JPH07182422A - 生産制御用情報処理装置 - Google Patents

生産制御用情報処理装置

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JPH07182422A
JPH07182422A JP32705993A JP32705993A JPH07182422A JP H07182422 A JPH07182422 A JP H07182422A JP 32705993 A JP32705993 A JP 32705993A JP 32705993 A JP32705993 A JP 32705993A JP H07182422 A JPH07182422 A JP H07182422A
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    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 1ロット分の処理順に並んだ単位工程に関し
て、前後の複数の工程について禁止工程の存在と、必須
工程の欠落と、人間の判断を必要な工程の組み合わせの
存在を判断でき、かつ人間による判定過程の検証が容易
な生産制御用情報処理装置を提供する。 【構成】 工程ルール記憶部2にはプロセスフロー記憶
部1に格納されている単位工程に関し、その前後に必須
な工程の並び、その前後に存在してはならない工程の並
びおよびその前後に存在して良いが人間の判断が必要な
工程の並びが格納されている。工程ルール検出部3はJ
番目の単位工程に関し、工程ルール記憶部2内の工程コ
ードを検索し、並びが1+N+M個から成れば、プロセ
スフロー記憶部1内の工程コードを検索し、(J−
N)、・・・・、J、・・・・、(J+M)番目の工程
コードとの一致/不一致を検出し、プロセスフロー記憶
部4に格納する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の生産制御シ
ステムに関し、特に誤った製造工程や製造条件の設定の
禁止処理ができる半導体装置の生産制御システムに用い
られる情報処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の情報処理装置では、特定
の単位工程に関し、その直前あるいは直後の工程として
存在すべき必須工程および存在してならない禁止工程を
持ち、それを用いて1ロット分の処理順の工程をJ番目
から順に必須工程の欠落及び禁止工程の存在を判定し、
必須工程の欠落と禁止工程の存在を出力していた(特開
昭63−280411号公報参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の情報処
理装置では、次のような欠点があった。 (1)1ロット分の処理順に並んだ単位工程に関して、
隣り合った工程についてしか必須工程の欠落と禁止工程
の存在を検出できない。 (2)また、検出も工程の組み合わせだけであり、作業
条件の組み合わせや品質規格の工程間の整合や、それに
伴う作業可能号機の有無の判定ができない。 (3)また、必須工程の欠落と禁止工程の存在の検出機
能だけで、どちらとも言えないので人間の判断を仰ぐと
言う判定ができないため、決まり切った工程の組み合わ
せの検出しかできず、場合場合で判断の変わる組み合わ
せは相変わらず人間が自分の目でプロセスフローを丹念
にチェックするしかなく利用価値が少ない。
【0004】本発明の目的は、1ロット分の処理順に並
んだ単位工程に関して、前後の複数の工程について禁止
工程の存在と、必須工程の欠落と、人間の判断を必要な
工程の組み合わせの存在を判断でき、かつ人間による判
定過程の検証が容易な生産制御用情報処理装置を提供す
ることにある。
【0005】本発明の他の目的は、特定の条件コードに
関し、その条件コードで作業できる号機群と、その条件
コードで作業できない号機群と、人間の判断が必要な号
機群の情報を持つことで、生産に対する設備能力ネック
の有無を人間が判断できる生産制御用情報処理装置を提
供することにある。
【0006】本発明のさらに他の目的は、工程間の品質
規格の不整合を検出できる生産制御用情報処理装置を提
供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の生産制御
用情報処理装置は、複数個の単位工程コードおよび条件
コードが処理順に1ロット分格納されている第1のプロ
セスフロー記憶部と、第1のプロセスフロー記憶部に格
