JP4634386B2 - 研磨物品用組成物 - Google Patents

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Description

本開示は、研磨物品、特に構造化研磨物品、製造法および使用法に関する。より具体的には、構造化研磨物品は大きいトポグラフィーを有し、そして大きいセラミック研磨粒子を含む。
研磨物品は、100年以上、ワークピース表面を研磨および仕上げるために利用されている。これらの適用は、高ストック除去の高圧金属研削プロセスから、眼鏡レンズのような精密ポリッシングに及ぶ。一般的に、研磨物品は、一緒に結合されたか(例えば、結合研磨材もしくは研削ホイール)、またはバッキングに結合された(例えば、被覆研磨材)、複数の研磨粒子から製造される。被覆研磨材に関して、典型的に単層、または時には2層の研磨粒子が存在する。一旦これらの研磨粒子が摩耗したら、被覆研磨材は本質的に摩耗されて、そして典型的に処分される。
研磨粒子のこのような単層への1つの解決策については、特許文献1(ブローシェール(Bloecher)ら)、特許文献2(ブローシェール(Bloecher)ら)および特許文献3(ブローシェール(Bloecher))に記載されている。これらの文献に開示される被覆研磨物品は、バッキングに結合された複数の研磨凝集体を有する。研磨凝集体は、研磨粒子、バインダー、任意に研削助剤および任意に他の添加剤を含んでなる成形塊状物である。これらの研磨凝集体は、本質的に、研磨物品を形成する研磨粒子の三次元コーティングを生じる。
研磨粒子のもう1つの三次元コーティングは、研磨ラッピングフィルムである。特許文献4(カチマレック(Kaczmarek)ら)、特許文献5(チャスマン(Chasman)ら)および特許文献6(ヤマモト)に開示されるもののようなラッピングフィルムは、バッキングに結合される、研磨粒子およびバインダーを含んでなる研磨スラリーから製造される。これらのラッピングフィルムは、ワークピース上で精密表面仕上げが望まれるポリッシング適用において広範囲の商業的成功を収めてきたが、多くの他の適用に関して、これらのラッピングフィルムは必ずしも望ましい切削率を有さない。
より最近の、研磨粒子の三次元コーティングにおける開発によって、しばしば「構造化研磨材」と呼ばれる研磨物品が提供された。例えば、特許文献7(ピーパー(Pieper)ら)に、様々な構造の構造化研磨物品が開示されている。ピーパー(Pieper)は、ワークピース表面において相対的に高い切削率および相対的に精密な表面仕上げを生じる構造化研磨材を教示する。構造化研磨材は、バッキングに結合された、ランダムではない正確な形状の研磨複合材料を含んでなる。
構造化研磨物品およびそれらの製造法に関する他の参考文献としては、特許文献8(ステゼル(Stoetzel)ら)、特許文献9(フープマン(Hoopman)ら)、特許文献10(スパージェン(Spurgeon)ら)、特許文献11(カラー(Culler)ら)、特許文献12(ピーパー(Pieper)ら)および特許文献13(ラヴィパティ(Ravipati)ら)が挙げられる。
ピーパー(Pieper)および他の構造研磨材の特許は、研磨材の分野において著しい進歩であるが、常に、高いストック除去および長い寿命に関する改善の余地がある。
米国特許第4,652,275号明細書 米国特許第4,799,939号明細書 米国特許第5,039,311号明細書 米国特許第4,644,703号明細書 米国特許第4,773,920号明細書 米国特許第5,015,266号明細書 米国特許第5,152,917号明細書 米国特許第5,855,632号明細書 米国特許第5,681,217号明細書 米国特許第5,435,816号明細書 米国特許第5,378,251号明細書 米国特許第5,304,223号明細書 米国特許第5,014,468号明細書
本願は、構造化研磨物品、研磨物品の製造法および研磨物品の使用法に関する。特に、研磨物品は、各複合材料がバインダー中に研磨粒子を含んでなる複数の三次元研磨複合材料からなる構造研磨物品である。具体的には、複合材料は、少なくとも500マイクロメートル(0.02インチ)の高さを有する「大きい」複合材料である。加えて、複合材料中の研磨粒子は、少なくとも40マイクロメートルの平均粒度を有する「大きい」セラミック研磨粒子である。いくつかの実施形態において、研磨粒子は、少なくとも約85マイクロメートルの平均粒度を有する。さらなる実施形態において、複合材料中の研磨粒子は、少なくとも100マイクロメートルの平均粒度を有する「粗い」セラミック粒子である。いくつかの実施形態において、使用されるセラミック粒子は、少なくとも400マイクロメートルの平均粒度を有する。
大きいトポグラフィーの複合材料は、大きいセラミック研磨粒子と一緒に、同一粒度および種類の研磨粒子による従来のメーク/コート研磨物品よりも一貫した切削、長い切削寿命および一貫した表面仕上げを有する研磨物品を提供する。加えて、大きいトポグラフィーの複合材料は、大きいセラミック研磨粒子と一緒に、同一研磨粒子によるものの、より小さいトポグラフィーを有する構造化研磨物品よりも一貫した切削、長い切削寿命および一貫した表面仕上げを有する研磨物品を提供する。
1つの好ましい実施形態において、本発明は、前面を有するバッキングと、前記前面上の複数の研磨複合材料とを含んでなる構造化研磨物品に関する。各研磨複合材料は、少なくとも85マイクロメートルの平均粒度を有する複数のセラミック研磨粒子と、放射線硬化性バインダーを含んでなる有機成分とを有し、この有機成分は、研磨複合材料の15重量%〜40重量%を占有している。この複合材料は、バッキングの前面から測定した際に、少なくとも500マイクロメートルの高さを有する。この研磨物品は、使用において、1回目で第1の切削率および第1の表面仕上げ、そして2回目で第2の切削率および第2の表面仕上げを生じ、1回目と2回目とは少なくとも20分間離れており、第2の切削率は第1の切削率より50%以下だけ低い。いくつかの実施形態において、第2の切削率は、第1の切削率より30%以下だけ低く、そしてさらに15%以下だけ低い。
セラミック研磨粒子は、少なくとも100マイクロメートル、少なくとも約200マイクロメートル、または約100〜400マイクロメートルの平均粒度を有し得る。セラミック研磨粒子は、種付されても、種付されていなくてもよい。加えて/あるいは、セラミック研磨粒子は、少なくとも1種の希土類酸化物変性剤、例えば、イットリウム、ネオジム、ランタン、コバルトおよびマグネシウムの酸化物を含み得る。
