はこの補正を必要とする。
数調節はディジタルに行われているので、位相誤差を知
った上で、位置および回転数調節器に対する位置情報を
補正することが可能であろう。工作機械におけるますま
す精密になる位置検出はこの補正を必要とする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、正弦
状の出力信号を有するインクレメンタル発信器の評価の
際に位相誤差を補正するためのこのような方法を提供す
ることにある。
状の出力信号を有するインクレメンタル発信器の評価の
際に位相誤差を補正するためのこのような方法を提供す
ることにある。
【０００６】本発明によれば、この課題は冒頭に記載し
た種類の方法において請求項１の特徴部分の措置により
解決される。さらに本発明の有利な実施態様では、位置
または回転数調節を行うプロセッサのテーブルアクセス
を介して位置誤差が補正され得る方法が記載されてい
る。その際に補正は、内挿用電子回路から到来するまだ
誤差を含んでいる角度に相応のテーブルへのアクセスに
より誤差関数の角度に関係する部分が加算され、その際
にテーブル値が位相誤差角度、すなわち発信器固有の量
により乗算されることにより達成され得る。
た種類の方法において請求項１の特徴部分の措置により
解決される。さらに本発明の有利な実施態様では、位置
または回転数調節を行うプロセッサのテーブルアクセス
を介して位置誤差が補正され得る方法が記載されてい
る。その際に補正は、内挿用電子回路から到来するまだ
誤差を含んでいる角度に相応のテーブルへのアクセスに
より誤差関数の角度に関係する部分が加算され、その際
にテーブル値が位相誤差角度、すなわち発信器固有の量
により乗算されることにより達成され得る。
【０００７】この方法では位相角度誤差は、いったん求
められているならばパラメータとして格納されていてよ
い発信器固有の量である。しかし、この発信器固有のパ
ラメータをランニング‐アウト試験で求め、また時々更
新することも可能である。このプロセスは自動化可能で
ある。このことは、この誤差への温度の影響も補償され
得ることに通ずる。
められているならばパラメータとして格納されていてよ
い発信器固有の量である。しかし、この発信器固有のパ
ラメータをランニング‐アウト試験で求め、また時々更
新することも可能である。このプロセスは自動化可能で
ある。このことは、この誤差への温度の影響も補償され
得ることに通ずる。
【０００８】
【実施例】以下、図面に示されている実施例により本発
明を一層詳細に説明する。
明を一層詳細に説明する。
【０００９】先ず位相誤差と位置誤差との間の数学的関
係を示す。
係を示す。
【００１０】位相ずれに基づく位置誤差は、余弦軌跡を
実部に、また正弦軌跡を虚部に対応付けるならば、複素
平面上で比較的簡単に求められ得る。
実部に、また正弦軌跡を虚部に対応付けるならば、複素
平面上で比較的簡単に求められ得る。
【００１１】理想的な発信器は変位または角度に正確に
相当する位置を示すものである。この場合には正弦およ
び余弦信号軌跡は、ベクトルＺにより記述されている角
度φをコード化する。 Ｚ＝ｃｏｓφ＋ｊ・ｓｉｎφ （１）
相当する位置を示すものである。この場合には正弦およ
び余弦信号軌跡は、ベクトルＺにより記述されている角
度φをコード化する。 Ｚ＝ｃｏｓφ＋ｊ・ｓｉｎφ （１）
【００１２】値φを有する位相ずれ偏差を有する発信器
は下記の量のベクトルに通ずる。 Ｚ1 ＝ｃｏｓ（φ＋α）＋ｊ・ｓｉｎφ （２）
は下記の量のベクトルに通ずる。 Ｚ1 ＝ｃｏｓ（φ＋α）＋ｊ・ｓｉｎφ （２）
【００１３】ここで、この方法では位相ずれは完全に余
弦軌跡に付加されることを指摘しておく。
弦軌跡に付加されることを指摘しておく。
【００１４】複素平面上での両ベクトルＺおよびＺ 1 を
図１に示す。ベクトルＺ 1 は正接または他の評価方法を
介して角度φ1 をコード化する。差ベクトルＺ−Ｚ 1 は Ｚ−Ｚ 1 ＝ｃｏｓφ−ｃｏｓ（φ＋α）（純実部） （３） であり、その長さは ｌ＝｜Ｚ−Ｚ 1 ｜＝ｃｏｓφ−ｃｏｓ（φ＋α） （４） である。
図１に示す。ベクトルＺ 1 は正接または他の評価方法を
介して角度φ1 をコード化する。差ベクトルＺ−Ｚ 1 は Ｚ−Ｚ 1 ＝ｃｏｓφ−ｃｏｓ（φ＋α）（純実部） （３） であり、その長さは ｌ＝｜Ｚ−Ｚ 1 ｜＝ｃｏｓφ−ｃｏｓ（φ＋α） （４） である。
【００１５】ベクトルＺ 1 の位相角度としてもベクトル
Ｚ−Ｚ 1 およびベクトルＺ 1 の差角度としても見い出さ
れる角度φ1 を介して三角形の高さｈは下式により計算
できる。 ｈ＝ｌ・ｓｉｎφ1 （５）
Ｚ−Ｚ 1 およびベクトルＺ 1 の差角度としても見い出さ