納されている特定の単位工程に関し、その前後の必須な
工程の並び、その前後に存在してはならない工程の並
び、その前後に存在して良いが人間の判断が必要な工程
の並びが格納されている工程ルール記憶部と、第2のプ
ロセスフロー記憶部と、前記第1のプロセスフロー記憶
部のJ番目の単位工程に関し、前記工程ルール記憶部内
の工程コードを検索し、並びが1+N+M(N,MはJ
番目の工程を中心としてその前の工程、後の工程の数)
個から成れば前記第1のプロセスフロー記憶部の(J−
N)、(J−N+1)、(J−N+2)、・・・・、
(J−1)、J、(J+1)、・・・・、(J+M−
2)、(J+M−1)、(J+M)番目の工程コードと
の一致/不一致を検出し、検出結果を第1のプロセスフ
ロー記憶部の処理順に並べて前記第2のプロセスフロー
記憶部に格納する工程ルール検出部を有する。
【0008】本発明の第2の生産制御用情報処理装置
は、複数個の単位工程コードおよび条件コードが処理順
に1ロット分格納されている第1のプロセスフロー記憶
部と、第1のプロセスフロー記憶部に格納されている特
定の単位工程に関し、その前後の必須な条件の並び、そ
の前後に存在してはならない条件の並び、その前後に存
在して良いが人間の判断が必要な条件の並びが格納され
ている条件ルール記憶部と、第1のプロセスフロー記憶
部に格納されている特定の条件コードに関し、その条件
コードで作業できる号機群と、作業できない号機群と、
人間の判断が必要な号機群が格納されている設備ルール
記憶部と、第2のプロセスフロー記憶部と、前記第1の
プロセスフロー記憶部のJ番目の単位工程に関し、前記
条件ルール記憶部内の条件コードを検索し、並びが1+
N+M(N,MはJ番目の工程を中心としてその前の工
程、後の工程の数)個から成れば、前記第1のプロセス
フロー記憶部の(J−N)、(J−N+1)、(J−N
+2)、・・・・、(J−1)、J、(J+1)、・・
・・、(J+M−2)、(J+M−1)、(J+M)番
目の条件コードとの一致/不一致を検出し、およびJ番
目の単位工程の条件コードで作業できる号機群と作業で
きない号機群と人間の判断が必要な号機群を検出し、こ
れら検出結果を第1のプロセスフロー記憶部の処理順に
並べて第2のプロセスフロー記憶部に格納する設備ルー
ル検出部を有する。
【0009】本発明の第3の生産制御用情報処理装置
は、複数個の単位工程コードおよび条件コードが処理順
に1ロット分格納されている第1のプロセスフロー記憶
部と、第1のプロセスフロー記憶部に格納されている条
件コード毎に品質規格が格納されている品質ルール記憶
部と、第2のプロセスフロー記憶部と、第1のプロセス
フロー記憶部のJ番目の単位工程の条件コードに関し、
前記品質ルール記憶部内の条件コードを検索し、J番目
の品質規格がJ−1番目の品質規格と一致すれば該品質
規格をそのまま、一致しなければアラームも合わせて前
記第2のプロセスフロー記憶部へ格納する品質ルール検
出部を有する。
【0010】
【作用】第1の生産制御用情報処理装置では、禁止工程
の存在と、必須工程の欠落と、人間の判断の必要な工程
の組み合わせの存在とを工程ルール記憶部に予め登録し
たパターン全てに関して判定でき、しかも判定結果を第
2のプロセスフロー記憶部に格納しているので、人間に
よる判定過程の検証が容易である。特に判定結果に“必
須”と“禁止”との中間状態である“人間の判断が必
要”を設けたことで、利用性が格段に向上する。
【0011】第2の生産制御用情報処理装置では、禁止
条件の存在と、必須条件の欠落と、人間の判断の必要な
条件の組み合わせの存在とを条件ルール記憶部に予め登
録したパターン全てに関して判定でき、しかも判定結果
を第2のプロセスフロー記憶部に格納しているので人間
による判定過程の検証が容易である。特に判定結果に
“必須”と“禁止”との中間状態である“人間の判断が
必要”を設けたことで、利用性が格段に向上する。ま
た、作業を“禁止”された号機群と、作業可/不可に
“人間の判断が必要”な号機群を第2のプロセスフロー
記憶部に合わせて記憶することで生産に対する設備能力
ネックの有無を人間が判断できる。
【0012】第3の生産制御用情報処理装置では、品質
ルール記憶部を設け、工程間の品質規格の不整合をアラ
ームと言う形で人間に提示することで、人手によるプロ
セスフローのチェックが格段に効率化する。
【0013】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【0014】図1は本発明の第1の実施例の生産制御用
