JPH0719806A - コーティングの厚さまたは材質変化測定方法及び装置 - Google Patents

コーティングの厚さまたは材質変化測定方法及び装置

Info

Publication number
JPH0719806A
JPH0719806A JP18869593A JP18869593A JPH0719806A JP H0719806 A JPH0719806 A JP H0719806A JP 18869593 A JP18869593 A JP 18869593A JP 18869593 A JP18869593 A JP 18869593A JP H0719806 A JPH0719806 A JP H0719806A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
frequency
voltage
thickness
impedance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18869593A
Other languages
English (en)
Inventor
Tetsuo Shoji
哲雄 庄子
Takeshi Koyama
健 小山
Keiichi Shimomura
慶一 下村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tohoku Electric Power Co Inc
Original Assignee
Tohoku Electric Power Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tohoku Electric Power Co Inc filed Critical Tohoku Electric Power Co Inc
Priority to JP18869593A priority Critical patent/JPH0719806A/ja
Publication of JPH0719806A publication Critical patent/JPH0719806A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的はセラミックス等のコーティン
グの厚さまたは材質変化をコーティングを破壊すること
なく測定できる方法及び装置を得るにある。 【構成】 コーティングの2点間に周波数を変えながら
所定の電圧を印加し、この電圧の印加されたコーティン
グ部分の2点間の電位差を検出すると共に、上記電圧、
周波数及び電位差からコーティングの厚さまたは材質に
関するインピーダンスの周波数軌跡を求め、厚さまたは
材質の既知のものの上記インピーダンスの周波数軌跡を
メモリしておき、被測定コーティングのインピーダンス
の周波数軌跡をメモリ内のものと比較してその厚さまた
は材質を検知するコーティングの厚さまたは材質変化測
定方法及び装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はセラミックコーティング
の厚さまたは材質変化測定方法及び装置、特にインピー
ダンス・スペクトロスコピー(IS)法を適用したコー
ティングの厚さまたは材質変化測定方法及び装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】コーティング技術は機器・構造物部材の
耐磨耗性、耐酸化性、耐熱性向上のために不可欠な技術
となっている。セラミックスを用いた耐磨耗、遮熱コー
ティングあるいは金属材料による耐酸化コーティングは
使用中常に過酷な環境のもとにさらされることから、長
期使用により厚さ・材質の変化あるいは割れ・剥離等の
欠陥を生じることが予想される。
【0003】これらのコーティングの劣化を非破壊的に
評価する手法として、超音波を用いた方法をはじめ種々
の方法が提案されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、セラミ
ックス等の高抵抗材料のコーティングについてはこれら
提案の方法によっても未だ満足できる結果が得られてい
ない。
【0005】本発明の目的は、セラミックス等のコーテ
ィングの厚さまたは材質変化をセラミックコーティング
を破壊することなしに検知するようにした方法および装
置を提供するにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のコーティングの
厚さ変化測定装置は、コーティングの2点間に可変周波
数の交流電圧を印加するための電圧印加電極と、この電
極間における上記コーティングの2点間の電位差を検出
するための検出電極と、上記印加電圧、周波数および電
位差から上記コーティングの厚さに関するインピーダン
スの周波数軌跡を演算する演算回路と、この演算回路に
よって求めた各厚さ毎のインピーダンスの周波数軌跡を
記憶するメモリと、被測定コーティングの厚さについて
求めたインピーダンスの周波数軌跡を上記メモリ内のも
のと比較する比較器とより成ることを特徴とする。
【0007】本発明のコーティングの材質変化測定装置
は、コーティングの2点間に可変周波数の交流電圧を印
加するための電圧印加電極と、この電極間における上記
コーティングの2点間の電位差を検出するための検出電
