JPH07188429A - 研磨用品、その製造方法およびワークピースの表面を減らすためにそれを使用する方法 - Google Patents

研磨用品、その製造方法およびワークピースの表面を減らすためにそれを使用する方法

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JPH07188429A
JPH07188429A JP6284024A JP28402494A JPH07188429A JP H07188429 A JPH07188429 A JP H07188429A JP 6284024 A JP6284024 A JP 6284024A JP 28402494 A JP28402494 A JP 28402494A JP H07188429 A JPH07188429 A JP H07188429A
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JP6284024A
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John D Haas
ジョン・ドナルド・ハース
Todd J Christianson
トッド・ジョン・クリスチャンソン
Wesley J Bruxvoort
ウェズリー・ジェイ・ブルックスボールト
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Minnesota Mining and Manufacturing Co
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 その上に展開された複数の単独の研磨コンポ
ジットを有する少なくとも1つの主要表面を有し、それ
ぞれの研磨コンポジットは可塑化されたバインダー中に
分散された複数の研磨粒子により特徴づけられ、そして
上記バインダーはバインダー前駆体の重合により形成さ
れる、シート状構造を有する研磨用品であって、上記バ
インダー前駆体が、上記重合の前にバインダー前駆体と
可塑剤とを組み合わせた量100重量部に対して30〜
70重量部の量で可塑剤と組み合わされる研磨用品。 【効果】 研磨粒子によるワークピース表面のえぐれは
理論的に低減され、その結果、より細かい表面仕上げが
提供される重大な利点を有する「超浸壊性」研磨系が提供
された。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はその上に展開された複数
の単独の研磨コンポジットを有するシート状構造を有す
る研磨用品に関する。上記研磨コンポジットのそれぞれ
は可塑化されたバインダー中に分散された複数の研磨粒
子からなる。また、本発明はこのような研磨用品の製造
方法およびワークピースの表面を減らすことにより研磨
されるワークピースに比較的微細な表面を付与するため
にこのような研磨用品を使用する方法に関する。
【0002】一般に、研磨用品は相互に接着されるか
(たとえば、接合研磨材料またはグラインドホイール)ま
たは裏材料に接合された(たとえば、被覆研磨剤)複数の
研磨粒子を有する。これらの研磨用品は100年にもわ
たりウェル(well)用のワークピースを研磨および仕上げ
るために用いられてきた。近年では、研磨技術が発達し
て構造化された研磨材料も用いられるようになった。こ
れらの研磨用品は寿命が長く、材料除去速度が速いので
望ましい。同じ寸法の研磨粒子を用いる研磨被覆におい
て構造化された研磨材料はより多くの素材を除去できる
ことが見出されている。
【0003】被覆研磨材料および構造化された研磨材料
は艶出し操作のために用いうる。すなわち、ワークピー
スの上に非常に微細な表面仕上げを提供できる。しかし
ながら、透明な表面仕上げが要求される光学レンズのよ
うに超微細表面仕上げが望ましい場合は、ゆるい(lose)
研磨スラリーが典型的に用いられる。
【0004】しかしながら、艶出しおよび超微細仕上げ
のためにゆるい研磨スラリーを用いることは欠点を有す
る。たとえば、摩擦または艶出しホイールまたはブロッ
クの動きにより作業領域に外部スラリーが撒き散らされ
る等のようにゆるい研磨スラリーを使用すると比較的不
正確となる。また、ゆるい研磨スラリーを用いると必要
な研磨材料の最少量を正確に見積もることが困難となり
うるのでコスト効率が低下しうる。このことは過剰の研
磨材料、装置および人手を使うことにつながる。当業界
では、ゆるい研磨スラリーを用いないで超微細な表面仕
上げを提供する手段が求められてきた。
【0005】ソーダーバーグへの米国特許第3,042,
509号に開示されているように、固体研磨艶出し材料
を用いて艶出しする方法がゆるい研磨スラリーの代替と
して提案されてきた。この研磨材料はバインダー中の研
磨粒子の分散体により構成されるが、このバインダーは
ポリエチレングリコールエステルのような水溶性バイン
ダーに基づく。ポリエチレングリコールはこの水溶性バ
インダーとブレンドされてバフ磨きホイールの外側表面
に対して押し付けられ設けられるスティック形態に形成
可能なものとして例示される固体物質を提供する。
【0006】堅く耐久性がある研磨コンポジットを提供
するために、研磨粒子とポリエチレングリコールのよう
な仮のバインダータイプの材料との混合物を所望の形状
に形成して中間生成物として未加工体を得ることが提案
されてきた。この未加工体は高温で焼成されて稠密化さ
れて有用な形態である研磨体とされる。その際には、仮
バインダーは分解され除去される。たとえば、チーフェ
ンバッハ,Jrへの米国特許第4,918,874号;テイ
ラーらへの米国特許第3,765,300号;およびブラ
ザーらへの米国特許第4,035,162号を参照のこ
と。
【0007】構造化された研磨コンポジットを形成する
際に非水溶性熱硬化または反応性硬化バインダーをベー
スとする研磨スラリーに対する任意の添加剤として可塑
剤を添加しうることは一般に知られている。たとえば、
最近の特許では、パイパーらへの米国特許第5,152,
197号およびブラックスブールトらへの同第5,21
9,462号が挙げられる。さらに、パイパーらへの米
国特許第5,152,197号には、フリーラジカル機構
により重合されたバインダーを用いる構造化された研磨
コンポジットにおけるバインダー系の使用が示されてい
る。
【0008】また、1993年3月12日に出願された
米国特許出願第08/030,787号(クリスチャンソ
ン)は、三次元ドットパターンにおける照射硬化性樹脂
を有する石艶出し研磨用品を教示する。バインダーのた
めの添加剤として、可塑剤とバインダーとの量に基づい
て30%を下回る量の可塑剤(たとえばポリエチレング
リコール)がバインダーのための添加剤として述べられ
ている。しかしながら、実施例では約6〜10%の可塑
剤の使用についてしか説明していない。さらに、ポリエ
チレングリコールのような可塑剤を比較的少量、すなわ
ちバインダーと可塑剤との量を基準にして10重量%を
下回る量でマイクロ仕上げビーズまたは凝集体に用いる
と、使用した場合にグラインド中にビーズが摩耗して新
しい鋭いミネラル表面が露出する。
【0009】ブツケらへの米国特許第4,255,164
号には、発泡された液体研磨粒状樹脂含有組成物から構
成されるガラス仕上げシートが開示されている。この樹
脂は熱可塑性ポリマー変性剤により変性された尿素−ホ
ルムアルデヒドおよびフェノールホルムアルデヒドから
選択される硬化変性樹脂バインダーである。この液体被
覆組成物は液体硬化性バインダー、研磨仕上げ顆粒およ
び十分な量の相溶性溶媒を含有することにより被覆性組
成物を提供する。このような被覆は使用条件下で制御さ
れた速度において仕上げ研磨顆粒を放出する細胞状層を
提供する。また、ブツケらは、使用前に仕上げ研磨材料
を粘着層に組み込むことによりガラスグラインド中に研
磨材料を放出する方法を開示するが、これらの手段は成
功していない。先の試みもブツケらにより説明されてお
り、たとえば、ステアリン酸、硬脂およびパラフィンワ
ックスのような潤滑剤を加えることによりバインダーを
分解、溶解または軟化させて研磨顆粒が開放される。し
かしながら、これらの先の試みは十分なものではなく、
バインダー材料の分解が速すぎて制御不可能な摩擦熱が
生じると言う問題がある。
【0010】フリーラジカル機構では硬化せずフェノー
ル樹脂のような縮合硬化性樹脂にポリアルキレンオキシ
ドを添加することも一般に知られている。たとえば、シ
ュクラらへの米国特許第4,576,612号は眼科レン
ズ艶出しパッドを説明している。ここでは、艶出し層
は、水溶性ポリアルキレンオキシド/フェノール樹脂複
合体とアクリルラテックス、および艶出し粒子を含有す
るアルコールスラリーを混合することにより製造され
る。シュクラらは、ラテックスを含まない水溶性ポリマ
ー(ポリアルキレンオキシド/フェノール樹脂混合物)の
使用を述べており、これは艶出し粒子を速く排出しすぎ
て乏しい研磨結果を提供する。シュクラらの研磨層は織
物基材上に連続一体化層として提供されるか、または織
物基材のエンボス表面における凹部を完全に覆うかまた
は部分的に埋めるための層として提供される。いわゆる
熱可塑性マトリックスまたはバインダー系は艶出し中に
徐々に溶解し、制御された方法において艶出し粒子を放
出し、許容されるガラス除去速度を提供すると報告され
ている。
【0011】しかしながら、このような水溶性熱可塑性
組成樹脂バインダー系の使用は単純な研磨被覆層または
変性された研磨被覆層(たとえば、エンボスされたもの)
のためには許容されうるけれども、裏材料の表面上に単
独の研磨ビーズまたは成形された研磨コンポジットを展
開するような、被覆研磨用品がより洗練された配列に基
づく場合は、一般にバインダー系に要求される特性はよ
り苛酷となる。この要求は、製造の一体性、容易性およ
び速度の観点から、および単独の研磨コンポジットの最
終的な形状にわたる制御可能性の程度の観点(これはデ
ザイン上重要な局面でありうる。)から高められる。ま
た、フェノール樹脂のような縮合硬化性樹脂のバインダ