れる角度φ1 を介して三角形の高さｈは下式により計算
できる。 ｈ＝ｌ・ｓｉｎφ1 （５）
【００１６】ベクトルＺの長さは値ｌを有するので、三
角形の高さｈから補正角度に対する関係式が求められ
る。 ｈ＝ｓｉｎΔφ （６）
角形の高さｈから補正角度に対する関係式が求められ
る。 ｈ＝ｓｉｎΔφ （６）
【００１７】式（５）および（６）から下記の関係式が
導かれる。 ｓｉｎΔφ＝ｌ・ｓｉｎφ1 （７）
導かれる。 ｓｉｎΔφ＝ｌ・ｓｉｎφ1 （７）
【００１８】関係式φ＝φ1 ＋Δφおよび式（４）およ
び（７）により ｓｉｎΔφ＝ｓｉｎφ1 〔ｃｏｓ（φ1 ＋Δφ）−ｃｏｓ（φ1 ＋Δφ＋α）〕 ＝ｓｉｎφ1 〔ｃｏｓφ1 ・ｃｏｓΔφ−ｓｉｎφ1 ・ｓｉｎΔφ−ｃｏｓ（φ 1 ＋α）・ｃｏｓΔφ＋ｓｉｎ（φ1 ＋α）・ｓｉｎΔφ〕 （８） または置換して ｓｉｎΔφ・〔１＋ｓｉｎ2 φ1 −ｓｉｎφ1 ・ｓｉｎ（φ1 ＋α）＝ ｃｏｓΔφ・〔ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1 −ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓ（φ1 ＋α）〕 ｔａｎΔφ＝〔ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1 −ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓ（φ1 ＋α）〕／ 〔１＋ｓｉｎ2 φ1 −ｓｉｎφ1 ・ｓｉｎ（φ1 ＋α）〕（９）
び（７）により ｓｉｎΔφ＝ｓｉｎφ1 〔ｃｏｓ（φ1 ＋Δφ）−ｃｏｓ（φ1 ＋Δφ＋α）〕 ＝ｓｉｎφ1 〔ｃｏｓφ1 ・ｃｏｓΔφ−ｓｉｎφ1 ・ｓｉｎΔφ−ｃｏｓ（φ 1 ＋α）・ｃｏｓΔφ＋ｓｉｎ（φ1 ＋α）・ｓｉｎΔφ〕 （８） または置換して ｓｉｎΔφ・〔１＋ｓｉｎ2 φ1 −ｓｉｎφ1 ・ｓｉｎ（φ1 ＋α）＝ ｃｏｓΔφ・〔ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1 −ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓ（φ1 ＋α）〕 ｔａｎΔφ＝〔ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1 −ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓ（φ1 ＋α）〕／ 〔１＋ｓｉｎ2 φ1 −ｓｉｎφ1 ・ｓｉｎ（φ1 ＋α）〕（９）
【００１９】分母中のｓｉｎ2 φ1 −ｓｉｎφ1 ・ｓｉ
ｎ（φ1 ＋α）はαの小さい値に対しては値１にくらべ
て無視し得る。
ｎ（φ1 ＋α）はαの小さい値に対しては値１にくらべ
て無視し得る。
【００２０】従って下式が得られる。 ｔａｎΔφ＝ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1 −ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓ（φ1 ＋α） ＝ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1 −ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1 ・ｃｏｓα ＋ｓｉｎ2 φ1 ・ｓｉｎα （１０）
【００２１】この表し方においてαの小さい値に対して
は差ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1 −ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1
・ｃｏｓαはｓｉｎ2 φ1 ・ｓｉｎαにくらべて無視さ
れ得る。従って ｔａｎΔφ＝ｓｉｎ2 φ1 ・ｓｉｎα ＝（１／２）ｓｉｎα（１−ｃｏｓ２φ1 ） （１１）
は差ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1 −ｓｉｎφ1 ・ｃｏｓφ1
・ｃｏｓαはｓｉｎ2 φ1 ・ｓｉｎαにくらべて無視さ
れ得る。従って ｔａｎΔφ＝ｓｉｎ2 φ1 ・ｓｉｎα ＝（１／２）ｓｉｎα（１−ｃｏｓ２φ1 ） （１１）
【００２２】位相誤差α、従ってまた位置誤差Δφに対
する値は小さいので、 ｔａｎΔφ≒Δφ および ｓｉｎα ≒α の一次近似により Δφ≒α（１／２）（１−ｃｏｓ２φ1 ） （１２） が成り立つ。
する値は小さいので、 ｔａｎΔφ≒Δφ および ｓｉｎα ≒α の一次近似により Δφ≒α（１／２）（１−ｃｏｓ２φ1 ） （１２） が成り立つ。
