JPH07191293A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
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- JPH07191293A JPH07191293A JP33161793A JP33161793A JPH07191293A JP H07191293 A JPH07191293 A JP H07191293A JP 33161793 A JP33161793 A JP 33161793A JP 33161793 A JP33161793 A JP 33161793A JP H07191293 A JPH07191293 A JP H07191293A
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- motor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高精度な位置決めを安定して行うことができ
る位置決め装置を提供する。 【構成】 モータ２は所定のパルス数の入力を受けて該
パルス数に応じた回転をすると、回転はモータ２の駆動
軸より、咬み合うネジ部３を介して１軸送りテーブル４
に伝えられ、１軸送りテーブル４は、矢印Ｃ方向に移動
する。１軸送りテーブル４の矢印Ｃ方向の移動に伴い、
回転案内機構５も同様に矢印Ｃ方向に移動することによ
り、回転案内機構５と回転部５ａにより接続する直線案
内機構６は矢印Ｃ方向に移動し、また、回転部５ａは矢
印Ｅ方向に回転する。そして、直線案内機構６の矢印Ｃ
方向の移動により、クロスローラリング７により受けら
れた回転テーブル８は回転中心点Ｂを中心に矢印Ｊ方向
に回転する。
る位置決め装置を提供する。 【構成】 モータ２は所定のパルス数の入力を受けて該
パルス数に応じた回転をすると、回転はモータ２の駆動
軸より、咬み合うネジ部３を介して１軸送りテーブル４
に伝えられ、１軸送りテーブル４は、矢印Ｃ方向に移動
する。１軸送りテーブル４の矢印Ｃ方向の移動に伴い、
回転案内機構５も同様に矢印Ｃ方向に移動することによ
り、回転案内機構５と回転部５ａにより接続する直線案
内機構６は矢印Ｃ方向に移動し、また、回転部５ａは矢
印Ｅ方向に回転する。そして、直線案内機構６の矢印Ｃ
方向の移動により、クロスローラリング７により受けら
れた回転テーブル８は回転中心点Ｂを中心に矢印Ｊ方向
に回転する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は位置決め装置に関するも
ので、特に、液晶パネルの通電検査の際に使用される位
置決め装置に関するものである。
ので、特に、液晶パネルの通電検査の際に使用される位
置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の位置決め装置としては、図７若し
くは図８に示すようなものがある。図７の位置決め装置
で、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図であり、予め定め
られたパルス数がモータ２１に入力されると、そのパル
ス数に応じてモータ２１が回転し、その回転がモータ２
１と直結した回転テーブル２２に伝達されて位置決めを
行うものである。
くは図８に示すようなものがある。図７の位置決め装置
で、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図であり、予め定め
られたパルス数がモータ２１に入力されると、そのパル
ス数に応じてモータ２１が回転し、その回転がモータ２
１と直結した回転テーブル２２に伝達されて位置決めを
行うものである。
【０００３】また、図８の位置決め装置で、（ａ）は正
面図、（ｂ）は内部構造説明図であり、パルス数に応じ
てモータ２１が回転すると、その回転がウォーム２４を
有する軸２３に伝達される。そして、ウォーム２４が回
転テーブル２２のウォームホイール２５と咬合している
ことより、回転テーブル２２は軸２６を中心に回転して
位置決めを行うものである。
面図、（ｂ）は内部構造説明図であり、パルス数に応じ
てモータ２１が回転すると、その回転がウォーム２４を
有する軸２３に伝達される。そして、ウォーム２４が回
転テーブル２２のウォームホイール２５と咬合している
