JPH07169800A - プローブカードの定期検査時期判定方法 - Google Patents
プローブカードの定期検査時期判定方法Info
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- JPH07169800A JPH07169800A JP31239393A JP31239393A JPH07169800A JP H07169800 A JPH07169800 A JP H07169800A JP 31239393 A JP31239393 A JP 31239393A JP 31239393 A JP31239393 A JP 31239393A JP H07169800 A JPH07169800 A JP H07169800A
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- G01R1/02—General constructional details
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- G01R1/067—Measuring probes
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体製造において使用されるプローブカード
の定期検査時期を、プローブカードの定期検査後の経過
時間と使用回数により自動的に判断し、作業者へ通知す
る。 【構成】プローブカードの定期検査後の使用回数とプロ
ーブカード定期検査日時が記録されている磁気カードを
読み取り（４０１），使用回数と定期検査後の経過時間
が規定値内であるかを照合し（４０２，４０３）、規定
値外であれば作業者へプローブカードの定期検査を指示
し（４０７）、規定値内であれば、ホストへ移動先を連
絡し（４０４）、磁気カードの再入力を作業者へ指示し
（４０５）、使用回数を１増加させたデータを磁気カー
ドへ書き込む（４０６）ステップで構成され自動的にプ
ローブカードの定期検査指示を行う。
の定期検査時期を、プローブカードの定期検査後の経過
時間と使用回数により自動的に判断し、作業者へ通知す
る。 【構成】プローブカードの定期検査後の使用回数とプロ
ーブカード定期検査日時が記録されている磁気カードを
読み取り（４０１），使用回数と定期検査後の経過時間
が規定値内であるかを照合し（４０２，４０３）、規定
値外であれば作業者へプローブカードの定期検査を指示
し（４０７）、規定値内であれば、ホストへ移動先を連
絡し（４０４）、磁気カードの再入力を作業者へ指示し
（４０５）、使用回数を１増加させたデータを磁気カー
ドへ書き込む（４０６）ステップで構成され自動的にプ
ローブカードの定期検査指示を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の製造工場な
どで、プローブカード固有のデータが記述されている認
識媒体、例えば、磁気カードを用い、プローブカードの
所在を管理するプローブカード所在管理装置に適用した
プローブカードの定期検査時期判定方法に関する。
どで、プローブカード固有のデータが記述されている認
識媒体、例えば、磁気カードを用い、プローブカードの
所在を管理するプローブカード所在管理装置に適用した
プローブカードの定期検査時期判定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工程において、装置の
前工程完了後ウェハー上に形成された半導体装置の検査
を行う必要がある。検査にあたりウェハー上の半導体装
置に形成されたパッドに対し、プローブカードを使用し
てプローブカード上の針をパッドに接触させ、プローブ
カードの針を通して外部テスターにより半導体装置の電
気特性を検査し、半導体装置の良否判定を行っている。
しかし、プローブカードの針先は、数十μｍの細さであ
りパッドとの接触に際して針先の傷による針先の拡大や
針先の曲がりによる一部針のパッドへ接触不良などが発
生する。そのため、プローブカードの針先はパッドとの
接触具合や、針先の状態を定期的に検査する必要があ
る。
前工程完了後ウェハー上に形成された半導体装置の検査
を行う必要がある。検査にあたりウェハー上の半導体装
置に形成されたパッドに対し、プローブカードを使用し
てプローブカード上の針をパッドに接触させ、プローブ
カードの針を通して外部テスターにより半導体装置の電
気特性を検査し、半導体装置の良否判定を行っている。
しかし、プローブカードの針先は、数十μｍの細さであ
りパッドとの接触に際して針先の傷による針先の拡大や
針先の曲がりによる一部針のパッドへ接触不良などが発
生する。そのため、プローブカードの針先はパッドとの
接触具合や、針先の状態を定期的に検査する必要があ
る。
【０００３】従来このようなプローブカードの定期検査
時期は、定期検査を行ったプローブカードに対して、定
期検査した月、または週を示すラベルを貼って、そのラ
ベルから定期検査後どのくらいの時間が経過したかを人
間が認識してプローブカードの定期検査時期を決定して
いた。
時期は、定期検査を行ったプローブカードに対して、定
期検査した月、または週を示すラベルを貼って、そのラ
ベルから定期検査後どのくらいの時間が経過したかを人
間が認識してプローブカードの定期検査時期を決定して
いた。
【０００４】また、プローブカード毎に記録台帳を作成
し定期検査の実施期日や定期検査後の使用日時を記録し
