JPH07187758A - アルミナセラミックスおよびその製造方法 - Google Patents
アルミナセラミックスおよびその製造方法Info
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- JPH07187758A JPH07187758A JP5333078A JP33307893A JPH07187758A JP H07187758 A JPH07187758 A JP H07187758A JP 5333078 A JP5333078 A JP 5333078A JP 33307893 A JP33307893 A JP 33307893A JP H07187758 A JPH07187758 A JP H07187758A
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- Japan
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- alumina
- specific surface
- surface area
- alumina ceramics
- ceramics
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 強度等が優れたアルミナセラミックスをイン
ジェクション成形によって製造する。 【構成】 比表面積８〜２０ｍ2／ｇ のアルミナを９５
〜７０重量％、比表面積２〜７ｍ2／ｇ のアルミナを５
〜３０重量％、マグネシアを０．１重量％以下の混合物
に有機バインダーを加えて成形し、得られた成形体を１
２５０〜１５００℃で焼結、あるいはさらに１２５０〜
１３５０℃かつ１０００〜２０００ｋｇｆ／ｃｍ2 の条
件下で熱間静水圧圧縮をする。 【効果】 ボンディングキャピラリーとして好適なアル
ミナセラミックス焼結体が得られる。
ジェクション成形によって製造する。 【構成】 比表面積８〜２０ｍ2／ｇ のアルミナを９５
〜７０重量％、比表面積２〜７ｍ2／ｇ のアルミナを５
〜３０重量％、マグネシアを０．１重量％以下の混合物
に有機バインダーを加えて成形し、得られた成形体を１
２５０〜１５００℃で焼結、あるいはさらに１２５０〜
１３５０℃かつ１０００〜２０００ｋｇｆ／ｃｍ2 の条
件下で熱間静水圧圧縮をする。 【効果】 ボンディングキャピラリーとして好適なアル
ミナセラミックス焼結体が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアルミナセラミックスに
関し、とくに大きな強度が要求されるボンディングキャ
ピラリー、ノズルおよびそれらの製造方法に関するもの
である。
関し、とくに大きな強度が要求されるボンディングキャ
ピラリー、ノズルおよびそれらの製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】アルミナセラミックスは、各種の分野に
おいて用いられているが、とくに硬度や強度が必要な分
野において広く用いられている。たとえば、ＬＳＩ、Ｉ
Ｃ等のような半導体装置の製造では、半導体素子の電極
部とリードフレームの接続部とを金、アルミニウム等の
１０〜１００μｍの細い導線を用いてワイヤボンディン
グ装置によって接続しているが、ワイヤボンディング装
置では、導線の直径と同等の細孔を有するボンディング
キャピラリーの先端から導線を送り出し、電極と圧着を
行っている。ワイヤボンディングでは電極との接続は、
１秒間に十数回に及ぶために、キャピラリーの先端部は
高温となり、大きな熱ショックを受けるとともに、電
極、導線から金属が付着し、また磨耗が激しいので、硬
度が大きく熱ショックにも強いアルミナセラミックス製
品が主に用いられている。
おいて用いられているが、とくに硬度や強度が必要な分
野において広く用いられている。たとえば、ＬＳＩ、Ｉ
Ｃ等のような半導体装置の製造では、半導体素子の電極
部とリードフレームの接続部とを金、アルミニウム等の
１０〜１００μｍの細い導線を用いてワイヤボンディン
グ装置によって接続しているが、ワイヤボンディング装
置では、導線の直径と同等の細孔を有するボンディング
キャピラリーの先端から導線を送り出し、電極と圧着を
行っている。ワイヤボンディングでは電極との接続は、
１秒間に十数回に及ぶために、キャピラリーの先端部は
高温となり、大きな熱ショックを受けるとともに、電