極と、上記印加電圧、周波数および電位差から上記コー
ティングの材質に関するインピーダンスの周波数軌跡を
演算する演算回路と、この演算回路によって求めた各材
質毎のインピーダンスの周波数軌跡を記憶するメモリ
と、被測定コーティングの材質について求めたインピー
ダンスの周波数軌跡を上記メモリ内のものと比較する比
較器とより成ることを特徴とする。
【0008】本発明のコーティングの厚さ変化測定方法
は、既知の厚さのコーティングの2点間に電圧を印加
し、この電圧の周波数を変化した場合の上記電圧が印加
されたコーティングの2点間の電位差を測定する工程
と、上記印加電圧、周波数および電位差から上記コーテ
ィングの厚さに関するインピーダンスの周波数軌跡を演
算する工程と、コーティングの種々の厚さに対する上記
インピーダンスの周波数軌跡を上記工程により求めメモ
リする工程と、被測定コーティングから得たコーティン
グの厚さに関するインピーダンスの周波数軌跡を上記メ
モリ内のインピーダンスの周波数軌跡と比較し被測定コ
ーティングの厚さを求める工程とより成ることを特徴と
する。
【0009】本発明のコーティングの材質変化測定方法
は、既知の材質のコーティングの2点間に電圧を印加
し、この電圧の周波数を変化した場合の上記電圧が印加
されたコーティングの2点間の電位差を測定する工程
と、上記印加電圧、周波数および電位差から上記コーテ
ィングの材質に関するインピーダンスの周波数軌跡を演
算する工程と、コーティングの種々の材質に対する上記
インピーダンスの周波数軌跡を上記工程により求めメモ
リする工程と、被測定コーティングから得たコーティン
グの材質に関するインピーダンスの周波数軌跡を上記メ
モリ内のインピーダンスの周波数軌跡と比較し被測定コ
ーティングの材質を求める工程とより成ることを特徴と
する。
【0010】
【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明す
る。
【0011】従来セラミックス素材の材質評価にインピ
ーダンス・スペクトロスコピー(IS)法を適用するこ
とが試みられている。本発明者は種々実験研究の結果、
IS法によって得たコーティングの2点間のインピーダ
ンスの周波数軌跡がそのセラミックコーティングの経年
損傷に基づくセラミックコーティングの厚さまたは材質
変化に対応するものであることを見出した。
【0012】本発明はかかる知見に基づいてなされたも
のである。
【0013】図1は本発明装置の検出部の説明図であっ
て、1は基材、2はその上面に被覆されたセラミックコ
ーティング、3,3はこのコーティング2上の離間した
2点上に配置した電圧印加電極、4はこれら電極3,3
間に交流電圧を加えるための周波数可変の電源、5,5
は上記電圧印加電極3,3の内側において上記セラミッ
クコーティング2上の離間した2点上に配置した検出電
極、6はこの検出電極5,5間の電位差を測定する電位
差計である。
【0014】測定系全体のインピーダンスは、図2に示
すように電極3とセラミックコーティング2間の接触抵
抗Re、およびセラミックコーティング2の抵抗Rb、
容量Cbからなる等価回路で置き換えることができる。
【0015】電源4の周波数を変えて得られるインピー
ダンスの周波数軌跡は複素平面上で図3のように示され
る。この図3のωを示す半円の立上がりからRe、直径
からRb、そして半円の頂点での周波数からCb=1/
(ωmax・Rb)として、Cbをそれぞれ求めること
ができる。このRb,Cb等のインピーダンス特性値は
コーティング2の厚さや材質変化によって異なるように
なる。
【0016】従って本発明装置においては図4に示すよ
うに厚さの知られているコーティングに図1に示す装置
によって電圧を印加し、上記電源4の電圧及び周波数
と、電位差計6の出力から演算回路7によって上記コー
ティングの厚さに関するインピーダンスの周波数軌跡を
複素平面上で表したパターンを作り、このパターンをコ
ーティングの厚さ毎にメモリ8に貯えておく。
【0017】次いで、経年損傷を測定すべきコーティン
グについて上記と同様パターンを得た後これを比較器9
によって上記メモリ8内のパターンと比較し、この比較
結果得られたものを被測定コーティングの厚さとして取
り出し、この厚さが経年損傷によって変化したか否かを
判定する。
【0018】本発明装置においては電源4によって電極
3,3間に印加する電圧は例えば1Vとし、その周波数
は1Hz〜10MHz間で変化せしめるのが好ましく、
また、上記検出電極5,5は上記電圧印加電極3,3に
接近した位置とするのが好ましいことが実験により確か
められた。
【0019】なお、上記の説明はコーティングの厚さ測
定の例であるが、同様にしてコーティングの材質測定に
も用いることができる。
【0020】即ち、材質の知られているコーティングに
図1に示す検出部によって周波数を変えながら電圧を印
加し、上記電源4の電圧及び周波数と、電位差計6の出
力から演算回路7によって上記コーティングの材質に関
するインピーダンスの周波数軌跡を複素平面上で表した
パターンを作り、このパターンをコーティングの材質毎
にメモリ8に貯えておく。
【0021】次いで、経年損傷を測定すべきコーティン
グについて同様のパターンを得た後これを比較器9によ
って比較し、この比較結果得られた被測定体のコーティ
ング材質として取り出し、この材質が経年損傷によって
