JPH07198322A - 撮像装置 - Google Patents
撮像装置Info
- Publication number
- JPH07198322A JPH07198322A JP5348950A JP34895093A JPH07198322A JP H07198322 A JPH07198322 A JP H07198322A JP 5348950 A JP5348950 A JP 5348950A JP 34895093 A JP34895093 A JP 34895093A JP H07198322 A JPH07198322 A JP H07198322A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】撮像部と撮像対象物の位置ずれを検出して、そ
の補正を行う。 【構成】照射部２で撮像対象物８に光を照射し、その反
射光を結像部３で集光し、集光してできた像を撮像部４
で読み取る撮像装置において、受光部５は撮像部４の周
囲に配置され、撮像部からはずれて結像された像の位置
ずれを検出する。移動手段６は受光部５が位置ずれを検
出したときに撮像部４と撮像対象物８の相対的位置を位
置ずれ分移動し、位置ずれを補正する。
の補正を行う。 【構成】照射部２で撮像対象物８に光を照射し、その反
射光を結像部３で集光し、集光してできた像を撮像部４
で読み取る撮像装置において、受光部５は撮像部４の周
囲に配置され、撮像部からはずれて結像された像の位置
ずれを検出する。移動手段６は受光部５が位置ずれを検
出したときに撮像部４と撮像対象物８の相対的位置を位
置ずれ分移動し、位置ずれを補正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は撮像装置、特にその結
像位置の位置ずれの補正に関するものである。
像位置の位置ずれの補正に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】照射部で撮像対象物に光を照射し、その
反射光を結像部で集光し、集光してできた像を撮像部で
読み込む撮像装置において、撮像対象物と撮像部との相
対的位置がずれていて、像が正常な位置からずれたり撮
像部からはずれて、正常に読み込まれない場合がある。
反射光を結像部で集光し、集光してできた像を撮像部で
読み込む撮像装置において、撮像対象物と撮像部との相
対的位置がずれていて、像が正常な位置からずれたり撮
像部からはずれて、正常に読み込まれない場合がある。
【０００３】像の位置がずれていても、撮像部に結像し
ている場合は、例えば特開平2-206709号公報に掲載され
た検査装置で公開された構成で撮像装置のように正面フ
ィレット像の画像信号から基板の半田付部の位置ずれを
検出して、位置決め制御装置に位置補正を行わせること
もできる。
ている場合は、例えば特開平2-206709号公報に掲載され
た検査装置で公開された構成で撮像装置のように正面フ
ィレット像の画像信号から基板の半田付部の位置ずれを
検出して、位置決め制御装置に位置補正を行わせること
もできる。
【０００４】上記のように、像の位置がずれていても撮
像部に結像している場合に、半田付部の位置ずれを検出
する検査装置は、基板上の半田付部の位置ずれはあまり
大きくないので効果的である
像部に結像している場合に、半田付部の位置ずれを検出
する検査装置は、基板上の半田付部の位置ずれはあまり
大きくないので効果的である
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般の
撮像装置では撮像部と撮像対象物との位置ずれが大きく
て、像が撮像部で検出できる範囲外に結像される場合も
ありえる。かかる場合は上記装置の構成では像の位置を
検出できず、位置補正をすることができない。
撮像装置では撮像部と撮像対象物との位置ずれが大きく
て、像が撮像部で検出できる範囲外に結像される場合も
ありえる。かかる場合は上記装置の構成では像の位置を
検出できず、位置補正をすることができない。