【００２３】図２による表し方は例として両角度５°お
よび１０°に対して誤差関数 Δφ＝ａｒｃｔａｎ〔ｓｉｎφ1 ／ｃｏｓ（φ1 ＋α）〕−φ1 （１３） の数値計算された経過を示す。
よび１０°に対して誤差関数 Δφ＝ａｒｃｔａｎ〔ｓｉｎφ1 ／ｃｏｓ（φ1 ＋α）〕−φ1 （１３） の数値計算された経過を示す。
【００２４】誤差関数の経過から、計算された近似（１
２）が有効性を有することが認識される。
２）が有効性を有することが認識される。
【００２５】近似の有効性は、種々の位相誤差αに対す
るスペクトル成分をグラフで示す図３による表し方によ
っても確認される。この表し方は、第２高調波（ｃｏｓ
２φ1 ）のスペクトル線が優勢であること、また第２高
調波の補正が位置角度のなかで位置誤差を係数２０だけ
最小化することを示す。
るスペクトル成分をグラフで示す図３による表し方によ
っても確認される。この表し方は、第２高調波（ｃｏｓ
２φ1 ）のスペクトル線が優勢であること、また第２高
調波の補正が位置角度のなかで位置誤差を係数２０だけ
最小化することを示す。
【００２６】図４には、回路技術的に制御または駆動装
置において位相補正要素（一点鎖線内）を用いてどのよ
うに補正が行われ得るかが示されている。内挿用電子回
路１から先ず角度に対する値φ1 が計算される。情報を
含んでいる軌跡（正弦および余弦）は９０°の理想的な
位相から偏差して位相ずれを有するので、この値は誤差
を含んでおり、従ってテーブル状のメモリ２に供給さ
れ、そこでφ1 に関係する誤差関数の部分が関係式 ｆTab （φ1 ＝（１／２）（１−ｃｏｓ２φ1 ） に従って格納される。これは式（１２）の第１の因数を
なす。
置において位相補正要素（一点鎖線内）を用いてどのよ
うに補正が行われ得るかが示されている。内挿用電子回
路１から先ず角度に対する値φ1 が計算される。情報を
含んでいる軌跡（正弦および余弦）は９０°の理想的な
位相から偏差して位相ずれを有するので、この値は誤差
を含んでおり、従ってテーブル状のメモリ２に供給さ
れ、そこでφ1 に関係する誤差関数の部分が関係式 ｆTab （φ1 ＝（１／２）（１−ｃｏｓ２φ1 ） に従って格納される。これは式（１２）の第１の因数を
なす。
【００２７】テーブルの出力値はさらに乗算器３に供給
され、位相誤差角度を乗算される。位相誤差角度αはパ
ラメータとして格納されていてよい発信器固有の量であ
る。誤差関数（１／２）（１−ｃｏｓ２φ1 ）と位相誤
差角度αとの乗算後に式（１２）による補正角度Δφが
得られ、この補正角度Δφが加算器４内で内挿された角
度φ1 に加算される。この加算器４の出力は所望の補正
された角度φを、図面を見易くするため図示されていな
い別の評価装置に与える。
され、位相誤差角度を乗算される。位相誤差角度αはパ
ラメータとして格納されていてよい発信器固有の量であ
る。誤差関数（１／２）（１−ｃｏｓ２φ1 ）と位相誤
差角度αとの乗算後に式（１２）による補正角度Δφが
得られ、この補正角度Δφが加算器４内で内挿された角
度φ1 に加算される。この加算器４の出力は所望の補正
された角度φを、図面を見易くするため図示されていな
い別の評価装置に与える。
【００２８】位相誤差角度αは発信器に付属の量として
いったん求められ、またその後に発信器に固有のパラメ
ータとして記録され得る。しかし、発信器位相誤差をラ
ンニング‐アウト試験で自動的に求めることも考えられ
る。自動的に求められた発信器位相誤差はその後に低優
先度のタイムスライスで更新され得る。位相誤差の自動
的更新によりこの誤差への温度の影響も補償され得る。
いったん求められ、またその後に発信器に固有のパラメ
ータとして記録され得る。しかし、発信器位相誤差をラ
ンニング‐アウト試験で自動的に求めることも考えられ
る。自動的に求められた発信器位相誤差はその後に低優
先度のタイムスライスで更新され得る。位相誤差の自動
的更新によりこの誤差への温度の影響も補償され得る。
【図１】位相のずれた理想的なベクトルを示す図。
【図２】２種類の位相誤差角度の数値計算された経過を
示す図。
示す図。
【図３】種々の位相誤差に対するスペクトル成分を示す
図。
図。
【図４】位相補正のためのブロック回路図。
１ 内挿用電子回路 ２ メモリ ３ 乗算器 ４ 加算器
Claims (7)
- 【請求項１】 ほぼ９０°（電気角）だけ互いにずらさ
れた２つの正弦波状の発信器信号から直線化された位置
角度信号φ1 を発生する発信器系を用いて対象物の位置
を求めるための方法において、 変換器（２、３）において位相誤差角度αを知った上で
補正角度信号Δφが関係式 Δφ＝ａｒｃｔａｎ〔ｓｉｎφ1 ／ｃｏｓ（φ1 ＋