極、導線から金属が付着し、また磨耗が激しいので、硬
度が大きく熱ショックにも強いアルミナセラミックス製
品が主に用いられている。
【０００３】そこで、強度が大きな単結晶アルミナをキ
ャピラリーに加工したり、アルミナをインジェクション
成形した成形体を脱脂、焼成、加工することによって製
造しているが、単結晶アルミナは加工が困難であるとと
もに高価であるので、アルミナにバインダーを加え、イ
ンジェクション成形によって成形し、焼成したものが一
般的に使用されている。また、ノズルにおいても寸法的
には、ボンディングキャピラリーより大きいものの、形
状や求められる強度、硬度、耐磨耗性等の機械的特性
は、ほとんど同様であり、金属の細線の製造などに用い
られている。
ャピラリーに加工したり、アルミナをインジェクション
成形した成形体を脱脂、焼成、加工することによって製
造しているが、単結晶アルミナは加工が困難であるとと
もに高価であるので、アルミナにバインダーを加え、イ
ンジェクション成形によって成形し、焼成したものが一
般的に使用されている。また、ノズルにおいても寸法的
には、ボンディングキャピラリーより大きいものの、形
状や求められる強度、硬度、耐磨耗性等の機械的特性
は、ほとんど同様であり、金属の細線の製造などに用い
られている。
【０００４】インジェクション成形は原料が微粒で比表
面積が１０ｍ2／ｇ 以上と大きくなると、バインダーを
添加した場合、流動性が低下し、インジェクション成形
が困難となる。これを防ぐためにバインダー量を増やす
と焼成中に亀裂が発生したり、気孔が多くなるなどの問
題が起こる。そのため現在では、一般的に比表面積２〜
７ｍ2／ｇ のアルミナ原料を用いてインジェクション成
形が行われているが、このような比表面積が小さいアル
ミナ原料を用いると、焼成体とした場合に結晶粒径が大
きくなり、強度の低下を引き起こす。一方、比表面積が
大きな微粒状のアルミナ原料を用いたアルミナセラミッ
クスが特開昭６３−２３６７５７号公報に記載されてい
るが、インジェクション成形においてはこのような原料
の成形は困難であり、また焼成段階においても亀裂が発
生し易いという問題があった。
面積が１０ｍ2／ｇ 以上と大きくなると、バインダーを
添加した場合、流動性が低下し、インジェクション成形
が困難となる。これを防ぐためにバインダー量を増やす
と焼成中に亀裂が発生したり、気孔が多くなるなどの問
題が起こる。そのため現在では、一般的に比表面積２〜
７ｍ2／ｇ のアルミナ原料を用いてインジェクション成
形が行われているが、このような比表面積が小さいアル
ミナ原料を用いると、焼成体とした場合に結晶粒径が大
きくなり、強度の低下を引き起こす。一方、比表面積が
大きな微粒状のアルミナ原料を用いたアルミナセラミッ
クスが特開昭６３−２３６７５７号公報に記載されてい
るが、インジェクション成形においてはこのような原料
の成形は困難であり、また焼成段階においても亀裂が発
生し易いという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ボンディン
グキャピラリー等に使用可能な強度が大きく、大きな気
孔がない緻密なアルミナセラミックスを製造することを
課題とするするものであり、またインジェクション成形
によって強度の大きなアルミナセラミックスを製造する
ことを課題とするものである。
グキャピラリー等に使用可能な強度が大きく、大きな気
孔がない緻密なアルミナセラミックスを製造することを
課題とするするものであり、またインジェクション成形
によって強度の大きなアルミナセラミックスを製造する
ことを課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、比表面積が大
きなアルミナと比表面積が小さなアルミナを混合すると
ともに、さらにマグネシアを添加し焼成することによっ
て製造したアルミナセラミックスである。また、比表面
積が８〜２０ｍ2／ｇ のアルミナに、比表面積が２〜７
ｍ2／ｇのアルミナを５〜３０重量％混合し、さらにマ
グネシアを０．１重量％以下添加焼成したアルミナセラ
ミックスである。さらに、比表面積が大きなアルミナと
比表面積が小さなアルミナにマグネシアを混合して、有
機バインダーを加えて混練して成形の後に、１２５０〜
１５００℃において焼成するか、もしくはさらに１２５
０〜１３５０℃において１０００〜２０００ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 で熱間静水圧圧縮することによるアルミナセラミッ