【０００６】この発明はかかる短所を解消するためにな
されたものであり、撮像部と撮像対象物との位置ずれを
広範囲に検出して、その補正を行う撮像装置を得ること
を目的とする。
されたものであり、撮像部と撮像対象物との位置ずれを
広範囲に検出して、その補正を行う撮像装置を得ること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係る撮像装置
は、受光部と移動手段を有し、受光部は撮像部の周囲に
配置され、結像された像の位置ずれを検出し、移動手段
は受光部が位置ずれを検出したときに撮像部と撮像対象
物の相対的位置を位置ずれ分移動する。
は、受光部と移動手段を有し、受光部は撮像部の周囲に
配置され、結像された像の位置ずれを検出し、移動手段
は受光部が位置ずれを検出したときに撮像部と撮像対象
物の相対的位置を位置ずれ分移動する。
【０００８】また、結像部と撮像部の間の光路上に結像
部をからの光を分割反射するビ−ムスプリッタを有し、
受光部はビ−ムスプリッタで反射した光の光軸のずれを
検出する。
部をからの光を分割反射するビ−ムスプリッタを有し、
受光部はビ−ムスプリッタで反射した光の光軸のずれを
検出する。
【０００９】さらに、ビ−ムスプリッタと受光部の間の
光路上にビ−ムスプリッタで反射した光を受光部で結像
するように集光する集光部を有する。
光路上にビ−ムスプリッタで反射した光を受光部で結像
するように集光する集光部を有する。
【００１０】また、平行に並べた複数の受光部と回転検
出手段を有し、各受光部はそれぞれ光軸のずれを検出
し、回転検出手段は各受光部が検出した光軸のずれから
像の回転方向のずれを検出し、移動手段は回転検出手段
が回転方向のずれを検出したときに撮像部と物体の回転
方向の相対的位置を回転方向のずれ分移動する。
出手段を有し、各受光部はそれぞれ光軸のずれを検出
し、回転検出手段は各受光部が検出した光軸のずれから
像の回転方向のずれを検出し、移動手段は回転検出手段
が回転方向のずれを検出したときに撮像部と物体の回転
方向の相対的位置を回転方向のずれ分移動する。
【００１１】
【作用】この発明においては、受光部は撮像部の周囲に
配置され、撮像部からはずれて結像された像の位置ずれ
を検出する。移動手段は受光部が位置ずれを検出したと
きに撮像部と撮像対象物の相対的位置を位置ずれ分移動
し、位置ずれを補正する。
配置され、撮像部からはずれて結像された像の位置ずれ
を検出する。移動手段は受光部が位置ずれを検出したと
きに撮像部と撮像対象物の相対的位置を位置ずれ分移動
し、位置ずれを補正する。
【００１２】また、ビ−ムスプリッタは結像部と撮像部
の間の光路上に位置し、結像部をからの光を分割反射す
る。受光部はビ−ムスプリッタで反射した光の光軸のず
れを検出する。移動手段は受光部が位置ずれを検出した
ときに撮像部と撮像対象物の位置を位置ずれ分相対的に
移動し、位置ずれを補正する。
の間の光路上に位置し、結像部をからの光を分割反射す
る。受光部はビ−ムスプリッタで反射した光の光軸のず
れを検出する。移動手段は受光部が位置ずれを検出した
ときに撮像部と撮像対象物の位置を位置ずれ分相対的に
移動し、位置ずれを補正する。
【００１３】さらに、集光部はビ−ムスプリッタと受光
部の間の光路上に位置し、ビ−ムスプリッタで反射した
光を受光部で結像するように集光し、受光部に正確に像
を結像する。
部の間の光路上に位置し、ビ−ムスプリッタで反射した
光を受光部で結像するように集光し、受光部に正確に像
を結像する。
【００１４】また、各受光部はそれぞれ光軸のずれを検
出する。回転検出手段は各受光部が検出した光軸のずれ
から像の回転方向のずれを検出する。移動手段は回転検
出手段が回転方向のずれを検出したときに撮像部と物体
の回転方向の相対的位置を回転方向のずれ分回転し、回
転方向のずれを補正する。
出する。回転検出手段は各受光部が検出した光軸のずれ
から像の回転方向のずれを検出する。移動手段は回転検
出手段が回転方向のずれを検出したときに撮像部と物体
の回転方向の相対的位置を回転方向のずれ分回転し、回
転方向のずれを補正する。