α）〕−φ1 に従って求められ、この補正角度信号Δφが位置角度信
号φ1 に加算的に付加され、またその際にこのようにし
て発生された信号が補正された位置角度信号φとしてそ
の後の処理装置に供給されることを特徴とする対象物の
位置を求めるための方法。 - 【請求項２】 関係式が Δφ＝（１／２）（１−ｃｏｓ２φ1 ）・α として簡略化されることを特徴とする請求項１記載の方
法。 - 【請求項３】 位相誤差角度αが発信器に付属の量とし
ていったん求められ、またその後に発信器に固有のパラ
メータとして記録されることを特徴とする請求項１また
は２記載の方法。 - 【請求項４】 位相誤差角度αが所望に応じて更新可能
であることを特徴とする請求項１または２記載の方法。 - 【請求項５】 位相誤差角度αがそれぞれランニング‐
アウト試験で求められることを特徴とする請求項４記載
の方法。 - 【請求項６】 変換器（２、３）として計算機が設けら
れていることを特徴とする請求項１ないし５の１つによ
る方法を実施するための装置。 - 【請求項７】 変換器としてテーブルに対するメモリ
（２）が設けられており、前記テーブルのなかに予め与
えられた位置誤差信号φ1 に対して付属の補正値が予め
与えられており、この補正値が位相誤差αによる重み付
けの後に補正角度信号Δφを指示することを特徴とする
請求項１ないし５の１つによる方法を実施するための装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP93118200A EP0652419B1 (de) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | Verfahren zur Korrektur des Phasenfehlers bei der Auswertung von Inkrementalgebern mit sinusförmigen Ausgangssignalen |
| AT93118200.0 | 1993-11-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198417A true JPH07198417A (ja) | 1995-08-01 |
Family
ID=8213410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6297955A Withdrawn JPH07198417A (ja) | 1993-11-09 | 1994-11-07 | 対象物の位置を求めるための方法および装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0652419B1 (ja) |
| JP (1) | JPH07198417A (ja) |
| AT (1) | ATE135814T1 (ja) |
| DE (1) | DE59301986D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998021553A1 (fr) * | 1996-11-11 | 1998-05-22 | Fanuc Ltd. | Circuit d'interpolation de codeur |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07218288A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Mitsubishi Electric Corp | 絶対位置検出装置及びその誤差補正方法 |
| GB2335045B (en) * | 1997-11-28 | 2001-09-26 | Mitutoyo Corp | Phase delay correction system |
| JP3246723B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2002-01-15 | 株式会社ミツトヨ | 位相遅れ補正方式 |
| DE19950902A1 (de) | 1999-10-22 | 2001-05-23 | Ds Technologie Werkzeugmaschb | System und Verfahren zur Steuerung einer Positioniereinrichtung, insbesondere von Stellantrieben bei Werkzeugmaschinen, sowie Phasenmischvorrichtung |
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