情報処理装置のブロック図、図2は工程ルール検出装置
3の処理を示すフローチャートである。
【0015】本実施例の生産制御用情報処理装置では、
単位工程のコードと条件コードとが処理順に1ロット分
格納されている第1のプロセスフロー記憶部1と、第1
のプロセスフロー記憶部1に格納されている特定の単位
工程に関し、その前後に必須な工程の並び、その前後に
存在してはならない工程の並び、その前後に存在して良
いが人間の判断が必要な工程の並びが格納されている工
程ルール記憶部2と、第2のプロセスフロー記憶部4
と、第1のプロセスフロー記憶部1のJ番目の単位工程
に関し、工程ルール記憶部2内の工程コードを検索し、
並びが1+N+M個(N,MはJ番目の工程を中心とし
てその前の工程、後の工程の数)から成ればプロセスフ
ロー記憶部1内の工程コードを検索し、(J−N)、
(J−N+1)、(J−N+2)、・・・・、(J−
1)、J、(J+1)、・・・・、(J+M−2)、
(J+M−1)、(J+M)番目の工程コードとの一致
/不一致を検出し、検出結果を第1のプロセスフロー記
憶部1の処理順に並べて第2のプロセスフロー記憶部4
に格納する工程ルール検出部3とで構成されている。
【0016】ここで、工程ルール記憶部2のルールの記
述方法は各種考えられるが、ルールの並びは例えば「*
**」はどんな工程でも一致と判定し、「5**」は工
程コードの先頭1桁が「5」で始まれば一致と判定し、
工程コードが「C01」ひとつならば「001」の直前
または直後に「C01」が存在すれば一致と判定し、
「(3)」とあれば最大3工程をはさんで「D01」と
「001」が存在すれば一致と判定するといった方法等
が多数考えられる。また、ルールのフラグのうち「禁」
はその前後に存在してはならない工程の並びを意味し、
「必」はその前後に必須な工程の並びを意味し、「可」
はその前後に存在して良いが、人間の判断が必要な工程
の並びを意味する。
【0017】次に、本実施例の動作を工程ルール検出部
3の処理を示す図2のフローチャートにしたがって説明
する。
【0018】まず、第1のプロセスフロー記憶部1中の
工程コードと条件コードの並びを示すポインタJを初期
化する(ステップ10)。次に、第1のプロセスフロー
記憶部1からJ番目の工程コードを検索する(ステップ
11)。次に、工程ルール記憶部2からJ番目の工程コ
ードと同一の工程コードを検索する(ステップ12)。
次に、検索した工程コードに対応するルール中の並びを
第1のプロセスフロー記憶部1の対応する工程コードと
比較して、一致/不一致を判定する(ステップ13)。
ここで、全ての工程コードが同じであれば一致、1つで
も異なれば不一致と判定する。次に、検索した工程コー
ドに対応するルール中のフラグを判定する(ステップ1
4)。判定が一致、かつフラグが「禁」ならば、該工程
コードとルールNo.とフラグ「禁」を第2のプロセス
フロー記憶部4に格納する(ステップ15)。判定が不
一致、かつフラグが「必」ならば、工程コードとルール
No.とフラグ「必」を第2のプロセスフロー記憶部4
に格納する(ステップ16)。判定が一致、かつフラグ
が「可」ならば、工程コードとルールNo.とフラグ
「可」を第2のプロセスフロー記憶部4に格納する(ス
テップ17)。次に、ポインタJを更新して(ステップ
18)、第1のプロセスフロー記憶部1に格納されてい
る全ての工程コードについてステップ11から17まで
を繰り返す(ステップ19)。
【0019】図1の例では、工程コード001のルール
の並びが「A01」,「A02」,「001」,「**
*」,「B02」であるから、工程ルール検出部3は第
1のプロセスフロー記憶部1の(J−2),(J−
1),J,(J+1),(J+2)番目の工程コードと
各々比較し、一致/不一致を判定する。
【0020】本実施例では、以上のように禁止工程の存
在と必須工程の欠落と人間の判断の必要な工程に組み合
わせの存在を、工程ルール記憶部2に予め登録したパタ
ーン全てに関して判定でき、しかも判定結果を第2のプ
ロセスフロー記憶部4に格納しているので人間による判
定過程の検証が容易である。特に判定結果に“必須”と
“禁止”との中間状態である“人間の判断が必要”を設
けたことで、利用性が格段に向上する。
【0021】図3は本発明の第2の実施例の生産制御用
情報処理装置のブロック図、図4は設備ルール検出装置
24の処理を示すフローチャートである。
【0022】本実施例の生産制御用情報処理装置では、
単位工程の工程コードと条件コードとが処理順に1ロッ