バッキングの前面から測定された研磨複合材料の高さは、少なくとも600マイクロメートル、または少なくとも750マイクロメートルであり得る。この高さは、放物線関数によって少なくとも部分的に画定され得る。放物線関数は平方根関数を含み得る。
本発明は、少なくとも500マイクロメートルの高さを有し、そしてバインダー中に分散された、少なくとも85マイクロメートルの平均粒度を有するセラミック研磨粒子を含んでなる複数の研磨複合材料を有する、表面を研削するための様々な構造化研磨物品に関する。一実施形態において、研磨物品は、1回目に表面を研削して、第1の切削率および第1の表面仕上げを得るため、そして1回目の20分後の2回目に表面を研削して、第1の切削率より50%以下だけ低い第2の切削率を得るために構造化される。一実施形態において、研磨物品は、2回目に表面を研削して、第1の切削率より30%以下だけ低い第2の切削率を得るため、または2回目に表面を研削して、第1の切削率より15%以下だけ低い第2の切削率を得るために構造化される。加えて/あるいは、2回目は1回目の30分後であり得る。もう1つの実施形態において、研削工程は、試験手順Iを使用して、サイクル1で第1の切削率、そしてサイクル240で第2の切削率を生じ、第2の切削率が第1の切削率より15%以下だけ低い工程を含む。なおもう1つの実施形態において、研削工程は、試験手順IIを使用して、サイクル1で第1の切削率、そしてサイクル12で第2の切削率を生じ、第2の切削率が第1の切削率より50%以下だけ低い工程を含む。さらなる実施形態において、研削工程は、試験手順IIIを使用して、サイクル1で第1の切削率、そしてサイクル30で第2の切削率を生じ、第2の切削率が第1の切削率より30%以下だけ低い工程を含む。
そしてさらに、本発明は、メークおよびサイズコートならびに重力によって付着された溶融酸化アルミニウム研磨粒子凝集体を有する従来の被覆研磨材のような基準の研磨物品よりも一貫した切削率を提供する構造化研磨物品を含む。試験手順IIIを使用した場合、この構造化研磨物品は、30サイクル超で比較の切削率減少の50%以下の切削率減少を有する。
また本発明は、構造化研磨物品の製造法に関する。この工程は、前面を有するバッキングを提供する工程と、前記前面上で複数の研磨複合材料を適用する工程とを含む。各研磨複合材料は、少なくとも85マイクロメートルの平均粒度を有する複数のセラミック研磨粒子と、放射線硬化性バインダーを含んでなる有機成分とを含んでなり、この有機成分は、研磨複合材料の15重量%〜40重量%を占有している。複合材料は、バッキングの前面から測定した際に、少なくとも500マイクロメートルの高さを有する。この方法は、バインダー前駆体およびその中に分散された複数のセラミック研磨粒子を含んでなるスラリーを提供する工程と、その中に複数のキャビティを有する製造工具を提供する工程と、キャビティ中にスラリーを被覆する工程と、スラリーをバッキング前面と接触させる工程と、バインダー前駆体を硬化する工程と、製造工具からスラリーを除去する工程も含み得る。
製造工具からスラリーを除去する前に、バインダー前駆体を硬化することができるか、またはバインダー前駆体を硬化する前に、製造工具からスラリーを除去することができる。同様に、スラリーをバッキング前面と接触させる前または後に、キャビティ中にスラリーを被覆することができる。
多くの研削操作において、研磨材の寿命を通して、切削率の一貫性および予測できる仕上げが望ましい。いくつかの適用では、例えば、鋳造品および鍛造品の即座のディゲートでは、非常に激しい初期切削によってほとんどの仕事が達成され、その後、物品は、曇り、キャッピングまたは摩耗終点に達するため、連続的に減少する切削率が望ましい。しかしながら、シャフトおよびロール研削、ならびに類似の心なし/円筒研削操作は、「平坦な」切削率および仕上げが第1の重要性である場合を例証する。
3Mの「マルチカット(Multicut)」被覆研磨材および「366FA トリザクト(Trizact)」粒子被覆研磨材のような凝集体製品は、心なしの適用において相当する従来の(すなわち、単層メーク/コート)研磨物品よりも平坦な切削および仕上げ曲線を示す。しかしながら、3Mのマルチカット(Multicut)および従来のメーク/コート製品は、中間および粗いグレード範囲(例えば、グレード50(平均粒度約500マイクロメートル)からグレード180(平均粒度約85マイクロメートル))のVSMの「コンパクト グレイン(Compact Grain)」(「CG」)凝集体製品に対して性能が不足している。「KK718X バイテックス(Vitex)」のようなVSMの「コンパクト グレイン(Compact Grain)」(「CG」)凝集体製品は、心なし研削の市場区分の多くにおいて基準値を表す。
本願の背景で記載されるもののような構造化研磨物品は、製品の例外的に長い使用寿命によって、非常に一貫した表面仕上げを提供する。ミネソタ州セントポール(St.Paul,MN)の3M カンパニー(3M Company)から商標名「トリザクト(Trizact)」で入手可能であるもののような、現在市販品として入手可能な構造化研磨製品は、3マイクロメートル(WA5000グレード)から約125マイクロメートル(P120グレード)の範囲の平均粒度を有する溶融酸化アルミニウムおよび炭化ケイ素研磨粒子を利用する。これらの製品は、精密仕上げおよびポリッシング適用に向けられる。構造化研磨物品を製造するために使用される製造工具に基づく制限のため、より大きいグレードの構造化研磨材は、本発明以前には利用可能ではなかった。
本開示の研磨物品は、粗いグレードおよび中間グレードの範囲(例えば、グレード50(平均粒度約500マイクロメートル)からグレード180(平均粒度約85マイクロメートル))の従来のメーク/コート研磨物品または凝集体研磨物品を典型的に利用している、ディメンショニング、ブレンディングおよび他のストック除去の研削適用のために適切な、高く、持続した切削率を含むように、仕上げ一貫性および長寿命のコンセプトを拡張する。
本開示の研磨物品は、長期間にわたって、それらの切削率を保持する。典型的な研削条件において、大きいセラミック研磨粒子を伴う大きいトポグラフィーの研磨物品は、通常、研磨物品の予期された寿命(通常、少なくとも20分)にわたって、約50%以下の切削率減少を有する。いくつかの物品に関して、切削率減少は約30%以下であり、そして他の物品に関して、切削率減少は約15%以下である。切削率減少の量は、例えば、使用される研磨粒子の粒度および研削試験のような様々な条件に基づく。