ことより、回転テーブル２２は軸２６を中心に回転して
位置決めを行うものである。
【０００４】さらに、他の従来の位置決め装置として
は、特開昭６３−３００８３６号公報に開示されるよう
ものがある。この公報の微小位置決め機構は送りねじの
回転を受けて摺動する楔部材と、該楔部材に形成された
傾斜したカム面に接して、前記楔部材に直交した方向に
摺動する負荷軸とからなるもので、送りねじの所定の回
転を受けて楔部材が移動すると、楔部材とカム面で接す
る負荷軸が楔部材の移動量に応じて楔部材の移動方向と
は直交した方向に移動するものである。
は、特開昭６３−３００８３６号公報に開示されるよう
ものがある。この公報の微小位置決め機構は送りねじの
回転を受けて摺動する楔部材と、該楔部材に形成された
傾斜したカム面に接して、前記楔部材に直交した方向に
摺動する負荷軸とからなるもので、送りねじの所定の回
転を受けて楔部材が移動すると、楔部材とカム面で接す
る負荷軸が楔部材の移動量に応じて楔部材の移動方向と
は直交した方向に移動するものである。
【０００５】また、特開平３−１６４０７５号公報には
精密直動アクチュエーターが開示されている。これは、
ハウジング内に装着されたローター及びステーターから
なる円環状のモータと、出力軸と、出力軸とローターと
がナット及びスクリュウを介して連結するもので、モー
タの回転により出力軸が軸方向に摺動するものである。
精密直動アクチュエーターが開示されている。これは、
ハウジング内に装着されたローター及びステーターから
なる円環状のモータと、出力軸と、出力軸とローターと
がナット及びスクリュウを介して連結するもので、モー
タの回転により出力軸が軸方向に摺動するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、今日要
求される位置決め精度は、例えば、端子間ピッチが８０
μｍの液晶パネルを通電検査する際の位置決め精度とし
て角度分解能±０．００１°という高精度が要求されて
る。
求される位置決め精度は、例えば、端子間ピッチが８０
μｍの液晶パネルを通電検査する際の位置決め精度とし
て角度分解能±０．００１°という高精度が要求されて
る。
【０００７】前述した図７の構造では、モータ２１の分
解能がそのまま回転テーブル２２の分解能となるため、
分解能が高いとされる価格的にも高価であるハーモニッ
クモータを用いた時でさえ±０．００３６°程度の精度
が限界であった。
解能がそのまま回転テーブル２２の分解能となるため、
分解能が高いとされる価格的にも高価であるハーモニッ
クモータを用いた時でさえ±０．００３６°程度の精度
が限界であった。
【０００８】また、前述した図８の構造では、ウォーム
２４とウォームホイール２５との間にバックラッシュが
生じるため、精度が悪くなる問題があった。
２４とウォームホイール２５との間にバックラッシュが
生じるため、精度が悪くなる問題があった。
【０００９】さらに、前述した特開昭６３−３００８３
６号公報では、負荷軸とカム面を常に接した状態に保持
するために負荷軸をコイルバネを用いてカム面に押し付
けていた。そのため、モータには負荷荷重の他にコイル
バネの反力が加わるため、モータにはそれらの負荷を考
慮した大きな推力が必要となる。そのため、推力の大き
なモータを用いるために機構的にも大きくなりコスト的
にも高価なものとなる。
６号公報では、負荷軸とカム面を常に接した状態に保持
するために負荷軸をコイルバネを用いてカム面に押し付
けていた。そのため、モータには負荷荷重の他にコイル
バネの反力が加わるため、モータにはそれらの負荷を考
慮した大きな推力が必要となる。そのため、推力の大き
なモータを用いるために機構的にも大きくなりコスト的
にも高価なものとなる。
【００１０】前述した特開平３−１６４０７５号公報で
は、駆動源として超音波モータを用いている。超音波モ
ータは非常に高い回転位置決め精度及び分解能を持つ
が、その寿命、安定性及び価格面において問題がある。
さらに、このような高精度な超音波モータを使用してい
るにもかかわらず、軸方向の送り分解能が０．０１１
［μm/ハ゜ルス］程度、角度分解能にして０．００４°程度
と十分満足できるような位置決め分解能とはいえなかっ
た。
は、駆動源として超音波モータを用いている。超音波モ
ータは非常に高い回転位置決め精度及び分解能を持つ