ー系における使用は、溶媒発散を考慮する観点から見れ
ばすべての場合に許容されない。
【0012】他方、フリーラジカル重合機構により硬化
するバインダー中に比較的大量の可塑剤を提供すること
は、望ましくないにしても、許容しうる仕上げ操作中浸
壊性(erodable)研磨コンポジットを提供し、これはいま
だ教示されていない。
【0013】
【発明の要旨】本発明は低い表面荒さを有する表面仕上
げを付与するための研磨用品およびその使用に関する。
この研磨用品はその上に展開された複数の単独の研磨コ
ンポジットを有するシート状構造を有し、それぞれのコ
ンポジットは可塑化されたバインダーで相互に接着され
た複数の研磨粒子により特徴づけられ、このバインダー
は少なくとも所定量の可塑剤を含有する。
【0014】本発明の目的において、「可塑剤」とはバイ
ンダーと組み合わせて「可塑化されたバインダー」を提供
する有機材料を言い、「可塑化されたバインダー」は、ワ
ークピース表面を磨くのに用いた場合に本発明の研磨用
品における研磨コンポジットの浸壊速度を、所定量の可
塑剤を含まない同様の研磨用品の研磨コンポジットが浸
壊する速度と比較して増大する。浸壊速度は「浸壊性系
数」により数量化可能であり、これはブツケらへの米国
特許第4,255,164に記載の方法において決定され
る。
【0015】一実施態様では、本発明はその上に展開さ
れた複数の単独の研磨コンポジットを有する少なくとも
1つの主要表面を有するシート状構造を包含する研磨用
品であって、それぞれの研磨コンポジットが可塑化され
たバインダー中に分散された複数の研磨粒子により特徴
づけられ、そしてバインダーはバインダー前駆体の重合
により形成されており、このバインダー前駆体と可塑剤
との合計量100重量部に対して30〜70重量部の量
で重合の前に組み込まれる。
【0016】好ましい一実施態様では、可塑剤はポリオ
ール、オルガノシリコーン油およびこれらの組み合わせ
から選択される。
【0017】さらに好ましい一実施態様では、上述の研
磨用品は、ポリエチレングリコール、メトキシエチレン
グリコール、ポリプロピレングリコール、ポリブチレン
グリコール、グリセロール、ポリビニルアルコールおよ
びこれらの組み合わせからなる群から選択されるポリオ
ールである可塑剤を含有する。より好ましくは、このポ
リオールは200〜10,000の平均分子量を有する
ポリエチレングリコールのようなポリエチレングリコー
ルから選択される。ポリエチレングリコールはバインダ
ー前駆体とポリエチレングリコール可塑剤との合計量1
00重量部に対して30〜50部の量の可塑剤として用
いることが特に好ましい。
【0018】本発明の研磨用品の他の態様では、上述の
バインダー前駆体は付加重合機構により硬化または重合
されるものであり、好ましくは、フリーラジカル機構に
より重合されるものである。これに関する好ましいバイ
ンダー前駆体には、アクリレート化ウレタン、アクリレ
ート化エポキシ、エチレン性不飽和化合物、垂れ下がっ
たα,β−不飽和カルボニル基を有するアミノプラスト
誘導体、少なくとも1つの垂れ下がったアクリレート基
を有するイソシアヌレート誘導体、少なくとも1つの垂
れ下がったアクリレート基を有するイソシアネート誘導
体、およびこれらの混合物を包含する。好ましい実施態
様では、バインダー前駆体はアクリレートモノマーのよ
うなエチレン性不飽和化合物を包含する。より好ましい
実施態様では、バインダー前駆体はトリメチロールプロ
パントリアクリレートである。
【0019】本発明の研磨用品の好ましい実施態様の1
つでは、それぞれの研磨コンポジットは明確で認識でき
る境界により定義される正確な形状を有し、さらに、そ
れぞれの研磨コンポジットは裏材料の主要表面から離れ
ており、他のコンポジットのいずれとも接続しない終端
を有する。
【0020】本発明の研磨用品のさらに他の実施態様で
は、その上に展開されたバインダー中に分散された複数
の研磨粒子を有する研磨材料を有する少なくとも1つの
主要表面を有するシート状構造である。ここで、研磨材
料は研磨材料を有しない領域を定義する主要表面から延
びる複数の伸張された三次元編制から形成される不連続
の隆起したパターンとして提供される。また、これは、
バインダーが、重合の前にバインダー前駆体と可塑剤と
の合計量100重量部に対して30〜70重量部の可塑
剤の量において可塑剤と組み合わされたバインダー前駆
体から形成されることにより特徴づけられる。
【0021】本発明の他の実施態様では、上述の研磨用
品を用いてワークピースを磨く方法が提供される。
【0022】本発明によりワークピースを磨くための好
ましい実施態様では、研磨用品とワークピース表面とが
それらの界面において水のような実質的に研磨粒子を含
まない液体とともに接触される。また、研磨用品および
ワークピース表面は界面において接触し、そして1〜5
00kgの界面における摩擦接触力下で移動を行いうる。
ワークピース材料のタイプは特に制限されず、金属、金
属類、セラミックス、ガラス、木材、複合材料、塗装表
面、プラスチック、石および大理石のような材料が含ま
れる。ワークピースはプラスチックレンズの形態でもよ
い。
【0023】本発明の他の態様は本発明の研磨用品を作
製する方法である。
【0024】本発明の他の特徴、利点および構成は本発
明の好ましい態様および図面の説明によりさらに良好に
理解されうる。
【0025】
【発明の構成】本発明はワークピース上に低い表面粗さ
を有する非常に微細な表面仕上げを付与するための研磨
用品およびその使用に関する。この研磨用品は艶出し操
作のためにとくに有用である。驚くべきことに、研磨コ
ンポジットを形成するために研磨顆粒を相互に接着する
のに用いるバインダー中に所定量の可塑剤を存在させる
ことにより重大な利点を有する「超浸壊性」研磨系が形成
されることが見出された。この利点を達成するために必
要とされる可塑剤の重量は可塑剤とバインダーを形成す
る前駆体材料との合計重量の少なくとも約30%であ
る。
【0026】現時点においていかなる理論にも縛られる
ものではないけれども、本発明において議論されている
タイプの可塑剤を指定された量で用いることにより研磨
粒子がバインダー系により柔的に保持され、そのことに
より研磨または艶出しの際中にバインダーマトリックス
は柔軟となりより容易に研磨粒子を開放すると考えられ
る。
【0027】たとえば、可塑化されたバインダーは軟化
し、そのことにより、艶出しされるレンズにコンポジッ
ト材料のチップが接触する艶出しにおいてスクラッチが
生じない。本発明の研磨用品が光学レンズ艶出し操作に
おけるような作業に供される場合は、研磨コンポジット
の露出した表面領域においてコンポジットの崩壊がみら
れ、ここで研磨粒子の微小な塊および隣接したバインダ
ー材料が研磨コンポジットの作業表面から脱落および開
放され、新しい研磨粒子が露出される。この崩壊過程は
研磨コンポジットの露出表面領域における艶出し中持続
する。この崩壊の結果、研磨粒子によるワークピース表
面のえぐれは理論的に低減され、その結果、より細かい
表面仕上げが提供される。
【0028】この可塑剤は、バインダーと組み合わされ
て、研磨コンポジットにおいてクッションの効果をも提
供すると考えられる。
【0029】本発明のその他の驚くべき利点は、特定の
比較的大量の可塑剤(たとえば、ポリエチレングリコー
ルまたはシリコーン油)が研磨コンポジットのバインダ
ー系中に問題なく組み込まれ、これを用いなければ必要
となる1対1の量の典型的にはより高価なバインダー前
駆体を効果的に代用することである。たとえば、本発明
では、可塑剤の量は本発明のバインダー系において用い
るバインダー前駆体と可塑剤との混合物100重量部に
対して少なくとも30重量部から増大される。逆に、バ
インダー前駆体は可塑剤とバインダーとの混合物100
重量部に対して100部を基準に70部未満の量に保た
れる。ただし、このことは比較的少量の可塑剤を用いる
従来のバインダー系から明確に区別されるべきである。
従来の系では、バインダー前駆体の量はバインダー系の
70重量%を上回った量で示されており、圧倒的にバイ
ンダー系を支配する。
【0030】本発明では、可塑剤の量はバインダー前駆
体と相対して可塑剤とバインダー前駆体との合計重量を
基準にして30重量%を上回って増大でき、研磨コンポ
ジットと裏材料との間の接着接合強度が不適当となる直
前まで増量できる。また、裏材料が接着被覆で下塗りし
てある場合は、この可塑剤の量の上限はより高い値に増
大されうる。一般に、可塑剤の上限の量は可塑剤と前駆
体との合計重量を基準にして70重量%の可塑剤を超え
ない範囲である。
【0031】たとえば、ポリエチレングリコールが可塑
剤として用いられ、バインダー系中に約50%を上回る
量のポリエチレングリコールで用いられた場合は、研磨
コンポジットとして適当でなく、硬化の後に、使用中に
おける裏材料からの容易な脱落が観察される。しかしな
がら、裏材料が研磨スラリーと接触する前またはその際
に外部の接着剤で裏材料が下塗りされている場合は、こ
の量のポリエチレングリコールも増大されうる。
【0032】図1において、研磨用品10は裏材料12
を有し、これはそれらに接着された複数の研磨コンポジ
ット11を有する前表面13を包含する。研磨コンポジ
ットは可塑化されたバインダー15中に分散された複数
の研磨粒子14を有する。
【0033】裏材料 本発明の研磨コンポジットのための支持体としていずれ
かの従来の裏材料を用いうる。好ましい裏材料の例に
は、ポリマーフィルム、下塗りポリマーフィルム、布、
紙、バルカンファイバー、不織布およびこれらの組み合
わせから作製されたものが含まれる。好ましい裏材料は
紙である。裏材料はシールされるか、耐水性のような何
らかの物理特性を変性するために処理されていてもよ
い。このような処理は当業者に周知である。典型的には
裏材料は表面が平坦でありエンボスされていない。
【0034】また、裏材料はその裏表面上に得られる被
覆研磨材料を支持パットまたはバックアップパッドに固
定するための取り付け手段をも有しうる。通常、この取
り付け手段は感圧接着剤であるが、ホックおよびループ