以下の好ましい実施形態の記載において、本発明の一部を形成しており、そして例証として本発明が実施され得る具体的な実施形態が示されている、添付の図面が引用される。本発明の範囲を逸脱することなく、他の実施形態が利用されてもよく、そして配合上または構造上の変更がなされてもよいことは理解されるべきである。
図1を参照して、本開示による研磨物品20が示される。研磨物品20は、バッキング21に結合された、複数の研磨複合材料22を含んでなる。研磨複合材料22は、バインダー23中に分散された複数の研磨粒子24を含んでなる。研磨複合材料22は、本実施形態において線形である側面辺25によって画定される。
セラミック研磨粒子
研磨複合材料22は、大きい、または粗いセラミック研磨粒子24を含んでなる。従来のマークおよびサイズ樹脂コートによってバッキングに結合された、大きい粒度の研磨凝集体を有する研磨物品と比較して、大きいトポグラフィーの研磨複合材料22において大きいセラミック研磨粒子24を有する研磨物品は、より高い切削率と、その寿命を通して一貫した切削率を有するより長い寿命とを有することが見出された。研磨粒子の粒度に関する場合、用語「大きい」の使用によって、少なくとも40マイクロメートル(おおよそグレードP360またはANSI320)の平均粒度を研磨粒子が有することが意図される。研磨粒子の粒度に関する場合、用語「粗い」の使用によって、少なくとも100マイクロメートル(おおよそグレードP180またはANSI150)の平均粒度を研磨粒子が有していることが意図される。いくつかの実施形態において、セラミック研磨粒子は、少なくとも400マイクロメートル(おおよそグレード60)の平均粒度を有する。
本開示の研磨物品に関して適切なセラミック研磨粒子の平均粒度は、少なくとも40マイクロメートル、通常、少なくとも50マイクロメートル、そして好ましくは、少なくとも85マイクロメートルである。本発明のいくつかの研磨物品に関して、セラミック研磨粒子の粒度は、少なくとも100マイクロメートルである。他の実施形態は、少なくとも200マイクロメートル、いくつかは、少なくとも300マイクロメートル、そしてしばしば、少なくとも400マイクロメートルのセラミック研磨粒子を有する。いくつかの好ましい研磨物品に関する具体的な研磨粒子の粒度(すなわち、平均粒度)としては、約45、65、80、100、160、300マイクロメートルおよび400マイクロメートルが挙げられる。
研磨粒子を「グレード」または「メッシュ」によってサイズ設定することは、研磨分野において周知である。これは、全粒子が同一粒度を有するのではなく、粒度の分布または範囲である。例えば、研磨粒子グレーディング標準に関して、ANSI B74.18−1996「被覆研磨材上の特定の研磨粒子のグレーディングのために(For Grading of Certain Abrasive Grain on Coated Abrasive Material」を参照のこと。本明細書で使用される場合、提供される粒度は、粒子分布の平均粒度を意味する。
研磨複合材料中で使用される研磨粒子は、ゾルゲルプロセスから典型的に製造される多結晶性セラミック研磨粒子である。焼結α−アルミナ(酸化アルミニウム)粉末から、セラミックα−アルミナ研磨粒子も製造可能である。セラミック研磨粒子は、典型的に、少なくとも9のモース硬度を有する。
一般的に、変性剤が添加されてもよいアルミナ一水和物の分散系を調製する工程と、分散系をゲル化する工程と、ゲル化分散系を乾燥する工程と、乾燥されたゲル化分散系を粉砕して粒子を形成する工程と、粒子をか焼する工程と、粒子を発火して研磨粒子を形成する工程とを含むプロセスによって、焼結ゾルゲルアルミナ研磨粒子を製造する。このプロセスが最初に発見されて当該分野に開示されて以来、この基本プロセスの様々な調節および修正が発展されて開示されている。酸化アルミニウムの融解温度以下の温度で粒子を焼結するように、発火工程を実行する。アルミナ研磨粒子のゾルゲル製造プロセスは、より完全に、米国特許第4,314,827号明細書および米国特許第4,518,397号明細書(ライゼイザー(Leitheiser)ら)に記載されている。このプロセスの変形として、分散系にα−アルミナ種または酸化鉄種を添加することが挙げられる。
適切な、市販品として入手可能なセラミック研磨粒子の例としては、マサチューセッツ州ウォーチェスター(Worchester,MA)のノートン カンパニー(Norton Company)からの「サーパス(Cerpass)」およびオーストリア、フィラッハのトリーバジェール−シュライフミッテル(Treibacher−Schleifmittel,Villach,Austria)からの「アロダー(Alodur)CCCPL」が挙げられる。3Mから市販品として入手可能な様々な製品は、セラミック研磨粒子を組み入れている。3Mから入手可能な研磨製品中で利用可能である研磨物品において使用するために適切な1つの特定のセラミック研磨粒子は、商標名「キュビトロン(Cubitron)321」で既知である。このセラミック研磨粒子は、種付されていないアルミナ粒子であり、イットリウム、ネオジム、ランタン、コバルトおよびマグネシウムの添加剤を有する。
セラミック粒子の様々な組成物および製造法を開示する参考文献としては、α−アルミナ種の使用を開示する米国特許第4,623,364号明細書(コットリンガー(Cottringer)ら)、酸化鉄種の使用を開示する米国特許第4,964,883号明細書(モリス(Morris)ら)、ゾルゲルへの希土類酸化物材料の添加を開示する米国特許第4,881,951号明細書(モンロー(Monroe)ら)、酸化鉄およびシリカを組み合わせることを開示する米国特許第5,611,829号明細書(モンロー(Monroe)ら)、焼結前に、粒子中に希土類酸化物のような添加剤を含浸させることを開示する米国特許第5,312,789号明細書(ウッド(Wood))、ならびにセラミック粒子の成形を開示する米国特許第5,201,916号明細書(ベルグ(Berg)ら)が挙げられ、これらは全て、本明細書に援用される。
研磨複合材料のサイズ
本開示の研磨複合材料22は、大規模なトポグラフィーまたは大きいプリズム構造を含んでなる。マルチカット(Multicut)、VSM CGおよび366FA トリザクト(Trizact)研磨物品のような、従来通りに製造された大きい凝集体の製品と比較して、大きいトポグラフィー研磨複合材料22において大きいセラミック研磨粒子24を有する研磨物品は、より一貫した切削率およびより長い寿命を有することが見出されている。
研磨複合材料22の最大高さは、複合材料が結合されたバッキングの表面から測定され、少なくとも0.02インチ(約500マイクロメートル)の高さ、通常、少なくとも0.03インチ(約750マイクロメートルの高さであり、そして一実施形態において、少なくとも0.04インチ(約1000マイクロメートル)の高さである。