ておき、プローブカードの使用前に使用するプローブカ
ードの前回定期検査からの経過日時や使用回数を人間が
認識してプローブカードの定期検査時期を判断してい
た。
し定期検査の実施期日や定期検査後の使用日時を記録し
ておき、プローブカードの使用前に使用するプローブカ
ードの前回定期検査からの経過日時や使用回数を人間が
認識してプローブカードの定期検査時期を判断してい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のプローブカード
定期検査方法では、定期検査から経過時間で管理を行っ
ていたために、たとえ経過時間が短くとも使用回数が多
い為にプローブカードの針先が劣化したものは検査まで
に分からず、その間に劣化した針先で半導体装置の検査
を行い半導体装置のパッドを傷めてしまうという問題点
があった。
定期検査方法では、定期検査から経過時間で管理を行っ
ていたために、たとえ経過時間が短くとも使用回数が多
い為にプローブカードの針先が劣化したものは検査まで
に分からず、その間に劣化した針先で半導体装置の検査
を行い半導体装置のパッドを傷めてしまうという問題点
があった。
【０００６】そのため、プローブカードの定期検査時期
を的確に知るためにはプローブカードの定期検査後の経
過時間と、使用回数を管理する必要があったが、従来技
術では使用の回数までの管理を行う場合は判定処理が面
倒であった。また、従来技術では定期検査後の時間管理
を行うにもプローブカードにラベルを貼るなどの管理工
数がかかったり、ラベルを見逃すことによるプローブカ
ードの定期検査忘れ等が発生する問題点があった。
を的確に知るためにはプローブカードの定期検査後の経
過時間と、使用回数を管理する必要があったが、従来技
術では使用の回数までの管理を行う場合は判定処理が面
倒であった。また、従来技術では定期検査後の時間管理
を行うにもプローブカードにラベルを貼るなどの管理工
数がかかったり、ラベルを見逃すことによるプローブカ
ードの定期検査忘れ等が発生する問題点があった。
【０００７】この発明の目的は、上記問題を解消したプ
ローブカード所在管理装置を用いたプローブカードの定
期検査時期判定方法を提供することにある。
ローブカード所在管理装置を用いたプローブカードの定
期検査時期判定方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明によるプローブ
カードの定期検査時期判定方法は、プローブカード固有
のデータが記述されている認識媒体を用い、この認識媒
体の読み取りデータ、または、この読み取りデータでア
クセスされたデータによりプローブカードの所在を管理
するプローブカード所在管理装置を使用する。
カードの定期検査時期判定方法は、プローブカード固有
のデータが記述されている認識媒体を用い、この認識媒
体の読み取りデータ、または、この読み取りデータでア
クセスされたデータによりプローブカードの所在を管理
するプローブカード所在管理装置を使用する。
【０００９】すなわち、プローブカードの前回の定期検
査からの使用回数を記録する計数手段と、プローブカー
ドの前回の定期検査からの経過時間を記録する計時手段
と、使用されるプローブカードが定期検査時期に達して
いる場合に、その事実を第三者に知らせる伝達手段とを
備え、プローブカードの所在を報告するときに、前記プ
ローブカードが定期検査されてからの使用回数と経過時
間を調査する第一のステップと、前記プローブカードの
定期検査後の使用回数が、所定使用回数内であるか否か
判定する第二のステップと、前記プローブカードの定期
検査後の経過時間が、所定経過時間内であるか否か判定
する第三のステップと、前記プローブカードの定期検査
後の使用回数、経過時間ともに、所定使用回数、所定経
過時間内であるときにプローブカード所在管理装置へ使
用の報告を行う第四のステップと、前記プローブカード
の定期検査後の使用回数の計数しているデータを一回増
加させる第五のステップと、前記プローブカードの定期
検査後の使用回数、または、経過時間のうちのどちらか
一方が所定使用回数、または、所定経過時間を超過して
いるときに、第三者へプローブカードの定期検査が必要
であることを知らせる第六のステップとを含むことを特
徴とする。
査からの使用回数を記録する計数手段と、プローブカー
ドの前回の定期検査からの経過時間を記録する計時手段
と、使用されるプローブカードが定期検査時期に達して
いる場合に、その事実を第三者に知らせる伝達手段とを
備え、プローブカードの所在を報告するときに、前記プ
ローブカードが定期検査されてからの使用回数と経過時
間を調査する第一のステップと、前記プローブカードの
定期検査後の使用回数が、所定使用回数内であるか否か
判定する第二のステップと、前記プローブカードの定期
検査後の経過時間が、所定経過時間内であるか否か判定
する第三のステップと、前記プローブカードの定期検査
後の使用回数、経過時間ともに、所定使用回数、所定経
過時間内であるときにプローブカード所在管理装置へ使
用の報告を行う第四のステップと、前記プローブカード
の定期検査後の使用回数の計数しているデータを一回増
加させる第五のステップと、前記プローブカードの定期
検査後の使用回数、または、経過時間のうちのどちらか
一方が所定使用回数、または、所定経過時間を超過して
いるときに、第三者へプローブカードの定期検査が必要
であることを知らせる第六のステップとを含むことを特
徴とする。