取り付けのためのループ織物でもよい。または、これは
米国特許第5,201,101号(ルーザーら)に記載のよ
うなインターメッシング取り付け系でもよい。
【0035】研磨コンポジット 研磨粒子 典型的には、研磨粒子は約0.1〜500μm、通常は
約0.1〜100μm、好ましくは0.1〜10μm、そ
してより好ましくは0.1〜5μmの範囲の粒子寸法を
有する。研磨粒子は、少なくとも8、より好ましくは9
を上回るモース硬度を有する。このような研磨粒子の例
には、溶融酸化アルミニウム(ブラウン酸化アルミニウ
ム、熱処理酸化アルミニウムおよびホワイト酸化アルミ
ニウムを含む)、セラミック酸化アルミニウム、シリ
カ、グリーンシリコンカーバイド、シリコンカーバイ
ド、クロミア、アルミナジルコニア、ダイヤモンド、酸
化鉄、セリア、立方体ボロンニトリド、ボロンカーバイ
ド、ガーネットおよびこれらの組み合わせが含まれる。
【0036】研磨コンポジットと言う用語は、単一の研
磨粒子がともに接着されて研磨凝集体を形成する場合を
包含する。研磨凝集体はそれらを伴う予め決定された三
次元形状を有しうる。研磨凝集体は、米国特許第4,3
11,489号(クレスナー)、同第4,652,275号
(ブローカーら)および同第4,799,939号(ブロー
カーら)にさらに説明されており、これらを参照として
挙げる。
【0037】研磨粒子の上に表面被覆を有することも本
発明の視野に含まれる。表面被覆は種々の異なる機能の
いずれかを有しうる。ある場合には、表面被覆はバイン
ダーの接着を増大し、および/または研磨粒子の研磨特
性を変更しうる。他の変形も可能である。表面被覆の例
には、カップリング剤およびハライド塩として機能する
材料、接着を増大するためのシリカを含有する金属オキ
シド、耐火性金属ニトリド、耐火性金属カーバイドなど
が含まれる。
【0038】研磨コンポジットは希釈粒子も含みうる。
これらの希釈粒子の粒子寸法は研磨粒子と同程度であり
うる。このような希釈粒子の例には、セッコウ、大理
石、石灰石、フリント、シリカ、ガラスバブル、ガラス
ビーズ、アルミニウムシリケートなどが含まれる。
【0039】バインダー系 研磨粒子はバインダー系中に分散されることにより研磨
コンポジットを形成する。バインダー系は、主にバイン
ダー成分と可塑剤成分とを含有する。可塑剤は、それが
バインダーまたはバインダー前駆体の架橋を生じさせ
ず、バインダー前駆体またはバインダーと共重合しない
ように選択することが好ましい。一般に、可塑剤は、研
磨用品の製造および使用の両方の間中バインダー前駆体
もしくはバインダーまたは研磨コンポジット中の他の成
分の存在下に非反応性である。研磨粒子および可塑剤の
それぞれは研磨コンポジットにわたってバインダー前駆
体と均一に混合することが望ましい。
【0040】可塑剤−バインダー−研磨粒子相互作用 本発明の研磨用品の使用の間に、研磨コンポジットは徐
々に浸壊(erode)する。この浸壊性の特性は光学レンズ
表面のようなワークピース表面上に微細な表面仕上げを
得るのに有用である。この浸壊性はすり減った研磨粒子
が適当な速度で徐々に排除されて新しい研磨粒子が露出
するのを許容する。この浸壊性速度はすり減った研磨粒
子がレンズ表面に深く粗いスクラッチを形成するのを防
止すると考えられる。
【0041】この浸壊性速度とは研磨コンポジットの処
方およびグラインド条件を含む多くの要素に依存しう
る。研磨コンポジット処方、研磨粒子タイプ、研磨粒子
寸法、バインダータイプ、任意の添加剤、などが個々に
または組み合わさって研磨コンポジットの浸壊性に影響
しうる。たとえば、ガラスバブルのような特定の添加剤
またはフィラーは研磨コンポジットをより浸壊性とする
傾向にある。
【0042】また、より柔らかい研磨コンポジットは、
得られる研磨用品がより微細な表面仕上げをワークピー
スに提供するのを補助する。現時点でいずれかの理論に
縛られることは望まないが、より柔軟な研磨コンポジッ
トは艶出しの間クッションの効果を提供し、そのことに
より、より微細な仕上げを提供して研磨スラリーの必要
性を排除する。
【0043】柔軟な研磨コンポジットを提供するために
は数種の方法がある。その中の1種は比較的柔軟なバイ
ンダー、たとえば、アクリレートモノマー、アクリレー
ト化ウレタンオリゴマ、エポキシ、ビニルエステルなど
を用いることである。一般に、柔軟なバインダーは約2
5未満、一般に約20未満のヌープ硬度を有しうる。典
型的には、このような柔軟なバインダーは所望の柔軟性
を付与するための外部の可塑剤の必要なく艶出しの間に
提供される十分な浸壊性のコンポジット系の達成を可能
とする。
【0044】他方、本発明の主な視点は研磨コンポジッ
ト中に特定の比較的大量の特定の可塑剤を含有させるこ
とにより柔軟な可撓性の研磨コンポジットが提供される
ことの発見にある。本発明に用いられるような可塑剤は
研磨コンポジットの浸壊性を増大する。
【0045】本発明のバインダー系は可塑剤とバインダ
ー前駆体との合計重量を基準にして30〜70重量%の
可塑剤を含有する。好ましくは、バインダー前駆体と可
塑剤との量を基準にして少なくとも35重量%の可塑
剤、より好ましくはバインダー前駆体と可塑剤との量を
基準にして少なくとも40重量%の可塑剤が用いられ
る。用いられる可塑剤のタイプもバインダー前駆体と可
塑剤との合計を基準として30重量%以上である最適重
量に影響しうる。多くの場合、本発明の可塑剤はバイン
ダー前駆体よりも安価である。したがって、本発明にお
いて比較的大量の可塑剤とバインダー前駆体とを1対1
置換することは重大なコスト削減となる。
【0046】可塑剤は水溶性または非水溶性でありう
る。バインダー前駆体の硬化前それらが混合された後に
可塑剤がバインダー前駆体と均一な混合物を形成するこ
とは要求されないけれども、可塑剤はバインダーおよび
バインダー前駆体と相溶性であるべきである。可塑剤は
バインダー前駆体と相分離しないことが好ましいが、こ
れは必須ではないと考えられる。好ましくは、可塑剤は
バインダー前駆体と均一に混合される。
【0047】本発明で考慮される可塑剤の例には特定の
ポリオールおよびシリコーン油が含まれる。たとえば、
ポリオールはポリエチレングリコール、メトキシポリエ
チレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリブ
チレングリコール、グリセロール、ポリビニルアルコー
ルおよびこれらの組み合わせからなる群から選択されう
る。
【0048】本発明の好ましい一実施態様では、可塑剤
はポリアルキレンオキシドであるように選択される。ポ
リエチレングリコールは、本発明の環境において非反応
性オリゴマーであり、種々のモノマー中に可溶性である
ので特に好ましい。好ましくは、これらのモノマーはア
クリレートモノマーを含むもののようなエチレン性不飽
和化合物である。このようなモノマーの1つはトリメチ
ロールプロパントリアクリレート(TMPTA)であり、
これは本発明の好ましいバインダー前駆体である。共に
混合した場合に、ポリエチレングリコールとTMPTA
とは透明な溶液を提供し、そして研磨粒子は公知のレオ
ロジー剤とともに組み込むことによりスラリー処方を提
供し、これは製造用具中で良好にその場で成形および硬
化されて構造化された研磨コンポジットを提供しうる。
本発明の目的のために、ポリエチレングリコールはTM
PTAバインダー前駆体と、それぞれ30/70〜約5
0/50の重量比で混合されうる。TMPTA中におい
て50部以上でポリエチレングリコールを含有させると
コンポジットが下塗りしていない紙裏材料に低い強靭性
で接着するのでシェディング(shedding)の問題が増大す
る。本発明に用いるポリエチレングリコールは水溶性で
ある。典型的には、これは完全水溶性であり、約200
〜10,000の分子量を有する。ポリエチレングリコ
ールはバインダー前駆体と液状、固体状、またはこれら
の組み合わせにおいて、物理的な状態に関して特別な限
定なくバインダー前駆体と組み合わされうる。
【0049】本発明において可塑剤として使用しうるシ
リコーン油は、好ましくは、コポリマーであるポリアル
キレンオキシド変性ジメチルポリシロキサンのような有
機官能性シリコーン油である。このタイプの好ましいシ
リコーン油はユニオン・カーバイド化学およびプラスチ
ックス社、ダンブリー・コネチカット、USA、由来の
「シルウェットR」シリーズの商標で市販されている。こ
れらのシリコーン油は、以下の式Iで示される。
【0050】
【化1】
【0051】式中、Rは水素原子または低級アルキル基
(1〜8C)であり、そしてa、b、xおよびyは、それぞれ
整数である。たとえば、「シルウェットR」界面活性剤L
−77は本発明の量で研磨コンポジット中に用いた場合
に好ましい浸壊性を付与することが見出されている。
「シルウェットR」界面活性剤L−77は水溶性ポリアル
キレン変性ヘプタメチルトリシロキサンであり、α−
1,1,1,3,5,5,5,−ヘプタメチルトリシロキサニ
ルプロピル−ω−メトキシ−ポリ(エチレンオキシド)と
してケミカル・アブストラクツ・サーピス(CAS)N
o.27306−78−1により同定される。また、「シ
ルウェットR」L−7500は本発明において可塑剤とし
て用いるのに好ましく、これは非水溶性シリコーン油で
ある。
【0052】本発明の可塑剤として用いるのに有用な他
のシリコーン油には、Si−O−C結合を有する市販の
「シルウェットR」界面活性剤L−720およびL−72
2が含まれ、これは以下の式IIに示される。
【0053】
【化2】
【0054】式中、RおよびR'は低級アルキル基であ
り、そしてa、bおよびxは、それぞれ、正の整数であ
る。式IおよびIIにおける低級アルキルは、一般に、
1〜8個の炭素原子を有する直鎖または分岐鎖アルキル
基を包含する。係数a、b、xおよびyは式IおよびIIに
おいて少なくとも1の値を有する。
【0055】バインダー 本発明のバインダーはフリーラジカル機構およびカチオ
ン機構を含む付加(連鎖反応)機構によるバインダー前駆
体の重合により形成される熱硬化性バインダーである。