ト分格納されている第1のプロセスフロー記憶部21
と、第1のプロセスフロー記憶部21に格納されている
特定の工程コード条件に関し、その前後に必須な条件の
並び、その前後に存在してはならない条件の並び、その
前後に存在して良いが人間の判断が必要な条件の並びが
格納されている条件ルール記憶部22と、その条件を作
業可能な号機群と作業不可能な号機群と人間の判断が必
要な号機群が格納されている設備ルール記憶部23と、
第2のプロセスフロー記憶部25と、第1のプロセスフ
ロー記憶部21のJ番目の条件コードに関し、条件ルー
ル記憶部22内の条件コードを検索し、並びが1+N+
M個(N,MはJ番目の条件コードの前後に存在する条
件コードの数)から成れば、第1のプロセスフロー記憶
部21内の条件コードを検索し、(J−N)、(J−N
+1),(J−N+2)、・・・・、(J−1)、J、
(J+1)、・・・・、(J+M−2)、(J+M−
1)、(J+M)番目の条件コードとの一致/不一致を
検出し、続いてJ番目の条件コードに関し、設備ルール
記憶部23内の条件コードを検索し、作業できる号機群
と作業できない号機群と人間の判断が必要な号機群を検
出し、これら検出結果を第1のプロセスフロー記憶部2
1の処理順に並べて第2のプロセスフロー記憶部25に
格納する設備ルール検出部24で構成されている。
【0023】次に、本実施例の動作を設備ルール検出部
24の処理を示す図4のフローチャートを用いて説明す
る。
【0024】まず、第1のプロセスフロー記憶部21中
の工程コードと条件コードの並びを示すポインタJを初
期化する(ステップ30)。次に、第1のプロセスフロ
ー記憶部21からJ番目の工程コードに対応する条件コ
ードを検索する(ステップ31)。次に、条件ルール記
憶部22からJ番目の条件コードと同一の条件コードの
ルールを検索する(ステップ32)。次に、該条件コー
ドに対応する並びの条件コードを第1のプロセスフロー
記憶部21の条件コードと各々比較し、一致/不一致を
判定する。ここで、全ての条件コードが同じであれば一
致、1つでも異なれば不一致と判定する(ステップ3
3)。図3の例では、ルールNo.1中のルールの並び
が「ABC111」、「AAA110」であるから、設
備ルール検出部24はこれらを、第1のプロセスフロー
記憶部21のJ番目、(J+1)番目の条件コードと各
々比較し、一致/不一致を判定する。次に、条件ルール
記憶部22中のルールのフラグを判定する(ステップ3
4)。ここで「禁」はその前後に存在してはならない条
件の並びを意味し、「必」はその前後に必須の条件の並
びを意味し、「可」はその前後に存在して良いが人間の
判断が必要な条件の並びを意味する。
【0025】次に、ルールのフラグが「禁」、かつステ
ップ33の判定が一致の場合、第1のプロセスフロー記
憶部21の工程コードと条件コードと条件ルール記憶部
22のルールNo.とフラグ「禁」とを第2のプロセス
フロー記憶部25に格納する(ステップ35)。ルール
のフラグが「必」、かつステップ33の判定が不一致の
場合、第1のプロセスフロー記憶部21の工程コードと
条件コードと条件ルール記憶部22のルールのNo.と
フラグ「必」とを第2のプロセスフロー記憶部25に格
納する(ステップ36)。ルールのフラグが「可」、か
つステップ33の判定が一致の場合、第1のプロセスフ
ロー記憶部21の工程コードと条件コードと条件ルール
記憶部22のルールのNo.とフラグ「可」とを第2の
プロセスフロー記憶部25に格納する(ステップ3
7)。次に、設定ルール記憶部23のルールのフラグを
判定する(ステップ38)。ここで「禁」は作業不可能
な号機群を意味し、「必」は作業可能な号機群を意味
し、「可」は作業可不可に人間の判断が必要な号機群を
意味する。次に、フラグ「禁」と「可」の号機群を、工
程コードと号機群とフラグの組み合わせで第2のプロセ
スフロー記憶部25に格納する(ステップ39)。次
に、ポインタJを更新する(ステップ40)。第1のプ
ロセスフロー記憶部21に格納されている全ての工程コ
ードについてステップ31〜39を繰り返す(ステップ
41)。
【0026】本実施例では、以上のように禁止条件の存
在と必須条件の欠落と人間の判断の必要な条件の組み合
わせの存在を、条件ルール記憶部22に予め登録したパ
ターン全てに関して判定でき、しかも判定結果を第2の
プロセスフロー記憶部25に格納しているので人間によ
る判定過程の検証が容易である。特に判定結果に“必
須”と“禁止”との中間状態である“人間の判断が必