クスの製造方法である。
きなアルミナと比表面積が小さなアルミナを混合すると
ともに、さらにマグネシアを添加し焼成することによっ
て製造したアルミナセラミックスである。また、比表面
積が８〜２０ｍ2／ｇ のアルミナに、比表面積が２〜７
ｍ2／ｇのアルミナを５〜３０重量％混合し、さらにマ
グネシアを０．１重量％以下添加焼成したアルミナセラ
ミックスである。さらに、比表面積が大きなアルミナと
比表面積が小さなアルミナにマグネシアを混合して、有
機バインダーを加えて混練して成形の後に、１２５０〜
１５００℃において焼成するか、もしくはさらに１２５
０〜１３５０℃において１０００〜２０００ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 で熱間静水圧圧縮することによるアルミナセラミッ
クスの製造方法である。
【０００７】すなわち、本発明は、粒径、比表面積が異
なり、その粒度分布幅が狭い２種類の原料を併用し、バ
イモーダルな粒度分布とすることにより、靱性、インジ
ェクションによる成形性を向上させたものである。ま
た、一般に原料の粒度分布が狭いほど、インジェクショ
ン成形には不向きであるといわれており、今回粒度分布
をバイモーダルとすることで成形性を向上できた。
なり、その粒度分布幅が狭い２種類の原料を併用し、バ
イモーダルな粒度分布とすることにより、靱性、インジ
ェクションによる成形性を向上させたものである。ま
た、一般に原料の粒度分布が狭いほど、インジェクショ
ン成形には不向きであるといわれており、今回粒度分布
をバイモーダルとすることで成形性を向上できた。
【０００８】本発明のアルミナセラミックスは、比表面
積が大きなアルミナと比表面積が小さなアルミナを混合
するとともに、さらにマグネシアを添加し焼成すること
によって製造したアルミナセラミックスであり、比表面
積が大きなアルミナとしては、比表面積が８〜２０ｍ2
／ｇ のアルミナを使用することが好ましく、比表面積
が大きなアルミナとして、８ｍ2／ｇ 未満のアルミナを
使用した場合には焼結性が低いため、１５５０〜１６０
０℃と比較的高温でないと緻密化せず、粒成長を起こ
し、機械的特性の低下を引き起こし、また２０ｍ2／ｇ
を超えるアルミナを使用した場合には流動性が悪く、イ
ンジェクション成形が非常に困難となる。また、脱脂あ
るいは焼成時において亀裂が発生しやいので好ましくな
い。
積が大きなアルミナと比表面積が小さなアルミナを混合
するとともに、さらにマグネシアを添加し焼成すること
によって製造したアルミナセラミックスであり、比表面
積が大きなアルミナとしては、比表面積が８〜２０ｍ2
／ｇ のアルミナを使用することが好ましく、比表面積
が大きなアルミナとして、８ｍ2／ｇ 未満のアルミナを
使用した場合には焼結性が低いため、１５５０〜１６０
０℃と比較的高温でないと緻密化せず、粒成長を起こ
し、機械的特性の低下を引き起こし、また２０ｍ2／ｇ
を超えるアルミナを使用した場合には流動性が悪く、イ
ンジェクション成形が非常に困難となる。また、脱脂あ
るいは焼成時において亀裂が発生しやいので好ましくな
い。
【０００９】さらに、比表面積が大きなアルミナと混合
使用する比表面積が小さなアルミナとしては、２〜７ｍ
2／ｇ のアルミナが好ましく、比表面積が小さなアルミ
ナとして、２ｍ2／ｇ 未満のアルミナを使用した場合に
は焼結性の点で好ましくなく、また７ｍ2／ｇ を超える
アルミナを使用した場合には、バインダーの添加量を減
少させることができないので好ましくない。なお、本発
明において比表面積はＢＥＴ法によって測定した平均値
を示す。比表面積が小さなアルミナとしては、粒径が
０．４〜０．６μｍのアルミナを用いることが好まし
く、アルミナの粒径が０．４μｍ未満であると、流動性
が悪くなり好ましくなく、０．６μｍを超えると焼結性
の点であまり好ましくない。
使用する比表面積が小さなアルミナとしては、２〜７ｍ
2／ｇ のアルミナが好ましく、比表面積が小さなアルミ
ナとして、２ｍ2／ｇ 未満のアルミナを使用した場合に
は焼結性の点で好ましくなく、また７ｍ2／ｇ を超える
アルミナを使用した場合には、バインダーの添加量を減
少させることができないので好ましくない。なお、本発
明において比表面積はＢＥＴ法によって測定した平均値
を示す。比表面積が小さなアルミナとしては、粒径が
０．４〜０．６μｍのアルミナを用いることが好まし