「付加」または「連鎖反応」重合、「フリーラジカル機構」ま
たは「カチオン性」機構のような用語の意味は周知であ
り、これらは、例えば、ポリマー科学の教科書、第3
版、F.ビルマイヤー, Jr.、ジョン・ワイレイ&サ
ンズ、ニュー・ヨーク、NY、1984年に説明されて
いる。好ましくは、バインダーはフリーラジカル機構に
より重合されたバインダー前駆体から形成される。研磨
用品の製造中に、バインダー前駆体はエネルギー源に露
出され、これは重合または硬化工程の開始を補助する。
エネルギー源の例には、熱エネルギーおよび照射エネル
ギーが含まれ、これは電子線、紫外線および可視光を含
む。用いられるエネルギー源およびバインダー前駆体の
ケミストリーに依存して、重合の開始を補助するため
に、しばしば硬化剤、開始剤または触媒の使用が好まし
い。この重合工程の後に、バインダー前駆体は硬化バイ
ンダーに変換される。
【0056】研磨コンポジット中のバインダーは、一般
に、研磨コンポジットを裏材料の前表面に接着するのに
も用いる。しかしながら、裏材料の前表面と研磨コンポ
ジットとの間に追加の接着剤層を用いる場合もある。
【0057】本発明のためにフリーラジカル機構により
硬化しうる好ましいバインダー前駆体の例には、アクリ
レート化ウレタン、アクリレート化エポキシ、エチレン
性不飽和化合物、垂れ下がったα,β−不飽和カルボニ
ル基を有するアミノプラスト誘導体、少なくとも1個の
垂れ下がったアクリレート基を有するイソシアヌレート
誘導体、少なくとも1個の垂れ下がったアクリレート基
を有するイソシアネート誘導体およびこれらの混合物お
よび組み合わせが含まれる。アクリレートの用語はアク
リレートおよびメタクリレートを含む。
【0058】アクリレート化ウレタンはヒドロキシ末端
NCO伸長ポリエステルまたはポリエーテルのジアクリ
レートエステルである。市販されているアクリレート化
ウレタンの例には、モートン・チオコール化学社から得
られる「ユビタン782」、およびラドキュア・スペシャ
ルティーズ社より得られるCMD6600、CMD84
00およびCMD8805が挙げられる。
【0059】アクリレート化エポキシはビスフェノール
Aエポキシ樹脂のジアクリレートエステルのようなエポ
キシ樹脂のジアクリレートエステルである。市販されて
いるアクリレート化エポキシの例には、ラドキュア・ス
ペシャルティーズ社から得られるCMD3500、CM
D3600およびCMD3700が挙げられる。
【0060】エチレン性不飽和樹脂は炭素、水素および
酸素、および任意に、窒素およびハロゲンの原子を含有
するモノマー性およびポリマー性の化合物の両方を含
む。一般に、酸素または窒素原子またはこれらの両方
は、エーテル、エステル、ウレタン、アミドおよびウレ
ア基中に存在する。好ましくは、エチレン性不飽和化合
物は約4,000を下回る分子量を有し、これは、好ま
しくは、脂肪族モノヒドロキシ基または脂肪族ポリヒド
ロキシ基を有する化合物とアクリル酸、メタクリル酸、
イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸
などのような不飽和カルボン酸との反応から形成される
エステルである。アクリレート樹脂の代表例には、メチ
ルメタクリレート、エチルメタクリレートスチレン、ジ
ビニルベンゼン、ビニルトルエン、エチレングリコール
ジアクリレート、エチレングリコールメタクリレート、
ヘキサンジオールジアクリレート、トリエチレングリコ
ールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、グリセロールトリアクリレート、ペンタエリ
スリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールメ
タクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレー
トおよびペンタユウスリトール(pentaeuthritol)テトラ
アクリレートが含まれる。他のエチレン性不飽和樹脂に
は、カルボン酸のモノアリル、ポリアリルおよびポリメ
タアリルエステルおよびアミド、例えば、ジアリルフタ
レート、ジアリルアジペート、N,N−ジアリルアジパ
ミドが含まれる。窒素含有化合物の他の例には、トリス
(2−アクリロイル−オキシエチル)−イソシアヌレー
ト、1,3,5−トリ(2−メチアクリロキシエチル)−s
−トリアジン、アクリルアンタイド、メチルアクリルア
ミド、N−メチルアクリルアミド、N,N−ジメチルア
クリルアミド、N−ビニルピロリドンおよびN−ビニル
ピペリドンが含まれる。
【0061】アミノプラスト樹脂は分子またはオリゴマ
ー当たり少なくとも1個の垂れ下がったα,β−不飽和
カルボニル基を有する。これらの不飽和カルボニル基
は、アクリレート、メタクリレートまたはアクリルアミ
ド型基でありうる。このような材料の例は、N−(ヒド
ロキシメチル)−アクリルアミド、N,N'−オキシジメ
チレンビスアクリルアミド、オルトおよびパラアクリル
アミドメチレート化フェノール、アクリルアミドメチレ
ート化フェノール性ノボラックおよびこれらの組み合わ
せが含まれる。これらの材料は米国特許第4,903,4
40号(ラーソンら)および同第5,236,472号(キ
ルクら)に更に記載されており、これらのそれぞれをこ
こに参照として挙げる。
【0062】少なくとも1個の垂れ下がったアクリレー
ト基を有するイソシアヌレート誘導体および少なくとも
1個の垂れ下がったアクリレート基を有するイソシアネ
ート誘導体は米国特許第4,652,274号(ボエッチ
ャーら)にさらに説明されており、これをここに参照と
して挙げる。好ましいイソシアヌレート材料はトリス
(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリアクリレー
トである。
【0063】ビニルエーテルはカチオン性機構によりバ
インダー前駆体が硬化してバインダーを形成する例であ
る。
【0064】本発明において、付加(連鎖反応)機構によ
り硬化するバインダー系を用いることは熱可塑性バイン
ダー系よりも重大な利点を提供する。前者は照射エネル
ギーへの露出により即座におよび制御可能に硬化し、高
速製造可能にする一方で、研磨コンポジットの最終形状
において高い程度の制御が可能となる。また、フリーラ
ジカルまたはカチオン機構により硬化するバインダー前
駆体は縮合硬化性樹脂と比較して溶媒発散の観点から問
題が少ない。
【0065】本発明で用いるフリーラジカル硬化性樹脂
に関しては、研磨スラリーがフリーラジカル硬化剤をさ
らに含有することが好ましい場合もある。しかしなが
ら、電子線エネルギー源の場合は、硬化剤は必ずしも必
要としない。電子線自体がフリーラジカルを生成するか
らである。
【0066】フリーラジカル熱開始剤の例には、パーオ
キシド、例えば、ベンゾイルパーオキシド、アゾ化合
物、ベンゾフェノンおよびキノンが含まれる。紫外線ま
たは可視光エネルギー源のためには、この硬化剤は光開
始剤としばしば呼ばれる。紫外線に露出された場合にフ
リーラジカル源を生成する開始剤の例には、有機パーオ
キシド、アゾ化合物、キノン、ベンゾフェノン、ニトロ
ソ化合物、アクリルハライド、ヒドロゾン、メルカプト
化合物、ピリリウム化合物、トリアクリルイミダゾー
ル、ビスイミダゾール、クロロアルキトリアジン、ベン
ゾインエーテル、ベンジルケタール、チオキサントンお
よびアセトフェノン誘導体およびこれらの混合物からな
る群から選択されるものが含まれるがこれらに限定され
ない。可視光に露出された場合にフリーラジカル源を発
生する開始剤の例は、「三成分系光開始剤系を含有する
被覆研磨バインダー」の標題の米国特許第4,735,6
32号(オックスマンら)に見出される。これをここに参
照として挙げる。可視光に用いるのに好ましい開始剤は
チバガイギー社より市販されている「イルガキュア36
9」である。
【0067】添加剤 研磨スラリーは、例えば、フィラー(グラインド助剤を
含む)、ファイバー、潤滑剤、湿潤剤、チクソトロピー
材料、界面活性剤、顔料、染料、帯電防止剤、カップリ
ング剤および懸濁剤のような任意の添加剤をさらに含み
うる。これらの材料の量は所望の特性を提供できるよう
に選択される。これらの使用は研磨コンポジットの浸壊
性に影響しうる。本発明に必須とは考えられないけれど
も、クレイのような添加剤を添加することにより劣化し
た研磨粒子の除去および新しい研磨粒子の露出に関して
研磨コンポジットの浸壊性がより制御されうる。
【0068】「フィラー」という用語は、研磨業界でグラ
インド助剤として知られる材料も包含する。グラインド
助剤は、研磨の化学的及び物理的過程に重大な影響を与
えて改良された性能を付与する粒子材料と定義できる。
グラインド助剤の化学的グループの例には、ワックス、
有機ハライド化合物、ハライド塩および金属およびそれ
らのアロイが含まれる。このような材料の例には、テト
ラクロロナフタレン、ペンタクロロナフタレンおよびポ
リビニルクロリドのような塩素化化合物が挙げられる。
ハライド塩の例には、塩化ナトリウム、カリウムクライ
オライト、ナトリウムクライオライト、アンモニウムク
ライオライト、カリウムテトラフルオロボレート、ナト
リウムテトラフルオロボレート、シリコン流体、塩化カ
リウム、塩化マグネシウムが含まれる。金属の例には、
錫、鉛、ビスマス、コバルト、アンチモン、カドミウ
ム、鉄およびチタンが含まれる。その他多くのグライン
ド助剤には、イオウ、有機イオウ化合物、グラファイト
および金属スルフィドが含まれる。
【0069】帯電防止剤の例には、グラファイト、カー
ボンブラック、酸化パナジウム、湿潤剤などが含まれ
る。これらの帯電防止剤は米国特許第5,061,294
号(ハーマーら)、同第5,137,542号(ブキャナン
ら)および同第5,203,884号(ブキャナンら)が挙
げられ、これらをここに参照として挙げる。
【0070】カップリング剤はバインダー前駆体とフィ
ラー粒子または研磨粒子との相互架橋を提供しうる。架
橋剤の例には、シラン、チタネートおよびジルコアルミ
ネートが含まれる。好ましくは、研磨スラリーは約0.