が、その寿命、安定性及び価格面において問題がある。
さらに、このような高精度な超音波モータを使用してい
るにもかかわらず、軸方向の送り分解能が０．０１１
［μm/ハ゜ルス］程度、角度分解能にして０．００４°程度
と十分満足できるような位置決め分解能とはいえなかっ
た。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題の解
決を目的としたものであり、出力源により一定方向に摺
動自在になされた１軸送りテーブルと、該１軸送りテー
ブルに設けられ、一端に回転自在な回転部を有する回転
案内機構と、回転テーブルと、前記回転案内機構の回転
部で接続される一方、前記回転テーブルに連結されて、
前記１軸送りテーブルの摺動に応動して前記回転案内機
構の回転部及び前記回転テーブルのそれぞれの回転中心
を結ぶ線方向に摺動自在になされた直線案内機構とから
なるものである。
決を目的としたものであり、出力源により一定方向に摺
動自在になされた１軸送りテーブルと、該１軸送りテー
ブルに設けられ、一端に回転自在な回転部を有する回転
案内機構と、回転テーブルと、前記回転案内機構の回転
部で接続される一方、前記回転テーブルに連結されて、
前記１軸送りテーブルの摺動に応動して前記回転案内機
構の回転部及び前記回転テーブルのそれぞれの回転中心
を結ぶ線方向に摺動自在になされた直線案内機構とから
なるものである。
【００１２】
【作用】従って、本発明の位置決め装置によれば、位置
決め動作時に、がたやバックラッシュを発生させずに高
精度の位置決め動作ができるものである。
決め動作時に、がたやバックラッシュを発生させずに高
精度の位置決め動作ができるものである。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の位置決め装置の一実施例を図
１乃至図３に従って詳細に説明する。図１は位置決め装
置の概略説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は一部断面
を示す側面図、（ｃ）は（ｂ）におけるＹ部の拡大図で
あり、図２は位置決め装置の位置決め動作の説明図であ
り、図３はクロスローラリングの説明図で、（ａ）は正
面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は断面図である。
１乃至図３に従って詳細に説明する。図１は位置決め装
置の概略説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は一部断面
を示す側面図、（ｃ）は（ｂ）におけるＹ部の拡大図で
あり、図２は位置決め装置の位置決め動作の説明図であ
り、図３はクロスローラリングの説明図で、（ａ）は正
面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は断面図である。
【００１４】１はベース基板であり、ベース基板１上に
は位置決め制御するためのモータ２と、モータ２の駆動
軸が嵌挿され駆動軸のネジと咬み合うネジ部３が形成さ
れた１軸送りテーブル４と、１軸送りテーブル４に固定
され、先端部にベアリング等により回転支点Ａを中心に
回転する回転部５ａが設けられた回転案内機構５と、回
転案内機構５の回転部５ａで接続され、回転案内機構５
の動きに応じて後述する回転テーブル及び回転案内機構
５の回転部５ａとのそれぞれの回転中心とを結ぶ線方向
に摺動自在となる直線案内機構６と、直線案内機構６と
連結され、クロスローラリング７により回転中心点Ｂを
中心に回転可能な状態にある回転テーブル８とが設けら
れている。また、クロスローラリング７はベース基板１
に固定された外輪７ａと、回転テーブル８が載せられた
内輪７ｂと、外輪７ａ及び内輪７ｂ間に挟設されたころ
７ｃとからなることにより、内輪７ｂは回転自在となる
ものである。
は位置決め制御するためのモータ２と、モータ２の駆動
軸が嵌挿され駆動軸のネジと咬み合うネジ部３が形成さ
れた１軸送りテーブル４と、１軸送りテーブル４に固定
され、先端部にベアリング等により回転支点Ａを中心に
回転する回転部５ａが設けられた回転案内機構５と、回
転案内機構５の回転部５ａで接続され、回転案内機構５
の動きに応じて後述する回転テーブル及び回転案内機構
５の回転部５ａとのそれぞれの回転中心とを結ぶ線方向
に摺動自在となる直線案内機構６と、直線案内機構６と