変化したか否かを判定する。
【0022】本発明装置においてはセラミックコーティ
ングのみならず電導度の低いコーティングにも同様にし
て適用することができる。
【0023】
【発明の効果】上記のように本発明によれば、従来破壊
することなく正確に測定できなかったセラミックス等の
コーティングの厚さまたは材質の変化からそのコーティ
ングの経年変化を極めて容易に判定できるようになる大
きな利益がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のコーティングの厚さまたは材質変化測
定装置の検出部の説明図である。
【図2】インピーダンス・スペクトロスコピー法におけ
るインピーダンス測定の説明図である。
【図3】インピーダンス・スペクトロスコピー法におけ
るインピーダンス測定の説明図である。
【図4】本発明装置の演算部の説明図である。
【符号の説明】
1 基材 2 セラミックコーティング 3 電圧印加電極 4 電源 5 検出電極 6 電位差計 7 演算回路 8 メモリ 9 比較器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 下村 慶一 宮城県仙台市青葉区中山七丁目2番1号 東北電力株式会社応用技術研究所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コーティングの2点間に可変周波数の交
    流電圧を印加するための電圧印加電極と、この電極間に
    おける上記コーティングの2点間の電位差を検出するた
    めの検出電極と、上記印加電圧、周波数および電位差か
    ら上記コーティングの厚さに関するインピーダンスの周
    波数軌跡を演算する演算回路と、この演算回路によって
    求めた各厚さ毎のインピーダンスの周波数軌跡を記憶す
    るメモリと、被測定コーティングの厚さについて求めた
    インピーダンスの周波数軌跡を上記メモリ内のものと比
    較する比較器とより成ることを特徴とするコーティング
    の厚さ変化測定装置。
  2. 【請求項2】 コーティングの2点間に可変周波数の交
    流電圧を印加するための電圧印加電極と、この電極間に
    おける上記コーティングの2点間の電位差を検出するた
    めの検出電極と、上記印加電圧、周波数および電位差か
    ら上記コーティングの材質に関するインピーダンスの周
    波数軌跡を演算する演算回路と、この演算回路によって
    求めた各材質毎のインピーダンスの周波数軌跡を記憶す
    るメモリと、被測定コーティングの材質について求めた
    インピーダンスの周波数軌跡を上記メモリ内のものと比
    較する比較器とより成ることを特徴とするコーティング
    の材質変化測定装置。
  3. 【請求項3】 既知の厚さのコーティングの2点間に電
    圧を印加し、この電圧の周波数を変化した場合の上記電
    圧が印加されたコーティングの2点間の電位差を測定す
    る工程と、 上記印加電圧、周波数および電位差から上記コーティン
    グの厚さに関するインピーダンスの周波数軌跡を演算す
    る工程と、 コーティングの種々の厚さに対する上記インピーダンス
    の周波数軌跡を上記工程により求めメモリする工程と、 被測定コーティングから得たコーティングの厚さに関す
    るインピーダンスの周波数軌跡を上記メモリ内のインピ
    ーダンスの周波数軌跡と比較し被測定コーティングの厚
    さを求める工程とより成ることを特徴とするコーティン
    グの厚さ変化測定方法。
  4. 【請求項4】 既知の材質のコーティングの2点間に電
    圧を印加し、この電圧の周波数を変化した場合の上記電
    圧が印加されたコーティングの2点間の電位差を測定す
    る工程と、 上記印加電圧、周波数および電位差から上記コーティン
    グの材質に関するインピーダンスの周波数軌跡を演算す
    る工程と、 コーティングの種々の材質に対する上記インピーダンス
    の周波数軌跡を上記工程により求めメモリする工程と、 被測定コーティングから得たコーティングの材質に関す
    るインピーダンスの周波数軌跡を上記メモリ内のインピ
    ーダンスの周波数軌跡と比較し被測定コーティングの材
    質を求める工程とより成ることを特徴とするコーティン
    グの材質変化測定方法。
JP18869593A 1993-07-02 1993-07-02 コーティングの厚さまたは材質変化測定方法及び装置 Pending JPH0719806A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18869593A JPH0719806A (ja) 1993-07-02 1993-07-02 コーティングの厚さまたは材質変化測定方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18869593A JPH0719806A (ja) 1993-07-02 1993-07-02 コーティングの厚さまたは材質変化測定方法及び装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0719806A true JPH0719806A (ja) 1995-01-20