01〜3重量%のカップリング剤を含みうる。
【0071】懸濁剤の例は150m2/gを下回る表面積
を有する非晶質シリカ粒子であり、これはデグサ社より
「エアロシル130」の商標で入手できる。
【0072】研磨コンポジットの形状 本発明に用いるのに好ましい研磨用品は単独の研磨コン
ポジットの配列を用い、それぞれのコンポジットはバイ
ンダー系中に分散された研磨粒子を含有する。この好ま
しい態様では、それぞれのコンポジットは形状において
三次元であり、使用中に他のコンポジットから離れて独
立して機能するグラインド表面が存在する。本発明に用
いるこれらの単独の研磨コンポジットは凝集体またはビ
ーズ化タイプの研磨用品またはいわゆる「構造化研磨用
品」として用いうる。構造化研磨用品とは、ある配列に
おいて裏材料上におかれた複数の単独の正確な形状のコ
ンポジットを有し、それぞれのコンポジットがバインダ
ー中に分散された研磨粒子を含有する研磨用品を意味す
る。この好ましい態様の構造化研磨用品は、研磨粒子が
バインダー中に分散された一体性被覆または変性(例え
ば、エンボスされるか、不連続隆起パターン)被覆は包
含しない。
【0073】したがって、この態様ではコンポジットは
本質的に「単独」であり、それぞれの研磨コンポジットは
それを伴う形状を有する。単独のコンポジットの形状は
それに伴う表面または境界を有しており、その結果、一
つの研磨コンポジットは他の隣接の研磨コンポジットか
らいくらか分離されている。好ましくは、研磨コンポジ
ットは裏材料に接合された底端が相互に突合わせされて
いるとしても、少なくともそれらの終端において分離さ
れている形状を有する。単独の研磨コンポジットを形成
するために、研磨コンポジットの形状を形成する平面ま
たは境界の一部は相互に分離される必要がある。一般
に、この部分は上部である。研磨コンポジットの低部ま
たは底部は隣のものと相互に突合わせしうる。図1にお
いて、隣接した研磨コンポジット11は頂表面16近く
で分離され得、底表面17の近くで突合わせされうる。
すなわち、単独の研磨コンポジットを形成するために、
研磨コンポジットの形状を形成する平面および境界は研
磨コンポジット形状の上部における少なくとも終端にお
いて相互に分離される必要がある。これらの終端は裏材
料に対して平行に突出した共通の仮想平面に伸長しう
る。または、これらは相互に独立した高さを有しうる。
研磨コンポジットの低部または底部であって終端を含ま
ない部分は相互に隣のものと突合わせされうる。
【0074】したがって、本発明の好ましい研磨コンポ
ジットは、少なくとも異なるコンポジットの終端は相互
に接合しないという意味において「単独である」として特
徴づけられる。その代わりに、存在する終端は、少なく
ともワークピースに対して表面を独立して研磨する。こ
の条件は、分離したアレイがより可撓性のグラインド部
材を提供し、仕上げ効果を増強すると考えられる。
【0075】単独の研磨コンポジットの形状はどんなも
のでもよいが、ピラミッド、先端が切られたピラミッ
ド、立方体、直方体、プリズム状、円錐、先端が切られ
た円錐、または三角形、正方形、長方形、六角形、八角
形などの頂表面形状を有するシリンダまたはポスト状形
状のような幾何形状とすることが好ましい。得られる研
磨用品は異なる研磨コンポジット形状の混合でもありう
る。
【0076】好ましい形状はピラミッドまたは先端が切
られたピラミッドである。好ましくは、このピラミッド
形状は4〜5個の側、先端が切られている場合は5〜6
個の側(ベース側を含む。)を有することが好ましい。し
かしながら、より多数の側も本発明の視野に含まれる。
コンポジットの高さは研磨用品に対して一定に提供する
ことが好ましい。しかしながら、異なる高さのコンポジ
ットも有しうる。コンポジットの高さは約200μmま
での値、特に25〜約200μmまでとしうる。ピラミ
ッドまたは先端が切られたピラミッド形状を用いる場合
は、ベース側長さは、一般に約100〜500μmとし
うる。
【0077】研磨コンポジットのこの形状は走査型電子
顕微鏡のような顕微鏡で見た場合に明確で認識できる境
界により定義されるような、正確であるか、予め決定さ
れているものであることが好ましい。このような正確な
形状は図1に示される。研磨用品10は裏材料12を有
し、裏材料に接着されているのは複数の研磨コンポジッ
ト11である。研磨コンポジットの内部は接合系15中
に分散された複数の研磨粒子14である。この接合系は
フリーラジカル硬化したバインダーと可塑剤とからな
る。この特定の例示においては、研磨コンポジットはピ
ラミッド形状を有する。ピラミッドを定義する平面18
または境界18は非常に鋭く明確である。
【0078】本発明の目的において、上記の研磨コンポ
ジットを説明するのに用いる「正確な形状の」等とは、種
々の側の交差により定義される明確な終点を有する明確
なエッジ長を有する良好に定義された鋭いエッジにより
区切られ連結された比較的滑らかな表面の側により定義
される形状を有する研磨コンポジットをいう。
【0079】本発明の目的において、研磨コンポジット
を定義するのにここで用いる「境界」とは、それぞれの研
磨コンポジットの実際の三次元形状の限界を定め定義す
るそれぞれのコンポジットの露出表面およびエッジをい
う。これらの境界は本発明の研磨用品の断面を走査電子
顕微鏡で見れば容易に見え、認識できる。これらの境界
はコンポジットがそれらのベースにおいて共通の境界に
沿って相互に突合わせされていても研磨コンポジットを
相互に区別できる。比較において、正確な形状を有しな
い研磨コンポジットでは、境界およびエッジは定義的で
はない。例えば、その場合は、研磨コンポジットはその
硬化の完了の前に垂れる。
【0080】図2は不規則形状を有する研磨コンポジッ
トを例示する。研磨用品20は裏材料22を有し、裏材
料に接着されているのは複数の研磨コンポジット21で
ある。研磨コンポジットの内側は接合系25内に分散さ
れた複数の研磨粒子24である。この特定の例示におい
て、研磨コンポジットは先端が切られたピラミッド型形
状を有する。特徴を決定する平面28または境界28は
不完全であり不正確である。不完全な形状は、研磨スラ
リーが、バインダー前駆体の硬化または固形化の前に初
期形状から流動または垂れることを許容することにより
引き起こされうる。例えば、コンポジットが製造用具に
より付与された形状を保持するのに十分に硬化する前に
製造用具が裏材料から尚早に除去されることにより生ず
る。このような直線でなく、明確でなく、再現性がな
く、不正確または不完全な平面または形状境界が不規則
形状の意味である。
【0081】または、単独の研磨コンポジットは米国特
許第4,311,489号、同第4,652275号およ
び同第4,799,939号で説明されるような研磨凝集
体またはビーズとして提供されうる。しかしながら、こ
れらは本発明の目的のために変形されることによりここ
で説明される浸壊性が増大されうる。
【0082】少なくとも700の単独の研磨コンポジッ
ト/cm2、好ましくは少なくとも1,500、より好まし
くは少なくとも3,000および最も好ましくは少なく
とも7,500の単独の研磨コンポジット/cm2が存在す
ることが好ましい。研磨コンポジットのこのような領域
配置数は比較的高いカット速度、長寿命を有する研磨用
品を提供し、また研磨されるワークピース上に比較的微
細な表面仕上げを提供する。これらのコンポジット密度
はより持続的な研磨コンポジットの破壊を提供する場合
もある。
【0083】または、本発明で用いられる研磨コンポジ
ットはここで開示されるタイプのバインダー中に分散さ
れた研磨粒子の硬化スラリーの形成された裏材料上の相
互連結したネットワークまたはグリッドとして形成され
うる。このネットワークはグリッド配置であり得、ここ
では相互連結された研磨材料のリッジ、例えば、ロトグ
ラビアロールにより裏材料により塗布されたもの、が研
磨材料の開口空間を閉じる。この態様では研磨材料は裏
材料上に非連続的に設けられるか形成され、そのことに
より終端において含む相互接合された研磨材料の伸長さ
れたリッジを提供する。本発明のこの態様は米国特許第
4,733,920号および同第5,014,469号に記
載のパターンを含むような研磨材料の隆起パターンを提
供する。しかしながら、この研磨材料はここで開示され
た方法により本発明の目的のために変性され、そのこと
により、ここで記載のように特に所定のタイプおよび量
の有機可塑剤が加えられることにより浸壊性研磨材料を
提供する。
【0084】研磨用品の製造方法 研磨用品を作製するための第1工程は研磨スラリーを調
製することである。研磨スラリーはいずれかの好ましい
混合技術によりバインダー前駆体、可塑剤、研磨粒子お
よび任意の添加剤を配合することにより作製される。混
合技術の例には、低剪断および高剪断混合が挙げられる
が、高剪断混合が望ましい。低い粘度の研磨スラリーを