く、アルミナの粒径が０．４μｍ未満であると、流動性
が悪くなり好ましくなく、０．６μｍを超えると焼結性
の点であまり好ましくない。
【００１０】また、本発明のアルミナセラミックスに
は、マグネシアを混合することが好ましく、マグネシア
の添加量は０．０２〜０．１重量％であることが好まし
く、０．０２重量％未満であると、焼結に寄与すること
はなく、０．１重量％を超えると強度が低下するので好
ましくない。
は、マグネシアを混合することが好ましく、マグネシア
の添加量は０．０２〜０．１重量％であることが好まし
く、０．０２重量％未満であると、焼結に寄与すること
はなく、０．１重量％を超えると強度が低下するので好
ましくない。
【００１１】本発明のアルミナセラミックスの成形に
は、これらの焼成材料に有機バインダーを混合するが、
有機バインダーとしてはポリエチレン、ポリスチレン、
ステアリン酸、ワックス等を用いることができる。有機
バインダーは、成形原料の３５〜４５容量％の量を用い
ることが好ましく、有機バインダーが３５容量％未満で
あると流動性が悪く、成形が困難であるので好ましくな
く、４５容量％を超えると成型時の金型への付着や、焼
結時の亀裂発生などの点で好ましくない。
は、これらの焼成材料に有機バインダーを混合するが、
有機バインダーとしてはポリエチレン、ポリスチレン、
ステアリン酸、ワックス等を用いることができる。有機
バインダーは、成形原料の３５〜４５容量％の量を用い
ることが好ましく、有機バインダーが３５容量％未満で
あると流動性が悪く、成形が困難であるので好ましくな
く、４５容量％を超えると成型時の金型への付着や、焼
結時の亀裂発生などの点で好ましくない。
【００１２】本発明のアルミナセラミックスは、所定の
原料を配合して成形した後に、脱脂後、１２５０〜１５
００℃で焼成して原料の焼結を行う。そして、さらに焼
成後に１２５０〜１３００℃において１０００〜２００
０ｋｇｆ／ｃｍ2 の条件で熱間静水圧圧縮をすることに
よって緻密で、大きな気孔がない強度の大きなアルミナ
セラミックスが得られる。
原料を配合して成形した後に、脱脂後、１２５０〜１５
００℃で焼成して原料の焼結を行う。そして、さらに焼
成後に１２５０〜１３００℃において１０００〜２００
０ｋｇｆ／ｃｍ2 の条件で熱間静水圧圧縮をすることに
よって緻密で、大きな気孔がない強度の大きなアルミナ
セラミックスが得られる。
【００１３】焼成条件としては、熱間静水圧圧縮処理な
しでは、１３５０〜１４００℃が好ましく、１３５０℃
以下では緻密化が充分ではなく、１４００℃を超えると
粒成長が激しくなり、特性的に好ましくない。また、熱
間静水圧圧縮処理を行う場合は、１２５０〜１３００℃
で焼成し、その後１２５０〜１３００℃、１０００ｋｇ
ｆ／ｃｍ2 で熱間静水圧圧縮処理を行うのが最も良い。
また、本発明のアルミナセラミックスは強度および硬度
が大きいので、ボンディング装置用のキャピラリーに限
らず強度と硬度が要求されるノズル、ワイヤーガイド等
の用途において使用することができる。
しでは、１３５０〜１４００℃が好ましく、１３５０℃
以下では緻密化が充分ではなく、１４００℃を超えると
粒成長が激しくなり、特性的に好ましくない。また、熱
間静水圧圧縮処理を行う場合は、１２５０〜１３００℃
で焼成し、その後１２５０〜１３００℃、１０００ｋｇ
ｆ／ｃｍ2 で熱間静水圧圧縮処理を行うのが最も良い。
また、本発明のアルミナセラミックスは強度および硬度
が大きいので、ボンディング装置用のキャピラリーに限
らず強度と硬度が要求されるノズル、ワイヤーガイド等
の用途において使用することができる。
【００１４】
【作用】本発明は、比表面積が８〜２０ｍ2／ｇのアル
ミナと比表面積が２〜７ｍ2／ｇのアルミナからなる比
表面積が大きなアルミナと比表面積が小さなアルミナと
の混合物を使用したので、インジェクション成形によっ
て精密な成形体を製造することができ、また、得られた
成形体を焼成して焼結の後にさらに熱間静水圧処理を行
ったので強度および硬度が大きく、０．１μｍ以上の気
孔や亀裂のない焼結体を得ることができる。
ミナと比表面積が２〜７ｍ2／ｇのアルミナからなる比
表面積が大きなアルミナと比表面積が小さなアルミナと
の混合物を使用したので、インジェクション成形によっ
て精密な成形体を製造することができ、また、得られた
成形体を焼成して焼結の後にさらに熱間静水圧処理を行
ったので強度および硬度が大きく、０．１μｍ以上の気
孔や亀裂のない焼結体を得ることができる。