Family

ID=16228209

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18869593A Pending JPH0719806A (ja) 1993-07-02 1993-07-02 コーティングの厚さまたは材質変化測定方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0719806A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013229349A (ja) * 2013-07-19 2013-11-07 Yokogawa Electric Corp インピーダンス特性評価方法およびインピーダンス特性評価装置
KR20160053615A (ko) * 2014-11-05 2016-05-13 한국표준과학연구원 코팅 두께 측정 장치 및 방법
CN105675657A (zh) * 2016-01-12 2016-06-15 中国地质大学(武汉) 一种基于趋肤效应的样品表面覆膜无损检测方法及系统

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013229349A (ja) * 2013-07-19 2013-11-07 Yokogawa Electric Corp インピーダンス特性評価方法およびインピーダンス特性評価装置
KR20160053615A (ko) * 2014-11-05 2016-05-13 한국표준과학연구원 코팅 두께 측정 장치 및 방법
CN105675657A (zh) * 2016-01-12 2016-06-15 中国地质大学(武汉) 一种基于趋肤效应的样品表面覆膜无损检测方法及系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Yang et al. Pulsed eddy-current measurement of a conducting coating on a magnetic metal plate
Jorcin et al. CPE analysis by local electrochemical impedance spectroscopy
JPH0719806A (ja) コーティングの厚さまたは材質変化測定方法及び装置
US5455507A (en) Method and apparatus for detecting leaks in electrically-insulative protective articles such as condoms, surgical gloves and the like using gaseous electrostatic ions
JPH0633260A (ja) リン酸塩被覆の品質を監視する方法およびシステム
JP4634792B2 (ja) 電解加工中のギャップのランニング値を決定する方法及び装置
JPH04172241A (ja) 塗膜下腐食測定装置
WO1995027896A1 (en) Measurement
JPH05203604A (ja) 酸素濃度測定方法と装置
Zou et al. Diffusion effects in localized electrochemical impedance measurements by probe methods
JPH0335151A (ja) 金属材料の腐食計測方法
Lai et al. Measurement of crack-profiles using AC field measurement method
JP3505638B2 (ja) コンクリート面有機皮膜のピンホール検出方法
JP2001108660A (ja) 被膜検査方法および装置
JP3351106B2 (ja) 導電性被検査材の誘導加熱探傷装置
JPS6447960A (en) Method and apparatus for measuring resistivity
JPS6217699B2 (ja)
SU1177778A1 (ru) Способ определени координат дефектов в электроизол ционных материалах
Thompson et al. The development of a non-contact probe for AC impedance measurements
JP2836097B2 (ja) 欠陥検出装置及び検出方法
Ludwig et al. Assessing protective layers on metal packaging material by electrochemical impedance spectroscopy-EIS
Heuret et al. Bonding analysis of layered materials by photothermal radiometry
JPH0792127A (ja) 絶縁被覆の亀裂測定方法および装置
SU1634988A1 (ru) Емкостный способ измерени толщины покрытий на провод щем основании
SU847166A1 (ru) Способ определени прочности сцеплени пОКРыТи C пОдлОжКОй