【００１５】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す構成図であ
る。図に示すように、撮像装置はステ−ジ１、照射部
２、結像部３、撮像部４、受光部５及び移動手段６を有
する。
る。図に示すように、撮像装置はステ−ジ１、照射部
２、結像部３、撮像部４、受光部５及び移動手段６を有
する。
【００１６】ステ−ジ１は撮像対象物８を載せる部分で
ある。照射部２は例えばハロゲンランプ９とファイバ−
ライトガイド１０を有する。ハロゲンランプ９は撮像対
象物８を照射する光を発生する。ファイバ−ライトガイ
ド１０はハロゲンランプ９が発生した光を撮像対象物８
に照射するように導く。結像部３は例えばレンズ等で構
成される。結像部３は照射部２で撮像対象物８に照射し
た光の反射光を撮像部４で結像するように集光する。撮
像部４は例えばＣＣＤセンサで構成され、結像部３で結
像した撮像対象物８の像を読み込む。
ある。照射部２は例えばハロゲンランプ９とファイバ−
ライトガイド１０を有する。ハロゲンランプ９は撮像対
象物８を照射する光を発生する。ファイバ−ライトガイ
ド１０はハロゲンランプ９が発生した光を撮像対象物８
に照射するように導く。結像部３は例えばレンズ等で構
成される。結像部３は照射部２で撮像対象物８に照射し
た光の反射光を撮像部４で結像するように集光する。撮
像部４は例えばＣＣＤセンサで構成され、結像部３で結
像した撮像対象物８の像を読み込む。
【００１７】受光部５は図２の構成図に示すように、例
えば複数のフォトダイオ−ド７で構成され、撮像部４の
回りに配置される。受光部５は受光部５上に撮像対象物
８の像が結像されたことを検知すると、撮像部４と撮像
対象物８の相対的位置ずれ及び位置ずれの量を検出す
る。移動手段６は受光部５が撮像部４と撮像対象物８の
相対的位置ずれを検出すると、受光部５が検知した位置
ずれの量だけ撮像部４を移動する。
えば複数のフォトダイオ−ド７で構成され、撮像部４の
回りに配置される。受光部５は受光部５上に撮像対象物
８の像が結像されたことを検知すると、撮像部４と撮像
対象物８の相対的位置ずれ及び位置ずれの量を検出す
る。移動手段６は受光部５が撮像部４と撮像対象物８の
相対的位置ずれを検出すると、受光部５が検知した位置
ずれの量だけ撮像部４を移動する。
【００１８】上記構成の撮像装置において、図３の構成
図に示すように照射部２で撮像対象物８に照射した光の
反射光が、撮像対象物８が位置ずれを起しているため
に、撮像部４で結像せずに、受光部５で結像した場合
は、受光部５は受光部５上に撮像対象物８の結像された
ことを検知し、撮像部４と撮像対象物８の相対的位置ず
れ及び位置ずれの量を検出する。移動手段６は受光部５
が撮像部４と撮像対象物８の相対的位置ずれを検出する
と、受光部５が検知した位置ずれの量だけ撮像部４を移
動し、撮像対象物８と撮像部４の相対的位置を補正し、
図１に示すように撮像部４に撮像対象物８の像が結像す
るようにする。このように、撮像対象物８と撮像部４の
相対的位置が大きくずれていて、撮像部４で像を検出で
きない場合でもその位置を補正することができる。
図に示すように照射部２で撮像対象物８に照射した光の
反射光が、撮像対象物８が位置ずれを起しているため
に、撮像部４で結像せずに、受光部５で結像した場合
は、受光部５は受光部５上に撮像対象物８の結像された
ことを検知し、撮像部４と撮像対象物８の相対的位置ず
れ及び位置ずれの量を検出する。移動手段６は受光部５
が撮像部４と撮像対象物８の相対的位置ずれを検出する
と、受光部５が検知した位置ずれの量だけ撮像部４を移
動し、撮像対象物８と撮像部４の相対的位置を補正し、
図１に示すように撮像部４に撮像対象物８の像が結像す
るようにする。このように、撮像対象物８と撮像部４の
相対的位置が大きくずれていて、撮像部４で像を検出で
きない場合でもその位置を補正することができる。
【００１９】次ぎに他の実施例として、図４の構成図に
示すようにビ−ムスプリッタ１１を用いて位置ずれを検
出し補正する場合について説明する。