混合する場合は、配合に超音波をも用いうる。典型的に
は、研磨粒子はバインダー前駆体中に徐々に添加され
る。研磨スラリー中の気泡の量は混合工程の最中または
後に真空を適応することにより最低とできる。研磨スラ
リーの粘度を低減するために、一般に30〜70℃に加
熱することが好ましい場合もある。この研磨スラリーは
良好に被覆し、研磨粒子および他のフィラーが沈澱しな
いようなレオロジーを有することが重要である。
【0085】本発明の研磨用品を作製するためには2種
類の主な方法がある。第1の方法は正確な形状を有する
研磨コンポジットを一般に提供する。正確な形状を得る
ために、バインダー前駆体は研磨スラリーが製造用具の
キャビティー中に存在する間に固形化または硬化され
る。第2の方法は不規則形状を有する研磨コンポジット
を一般に提供する。両方法において、研磨スラリーは製
造用具のキャビティー中に被覆されることにより研磨コ
ンポジットを生成する。しかしながら、第2の方法で
は、研磨スラリーはバインダー前駆体が硬化または固形
化する前に製造用具から除去される。その後、バインダ
ー前駆体は硬化または固形化される。このバインダー前
駆体は製造用具のキャビティーにある間に硬化されない
ので、研磨スラリーは流動し、研磨コンポジットの形状
が崩れる。両方法において、フリーラジカル機構により
硬化しうる熱硬化性バインダー前駆体が用いられる。エ
ネルギー源はバインダー前駆体のケミストリーに依存し
て熱または照射エネルギーでありうる。
【0086】製造用具 製造用具は複数のキャビティーを有する。これらのキャ
ビティーは本質的に形成される研磨コンポジットの逆形
状である。そして、これらは研磨コンポジットの形状を
生成する役割を担う。少なくとも700キャビティー/
cm2、好ましくは少なくとも1,500、より好ましくは
少なくとも3,000そして最も好ましくは少なくとも
7,500キャビティー/cm2でこれらが存在することが
好ましい。このような数のキャビティーにより、対応す
る数の研磨コンポジット/cm2を有する研磨用品が形成
される。これらのキャビティーはどんな形状でもよい
が、好ましくは、ピラミッド、先端が切られたピラミッ
ド、立方体、直方体、プリズム状、円錐、先端が切られ
た円錐またはシリンダまたは三角形、正方形、長方形、
六角形、八角形などの頂表面形状を有するポスト状のよ
うな幾何学形状である。キャビティーは隣接キャビティ
ー間のスペースを有するドットパターンにおいて存在し
うる。また、キャビティーは相互に突合わせされうる。
キャビティーは相互に突合わせされることが好ましい。
さらに、キャビティーの形状は研磨コンポジットの表面
積が裏材料から離れて減少するように選択される。製造
用具はベルト、シート、連結シートまたはウェブ、ロト
グラビアロールのような被覆ロール、被覆ロール上に装
着されたスリーブ、またはダイでありうる。製造用具は
金属(例えば、ニッケル)、金属アロイ、セラミックまた
はプラスチックでありうる。金属製造用具は掘り込み、
ホビング(hobbing)、電子形成、ダイヤモンド・ターニ
ング、ナーリング(knurling)などのようないずれかの従
来の技術で製造しうる。銅の用具はダイヤモンドターン
され得、ニッケル金属用具は銅の用具の電気メッキであ
りうる。熱可塑性用具は金属マスター用具から複製され
うる。このマスター用具は製造用具に望まれるものの逆
パターンを有する。マスター用具は、好ましくは金属、
例えば、ニッケルから作製される。熱可塑性シート材料
は加熱され得、任意に、熱可塑性材料がこの2つを圧迫
することによりマスター用具パターンでエンボスされる
ようにマスター用具とともに添わせられる。熱可塑性材
料はマスター用具の上に押し出しされ、その後、圧迫さ
れてもよい。熱可塑性材料は冷却されて固形化し、製造
用具を提供する。
【0087】また、製造用具は研磨用品が製造用具から
容易に剥離するのを許容するように剥離被覆を有しう
る。このような剥離被覆の例には、シリコーンおよびフ
ッ素化学物が含まれる。
【0088】エネルギー源 研磨スラリーはフリーラジカル硬化性バインダー前駆体
を含み、そのことによりバインダー前駆体は硬化または
重合される。この重合は、一般に、熱または光照射エネ
ルギー源に露出することにより開始される。エネルギー
の量はバインダー前駆体のケミストリー、研磨スラリー
の寸法、研磨粒子の量およびタイプおよび任意の添加剤
の量およびタイプのような数種の要素に依存する。照射
エネルギー源は電子線、紫外光または可視光を含む。電
子線照射はイオン化照射としても知られており、これは
約0.1〜約10Mrad、好ましくは約1〜10Mradの
エネルギーレベルにおいて用いうる。紫外線照射は約2
00〜約400nm、好ましくは約250〜400nmの範
囲内の波長を有する非粒子照射をいう。300〜600
ワット/インチ(118〜236ワット/cm)の可視光を
用いるのが好ましい。可視照射は、約400〜約800
nm、好ましくは約400〜約550nmの範囲内の波長を
有する非粒子照射を意味する。また、フリーラジカル重
合を開始させるために熱エネルギーを用いることもでき
る。
【0089】好ましい第1の方法は図4に示される。裏
材料41が巻き戻しステーション42を離れ、同時に製
造用具(パターン用具)46が巻き戻しステーション45
を離れる。製造用具46は被覆ステーション44により
研磨スラリーで被覆される。粘度を低減するために研磨
スラリーを加熱するか、またはスラリーを加熱、および
/またはスラリーに超音波を作用させることは可能であ
る。被覆ステーションは従来のいずれかの被覆手段例え
ば、ドロップ・ダイ・コーター、ナイフ・コーター、カ
ーテン・コーター、真空ダイ・コーターまたはダイ・コ
ーターでありうる。被覆の最中に、気泡の形成は最低限
とされるべきである。好ましい被覆技術は真空流体支持
ダイである。製造用具が被覆された後に、裏材料と研磨
スラリーとが接触させられ、そのことにより研磨スラリ
ーは裏材料の前表面を湿潤する。図4において、研磨ス
ラリーは接触ニップロール47により裏材料と接触させ
られる。研磨スラリーの回転バンク(rolling bank)また
はベッド(bead)をニップロール47において製造用具上
に維持することにより均一な被覆を確実とすることが好
ましい。接触ニップロール47は得られる構成を支持ド
ラム43に対して押し付ける。次いで、何らかの形態の
エネルギーが研磨スラリーダイに透過され、少なくとも
部分的にバインダー前駆体を硬化する。部分的に硬化と
いう用語は、反転された用具から研磨スラリーが流動し
ない状態に重合されることを意味する。バインダー前駆
体はそれが製造用具から除去された後にいずれかのエネ
ルギー源により完全硬化されうる。この後に、製造用具
はマンドレル49に再度巻き取られ、そのことによりこ
れは再利用される。研磨用品はマンドレル48上に巻か
れる。バインダー前駆体が完全硬化されない場合は、バ
インダー前駆体はその後時間を置くこと、および/また
はエネルギー源に露出することにより完全硬化されう
る。この第1の方法による研磨用品を作製するための追
加の工程は米国特許第5,152,917号(ピーパーら)
および1993年1月14日に出願され、現在特許され
たUSSN08/004,929(スプゲオンら)にさら
に説明されている。これらを参照としてここに挙げる。
【0090】この第1の方法の他の変形として、研磨ス
ラリーは製造用具のキャビティー中にではなく裏材料上
に被覆されうる。裏材料に被覆された研磨スラリーは、
次いで、製造用具に接触させられ、そのことにより、研
磨スラリーが製造用具のキャビティー中に流入する。研
磨用品を作製するための残りの工程は上述の詳細と同様
である。
【0091】この第1の方法において、バインダー前駆
体は照射エネルギーにより硬化されることが好ましい。
照射エネルギーは裏材料を通過するか製造用具を通過し
うる。裏材料または製造用具は照射エネルギーをそれほ
ど吸収するべきではない。また、照射エネルギー源は裏
材料または製造用具を余り劣化させるべきではない。例
えば、紫外光はポリエステル裏材料を透過しうる。また
は、製造用具が特定の熱可塑性材料、例えば、ポリエチ
レン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリカーボネー
ト、ポリ(エーテルスルホン)、ポリ(メチルメタクリレ
ート)、ポリウレタン、ポリビニルクロリドまたはこれ
らの組み合わせで製造される場合は、紫外光または可視
光は製造用具を透過して研磨スラリーに達しうる。材料
が変形性であるほど処理が容易となる。熱可塑性ベース
の製造用具のためには、研磨用品の製造のための操作条
件は過度の熱が生成しないように設定されるべきであ
る。過度の熱が生成される場合は、これは熱可塑性用具
を劣化または溶解させうる。
【0092】図5に第2の方法が例示されている。研磨