【００１５】
【実施例】以下に本発明を実施例と比較例により詳細に
説明する。 実施例１ 比表面積が１４ｍ2／ｇ 、粒径０．２μｍ、純度９９．
９９％以上のアルミナ（大明化学製 ＴＭ−ＤＡ）を比
表面積が大きなアルミナとし、比表面積５ｍ2／ｇ 、粒
径０．４〜０．６μｍ、純度９９．９９％以上のアルミ
ナ（住友化学製 ＡＫＰ−２０）を比表面積が小さなア
ルミナとして所定の混合比で秤量し、さらにアルミナ全
量に対して０．１重量％のマグネシアを添加し、エタノ
ール中で２４時間ボールミルで混練を行った。混練後乾
燥を行った後に、有機バインダーとしてポリエチレンを
アルミナ全量に対して４０容量％を加えて混練を行った
後に、キャピラリー状にインジェクション成形を行っ
た。得られた成形体は脱脂後、１３００℃で２時間焼成
を行った後に、１３５０℃、圧力１０００ｋｇｆ／ｃｍ
2 、アルゴン雰囲気中において１時間熱間静水圧処理を
行った後に、得られた焼結体を研削加工して試料番号１
〜５のキャピラリーを得た。
説明する。 実施例１ 比表面積が１４ｍ2／ｇ 、粒径０．２μｍ、純度９９．
９９％以上のアルミナ（大明化学製 ＴＭ−ＤＡ）を比
表面積が大きなアルミナとし、比表面積５ｍ2／ｇ 、粒
径０．４〜０．６μｍ、純度９９．９９％以上のアルミ
ナ（住友化学製 ＡＫＰ−２０）を比表面積が小さなア
ルミナとして所定の混合比で秤量し、さらにアルミナ全
量に対して０．１重量％のマグネシアを添加し、エタノ
ール中で２４時間ボールミルで混練を行った。混練後乾
燥を行った後に、有機バインダーとしてポリエチレンを
アルミナ全量に対して４０容量％を加えて混練を行った
後に、キャピラリー状にインジェクション成形を行っ
た。得られた成形体は脱脂後、１３００℃で２時間焼成
を行った後に、１３５０℃、圧力１０００ｋｇｆ／ｃｍ
2 、アルゴン雰囲気中において１時間熱間静水圧処理を
行った後に、得られた焼結体を研削加工して試料番号１
〜５のキャピラリーを得た。
【００１６】各試料について、成形性は成型時の金型へ
の成形体の付着程度により判断し、１００回以上付着な
しで成形できたものを◎、５０〜１００回のものを○、
それ以下のものは×とした。また焼結体の評価には、浸
透探傷試験によって亀裂の有無を、０．１μｍ以上の気
孔の有無を実体顕微鏡（オリンパス光学工業製 ＳＺＨ
−ＰＴ）で確認し、以下の評価方法によって曲げ強度、
硬度、比重の測定を行った。得られた結果を表１に示
す。 曲げ強度：キャピラリーの先端部を除き、管状部分の３
点曲げ強度を測定。スパンを１０ｍｍ、クロスヘッド速
度を０．５ｍｍ／分とした。 硬度：キャピラリーを切断した断面をガラス研磨後、押
し込み荷重５００ｇ、負荷時間１５秒としてその対角線
長さより算出した。 比重：耐火れんがの見かけ気孔率・吸水率及び比重の測
定方法（ＪＩＳ Ｒ２２０５−７４）に準じて測定し
た。
の成形体の付着程度により判断し、１００回以上付着な
しで成形できたものを◎、５０〜１００回のものを○、
それ以下のものは×とした。また焼結体の評価には、浸
透探傷試験によって亀裂の有無を、０．１μｍ以上の気
孔の有無を実体顕微鏡（オリンパス光学工業製 ＳＺＨ
−ＰＴ）で確認し、以下の評価方法によって曲げ強度、
硬度、比重の測定を行った。得られた結果を表１に示
す。 曲げ強度：キャピラリーの先端部を除き、管状部分の３
点曲げ強度を測定。スパンを１０ｍｍ、クロスヘッド速
度を０．５ｍｍ／分とした。 硬度：キャピラリーを切断した断面をガラス研磨後、押
し込み荷重５００ｇ、負荷時間１５秒としてその対角線
長さより算出した。 比重：耐火れんがの見かけ気孔率・吸水率及び比重の測
定方法（ＪＩＳ Ｒ２２０５−７４）に準じて測定し
た。
【００１７】
【表１】
【００１８】比較例１ アルミナとして、比表面積が１４ｍ2／ｇ 、粒径０．２
μｍ、純度９９．９９％以上のもの（大明化学製 ＴＭ
−ＤＡ）のみを用いた以外は、実施例１と同様にして試
料番号６の試料を製造し、実施例１と同様に評価をし、
その結果を表１に示す。
μｍ、純度９９．９９％以上のもの（大明化学製 ＴＭ
−ＤＡ）のみを用いた以外は、実施例１と同様にして試
料番号６の試料を製造し、実施例１と同様に評価をし、
その結果を表１に示す。
【００１９】成形性、焼結体特性のいずれもが劣り、製
品歩留まりの点で問題となる。
品歩留まりの点で問題となる。
【００２０】比較例２ 比表面積が小さなアルミナの添加量を増加させた点を除
き実施例１と同様に試料番号７〜８の試料を製造し、実