示すようにビ−ムスプリッタ１１を用いて位置ずれを検
出し補正する場合について説明する。
【００２０】ここで、ビ−ムスプリッタ１１は例えば半
透明の平面鏡であり、一部光を透過し、残りを反射す
る。当実施例では、ビ−ムスプリッタ１１は、図４に示
すように垂線に対して45度の角度で設置され、垂線と平
行に進んできた光の一部を直角に反射する。受光部５は
ビ−ムスプリッタ１１から、ビ−ムスプリッタ１１と撮
像装置４との間の距離と同じ距離だけ離れ、ビ−ムスプ
リッタ１１で反射した光が受光部５上で結像するように
位置する。
透明の平面鏡であり、一部光を透過し、残りを反射す
る。当実施例では、ビ−ムスプリッタ１１は、図４に示
すように垂線に対して45度の角度で設置され、垂線と平
行に進んできた光の一部を直角に反射する。受光部５は
ビ−ムスプリッタ１１から、ビ−ムスプリッタ１１と撮
像装置４との間の距離と同じ距離だけ離れ、ビ−ムスプ
リッタ１１で反射した光が受光部５上で結像するように
位置する。
【００２１】照射部２が撮像対象物８を照射した光は撮
像対象物８に反射されて結像部３に送られる。結像部３
は反射光を集光する。ビ−ムスプリッタ１１は結像部３
を経由した光の一部を受光部５に向けて反射する。撮像
部４と撮像対象物８の相対的位置がずれている場合は、
受光部５ではその結像位置から撮像部４と撮像対象物８
の相対的位置ずれ及び位置ずれの量を検出する。移動手
段６は受光部５が撮像部４と撮像対象物８の相対的位置
ずれを検出すると、受光部５が検知した位置ずれの量だ
け撮像部４を移動し、撮像対象物８と撮像部４の相対的
位置を補正し、撮像部４に撮像対象物８の像が結像する
ようにする。このように、受光部５は撮像部４の影響を
受けないので、撮像対象物８と撮像部４の相対的位置の
位置ずれを微小なものから大きなものまで幅広く検出
し、その位置ずれを補正することができる。
像対象物８に反射されて結像部３に送られる。結像部３
は反射光を集光する。ビ−ムスプリッタ１１は結像部３
を経由した光の一部を受光部５に向けて反射する。撮像
部４と撮像対象物８の相対的位置がずれている場合は、
受光部５ではその結像位置から撮像部４と撮像対象物８
の相対的位置ずれ及び位置ずれの量を検出する。移動手
段６は受光部５が撮像部４と撮像対象物８の相対的位置
ずれを検出すると、受光部５が検知した位置ずれの量だ
け撮像部４を移動し、撮像対象物８と撮像部４の相対的
位置を補正し、撮像部４に撮像対象物８の像が結像する
ようにする。このように、受光部５は撮像部４の影響を
受けないので、撮像対象物８と撮像部４の相対的位置の
位置ずれを微小なものから大きなものまで幅広く検出
し、その位置ずれを補正することができる。
【００２２】なお、ビ−ムスプリッタ１１と受光部５と
の間にビ−ムスプリッタ１１で反射した光を集光する集
光部を設けても良い。集光部で反射光を集光して、受光
部５で撮像することができるので、ビ−ムスプリッタ１
１と受光部５との間の距離を変えることができる。
の間にビ−ムスプリッタ１１で反射した光を集光する集
光部を設けても良い。集光部で反射光を集光して、受光
部５で撮像することができるので、ビ−ムスプリッタ１
１と受光部５との間の距離を変えることができる。
【００２３】次ぎに他の実施例として、例えば受光部５
ａ，５ｂを用いて撮像対象物８と撮像部４との回転方向
のずれを検出する場合について説明する。
ａ，５ｂを用いて撮像対象物８と撮像部４との回転方向
のずれを検出する場合について説明する。
【００２４】図５に示すように、受光部５ａ，５ｂは互
いに平行に位置し、受光部５ａ，５ｂはそれぞれ光軸の
ずれを検出する。回転検出手段１２は受光部５ａ，５ｂ
が検出した光軸のずれから撮像対象物８と撮像部４との
回転方向の相対的ずれを検出する。
いに平行に位置し、受光部５ａ，５ｂはそれぞれ光軸の
ずれを検出する。回転検出手段１２は受光部５ａ，５ｂ
が検出した光軸のずれから撮像対象物８と撮像部４との
回転方向の相対的ずれを検出する。
【００２５】照射部２が撮像対象物８を照射した光は撮