研磨複合材料22はいずれの形状であってもよいが、好ましくは、立方体、柱、円柱、円錐、円錐台、半球、角錐、角錐台等のような幾何学形状である。好ましい形状は、三面および四面角錐である。一般的に、研磨複合材料断面積が、バッキングから離れて減少するか、その高さに沿って減少することが好ましい。使用の間、研磨複合材料が摩耗される時、この可変性表面積は不均一な圧力を生じる。加えて、研磨物品の製造間、この可変性表面積は、製造工具からの研磨複合材料のより容易な剥離をもたらす。
一般的に、平方cmあたり少なくとも25個の個々の研磨複合材料が存在する。いくつかの例において、少なくとも50個の個々の研磨複合材料/平方cmが存在してよい。1つの好ましい複合材料は、ピークまたは頂点で交わる線形側面を有する正方形底面の角錐である。図2に図示される、もう1つの好ましい複合材料は、四面底面を有する変形された角錐であり、角錐の面の幾何学が放物線関数である。すなわち、角錐は、一般的に曲線状の面を有し、これは少なくとも部分的に、頂点で交わる放物線によって画定される。いくつかのデザインにおいて、放物線関数は平方根関数を含む。特に、研磨複合材料30は、4つの側面(3つの側面34a、34b、34cのみが図2に示される)を有する。側面34a、34b、34cは、底面辺(2つの底面辺36a、36bのみが示される)によって、およびピーク35で交わる側面辺38a、38b、38c、38dによって画定される。各側面辺38a、38b、38c、38dは、底面辺36a、36b等に基づく放物線関数によって画定される。かかる角錐は、本願と同日に出願された、代理人整理番号58725US002を有する譲受人の出願に詳述される。これらの好ましい複合材料の配列の両方に関して、各複合材料は、各隣接複合材料に対して底面サイズが同一であってもよく、または各複合材料は、各隣接複合材料とは底面サイズが異なってもよい。隣接複合材料に対して底面サイズを変更する例は、例えば、米国特許第5,672,097号明細書(フープマン(Hoopman)ら)に開示される。
上記の通り、研磨複合材料22は、バインダー23中に分散されたセラミック研磨粒子24を含んでなり、バッキング21に結合されている。
バッキング
バッキング21は、前面および後面を有し、そしていずれの従来の研磨バッキングでもあり得る。適切なバッキングの例としては、ポリマーフィルム、編布または織物布、紙、バルカンファイバー、不織布、それらの下塗りされたもの、およびそれらの組み合わせが挙げられる。強度および耐伸長性の増加を提供するために、これらのバッキングのいずれも強化可能である。得られた被覆研磨材を支持パッドまたはバックアップパッドに固定可能であるように、バッキングは、後面上に取り付け手段を有してもよい。適切な取り付け手段の例としては、感圧接着剤、ホックとループとの取り付け系、米国特許第5,201,101号明細書(ロウザー(Rouser)ら)に開示されるような噛み合い取り付け系、および米国特許第5,316,812号明細書(スタウト(Stout)ら)に開示されるような、ねじ込み突起物が挙げられる。
バインダー
セラミック研磨粒子は有機バインダー中で分散されて、研磨複合材料を形成する。バインダーは、有機重合性樹脂を含んでなるバインダー前駆体から誘導される。研磨物品の製造間、重合の開始または硬化プロセスにおいて補助となるエネルギー源にバインダー前駆体を暴露する。エネルギー源の例としては、熱エネルギーおよび放射線エネルギーが挙げられ、後者としては、電子ビーム、紫外光および可視光が挙げられる。この重合プロセス間、樹脂は重合し、そしてバインダー前駆体は凝固化バインダーへと変換される。バインダー前駆体の凝固時に、研磨複合材料が形成される。また、研磨複合材料中のバインダーは、一般的に、バッキングへ研磨複合材料を付着させる役割も果たす。
本発明の構造化研磨物品で使用する樹脂の2つの好ましい種類は、縮合硬化性および付加重合性樹脂である。付加重合性樹脂は放射線エネルギーへの暴露によって簡単に硬化されるので、好ましいバインダー前駆体は付加重合性樹脂を含む。カチオン機構によって、またはフリーラジカル機構によって、付加重合性樹脂を重合可能である。利用されるエネルギー源およびバインダー前駆体の化学性次第で、重合開始を補助するために硬化剤、開始剤または触媒が好まれる場合がある。
典型的かつ好ましい有機樹脂の例としては、フェノール樹脂(レゾールおよびノボラックの両方)、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、アクリル化ウレタン、アクリル化エポキシ、エチレン系不飽和化合物、ペンダント不飽和カルボニル基を有するアミノプラスト誘導体、少なくとも1個のペンダントアクリレート基を有するイソシアヌレート誘導体、少なくとも1個のペンダントアクリレート基を有するイソシアネート誘導体、ビニルエーテル、エポキシ樹脂、それらの混合物および組み合わせが挙げられる。用語「アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートを包含する。
アクリル化ウレタンは、ヒドロキシ末端、イソシアネートNCO延長ポリエステルまたはポリエーテルのジアクリレートエステルである。市販品として入手可能なアクリル化ウレタンの例としては、モートン チオコール ケミカル(Morton Thiokol Chemical)から入手可能な商標名「ユビタン(UVITHANE)782」、ならびにラドキュア スペシャルティズ(Radcure Specialties)から入手可能な商標名「CMD6600」、「CMD8400」および「CMD8805」で既知のものが挙げられる。
アクリル化エポキシは、ビスフェノールAエポキシ樹脂のジアクリレートエステルのような、エポキシ樹脂のジアクリル酸エステルである。市販品として入手可能なアクリル化エポキシの例としては、ラドキュア スペシャルティズ(Radcure Specialties)から入手可能な商標名「CMD3500」、「CMD3600」および「CMD3700」で既知のものが挙げられる。
エチレン系不飽和化合物としては、炭素、水素および酸素、ならびに任意に窒素およびハロゲンの原子を含有するモノマーおよびポリマー化合物の両方が挙げられる。酸素もしくは窒素原子または両方が、エーテル、エステル、ウレタン、アミドおよび尿素基中に一般的に存在する。エチレン系不飽和化合物は、好ましくは、約4,000未満の分子量を有し、そして好ましくは、脂肪族モノヒドロキシ基または脂肪族ポリヒドロキシ基を含有する化合物と、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸等のような不飽和カルボン酸との反応から製造されるエステルである。
