JPH07190986A - 酸素センサー用電極の電極部パターン作製方法 - Google Patents
酸素センサー用電極の電極部パターン作製方法Info
- Publication number
- JPH07190986A JPH07190986A JP4315705A JP31570592A JPH07190986A JP H07190986 A JPH07190986 A JP H07190986A JP 4315705 A JP4315705 A JP 4315705A JP 31570592 A JP31570592 A JP 31570592A JP H07190986 A JPH07190986 A JP H07190986A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electroless plating
- oxygen sensor
- masking material
- covered
- Prior art date
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- Pending
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- Chemically Coating (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 正確に面積が規定された電極を持つ酸素セン
サーが作製できる方法を提供する。 【構成】 （Ａ）タンマン管表面へ無電解メッキ用核を
作成し、（Ｂ）無電解メッキにより電極を作製したい部
分をマスキング材により覆い、（Ｃ）マスキング材で覆
われていない部分をブラストにより研磨する。無電解メ
ッキは（Ａ）と（Ｂ）の間、または（Ｃ）の後に行う。
サーが作製できる方法を提供する。 【構成】 （Ａ）タンマン管表面へ無電解メッキ用核を
作成し、（Ｂ）無電解メッキにより電極を作製したい部
分をマスキング材により覆い、（Ｃ）マスキング材で覆
われていない部分をブラストにより研磨する。無電解メ
ッキは（Ａ）と（Ｂ）の間、または（Ｃ）の後に行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、酸素センサー用電極を
面積精度良く作製する方法に関するものである。
面積精度良く作製する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来酸素センサーの作製方法としてはタ
ンマン管表面中の電極を作製したくない部分をゴム製マ
スクにより覆い、ゴム製マスクにより覆われていない部
分にセンシタイザー・アクチベーター法により無電解メ
ッキ用の核を作製し、無電解メッキをする方法が用いら
れていた。ところがこのような方法の場合、ゴム製マス
クとタンマン管との間に核作製用液や、無電解メッキ作
製用液が侵入し、作製したい電極の面積を正確に規定す
ることできなかった。
ンマン管表面中の電極を作製したくない部分をゴム製マ
スクにより覆い、ゴム製マスクにより覆われていない部
分にセンシタイザー・アクチベーター法により無電解メ
ッキ用の核を作製し、無電解メッキをする方法が用いら
れていた。ところがこのような方法の場合、ゴム製マス
クとタンマン管との間に核作製用液や、無電解メッキ作
製用液が侵入し、作製したい電極の面積を正確に規定す
ることできなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来法の問題点を
解決し、正確に面積の規定された電極を持つ酸素センサ
ーが作製できる方法を提供すること。
解決し、正確に面積の規定された電極を持つ酸素センサ
ーが作製できる方法を提供すること。
【０００４】
【課題を解決するための手段】タンマン管表面へ無電解
メッキ用の核を作製し、無電解メッキにより電極を作製
したい部分をマスキング材により覆い、その他の部分を
ブラストにより研磨し、その後、無電解メッキをして酸
素センサー用電極を作製する。あるいは、無電解メッキ
用の核を作製し、無電解メッキを行い、その後、電極を
作製したい部分をマスキング材により覆い、その他の部
分をブラストにより研磨して酸素センサー用電極を作製
する。
メッキ用の核を作製し、無電解メッキにより電極を作製
したい部分をマスキング材により覆い、その他の部分を
ブラストにより研磨し、その後、無電解メッキをして酸
素センサー用電極を作製する。あるいは、無電解メッキ
用の核を作製し、無電解メッキを行い、その後、電極を
作製したい部分をマスキング材により覆い、その他の部
分をブラストにより研磨して酸素センサー用電極を作製
する。
【０００５】
【実施例１】８ｍｏｌ改質ＺｒＯ2 製タンマン管の表面
に２−エチルヘキサン酸パラジウム（パラジウム含有率
27.3％）を１×10-6ｍｏｌ／cm2 塗布し、ヒートガンを
用いて 450℃に加熱し、熱分解した。シリコンゴム製鋳
型により、無電解メッキにより電極を作製したい部分を
マスキングしてその他の部分の無電解メッキ用核をブラ
スト研磨により取り除いた。その後白金無電解メッキ液
（Electroless Pt 100：日本エレクトロプレイティング
・エンジニヤース社製）中、60℃において80分間、無電
解メッキした。その結果マスキング材の幅 3.0mmに対
し、作製した電極の幅は、 3.0以上 3.1mmの範囲内であ
った。
に２−エチルヘキサン酸パラジウム（パラジウム含有率
27.3％）を１×10-6ｍｏｌ／cm2 塗布し、ヒートガンを
用いて 450℃に加熱し、熱分解した。シリコンゴム製鋳
型により、無電解メッキにより電極を作製したい部分を
マスキングしてその他の部分の無電解メッキ用核をブラ
スト研磨により取り除いた。その後白金無電解メッキ液
（Electroless Pt 100：日本エレクトロプレイティング
・エンジニヤース社製）中、60℃において80分間、無電
解メッキした。その結果マスキング材の幅 3.0mmに対
し、作製した電極の幅は、 3.0以上 3.1mmの範囲内であ
った。
【０００６】
【実施例２】８ｍｏｌ改質ＺｒＯ2 製タンマン管の全表
面に２−エチルヘキサン酸パラジウム（パラジウム含有
率27.3％）を１×10-6ｍｏｌ／cm2 塗布し、ヒートガン
を用いて 450℃に加熱し、熱分解した。次いで、白金無