像対象物８に反射されて結像部３に送られる。結像部３
は反射光を集光する。ビ−ムスプリッタ１１は結像部３
を経由した光の一部を受光部５に向けて反射する。撮像
部４と撮像対象物８の相対的位置がずれている場合は、
受光部５ａ，５ｂでは図６の受光部の構成図に示すよう
に反射光１３による結像位置１４と基準位置１５から光
軸のすれを検出し、撮像部４と撮像対象物８の相対的位
置ずれ及び位置ずれの量を検出する。回転検出手段１２
はそれぞれの受光部５ａ，５ｂが検出した光軸のずれか
ら、撮像対象物８と撮像部４との回転方向の相対的ずれ
及びずれの量を検出する。移動手段６は相対的位置ずれ
又は回転方向のずれが検出されると、検出されたずれの
量だけ撮像部４を移動又は回転し、撮像対象物８と撮像
部４の相対的位置を補正し、撮像部４に撮像対象物８の
像を正確に結像する。このように、撮像対象物８と撮像
部４の相対的位置又は回転方向の位置がずれている場合
にも、その位置を補正することができる。
像対象物８に反射されて結像部３に送られる。結像部３
は反射光を集光する。ビ−ムスプリッタ１１は結像部３
を経由した光の一部を受光部５に向けて反射する。撮像
部４と撮像対象物８の相対的位置がずれている場合は、
受光部５ａ，５ｂでは図６の受光部の構成図に示すよう
に反射光１３による結像位置１４と基準位置１５から光
軸のすれを検出し、撮像部４と撮像対象物８の相対的位
置ずれ及び位置ずれの量を検出する。回転検出手段１２
はそれぞれの受光部５ａ，５ｂが検出した光軸のずれか
ら、撮像対象物８と撮像部４との回転方向の相対的ずれ
及びずれの量を検出する。移動手段６は相対的位置ずれ
又は回転方向のずれが検出されると、検出されたずれの
量だけ撮像部４を移動又は回転し、撮像対象物８と撮像
部４の相対的位置を補正し、撮像部４に撮像対象物８の
像を正確に結像する。このように、撮像対象物８と撮像
部４の相対的位置又は回転方向の位置がずれている場合
にも、その位置を補正することができる。
【００２６】なお、上記実施例では撮像部４と撮像対象
物８の相対的位置がずれている場合は撮像部４を移動す
るようにしたが、ステ−ジ１を移動して撮像対象物８を
移動するようにしても良い。
物８の相対的位置がずれている場合は撮像部４を移動す
るようにしたが、ステ−ジ１を移動して撮像対象物８を
移動するようにしても良い。
【００２７】
【発明の効果】この発明は以上説明したように、受光部
は撮像部の周囲に配置され、撮像部からはずれて結像さ
れた像の位置ずれを検出し、移動手段は受光部が位置ず
れを検出したときに撮像部と撮像対象物の相対的位置を
位置ずれ分移動し、位置ずれを補正するので、位置ずれ
が大きくても位置を補正することができる。
は撮像部の周囲に配置され、撮像部からはずれて結像さ
れた像の位置ずれを検出し、移動手段は受光部が位置ず
れを検出したときに撮像部と撮像対象物の相対的位置を
位置ずれ分移動し、位置ずれを補正するので、位置ずれ
が大きくても位置を補正することができる。
【００２８】また、ビ−ムスプリッタは結像部をからの
光を分割反射し、受光部はビ−ムスプリッタで反射した
光の光軸のずれを検出し、移動手段は受光部が位置ずれ
を検出したときに撮像部と撮像対象物の位置を位置ずれ
分相対的に移動し、位置ずれを補正するので、微小なず
れも検出することができる。
光を分割反射し、受光部はビ−ムスプリッタで反射した
光の光軸のずれを検出し、移動手段は受光部が位置ずれ
を検出したときに撮像部と撮像対象物の位置を位置ずれ
分相対的に移動し、位置ずれを補正するので、微小なず
れも検出することができる。
【００２９】さらに、集光部はビ−ムスプリッタで反射
した光を受光部で結像するように集光し、受光部に正確
に像を結像するので、集光部とビ−ムスプリッタの間の
距離を変更することができる。
した光を受光部で結像するように集光し、受光部に正確
に像を結像するので、集光部とビ−ムスプリッタの間の
距離を変更することができる。
【００３０】また、回転検出手段は各受光部が検出した
光軸のずれから像の回転方向のずれを検出し、移動手段
は回転検出手段が回転方向のずれを検出したときに撮像