エチレン系不飽和アクリレート樹脂の代表例としては、メチルメタクリレート、エチルメタクリレートスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールメタクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、グリセリントリアクリレート、ペンタエリトリトールトリアクリレート、ペンタエリトリトールメタクリレート、ペンタエリトリトールテトラアクリレートおよびペンタエリトリトールテトラアクリレートが挙げられる。他のエチレン系不飽和樹脂としては、ジアリルフタレート、ジアリルアジペートおよびN,N−ジアリルアジパミドのような、カルボン酸のモノアリル、ポリアリルおよびポリメタリルエステルおよびアミドが挙げられる。さらに他の窒素含有化合物としては、トリス(2−アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、1,3,5−トリ(2−メチルアクリルオキシエチル)−トリアジン、アクリルアミド、メチルアクリルアミド、N−メチルアクリルアミド、N,N−ジメチルアクリルアミド、N−ビニルピロリドンおよびN−ビニルピペリドンが挙げられる。
アミノプラスト樹脂およびそれらの誘導体は、1分子または1オリゴマーあたり、少なくとも1個のペンダントα,β−不飽和カルボニル基を有する。これらの不飽和カルボニル基は、アクリレート、メタクリレートまたはアクリルアミド型の基であり得る。かかる材料の例としては、N−(ヒドロキシメチル)アクリルアミド、N,N’−オキシジメチレンビスアクリルアミド、オルトおよびパラアクリルアミドメチル化フェノール、アクリルアミドメチル化フェノールのノボラック、ならびにそれらの組み合わせが挙げられる。これらの材料は、米国特許第4,903,440号明細書および米国特許第5,236,472号明細書にさらに記載されており、両特許とも本明細書に援用される。
少なくとも1個のペンダントアクリレート基を有するイソシアヌレート誘導体および少なくとも1個のペンダントアクリレート基を有するイソシアネート誘導体は、米国特許第4,652,274号明細書(ボエットシェール(Boettcher)ら)に記載されており、これは本明細書に援用される。構造研磨物品のための好ましいイソシアヌレート材料は、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリアクリレートである。
エポキシ樹脂も、本発明の構造研磨物品のために適切であり、オキシランを有し、開環重合する。かかるエポキシド樹脂としては、モノマーエポキシ樹脂およびオリゴマーエポキシ樹脂が挙げられる。いくつかの好ましいエポキシ樹脂の例としては、2,2−ビス[4−(2,3−エポキシプロポキシ)−フェニルプロパン](ビスフェノールのジグリシジルエーテル)、ならびにシェル ケミカル カンパニー(Shell Chemical Co.)から入手可能な商標名「エポン(Epon)828」、「エポン(Epon)1004」および「エポン(Epon)1001F」、ダウ ケミカル カンパニー(Dow Chemical Co.)から入手可能な「DER−331」、「DER−332」および「DER−334」で市販品として入手可能な材料が挙げられる。他の適切なエポキシ樹脂としては、フェノールホルムアルデヒドノボラックのグリシジルエーテル(例えば、ダウ ケミカル カンパニー(Dow Chemical Co.)から入手可能な「DEN−431」および「DEN−428」)が挙げられる。エポキシ樹脂に関して、カチオン機構を通してエポキシドを重合するために、適切なカチオン硬化剤を添加することができ、カチオン硬化剤は、エポキシ樹脂の重合を開始する酸供給源を発生させる。
フリーラジカル硬化性樹脂に関して、しばしば、研磨スラリーがフリーラジカル硬化剤をさらに含むことが好ましい。しかしながら、電子ビームエネルギー源の場合、電子ビームそれ自体がフリーラジカルを発生させるため、硬化剤はあまり必要とされない。フリーラジカル熱開始剤の例としては、ペルオキシド、例えば、ベンゾイルペルオキシド、アゾ化合物、ベンゾフェノンおよびキノンが挙げられる。紫外光または可視光エネルギー源のいずれかと一緒に使用される場合、これらの硬化剤は、光開始剤と呼ばれることが多い。紫外線光への暴露時にフリーラジカル源を発生する開始剤の例としては、有機ペルオキシド、アゾ化合物、キノン、ベンゾフェノン、ニトロソ化合物、アクリルハライド、ヒドロゾン、メルカプト化合物、ピリリウム化合物、トリアクリルイミダゾール、ビスイミダゾール、クロロアルキトリアジン、ベンゾインエーテル、ベンジルケタール、チオキサントン、アセトフェノン誘導体およびそれらの混合物が挙げられる。可視放射への暴露時にフリーラジカル源を発生する開始剤の例は、米国特許第4,735,632号明細書(ボエットシェール(Boettcher)ら)に見出され得、これは本明細書に援用される。可視光で使用するために好ましい開始剤は、チバ ガイギー コーポレイション(Ciba Geigy Corporation)から市販品として入手可能な「イルガキュア(Irgacure)369」である。
硬化された研磨複合材料中のバインダーおよび他の有機材料(例えば、いずれかの開始剤、カップリング剤等)のレベルは、通常、全複合材料の約10重量%〜50重量%である。いくつかの実施形態において、これらの有機成分のレベルは、約15重量%〜40重量%である。
任意の添加剤
前記の通り、研磨複合材料22は、バインダー23中に分散されたセラミック研磨粒子24を含んでなる。複合材料22は、複合材料22の特性を変性する他の添加剤を含んでもよい。
研磨複合材料22は、研磨複合材料の性能を変性する希釈粒子または他のフィラー粒子を含んでもよい。これらの任意の粒子の粒度は、セラミック研磨粒子と同じ桁であってもよいが、典型的により小さい。適切な粒子の例としては、石膏、大理石、石灰岩、フリント、シリカ、ガラスバブル、ガラスビーズ、ケイ酸アルミニウム等が挙げられる。
第2の研磨粒子は、大きいセラミック研磨粒子と一緒に存在してもよい。好ましくは、いずれの第2の研磨粒子も、大きいセラミック研磨粒子よりも小さい平均粒度を有する。使用可能な研磨粒子の例としては、溶融酸化アルミニウム(茶色酸化アルミニウム、加熱処理された酸化アルミニウムおよび白色酸化アルミニウムを含む)、緑色炭化ケイ素、炭化ケイ素、クロミア、アルミナジルコニア、ダイヤモンド、酸化鉄、セリア、立方窒化ホウ素、炭化ホウ素、ガーネットおよびそれらの組み合わせが挙げられる。セラミック酸化アルミニウム粒子も使用可能である。