スラリー54は被覆ステーション53により製造用具5
5(ここではドラムとして示す)上に被覆される。研磨ス
ラリーはドロップ・ダイ・コーター、ロール・コータ
ー、ナイフ・コーター、カーテン・コーター、真空ダイ
・コーターまたはダイ・コーターのようないずれかの技
術により製造用具上に被覆されうる。被覆の最中には、
気泡の生成は最低限とされるべきである。裏材料51は
巻き戻りステーション52を離れ、製造用具および研磨
スラリーはニップロール56により裏材料51と接触さ
せられ、そのことにより、研磨スラリーは裏材料を湿潤
する。研磨スラリーで被覆された裏材料はエネルギー源
57Aに露出されてバインダー前駆体の重合が開始し、
研磨コンポジットが形成される。次いで、研磨用品は製
造用具から除去される。除去の後に、得られる研磨用品
はステーション58のロールに巻かれる。
【0093】この第2の方法の他の変法では、研磨スラ
リーは製造用具のキャビティー中ではなくて裏材料上に
被覆されうる。次いで、裏材料は製造用具と接触させら
れ、そのことにより、研磨スラリーが製造用具のキャビ
ティーを充填する。研磨用品を製造するための残りの工
程はすでに詳述したのと同様である。
【0094】製造用具55から除去した後に、エネルギ
ー源57Aではなくて、エネルギー源57Bに露出する
ことによりバインダー前駆体を硬化させることも可能で
ある。この方法では、図2に示すような、幾分か垂れた
形状のコンポジットが提供される。研磨用品を作製した
後に、これは、変換される前に可撓化および/または湿
潤化されうる。この研磨用品は、この研磨用品の使用前
にコーン、エンドレスベルト、シート、ディスクなどの
ような所望の形態に変換されうる。
【0095】ワークピース表面の磨き 次いで、この研磨用品をワークピースの表面を磨くのに
用いる。磨くという用語は、ワークピースの一部を研磨
用品により研磨除去し、その間、ワークピース表面に伴
う表面仕上げが低減されることを意味する。典型的な表
面仕上げの測定はRaである。Raは一般にマイクロイン
チまたはマイクロメーターで測定された算術平均仕上げ
である。表面仕上げは、パートメーター(Perthometer)
またはサートロニック(Surtronic)のようなプロファイ
ロメーターにより測定されうる。
【0096】ワークピース 本発明の研磨用品により減らされるワークピースは多種
のタイプの材料から選択されうる。例えば、金属、金属
アロイ、異種(exotic)金属アロイ、セラミックス、ガラ
ス、木材、木材状材料、コンポジット、被覆表面、プラ
スチック、補強プラスチック、石、大理石、およびこれ
らの組み合わせが挙げられる。ワークピースは平坦であ
っても形状を有してもそれに伴う輪郭を有していてもよ
い。本発明の研磨用品は、裏材料の適切な選択その他に
より、曲面に順応するように十分に可撓性とされうる。
ワークピースの例にはメガネガラス、メガネプラスチッ
ク、プラスチックレンズ、テレビスクリーンガラス、金
属自動車部品、プラスチック部品、粒子ボード、カムシ
ャフト、クランクシャフト、家具、タービンブレード、
塗装自動車部品、磁気媒体などが挙げられる。
【0097】用途に応じて、研磨界面における圧力は約
0.1kg〜1000kgを上回って変化させうる。一般
に、この範囲は研磨界面において1kg〜500kgの力で
ある。また、用途に依存して、一般に研磨中に液体を存
在させる。この液体は水、および/または有機化合物で
ありうる。典型的な有機化合物の例には、潤滑油、油、
乳化有機化合物、切削流体、石鹸などが含まれる。この
ような液体は消泡剤、脱脂剤、腐食防止剤などのような
他の添加剤も含有しうる。研磨用品は使用中研磨界面に
おいて振動させうる。この振動が研磨されるワークピー
ス上により微細な表面を提供する場合もある。
【0098】研磨用品はベルト、テープロール、ディス
ク、シートなどに変換されうる。研磨ディスクは研磨業
界で「ダイシー(daisies)」として知られるものを含みう
る。これは直径約5cm〜1mでありうる。典型的には、
研磨ディスクは取り付け手段によりバックアップパッド
に固定される。研磨ディスクは100〜20,000回
転/分、典型的には、1,000〜15,000回転/分
で回転されうる。
【0099】本発明の研磨用品は手により、または機械
と組み合わせて用いうる。ワークピースと研磨用品との
少なくとも片方または両方がお互いに対して移動する。
【0100】本発明の研磨用品に用いうるラッピング装
置は固定された研磨パッドを受け入れるように設計され
たいずれの装置(すなわち、ラップ手段)でもよい。本発
明の研磨用品を用いて眼科用レンズの研磨操作を行うた
めに好ましいラッピング装置の例には、コバーン光学工
業社、ムスコジー(Muskogee)、オクラホマ、より得ら
れるコバーン5000シリンダ装置; コバーン506シ
リンダ装置; および当業界で知られる他の装置である。
本工程のためには約0.7〜1.8kg/cm2の単位圧力
が望ましく、1.3〜1.5kg/cm2が最も好ましい。
しかしながら、単位圧力は用いられる装置により通常一
部決定される。研磨用品における単位圧力は用いられる
研磨用品の崩壊または浸壊を補助すると考えられ、これ
はすべてのタイプの研磨用品のために異なる。結局は、
用いる圧力は用いるラッピング装置、ワークピースの初
期表面仕上がり、研磨粒子寸法およびワークピースの望
まれる最終表面仕上がりに依存する。
【0101】眼科レンズ仕上げに供する時間は、通常3
0秒〜6分、最も一般的には、2〜3分である。レンズ
に仕上げに現実に必要な時間は用いる圧力、レンズの初
期表面仕上がり、研磨粒子寸法およびレンズに要求され
る最終的な表面仕上がりに依存する。熟練した装置のオ
ペレーターは所望の最終仕上がりを得るために必要な正
確な時間および圧力を決定しうる。
【0102】ラップ手段は本発明の研磨用品を用いるラ
ッピング装置の間水で充満させる。本発明の研磨シート
またはパッドを用いるのに適応する水性流体は主に水で
あるが、スラリー艶出しまたは従来の被覆研磨仕上げで
典型的に用いられるような他の成分をも含みうる。この
ような添加剤には、水溶性油、乳化性油、湿潤剤などが
含まれる。この水性流体は少なくとも本質的に研磨粒子
を含んではならず、好ましくは全く研磨粒子を含まな
い。
【0103】艶出しシートとレンズとの界面において提
供される水流は研磨表面を「充満する」ために比較的大容
量であるべきである。すなわち、研磨界面におけるすべ
ての表面を実質的に覆うのに適当な量の液体で用いるべ
きである。この水の供給は界面における水のホースおよ
びノズルで方向づけされた水流により行うことによりそ
の近傍に水が存在させられる。
【0104】
【実施例】以下の非限定的な実施例により本発明をさら
に説明する。本実施例におけるすべての部、%、比など
は特に断らない限り重量基準である。
【0105】実施例において以下の略語を用いた。
【0106】TMPTA: サルトマー社から「SR35
1」の商標で入手できるトリメチロールプロパントリア
クリレート; PEG: ユニオン・カーバイド社より「カーボワックス
600」の商標で市販されているポリエチレングリコー
ル; PH2: チバ・ガイギー社より「イルガキュア369」の
商標で市販されている2−ベンジル−2−N,N−ジメ
チルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタ
ノン; ASF: デグサ社より「エアロシル130」の商標で市販
されている非晶質シリカフィラー; WAO: フジミ社より得られるホワイト酸化アルミニウ
ム、JISグレード6000、平均粒子寸法2μm; SCA: ユニオン・カーバイド社より「A−174」の商
標で市販されているシランカップリング剤、3−メタク
リルオキシプロピルトリメトキシシラン。
【0107】試験操作1 試験操作1は研磨用品を眼科レンズ研磨の用途に研磨用
品を試験するために計画した。研磨試料を標準ダイで直
径3インチ(約7.6cm)の「ダイシー」にカットした。レ
ンズワークピースは、ピッツバーク・ペイント&グラス
(PPG)、ピッツバーク、ペンシルバニア、USA、か
ら入手できる「CR−39」プラスチックから作製した。
これは直径68mmであり、212球面(2.12ジオプ
ター(Diopter))に予備研磨した。試験される研磨材料
の裏側を感圧接着剤でラミネートし、ラッピングブロッ
クの上に接着した。用いたラッピング装置はコバーン光
学工業社、ムスコジー、オクラホマ、USA、より得ら
れるコバーン5000シリンダ装置であり、その際に、
ラップ装置と研磨用品とをレンズワークピースの表面に
対して押し付けるのに20ポンドの力(約4.5ニュー
トン)の設定を用いた。艶出しの間、ラップブロックと
レンズとは水で充満させた。水の充満は接触するラップ
ブロックとレンズワークピースとの界面中に連続する水