施例１と同様に評価をした。
き実施例１と同様に試料番号７〜８の試料を製造し、実
施例１と同様に評価をした。
【００２１】比表面積が小さなアルミナの添加量が増加
するにしたがって、成形性は良好となるものの焼結体の
特性は低下した。
するにしたがって、成形性は良好となるものの焼結体の
特性は低下した。
【００２２】
【発明の効果】本発明のアルミナセラミックスおよびそ
の製造方法によれば、比表面積の大きいものと小さいも
のとを使用することによりインジェクション成形におい
て、従来より成形性に優れ、かつ焼結体特性の優れたア
ルミナセラミックスを安定して製造することができる。
の製造方法によれば、比表面積の大きいものと小さいも
のとを使用することによりインジェクション成形におい
て、従来より成形性に優れ、かつ焼結体特性の優れたア
ルミナセラミックスを安定して製造することができる。
Claims (2)
- 【請求項１】 アルミナセラミックスにおいて、比表面
積８〜２０ｍ2／ｇのアルミナを９５〜７０重量％、比
表面積２〜７ｍ2／ｇ のアルミナを５〜３０重量％、マ
グネシアを０．１重量％以下を含有する混合物の成形体
を焼成したことを特徴とするアルミナセラミックス。 - 【請求項２】 アルミナセラミックスの製造方法におい
て、比表面積８〜２０ｍ2／ｇ のアルミナを９５〜７０
重量％と、比表面積２〜７ｍ2／ｇ のアルミナを５〜３
０重量％、０．１重量％以下のマグネシアを添加し、さ
らに有機バインダーを加えて成形し、得られた成形体を
１２５０〜１５００℃で焼結、あるいはさらに１２５０
〜１３５０℃、１０００〜２０００ｋｇｆ／ｃｍ2 条件
下で熱間静水圧圧縮をすることを特徴とするアルミナセ
ラミックスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5333078A JP2592223B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | ボンディングキャピラリー用アルミナセラミックスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5333078A JP2592223B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | ボンディングキャピラリー用アルミナセラミックスおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07187758A true JPH07187758A (ja) | 1995-07-25 |
| JP2592223B2 JP2592223B2 (ja) | 1997-03-19 |
Family
ID=18262025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5333078A Expired - Lifetime JP2592223B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | ボンディングキャピラリー用アルミナセラミックスおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2592223B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100478773B1 (ko) * | 2002-08-12 | 2005-03-24 | 비아이 이엠티 주식회사 | 와이어 본딩용 캐필러리 소결제, 이를 이용한 와이어 본딩용 캐필러리 소결체의 제조방법 및 이를 적용한 와이어 본딩용 캐필러리 제조방법 |
| WO2007065914A1 (de) * | 2005-12-08 | 2007-06-14 | Ceramtec Ag | Feinkristalline al2o3-keramik |
| TWI511826B (zh) * | 2013-01-25 | 2015-12-11 | Toto Ltd | Welding needle |
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| JP2592223B2 (ja) | 1997-03-19 |
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