大きいセラミック研磨粒子、フィラー粒子または第2の研磨粒子は、その上に表面コーティングまたは処理を有してもよい。表面コーティングは、多くの異なる機能を有し得る。いくつかの例において、表面コーティングは、バインダーへの研磨粒子または他の粒子の接着力を増加させ、研磨粒子等の研磨特性を変更する。表面コーティングの例としては、カップリング剤、ハロゲン塩、シリカを含む金属酸化物、耐火性の金属窒化物、耐火性の金属炭化物等が挙げられる。
研削助剤が研磨複合材料内に存在してもよい。研削助剤は、広範囲の様々な材料を包含し、そして無機物または有機物をベースとし得る。研削助剤の化学的群の例としては、ワックス、有機ハロゲン化合物、ハロゲン塩、ならびに金属およびそれらの合金が挙げられる。塩素化ワックスの例としては、テトラクロロナフタレン、ペンタクロロナフタレンおよびポリ塩化ビニルが挙げられる。ハロゲン塩の例としては、塩化ナトリウム、カリウム氷晶石、ナトリウム氷晶石、アンモニウム氷晶石、テトラフルオロホウ酸カリウム、テトラフルオロホウ酸ナトリウム、フッ化ケイ素、塩化カリウム、塩化マグネシウムが挙げられる。金属の例としては、スズ、鉛、ビスマス、コバルト、アンチモン、カドミウム、鉄、チタンが挙げられ、他の種々の研削助剤としては、硫黄、有機硫黄化合物、黒鉛および金属硫化物が挙げられる。これらの研削助剤の例は単なる代表である。構造化研磨物品で使用するための1つの好ましい研削助剤は氷晶石であり、そしてもう1つはテトラフルオロホウ酸カリウム(KBF)である。
研磨複合材料は、加えて/あるいは、さらなる任意の添加剤、例えば、潤滑油、湿潤剤、チキソトロピック材料、界面活性剤、顔料、染料、帯電防止剤、可塑剤および懸濁剤を含んでもよい。これらの材料の量、および全ての材料は、所望の特性を提供するように選択される。
研磨物品の製造法
本発明の研磨物品の1つの製造法を図3に模式的に図示する。この方法は、一般的に、構造化表面を提供するために使用される製造工具を指して、「ベルト」または「ウェブ」プロセスと呼ばれる。
製造工具46は、一表面上に複数のキャビティを有する延長された長さであり、巻き戻し位置45を出発する。研磨スラリーは、製造工具46上へ、そして被覆位置44でキャビティ中へ被覆される。被覆位置44は、ドロップダイコーター、ナイフコーター、カーテンコーター、真空ダイコーターまたはダイコーターのような従来の被覆技術を利用することができる。スラリーの粘度を低下するために、被覆前に、スラリーが加熱されても、そして/または超音波エネルギーを受けさせても、または他の加工を受けてもよい。好ましくは、スラリー中の気泡の存在は最小である。いくつかの実施形態において、好ましい被覆技術は、真空流動ベアリングダイを使用することである。
被覆された製造工具46を、巻き戻し位置42からのバッキング41と接触させる。バッキング41およびスラリーは、スラリーがバッキング41の前面を湿潤させるように接触する。図3において、接触を促進するために接触ニップロール47が使用され、そしてまた接触ニップロール47は、支持ドラム43に対して、得られた構造体を強制する。
エネルギー源48(好ましくは、可視光源)は、バインダー前駆体を少なくとも部分的に硬化するために十分な量のエネルギーをスラリーへと伝送する。このエネルギーは、バッキングを通して、または工具を通して伝送されてもよい。「部分的に硬化される」という用語は、逆にされた試験管からスラリーが流動しないような状態までバインダー前駆体が重合されることを意味する。バインダー前駆体が製造工具から除去されると、それをさらに硬化することができる。
被覆後、製造工具46を再利用できるように、製造工具46を心棒49上で巻き戻す。得られた研磨物品120を心棒121上で巻き戻す。バインダー前駆体が完全に硬化されない場合、例えば、エネルギー源への暴露によってバインダー前駆体を完全に硬化することができる。この第1の方法に従って研磨物品を製造するための追加的な詳細および変形は、米国特許第5,152,917号明細書(ピーパー(Pieper)ら)および米国特許第5,435,816号明細書(スパージェン(Spurgeon)ら)に記載されており、そして両文献とも本明細書に援用される。
上記方法は、研磨スラリーが工具のキャビティ中にある間に、少なくとも部分的にバインダーを硬化する工程を含むが、製造工具の除去後に全ての硬化を実行可能であることは理解される。
別の方法では、研磨スラリーを、製造工具46のキャビティ中ではなく、バッキング41上へ直接に被覆することができる。次いで、スラリーが製造工具46のキャビティ中に流動するように、スラリー被覆バッキングを製造工具46と接触させる。研磨物品を製造する残りの工程は、上記されるものと同一である。
構造化研磨物品を製造するもう一つの方法を図4に図示する。この方法は、一般的に、構造化表面を生じるために使用される製造工具を指して、「ドラム」法と呼ばれる。
被覆位置53において、研磨スラリー54を製造工具55のキャビティ中へと被覆する。ドロップダイコーティング、ロールコーティング、ナイフコーティング、カーテンコーティング、真空ダイコーティングまたはダイコーティングのようないずれかの適切な技術を使用して、スラリー54を工具55上へ被覆することができる。再び、粘度を低下させるため、そして/またはバブルを最小化するため、被覆前にスラリーを加工することが可能である。
巻き戻し位置52からのバッキング51を、スラリーがバッキング51の前面を湿潤させるように、ニップロール56によって研磨スラリーを含有する製造工具55と接触させる。次に、エネルギー源57への暴露によって、スラリー中のバインダー前駆体を少なくとも部分的に硬化させる。得られた研磨物品59をニップロール58によって製造工具55から取外し、巻戻し位置60上へ巻き戻す。
上記方法は、研磨スラリーが工具のキャビティ中にある間に、少なくとも部分的にバインダーを硬化する工程を含むが、製造工具55からバッキング51およびスラリー54の除去後に全ての硬化を実行可能であることは理解される。
別の方法では、研磨スラリーを、製造工具55のキャビティ中ではなく、バッキング51上へ直接に被覆することができる。次いで、スラリーが製造工具55のキャビティ中に流動するように、スラリー被覆バッキングを製造工具55と接触させる。研磨物品を製造する残りの工程は、上記されるものと同一である。
好ましくは、放射線エネルギーによってバインダー前駆体を硬化する。製造工具が放射線エネルギーを明らかに吸収しない限り、放射線エネルギーは製造工具を通って伝送可能である。加えて、放射線エネルギー源は、製造工具を明らかに分解するべきではない。熱可塑性の製造工具および紫外光または可視光を使用することが好ましい。