部と物体の回転方向の相対的位置を回転方向のずれ分移
動し、回転方向のずれを補正するので、撮像対象物の像
を常に正確に読み取ることができる。
光軸のずれから像の回転方向のずれを検出し、移動手段
は回転検出手段が回転方向のずれを検出したときに撮像
部と物体の回転方向の相対的位置を回転方向のずれ分移
動し、回転方向のずれを補正するので、撮像対象物の像
を常に正確に読み取ることができる。
【図１】この発明の実施例を示す構成図である。
【図２】受光部と撮像部の構成図である。
【図３】位置ずれを起した場合の構成図である。
【図４】ビ−ムスプリッタを用いた場合の実施例を示す
構成図である。
構成図である。
【図５】複数の受光部を用いた場合の実施例を示す構成
図である。
図である。
【図６】複数の受光部の構成図である。
１ ステ−ジ ２ 照射部 ３ 結像部 ４ 撮像部 ５ 受光部 ６ 移動手段 ８ 撮像対象物 １１ ビ−ムスプリッタ １２ 回転検出手段
Claims (4)
- 【請求項１】 照射部で撮像対象物に光を照射し、その
反射光を結像部で集光し、集光してできた像を撮像部で
読み取る撮像装置において、受光部と移動手段を有し、
受光部は撮像部の周囲に配置され、結像された像の位置
ずれを検出し、移動手段は受光部が位置ずれを検出した
ときに撮像部と撮像対象物の相対位置を位置ずれ分移動
することを特徴とする撮像装置。 - 【請求項２】 結像部と撮像部の間の光路上に結像部を
からの光を分割反射するビ−ムスプリッタを有し、受光
部はビ−ムスプリッタで反射した光の光軸のずれを検出
する請求項１記載の撮像装置。 - 【請求項３】 ビ−ムスプリッタと受光部の間の光路上
にビ−ムスプリッタで反射した光を受光部で結像するよ
うに集光する集光部を有する請求項２記載の撮像装置。 - 【請求項４】 平行に並べた複数の受光部と回転検出手
段を有し、各受光部はそれぞれ光軸のずれを検出し、回
転検出手段は各受光部が検出した光軸のずれから像の回
転方向のずれを検出し、移動手段は回転検出手段が回転
方向のずれを検出したときに撮像部と物体の回転方向の
相対的位置を回転方向のずれ分移動する請求項２又は３
記載の撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5348950A JPH07198322A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5348950A JPH07198322A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198322A true JPH07198322A (ja) | 1995-08-01 |
Family
ID=18400485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5348950A Pending JPH07198322A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07198322A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101581768B1 (ko) * | 2014-09-11 | 2015-12-31 | 엘아이지인베니아 주식회사 | 플렉시블 기판 처리장치 및 플렉시블 기판 처리방법 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP5348950A patent/JPH07198322A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101581768B1 (ko) * | 2014-09-11 | 2015-12-31 | 엘아이지인베니아 주식회사 | 플렉시블 기판 처리장치 및 플렉시블 기판 처리방법 |
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