連結され、クロスローラリング７により回転中心点Ｂを
中心に回転可能な状態にある回転テーブル８とが設けら
れている。また、クロスローラリング７はベース基板１
に固定された外輪７ａと、回転テーブル８が載せられた
内輪７ｂと、外輪７ａ及び内輪７ｂ間に挟設されたころ
７ｃとからなることにより、内輪７ｂは回転自在となる
ものである。
【００１５】次に、本実施例の位置決め装置において回
転テーブル８を矢印Ｊ方向に回転させる時の動作を説明
する。まず、モータ２は所定のパルス数の入力を受けて
該パルス数に応じた回転をすると、回転はモータ２の駆
動軸より、咬み合うネジ部３を介して１軸送りテーブル
４に伝えられ、１軸送りテーブル４は、矢印Ｃ方向に移
動する。１軸送りテーブル４の矢印Ｃ方向の移動に伴
い、回転案内機構５も同様に矢印Ｃ方向に移動すること
により、回転案内機構５の回転部５ａにより接続する直
線案内機構６は矢印Ｃ方向に移動し、また、回転部５ａ
は矢印Ｅ方向に回転する。そして、直線案内機構６の矢
印Ｃ方向の移動により、クロスローラリング７により受
けられた回転テーブル８は回転中心点Ｂを中心に矢印Ｊ
方向に回転する。
転テーブル８を矢印Ｊ方向に回転させる時の動作を説明
する。まず、モータ２は所定のパルス数の入力を受けて
該パルス数に応じた回転をすると、回転はモータ２の駆
動軸より、咬み合うネジ部３を介して１軸送りテーブル
４に伝えられ、１軸送りテーブル４は、矢印Ｃ方向に移
動する。１軸送りテーブル４の矢印Ｃ方向の移動に伴
い、回転案内機構５も同様に矢印Ｃ方向に移動すること
により、回転案内機構５の回転部５ａにより接続する直
線案内機構６は矢印Ｃ方向に移動し、また、回転部５ａ
は矢印Ｅ方向に回転する。そして、直線案内機構６の矢
印Ｃ方向の移動により、クロスローラリング７により受
けられた回転テーブル８は回転中心点Ｂを中心に矢印Ｊ
方向に回転する。
【００１６】以上のように本実施例の位置決め装置は動
作するものであるが、例えば、回転テーブル８が矢印Ｊ
方向にθ°回転して位置決め動作する場合について具体
的に説明する。位置決め装置の位置決め動作前の最初の
位置を図１の状態であるとし、回転案内機構５の回転部
５ａの回転支点Ａと回転テーブル８の回転中心Ｂとの間
の距離をＬとする。回転テーブル８を矢印Ｊ方向にθ°
回転させるために、モータ２の駆動により１軸送りテー
ブル４が矢印Ｃ方向に変位量Ｚだけ移動すると、それに
伴い回転案内機構５も１軸送りテーブル４とともに、変
位量Ｚだけ矢印Ｃ方向に移動する。この時、回転案内機
構５は回転部５ａの部分で直線案内機構６と接続してい
るから、回転部５ａは矢印Ｅ方向にθ°回転する。この
移動後の回転支点Ａと回転中心点Ｂとの間の距離をＬ´
とすると、該Ｌ´と移動前のＡ−Ｂ間の距離Ｌとの差
ΔＬは、 ΔＬ＝Ｌ´ −Ｌ＝（Ｌ／ｃｏｓθ）−Ｌ＝Ｌ｛（１／
ｃｏｓθ）−１｝＝Ｌ｛（１−ｃｏｓθ）／ｃｏｓθ｝ の差が生じることになる。
作するものであるが、例えば、回転テーブル８が矢印Ｊ
方向にθ°回転して位置決め動作する場合について具体
的に説明する。位置決め装置の位置決め動作前の最初の
位置を図１の状態であるとし、回転案内機構５の回転部
５ａの回転支点Ａと回転テーブル８の回転中心Ｂとの間
の距離をＬとする。回転テーブル８を矢印Ｊ方向にθ°
回転させるために、モータ２の駆動により１軸送りテー
ブル４が矢印Ｃ方向に変位量Ｚだけ移動すると、それに
伴い回転案内機構５も１軸送りテーブル４とともに、変
位量Ｚだけ矢印Ｃ方向に移動する。この時、回転案内機
構５は回転部５ａの部分で直線案内機構６と接続してい
るから、回転部５ａは矢印Ｅ方向にθ°回転する。この
移動後の回転支点Ａと回転中心点Ｂとの間の距離をＬ´
とすると、該Ｌ´と移動前のＡ−Ｂ間の距離Ｌとの差
ΔＬは、 ΔＬ＝Ｌ´ −Ｌ＝（Ｌ／ｃｏｓθ）−Ｌ＝Ｌ｛（１／
ｃｏｓθ）−１｝＝Ｌ｛（１−ｃｏｓθ）／ｃｏｓθ｝ の差が生じることになる。
【００１７】この差ΔＬを位置決め動作時に吸収されな
ければスムーズな位置決め動作ができないものである
が、本実施例の位置決め装置では回転テーブル８と連結
する直線案内機構６が回転支点Ａ及び回転中心点Ｂとを
結ぶ線に平行な方向、即ち矢印Ｈ−Ｇ方向に摺動自在と
なっているので、この場合にはΔＬを吸収するために直
線案内機構６は矢印Ｇ方向にΔＬだけ移動することにな