の流れを差し入れることにより行った。
【0108】一段階仕上げ操作をまず行った。レンズ
は、ミネソタ・マイニング&マニュファクチュアリング
社より3M・356M・クイック・ストリップTM仕上げ
パッドの商標で市販されている4μm酸化アルミニウム
ビード化ラッピングフィルムを用いて1分間仕上げた。
以下に説明する例示的な研磨用品を用いて第2仕上げ工
程として同一条件下でレンズを2分間艶出した。
【0109】Rtm Rtmは研磨業界において用いられる通常の粗さの測定で
ある。これは5回の連続した測定長さの5個のそれぞれ
の粗さの深さの平均として定義される。ここでは、それ
ぞれの粗さの深さは測定長さにおける最高点と最低点と
の間の垂直距離である。Rtmはプロファイロメータープ
ローブで測定される。これはダイヤモンドチップの先端
であり、結果はマイクロメーターで記録される。一般
に、Rtmが低いほど仕上げが滑らかとなる。用いたプロ
ファイロメーターは半径0.005mmのチップと8.0
mmの測定ストロークを有するパーテンM4Pとした。
【0110】実施例1〜3および比較例A 以下の研磨スラリーの処方により実施例1〜3および比
較例Aを調製した。ここで、量は合計混合物の重量%と
した。
【0111】
【表1】
【0112】実施例2以外のそれぞれの研磨スラリーは
ナイフ・コーターで、実施例2のスラリーは真空ダイ・
コーターで、先端が切られたピラミッドタイプのパター
ンを有するポリプロピレン製造用具上に、約4.6m/
分の速度で被覆し、そのことにより、研磨スラリーを用
具の奥まで充填した。ピラミッドパターンは、それらの
底が相互に突合わせするようになる。先端が切られたピ
ラミッドの高さは約80μm(3.15ミル)であり、側当
りのベースは約178μm(7ミル)であり、そして側当
りのトップは約51μm(2ミル)であった。インチ当り
約113ライン存在する(約44ライン/cm)。厚さ2
50μmの紙裏材料をローラーを用いて製造用具に押し
つけ、研磨スラリーが裏材料の前表面を湿潤した。裏材
料とバインダー前駆体とを有する用具を約45.7m/
分の速度において236W/cm「Vバルブ」(フュージ
ョン・システムズ社より得られる。)の下を一回通過さ
せた。照射は製造用具を透過した。この可視光により研
磨スラリーが研磨コンポジットに変形され、研磨コンポ
ジットが紙支持体に接着された。次いで、紙/研磨コン
ポジット構成が製造用具から分離されて研磨用品が形成
された。
【0113】以下の表2に、試験操作1により試験した
場合の実施例1および比較例Aの結果をμmで示す。
【0114】
【表2】
【0115】この結果は、研磨コンポジット中に少なく
とも30%の量でポリエチレングリコールをバインダー
前駆体と予め混合することにより提供される、表面仕上
がりの著しい改良を示す。
【0116】実施例4〜7および比較例AA、B 以下に示す点を変更すること以外は実施例1〜3および
比較例Aと同様にして、試験を行った。
【0117】ピラミッドの底を突合わせしない;硬化速
度を15.2m/分(50fpm)とする;用具は約11
3ライン/インチ(44.5ライン/cm)を有するのみ
である;スラリー処方を表3により処方し、試験操作1
により試験した。
【0118】
【表3】
【0119】*実施例7において、PEGを59.1部
の「L7500」で置換した。これは、ユニオン・カーバ
イド社製のシルウェットTML−7500であり、H2
不溶性シリコン油である。シルウェットTML−7500
/TMPTAの30/70混合物に処方した。
【0120】
【表4】
【0121】実施例8および比較例C 水溶性シリコン油 以下の変更を除き実施例1〜3の実験操作と同様にし
て、水溶性シリコン油のためのデータを得た。
【0122】用いた用具を実施例1〜3の先端が切られ
たピラミッド用具と異なるものとした。その代わりに、
高さ63.5μm(8,850キャビティ/cm2)のピラミ
ッド型キャビティを有する2.5ミルダイアモンドグレ
ード用具とした。
【0123】水溶性シリコン油(シルウェットTML−7
7)実験のための処方を以下に示す。
【0124】
【表5】
【0125】眼科試験操作の結果を以下に示す。
【0126】
【表6】
【0127】当業者には、本発明の視野および精神から
離れることなく本発明の種々の変形および改変が明らか
である。したがって、本発明はここに示した例示的な実
施態様に限定されるべきではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の研磨用品の一例を示す拡大端部断面
図である。
【図2】 本発明の研磨用品の他の例を示す拡大端部断
面図である。
【図3】 本発明の研磨用品の頂表面上に形成された微
細なパターンを表わす走査電子顕微鏡(×10)で撮った
写真である。
【図4】 本発明の研磨用品を作製するための装置を示
す模式横面図である。
【図5】 本発明の研磨用品を作製するための他の装置
を示す模式横面図である。
【符号の説明】
11…研磨コンポジット、 12…裏材料、 14…研磨粒子、 15…接合系、 16…頂表面、 18…平面または境界。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トッド・ジョン・クリスチャンソン アメリカ合衆国55144−1000ミネソタ州セ ント・ポール、スリーエム・センター(番 地の表示なし) (72)発明者 ウェズリー・ジェイ・ブルックスボールト アメリカ合衆国55144−1000ミネソタ州セ ント・ポール、スリーエム・センター(番 地の表示なし)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 その上に展開された複数の単独の研磨コ
    ンポジットを有する少なくとも1つの主要表面を有し、
    それぞれの研磨コンポジットは可塑化されたバインダー
    中に分散された複数の研磨粒子により特徴づけられ、そ
    して該バインダーはバインダー前駆体の重合により形成
    される、シート状構造を有する研磨用品であって、該バ
    インダー前駆体が、該重合の前にバインダー前駆体と可
    塑剤とを組み合わせた量100重量部に対して30〜7
    0重量部の量で可塑剤と組み合わされる研磨用品。
  2. 【請求項2】 前記可塑剤がポリオール、オルガノシリ
    コーン油およびこれらの組み合わせからなる群から選択
    される材料である請求項1記載の研磨用品。
  3. 【請求項3】 前記可塑剤がポリエチレングリコール、
    メトキシポリエチレングリコール、ポリプロピレングリ
    コール、ポリブチレングリコール、グリセロール、ポリ
    ビニルアルコールおよびこれらの組み合わせからなる群
    から選択されるポリオールを包含する請求項1記載の研
    磨用品。
  4. 【請求項4】 前記それぞれのコンポジットが明確で認
    識できる境界により定義される正確な形状を有し、該そ
    れぞれのコンポジットが前記主要表面から離れており他
    のいずれのコンポジットとも接続しない終端をさらに有
    する請求項1記載の研磨用品。
  5. 【請求項5】 (a)表面を有するワークピースと研磨用
    品とを摩擦接触させる工程;および(b)該研磨用品および
    該ワークピース表面の少なくとも一方を動かし、そのこ
    とにより、該ワークピースの該表面が減る工程;を包含
    する請求項1記載の磨く方法。
  6. 【請求項6】 (a)可塑剤、複数の研磨粒子および液体
    媒体としてのバインダー前駆体を含有するスラリーを調
    製することによりバインダー前駆体と可塑剤との合計1
    00重量部に対して30〜70重量部の可塑剤含有量を
    提供する工程; (b)前表面および後表面を有する裏材料、および複数の
    キャビティを有し、それぞれのキャビティが明確で認識
    できる境界により定義される正確な形状を有する接触表
    面を有する製造用具を提供する工程; (c)前記スラリーを該キャビティ中に設ける手段を提供
    する工程; (d)それぞれのキャビティ中の該スラリーが該裏材料の
    該前表面上の領域に接触しそれを濡らすように、該裏材
    料の前表面と該製造用具の接触表面とを接触させる工
    程; (e)該バインダー前駆体を硬化させて該キャビティ中に
    バインダーを形成し、その際に、該スラリーが硬化して
    複数の研磨コンポジットに変換される工程; (f)該硬化の後に該裏材料から該製造用具を分離するこ
    とにより該裏材料の前表面に付加された複数の研磨コン
    ポジットを提供する工程;を包含する請求項1の研磨用
    品を製造する方法。
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