要”を設けたことで、利用性を格段が向上する。また、
作業を“禁止”された号機群と、作業可不可に“人間の
判断が必要”な号機群を合わせて第2のプロセスフロー
記憶部25に格納することで生産に対する設備能力ネッ
クの有無を人間が判断できる。
【0027】図5は本発明の第3の実施例の生産制御用
情報処理装置のブロック図、図6は品質ルール検出装置
53の処理を示すフローチャートである。
【0028】本実施例の生産制御用情報処理装置は、単
位工程と条件とが処理順に1ロット分格納されている第
1のプロセスフロー記憶部51と、第1のプロセスフロ
ー記憶部51に格納されている特定の単位工程の条件コ
ードに関し、その条件の品質規格が格納されている品質
ルール記憶部52と、第2のプロセスフロー記憶部54
と、第1のプロセスフロー記憶部51のJ番目の単位工
程の条件コードに関し、品質ルール記憶部52内の条件
コードを検索し、その品質規格が(J−1)番目の品質
規格と一致する場合にはJ番目の工程コードと規格を第
2のプロセスフロー記憶部54に格納し、不一致の場合
にはJ番目の工程コードと規格とアラームを第2のプロ
セスフロー記憶部54に格納する品質ルール検出部53
で構成されている。
【0029】次に、本実施例の動作を品質ルール検出部
53の処理を示す図6のフローチャートを用いて説明す
る。
【0030】まず、第1のプロセスフロー記憶部51中
の工程コードと条件コードの並びを示すポインタJを初
期化する(ステップ60)。次に、第1のプロセスフロ
ー記憶部51からJ番目の工程コードに対応する条件コ
ードを検索する(ステップ61)。次に、品質ルール記
憶部52のJ番目の条件コードと同一条件コードの規格
を(J−1)番目の品質規格と各々比較し、一致/不一
致を判定する(ステップ63)。ここで、全ての規格が
同じであれば一致、1つでも異なっていれば不一致と判
定する。判定結果が一致の場合には、J番目の工程コー
ドと条件コードと規格を第2のプロセスフロー記憶部5
4に格納する(ステップ64)。判定結果が不一致の場
合には、J番目の工程コードと条件コードと規格とアラ
ーム“1”を第2のプロセスフロー記憶部54に格納す
る(ステップ65)。次に、ポインタJを更新し(ステ
ップ66)、第1のプロセスフロー記憶部51に格納さ
れている全ての工程コードについてステップ61〜65
を繰り返す(ステップ67)。
【0031】本実施例では、以上のように工程間の品質
規格の不整合をアラームと言う形で人間に提示すること
で人手によるプロセスフローのチェックが格段に効率化
される。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように本発明は以下の効果
を有する。 (1)請求項1の発明は、禁止工程の存在と、必須工程
の欠落と、人間の判断の必要な工程の組み合わせの存在
とを、予め工程ルール記憶部に登録したパターン全てに
関して判定でき、しかも判定結果をプロセスフロー記憶
部に格納しているので人間による判定過程の検証が容易
である。特に判定結果に“必須”と“禁止”との中間状
態である“人間の判断が必要”を設けたことで、利用性
が格段に向上する。 (2)請求項2の発明は、禁止条件の存在と、必須条件
の欠落と、人間の判断の必要な条件の組み合わせの存在
とを、条件ルール記憶部に予め登録したパターン全てに
関して判定でき、しかも判定結果をプロセスフロー記憶
部に格納しているので人間による判定過程の検証が容易
である。特に判定結果に“必須”と“禁止”との中間状
態である“人間の判断が必要”を設けたことで、利用性
が格段に向上する。また、作業を“禁止”された号機群
と、作業可不可に“人間の判断が必要”な号機群を合わ
せて格納することで生産に対する設備能力ネックの有無
を人間が判断できると言う特有の効果を有する。 (3)請求項3の発明は、工程間の品質規格の不整合を
アラームと言う形で人間に提示することで人手によるプ
ロセスフローのチェックを格段に効率化する特有の効果
がある。
【0033】また、上記(1),(2),(3)の効果
を統合することで製造業の3要素である工程、設備、品
質全てについてバランスよく技術者を支援でき、従来、
何れか1要素だけ支援する機能しか無いため結果的に技
術者のチェック作業が煩雑なままだった分野を本質的に
効率化すると言う特有の効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の生産制御用情報処理装
置のブロック図である。