る。そして、クロスローラリング７に回転案内される回
転テーブル８は矢印Ｊ方向にθ°案内されることにな
る。
ければスムーズな位置決め動作ができないものである
が、本実施例の位置決め装置では回転テーブル８と連結
する直線案内機構６が回転支点Ａ及び回転中心点Ｂとを
結ぶ線に平行な方向、即ち矢印Ｈ−Ｇ方向に摺動自在と
なっているので、この場合にはΔＬを吸収するために直
線案内機構６は矢印Ｇ方向にΔＬだけ移動することにな
る。そして、クロスローラリング７に回転案内される回
転テーブル８は矢印Ｊ方向にθ°案内されることにな
る。
【００１８】次に、本実施例の位置決め装置の角度分解
能を求める。現在一般に用いられるパルスモータの角度
分解能は±０．３６°程度が限界であるが、本実施例の
位置決め装置の角度分解能は、１軸送りテーブル４の分
解能をＫ［mm/ハ゜ルス］、回転支点Ａと回転中心点Ｂ間の
距離をＬ［mm］、ネジ型３のリードをＭ［mm/回転］、
モータ２の１回転分割数をＮ［ハ゜ルス/回転］ とすると、
角度分解能α［°/ハ゜ルス］は、 α＝tan-1（Ｋ／Ｌ）＝tan-1（Ｍ／Ｎ×Ｌ） ・・・・・（１） で求めることができる。
能を求める。現在一般に用いられるパルスモータの角度
分解能は±０．３６°程度が限界であるが、本実施例の
位置決め装置の角度分解能は、１軸送りテーブル４の分
解能をＫ［mm/ハ゜ルス］、回転支点Ａと回転中心点Ｂ間の
距離をＬ［mm］、ネジ型３のリードをＭ［mm/回転］、
モータ２の１回転分割数をＮ［ハ゜ルス/回転］ とすると、
角度分解能α［°/ハ゜ルス］は、 α＝tan-1（Ｋ／Ｌ）＝tan-1（Ｍ／Ｎ×Ｌ） ・・・・・（１） で求めることができる。
【００１９】ここで、ネジ型３のリードＭを１［mm/回
転］、モータ２の分解能を０．３６°、回転支点Ａと回
転中心点Ｂ間の距離Ｌを１００［mm］とすると、角度分
解能αは、 α＝tan-1（Ｍ／Ｎ×Ｌ）＝tan-1（１／
（３６０／０．３６）×１００）＝５．７×１０-4［°
/ハ゜ルス］ となり、モータ２の分解能の６００倍以上という非常に
高い分解能を得ることができる。また、（１）式から分
かるように回転支点Ａと回転中心点Ｂ間の距離Ｌを更に
長くすることにより、更に高い角度分解能を得ることが
できる。
転］、モータ２の分解能を０．３６°、回転支点Ａと回
転中心点Ｂ間の距離Ｌを１００［mm］とすると、角度分
解能αは、 α＝tan-1（Ｍ／Ｎ×Ｌ）＝tan-1（１／
（３６０／０．３６）×１００）＝５．７×１０-4［°
/ハ゜ルス］ となり、モータ２の分解能の６００倍以上という非常に
高い分解能を得ることができる。また、（１）式から分
かるように回転支点Ａと回転中心点Ｂ間の距離Ｌを更に
長くすることにより、更に高い角度分解能を得ることが
できる。
【００２０】次に、本実施例の位置決め装置のトルクＴ
［kgf・cm］を求める。モータ２の推力をＰ［kgf］、ト
ルクをＴX［kgf・cm］、効率をηとすると、 ＴX＝Ｐ・Ｍ／２π・η ・・・・・・（２） よりモータ２のトルクＴXを求める。（２）式より、ト
ルクＴは、 Ｔ＝Ｐ・Ｌ＝（２π・η・ＴX）×Ｌ／Ｍ ・・・・・（３） より求めることができる。ここで、モータ２のトルクＴ
Xを１．３５［kgf・cm］、効率ηを０．９として（３）
式よりトルクＴを求めると、 Ｔ＝２π×０．９×１．３５×１００／１＝７６３．４
［kgf・cm］ となり、モータ２のトルクの５００倍以上の高トルクを
得ることができる。
［kgf・cm］を求める。モータ２の推力をＰ［kgf］、ト
ルクをＴX［kgf・cm］、効率をηとすると、 ＴX＝Ｐ・Ｍ／２π・η ・・・・・・（２） よりモータ２のトルクＴXを求める。（２）式より、ト
ルクＴは、 Ｔ＝Ｐ・Ｌ＝（２π・η・ＴX）×Ｌ／Ｍ ・・・・・（３） より求めることができる。ここで、モータ２のトルクＴ
Xを１．３５［kgf・cm］、効率ηを０．９として（３）
式よりトルクＴを求めると、 Ｔ＝２π×０．９×１．３５×１００／１＝７６３．４
［kgf・cm］ となり、モータ２のトルクの５００倍以上の高トルクを
得ることができる。
【００２１】前述した実施例では回転方向の位置補正を
行うものであるが、次に述べる実施例は直線方向の位置
補正を行うものである。
行うものであるが、次に述べる実施例は直線方向の位置
補正を行うものである。
【００２２】以下、本発明の第２の実施例を図４を用い