電解メッキ液（ElectrolessPt 100：日本エレクトロプ
レイティング・エンジニヤース社製）中、60℃において
80分間、無電解メッキした。その後、ポリイミドテープ
により、電極を作製したい部分をマスキングしてその他
の部分の無電解メッキ膜をブラスト研磨により取り除い
た。その結果マスキング材の幅 3.0mmに対し、作製した
電極の幅は、3.0以上 3.1mmの範囲内であった。
面に２−エチルヘキサン酸パラジウム（パラジウム含有
率27.3％）を１×10-6ｍｏｌ／cm2 塗布し、ヒートガン
を用いて 450℃に加熱し、熱分解した。次いで、白金無
電解メッキ液（ElectrolessPt 100：日本エレクトロプ
レイティング・エンジニヤース社製）中、60℃において
80分間、無電解メッキした。その後、ポリイミドテープ
により、電極を作製したい部分をマスキングしてその他
の部分の無電解メッキ膜をブラスト研磨により取り除い
た。その結果マスキング材の幅 3.0mmに対し、作製した
電極の幅は、3.0以上 3.1mmの範囲内であった。
【０００７】
【従来例】８ｍｏｌ改質ＺｒＯ2 製タンマン管をゴム製
鋳型に装着し電極を作製しない部分を覆う。これにセン
シタイジング・アクチベーション法（ＳｎＣｌ2 20ｇ／
ｌを36％ＨＣｌ20ml／ｌに入れ、これに、タンマン管を
浸積。水洗後、36％ＨＣｌ100ml／ｌで処理。）により
無電解メッキ用の核を作製し、白金無電解メッキ液（El
ectroless Pt 100：日本エレクトロプレイティング・エ
ンジニヤース社製）中、60℃において80分間、無電解メ
ッキした。その結果ゴム製鋳型の幅 3.0mmに対し、作製
した電極の幅は、 3.0以上 3.5mmの範囲内であった。
鋳型に装着し電極を作製しない部分を覆う。これにセン
シタイジング・アクチベーション法（ＳｎＣｌ2 20ｇ／
ｌを36％ＨＣｌ20ml／ｌに入れ、これに、タンマン管を
浸積。水洗後、36％ＨＣｌ100ml／ｌで処理。）により
無電解メッキ用の核を作製し、白金無電解メッキ液（El
ectroless Pt 100：日本エレクトロプレイティング・エ
ンジニヤース社製）中、60℃において80分間、無電解メ
ッキした。その結果ゴム製鋳型の幅 3.0mmに対し、作製
した電極の幅は、 3.0以上 3.5mmの範囲内であった。
【０００９】
【発明の効果】本発明による酸素センサー用電極の電極
部パターン作製法は、上記結果からも明らかなように、
従来方法では困難であった正確に面積規定された電極を
作製することができ、精度の高い電極の作製方法として
たいへん有用である。
部パターン作製法は、上記結果からも明らかなように、
従来方法では困難であった正確に面積規定された電極を
作製することができ、精度の高い電極の作製方法として
たいへん有用である。
Claims (2)
- 【請求項１】 酸素センサーの作製方法において、
（Ａ）タンマン管表面へ無電解メッキ用核を作製する工
程、（Ｂ）無電解メッキにより電極を作製したい部分を
マスキング材により覆う工程、（Ｃ）マスキング材で覆
われていない部分をブラストにより研磨する工程より成
ることを特徴とする酸素センサー用電極の電極部パター
ン作製方法。 - 【請求項２】 上記工程において、無電解メッキを
（Ａ）の工程と（Ｂ）の工程の間又は（Ｃ）の工程の後
にて行うことを特徴とする、請求項１に記載の酸素セン
サー用電極の電極部パターン作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4315705A JPH07190986A (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 酸素センサー用電極の電極部パターン作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4315705A JPH07190986A (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 酸素センサー用電極の電極部パターン作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190986A true JPH07190986A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18068555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4315705A Pending JPH07190986A (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 酸素センサー用電極の電極部パターン作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07190986A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11153571A (ja) * | 1997-11-20 | 1999-06-08 | Denso Corp | 酸素センサ素子 |
| JP2008281584A (ja) * | 2008-08-25 | 2008-11-20 | Denso Corp | 酸素センサ素子 |
| JP2008286810A (ja) * | 2008-08-25 | 2008-11-27 | Denso Corp | 酸素センサ素子 |
-
1992
- 1992-10-30 JP JP4315705A patent/JPH07190986A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11153571A (ja) * | 1997-11-20 | 1999-06-08 | Denso Corp | 酸素センサ素子 |
| JP2008281584A (ja) * | 2008-08-25 | 2008-11-20 | Denso Corp | 酸素センサ素子 |
| JP2008286810A (ja) * | 2008-08-25 | 2008-11-27 | Denso Corp | 酸素センサ素子 |
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