【図2】工程ルール検出部2の処理を示すフローチャー
トである。
【図3】本発明の第2の実施例の生産制御用情報処理装
置のブロック図である。
【図4】設備ルール検出部24の処理を示すフローチャ
ートである。
【図5】本発明の第3の実施例の生産制御用情報処理装
置のブロック図である。
【図6】品質ルール検出部53の処理を示すフローチャ
ートである。
【符号の説明】
1,21,51 第1のプロセスフロー記憶部 4,25,54 第2のプロセスフロー記憶部 2 工程ルール記憶部 3 工程ルール検出部 22 条件ルール記憶部 23 設備ルール記憶部 24 設備ルール検出部 52 品質ルール記憶部 53 品質ルール検出部 10〜19,30〜41,60〜67 ステップ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数個の単位工程コードおよび条件コー
    ドが処理順に1ロット分格納されている第1のプロセス
    フロー記憶部と、 第1のプロセスフロー記憶部に格納されている特定の単
    位工程に関し、その前後の必須な工程の並び、その前後
    に存在してはならない工程の並び、その前後に存在して
    良いが人間の判断が必要な工程の並びが格納されている
    工程ルール記憶部と、 第2のプロセスフロー記憶部と、 前記第1のプロセスフロー記憶部のJ番目の単位工程に
    関し、前記工程ルール記憶部内の工程コードを検索し、
    並びが1+N+M(N,MはJ番目の工程を中心として
    その前の工程、後の工程の数)個から成れば前記第1の
    プロセスフロー記憶部の(J−N)、(J−N+1)、
    (J−N+2)、・・・・、(J−1)、J、(J+
    1)、・・・・、(J+M−2)、(J+M−1)、
    (J+M)番目の工程コードとの一致/不一致を検出
    し、検出結果を第1のプロセスフロー記憶部の処理順に
    並べて前記第2のプロセスフロー記憶部に格納する工程
    ルール検出部を有する生産制御用情報処理装置。
  2. 【請求項2】 複数個の単位工程コードおよび条件コー
    ドが処理順に1ロット分格納されている第1のプロセス
    フロー記憶部と、 第1のプロセスフロー記憶部に格納されている特定の単
    位工程に関し、その前後の必須な条件の並び、その前後
    に存在してはならない条件の並び、その前後に存在して
    良いが人間の判断が必要な条件の並びが格納されている
    条件ルール記憶部と、 第1のプロセスフロー記憶部に格納されている特定の条
    件コードに関し、その条件コードで作業できる号機群
    と、作業できない号機群と、人間の判断が必要な号機群
    が格納されている設備ルール記憶部と、 第2のプロセスフロー記憶部と、 前記第1のプロセスフロー記憶部のJ番目の単位工程に
    関し、前記条件ルール記憶部内の条件コードを検索し、
    並びが1+N+M(N,MはJ番目の工程を中心として
    その前の工程、後の工程の数)個から成れば、前記第1
    のプロセスフロー記憶部の(J−N)、(J−N+
    1)、(J−N+2)、・・・・,(J−1)、J、
    (J+1)、・・・・,(J+M−2)、(J+M−
    1)、(J+M)番目の条件コードとの一致/不一致を
    検索し、およびJ番目の単位工程の条件コードで作業で
    きる号機群と作業できない号機群と人間の判断が必要な
    号機群を検出し、これら検出結果を第1のプロセスフロ
    ー記憶部の処理順に並べて第2のプロセスフロー記憶部
    に格納する設備ルール検出部を有する生産制御用情報処
    理装置。
  3. 【請求項3】 複数個の単位工程コードおよび条件コー
    ドが処理順に1ロット分格納されている第1のプロセス
    フロー記憶部と、 第1のプロセスフロー記憶部に格納されている条件コー
    ド毎に品質規格が格納されている品質ルール記憶部と、 第2のプロセスフロー記憶部と、 第1のプロセスフロー記憶部のJ番目の単位工程の条件
    コードに関し、前記品質ルール記憶部内の条件コードを
    検索し、J番目の品質規格がJ−1番目の品質規格と一
    致すれば該品質規格をそのまま、一致しなければアラー
    ムも合わせて前記第2のプロセスフロー記憶部へ格納す
    る品質ルール検出部を有する生産制御用情報処理装置。
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