て詳細に説明する。図４で、（ａ）は正面図、（ｂ）は
一部断面を示す側面図であり、図４で用いられる符号で
図１乃至図３で用いられている符号と同一のものは同一
の部分を示すものとする。
て詳細に説明する。図４で、（ａ）は正面図、（ｂ）は
一部断面を示す側面図であり、図４で用いられる符号で
図１乃至図３で用いられている符号と同一のものは同一
の部分を示すものとする。
【００２３】９はベース基板１に固定されたフレーム１
２に設けられた直線移動機構であり、直線移動機構９に
は回転テーブル８の回転中心点Ｂに合わせて設けられた
送りねじ１１と咬合するナット１０が設けられている。
２に設けられた直線移動機構であり、直線移動機構９に
は回転テーブル８の回転中心点Ｂに合わせて設けられた
送りねじ１１と咬合するナット１０が設けられている。
【００２４】この実施例における位置決め動作は回転テ
ーブル８が矢印Ｉ若しくはＪ方向に回転することによ
り、回転テーブル８上に設けられた送りねじ１１も同じ
方向に回転する。そして、送りねじ１１にナット１０が
咬合しているので、直線移動機構９が矢印Ｑ若しくはＲ
方向に移動するものである。
ーブル８が矢印Ｉ若しくはＪ方向に回転することによ
り、回転テーブル８上に設けられた送りねじ１１も同じ
方向に回転する。そして、送りねじ１１にナット１０が
咬合しているので、直線移動機構９が矢印Ｑ若しくはＲ
方向に移動するものである。
【００２５】この実施例の位置決め装置の直線分解能Ｓ
［μｍ/ハ゜ルス］を、送りねじ１１のリードＭ´を１［mm/
回転］ として、以下の式より求めると、 Ｓ＝Ｍ´／Ｎ＝１／｛３６０／（５．７×１０-4）｝ ＝１．５８×１０-3［μｍ/ハ゜ルス］ となり、非常に高い直線分解能を得ることができる。
［μｍ/ハ゜ルス］を、送りねじ１１のリードＭ´を１［mm/
回転］ として、以下の式より求めると、 Ｓ＝Ｍ´／Ｎ＝１／｛３６０／（５．７×１０-4）｝ ＝１．５８×１０-3［μｍ/ハ゜ルス］ となり、非常に高い直線分解能を得ることができる。
【００２６】図５及び図６は、前述した２つの実施例に
それぞれ回転角度及び直線移動位置を検出する装置を設
けたものを示すものである。図５は回転の位置補正を行
う第１の実施例において、回転角度検出装置１３を回転
テーブル８の下面に回転中心点Ｂの軸と接続させて設け
ている。
それぞれ回転角度及び直線移動位置を検出する装置を設
けたものを示すものである。図５は回転の位置補正を行
う第１の実施例において、回転角度検出装置１３を回転
テーブル８の下面に回転中心点Ｂの軸と接続させて設け
ている。
【００２７】一方、図６は直線移動の位置補正を行う第
２の実施例において、直線移動検出装置１４を直線移動
機構９の横に設けている。
２の実施例において、直線移動検出装置１４を直線移動
機構９の横に設けている。
【００２８】回転角度検出装置１３若しくは直線移動検
出装置１４を本発明の位置決め装置に設けることによ
り、正確な回転角度及び移動位置を検出することができ
る。
出装置１４を本発明の位置決め装置に設けることによ
り、正確な回転角度及び移動位置を検出することができ
る。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、本発明の位置決め装置に
おいては、その構成する機構より、がたやバックラッシ
ュが発生することはなく、さらに、モータの分解能も非
常に高く、発生トルクも大きなものとすることができる
ので、非常に高精度な位置決め動作を安定して行うこと
ができる。
おいては、その構成する機構より、がたやバックラッシ
ュが発生することはなく、さらに、モータの分解能も非
常に高く、発生トルクも大きなものとすることができる
ので、非常に高精度な位置決め動作を安定して行うこと
ができる。
【図１】本発明の位置決め装置の一実施例を示す概略説
明図。
明図。
【図２】本発明の位置決め装置の動作説明図。
【図３】本発明の位置決め装置に用いられるクロスロー
ラリングの説明図。
ラリングの説明図。
【図４】本発明の位置決め装置の他の実施例を示す概略
説明図。
説明図。
【図５】本発明の位置決め装置の説明図。
【図６】本発明の位置決め装置の説明図。
【図７】従来の位置決め装置の概略説明図。
【図８】従来の位置決め装置の概略説明図。