以下の非限定的な実施例は、本発明をさらに説明する。特記されない限り、実施例中の全ての部、パーセント、比率等は重量による。実施例を通して、表1に記載される以下の略語を使用する。
Figure 0004634386
研磨物品製造に関する一般手順1
研磨粒子と、バインダー前駆体と、以下の表2に記載の他の材料とを混合することによって、研磨スラリーを調製した。高剪断混合機を使用して、約10分間、約1200rpmで、このスラリーを混合した。
Figure 0004634386
研磨物品用バッキングは、バッキングの前面上にラテックス/フェノール樹脂プレサイズ(presize)処理(硬化される樹脂を基準として85部/15部)を有するX−重量ポリエステルバッキングであった。プレサイズをバッキングに適用し、次いで、いずれの揮発性物質も実質的に除去してフェノール樹脂をゲル化するために加熱した。
製造工具は、切削ナールニッケルめっきマスター工具からエンボスされた透明ポリプロピレン工具であった。ポリプロピレン工具は、長方形底面の(正方形底面を含む)角錐タイプパターンによって画定された複数のキャビティを有した。角錐の特徴は、それらの底面が互いに対して突き当たるように配置された。角錐工具特徴タイプの特徴プロフィール特性および公称寸法は、表3に記載される通りであった。
Figure 0004634386
図3に図示されるものと類似の装置で、エンドレスベルトの製造工具を使用して実施例1〜15の研磨物品を製造した。このプロセスを約15メートル/分(50フィート/分)で操作した。研磨スラリーをバッキングの前側上へ幅約18cmでナイフ被覆した。ナイフ間隔が約457〜635マイクロメートル(18〜25ミル)となるように設定された。スラリー被覆バッキングをニップロールの圧力下で製造工具のキャビティと接触させ、次いで、600ワット/インチで操作される2つの可視ランプ(「D」バルブ、フージョン コーポレイション(Fusion Corp.)から市販品として入手可能)からの可視光によってスラリーを照射した。製造工具とバッキングとの間のニップ圧は、約60ポンド(27kg)であった。研磨物品を図3の装置から取り出した後、必要に応じて、複合材料およびバッキング処理を完全に硬化するために、115℃で24時間加熱した。研磨物品は、試験前に曲げられなかった。
研磨物品を製造するための一般手順2
バッキングの前側上へスラリー混合物を手で延展し、表面上にCaSi粉末を散布し、工具をスラリー中にプレスし、形成された未硬化の研磨材料を除去し、そして1個の600ワット「D」バブルを使用して7.5メートル/分(25フィート/分)で可視光によって工具の外側で試料を硬化して、実施例16〜17の研磨物品を形成した。
表4に、実施例1〜17で使用された研磨粒子、および複合材料を形成するために使用された工具をまとめる。
Figure 0004634386

以下の試験手順IからIIIの記述に従って、上記の通り製造された研磨物品を試験した。また表8に記載される、多数の市販品として入手可能な研磨物品も試験した。試験の結果を表9に提供する。
試験手順I
エンドレスベルト7.6cm×335cm(3インチ×132インチ)中に研磨物品を形成した。表5に記載の条件を使用して、スタンダード ツール バックスタンド グラインダー(Standard Tool Backstand Grinder)上にベルトを取り付けた。水平位置でワークピースを手で保持し、そしてハンドヘルドフォースゲージ(シンポ(Shimpo)FGV−50)で測定される場合に、ワークピースの薄縁を約120N(28ポンド)の力でコンタクトホイールに対してプレスした。1回の試験サイクルを達成するため、5cm/秒(2インチ/秒)の速度でコンタクトホイールの表面を横切って、一度、ワークピースを横断移動させた。最初の16ワークピースのそれぞれから除去されたストックの平均量を初期切削(g/サイクル)として記録し、そして最後の16ワークピースのそれぞれから除去されたストックの平均量を最終切削(g/サイクル)として記録した。試験の持続期間(80または240サイクル)を通して除去されたストックの累積総量を全切削(g)として記録した。ワークピースの水平面がコンタクトホイールの回転軸と一般的に平行であるように、そして研磨ベルトとの接触線がコンタクトホイールの軸の約25cm(1インチ)下の位置にあるように、ワークピースを保持した。
Figure 0004634386
試験手順II
エンドレスベルト30cm×244cm(12インチ×96インチ)中に研磨物品を形成した。表6に記載の条件を使用して、ACME フラット−ヘッド フィニッシャー(ACME Flat−Head Finisher)上にベルトを取り付けた。ベルトの有効切削領域は15cm×244cmであり、そして測定されたワークピースの研削表面は15cm×1.2mであった。10.7m/分で走行するコンベアベルト上でワークピースを連続的に機械中に供給した。1200フィート(366m)のワークピースシートが研削されるまで試験を実行し、そしてワークピース上で一定圧力を維持するために、試験を通して機械のコンタクトホイールを下方向へと調整した。負荷のない条件以上のベルトドライブモーターのアンプドローによって、研削圧力を監視した。最初の5ワークピースシート(100フィート(30.5m)または1サイクル)から除去されたストックの累積量を初期切削(g/サイクル)として記録し、そして最後の5ワークピースシートから除去されたストックの量を最終切削(g/サイクル)として記録した。試験(1200フィート(366m))間に除去されたストックの全量を全切削として記録した。
Figure 0004634386
試験手順III
エンドレスベルト10cm×137cm(4インチ×54インチ)中に研磨物品を形成した。表7に記載の条件を使用して、ACME センタレス グラインダー(ACME Centerless Grinder)上にベルトを取り付けた。ワークピースは、1045炭素鋼または304ステンレス鋼のいずれかの丸棒、直径3.2cm×長さ91cm(1.250インチ×36インチ)であった。ベルト−ワークピース境界面で方向付けられた冷却剤があふれる下で、各ワークピースを5回ACME機械に通した。棒に対する処理量方向は、各サイクルで逆にされた。試験の最初の5サイクルで除去されたストックの平均量を初期切削(g/サイクル)として記録した。試験の最後の5サイクルで除去されたストックの量を最終切削(g/サイクル)として記録した。各研削サイクルを通して、ワークピース上で一定圧力を維持するために、ACME センタレス グラインダー(ACME Centerless Grinder)の調整ホイールを手で調整した。負荷のない条件以上のベルトドライブモーターのアンプドローによって、研削圧力を監視した。示された通り、試験存続期間は、30、60、65または80サイクルであった。切削率が、その実施例で記録された初期切削の少なくとも60%まで低下した時、いずれの実施例に関する試験も終了した。試験の持続期間を通して除去されたストックの累積総量を全切削(g)として記録した。