１ ベース基板 ２ モータ ３ ネジ部 ４ １軸送りテーブル ５ 回転案内機構 ５ａ 回転部 ６ 直線案内機構 ７ クロスローラリング ７ａ 外輪 ７ｂ 内輪 ７ｃ ころ ８ 回転テーブル ９ 直線移動機構 １０ ナット １１ 送りねじ １２ フレーム １３ 回転角度検出装置 １４ 直線移動検出装置
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｇ Ｎ (72)発明者 西田 明夫 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 原田 吉典 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 出力源により一定方向に摺動自在になさ
れた１軸送りテーブルと、該１軸送りテーブルに設けら
れ、一端に回転自在な回転部を有する回転案内機構と、
回転テーブルと、前記回転案内機構の回転部で接続され
る一方、前記回転テーブルに連結されて、前記１軸送り
テーブルの摺動に応動して前記回転案内機構の回転部及
び前記回転テーブルのそれぞれの回転中心を結ぶ線方向
に摺動自在になされた直線案内機構とからなることを特
徴とする位置決め装置。 - 【請求項２】 前記回転テーブル上に該回転テーブルの
回転に応じて直線移動を行う直線移動機構を設けたこと
を特徴とする請求項１記載の位置決め装置。 - 【請求項３】 前記回転テーブル及び前記直線移動機構
のそれぞれに回転角度検出装置及び直線移動検出装置を
設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の
位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33161793A JPH07191293A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33161793A JPH07191293A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07191293A true JPH07191293A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18245662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33161793A Pending JPH07191293A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07191293A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996024461A1 (fr) * | 1995-02-06 | 1996-08-15 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Dispositif pour table orientable |
| JP2002341076A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Nippon Thompson Co Ltd | 角度調整テーブル装置 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33161793A patent/JPH07191293A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996024461A1 (fr) * | 1995-02-06 | 1996-08-15 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Dispositif pour table orientable |
| JP2002341076A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Nippon Thompson Co Ltd | 角度調整テーブル装置 |
| JP4560235B2 (ja) * | 2001-05-16 | 2010-10-13 | 日本トムソン株式会社 | 角度調整テーブル装置 |
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