Figure 0004634386
表面仕上げの測定
5回の切削サイクルの終了毎に、試験手順3に従って試験されたワークピースの表面仕上げ(Ra)を測定した。Raは、マイクロメートル(um)で表されるスクラッチ深さの算術平均である。マール パーソメーター プロフィロメーター(Mahr Perthometer profilometer)(モデルM4P、オハイオ州シンシナティのマール コーポレイション(Mahr Corporation,Cincinnati,OH)から入手可能)を使用してRaを測定した。
Figure 0004634386
Figure 0004634386

実施例1〜2および比較例A〜B
試験手順Iに従って、実施例1〜2および比較例A〜Bを試験した。表9の試験結果は、ステンレス鋼ワークピース上でシミュレーションされる乾燥、即座の研削適用において、従来の被覆研磨物品および従来の凝集体被覆研磨物品と比較して、大きいトポグラフィーおよび大きいセラミック粒子を有する研磨物品の切削一貫性の改善および寿命の改善を示す。
実施例3〜4および比較例C
304ステンレス鋼ワークピースを使用して、試験手順IIに従って、実施例3〜4および比較例Cを試験した。表9の試験結果は、シミュレーションされる湿潤、フラットストック研削適用において、大きいトポグラフィーおよび非セラミック研磨粒子を有する実施例(実施例4)と比較して、そして従来の被覆研磨物品と比較して、大きいトポグラフィーおよび大きいセラミック粒子を有する研磨物品(実施例3)の切削率の改善、切削一貫性の改善および寿命の延長を示す。
実施例5〜6および比較例D〜G
1045軟鋼ワークピースを使用して、試験手順IIIに従って、実施例5〜6および比較例D〜Gを試験した。表9の試験結果は、シミュレーションされる湿潤、心なし研削適用において、従来の凝集体被覆研磨物品と比較して、大きいトポグラフィーおよび大きいセラミック粒子を有する研磨物品の切削一貫性の改善、仕上げ一貫性の改善および寿命の延長を示す。
実施例7〜8および比較例H〜K
304ステンレス鋼ワークピースを使用して、試験手順IIIに従って、実施例7〜8および比較例H〜Kを試験した。表9の試験結果は、シミュレーションされる湿潤、心なし研削適用において、従来の被覆研磨物品と比較して、そして従来の凝集体被覆研磨物品と比較して、大きいトポグラフィーおよび大きいセラミック粒子を有する研磨物品の切削一貫性の改善、仕上げ一貫性の改善および寿命の延長を示す。
実施例9〜11および比較例L
1045軟鋼ワークピースを使用して、試験手順IIIに従って、実施例9〜11および比較例Lを試験した。表9の試験結果は、従来の凝集体被覆研磨物品と比較して、大きいトポグラフィーおよび大きいセラミック粒子を有する研磨物品の切削一貫性の改善、仕上げ一貫性の改善および寿命の延長を示す。実施例10および11に関する結果は、大きいトポグラフィーを有するが、非セラミック研磨粒子を含有する実施例(実施例11)と比較して、本発明の研磨物品(実施例10)の切削率の改善、切削一貫性の改善および寿命の延長を示す。
実施例12および比較例M
1045軟鋼ワークピースを使用して、試験手順IIIに従って、実施例12および比較例Mを試験した。表9の試験結果は、シミュレーションされる湿潤、心なし研削適用において、従来の凝集体研磨物品と比較して、大きいトポグラフィーおよび大きいセラミック粒子を有する研磨物品の切削一貫性の改善、仕上げ一貫性の改善および寿命の延長を示す。
実施例13〜15および比較例N
1045軟鋼ワークピースを使用して、試験手順IIIに従って、実施例13〜15および比較例Nを試験した。表9の試験結果は、シミュレーションされる湿潤、心なし研削適用において、従来の凝集体研磨物品と比較して、大きいトポグラフィーおよび大きいセラミック研磨粒子を有する研磨物品(実施例15)の切削一貫性の改善および寿命の延長を示す。実施例13〜15に関する結果は、大きいトポグラフィーを有するが、非セラミック研磨粒子を含有する実施例(実施例13〜14)と比較して、本発明の研磨物品(実施例15)の切削率の改善、切削一貫性の改善および寿命の延長を示す。
実施例16〜17
図5および6に実施例16および17の顕微鏡写真を示す。これらの顕微鏡写真は、製造工具の外側で硬化によって製造される大きいトポグラフィーの研磨複合材料を示す。
上記の明細書、実施例およびデータは、本開示の研磨物品の製造および使用の完全な説明を提供する。本開示および本発明の精神および範囲から逸脱することなく、多くの実施形態を製造可能であるため、添付の請求項に本発明は帰属する。
第1の構造化研磨トポグラフィーを有する、本発明による研磨物品の拡大断面図。 第2の構造化研磨トポグラフィーの模式的な斜視上面および側面図。 図1および図2の研磨物品の製造法の模式図。 図1および図2の研磨物品のもう1つの製造法の模式図。 実施例16の研磨物品の顕微鏡写真。 実施例17の研磨物品の顕微鏡写真。

Claims (1)

  1. (a)前面を有するバッキングと、
    (b)前記前面上に存在する、複数の研磨複合材料と、
    を含んでなる構造化研磨物品であって;
    前記研磨複合材料のそれぞれが、
    (i)少なくとも100マイクロメートルの平均粒度を有する、複数のセラミック研磨粒子と、
    (ii)前記研磨複合材料の15重量%〜40重量%を占有する、放射線硬化性バインダーを含んでなる有機成分と、
    を含んでなり、
    前記研磨複合材料が、前記バッキングの前面から測定した際に、少なくとも500マイクロメートルの高さを有し、かつ
    前記研磨複合材料の形状が、頂点で交わる4つの放物線を側面辺とする四角錐であり、および;
    前記研磨物品を使用して20分間切削した場合において、切削開始時の切削率を第1の切削率とし、20分後の切削率を第2の切削率とすると、前記第2の切削率が前記第1の切削率より50%以下だけ低い;
    構造化研磨物品。
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