【００１０】
【実施例】次にこの発明について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
【００１１】以下この発明を、実施例に基づいて説明す
る。まず、プローブカードの認識媒体として磁気カード
１０を使用し、この磁気カード１０の情報にもとづき定
期検査後の使用回数、及び定期検査日時を記録させたプ
ローブカード所在管理装置に本発明を適用した第一の実
施例について説明する。
る。まず、プローブカードの認識媒体として磁気カード
１０を使用し、この磁気カード１０の情報にもとづき定
期検査後の使用回数、及び定期検査日時を記録させたプ
ローブカード所在管理装置に本発明を適用した第一の実
施例について説明する。
【００１２】図１は、磁気カード１０をプローブカード
の認識媒体とした場合のプローブカード１１の外観を示
す断面図である。図２は、報告端末の外観を示す斜視図
である。報告端末１０３の傾斜した上面には、プローブ
カード１１が定期検査時期に達している場合などに定期
検査の指示を人間に表示する表示装置１０１が設置され
ている。報告端末１０３の前面部に突出しているカード
リーダーライター１０２は、プローブカード１１の認識
媒体として使用される磁気カードを読み取るためのもの
である。プローブカード１１を使用する場合には、プロ
ーブカード１１に付属しているプローブカード１１の認
識媒体である磁気カード１０を移動先のカードリーダー
ライター１０２へ通して使用の報告を報告端末１０３へ
行う。
の認識媒体とした場合のプローブカード１１の外観を示
す断面図である。図２は、報告端末の外観を示す斜視図
である。報告端末１０３の傾斜した上面には、プローブ
カード１１が定期検査時期に達している場合などに定期
検査の指示を人間に表示する表示装置１０１が設置され
ている。報告端末１０３の前面部に突出しているカード
リーダーライター１０２は、プローブカード１１の認識
媒体として使用される磁気カードを読み取るためのもの
である。プローブカード１１を使用する場合には、プロ
ーブカード１１に付属しているプローブカード１１の認
識媒体である磁気カード１０を移動先のカードリーダー
ライター１０２へ通して使用の報告を報告端末１０３へ
行う。
【００１３】図３は、通信網２０１を介在しこの各報告
端末１０３とホスト２０２との接続状態を示すネットワ
ーク図である。ホスト２０２は、各報告端末１０３から
のプローブカード１１についている磁気カード１０の内
容にしたがってプローブカード１１の所在を記録し、各
報告端末１０３からプローブカード１１の所在間合せが
有った場合に、各プローブカード１１の所在を連絡す
る。
端末１０３とホスト２０２との接続状態を示すネットワ
ーク図である。ホスト２０２は、各報告端末１０３から
のプローブカード１１についている磁気カード１０の内
容にしたがってプローブカード１１の所在を記録し、各
報告端末１０３からプローブカード１１の所在間合せが
有った場合に、各プローブカード１１の所在を連絡す
る。
【００１４】図４は、報告端末１０３の電気的構成を示
すネットワーク図である。報告端末１０３は中央処理装
置（以下、ＣＰＵ３０３と称す）によって制御される。
ＣＰＵ３０３は、表示装置１０１、カードリーダライタ
ー１０２、通信装置３０１等と入出力インターフェース
３０２を介して接続されている。通信装置３０１はホス
トとのデータのやり取りを行うためのものである。ＣＰ
Ｕ３０３は、使用報告処理および定期検査時期判定処理
を行うものであり、そのプログラムおよび各種データを
記憶するメモリ３０４ならびに経過時間を計算する処理
に用いられる時計３０５を備えている。
すネットワーク図である。報告端末１０３は中央処理装
置（以下、ＣＰＵ３０３と称す）によって制御される。
ＣＰＵ３０３は、表示装置１０１、カードリーダライタ
ー１０２、通信装置３０１等と入出力インターフェース
３０２を介して接続されている。通信装置３０１はホス
トとのデータのやり取りを行うためのものである。ＣＰ
Ｕ３０３は、使用報告処理および定期検査時期判定処理
を行うものであり、そのプログラムおよび各種データを
記憶するメモリ３０４ならびに経過時間を計算する処理
に用いられる時計３０５を備えている。
【００１５】図５は前記ＣＰＵ３０３による使用時のプ
ローブカード１１の定期検査時期判定処理手順を示すフ
ローチャートである。プローブカード１１を使用させる
ときに、カードリーダーライター１０２でプローブカー
ド１１に付属している磁気カード１０を読むと（ステッ
プ４０１）、磁気カード１０に登録されている前回の定
期検査からの使用回数が所定使用回数内であるかどうか
が判定される（ステップ４０２）。この所定使用回数
は、あらかじめメモリ３０４に登録されている。
ローブカード１１の定期検査時期判定処理手順を示すフ
ローチャートである。プローブカード１１を使用させる
ときに、カードリーダーライター１０２でプローブカー
ド１１に付属している磁気カード１０を読むと（ステッ
プ４０１）、磁気カード１０に登録されている前回の定
期検査からの使用回数が所定使用回数内であるかどうか
が判定される（ステップ４０２）。この所定使用回数
は、あらかじめメモリ３０４に登録されている。
【００１６】定期検査後の使用回数が所定使用回数より
も少ない場合（ステップ４０２でＮＯ）、磁気カード１
０に登録されている前回の定期検査日時と、時計３０５
のデータを参照して前回の定期検査からの経過時間が、
所定経過時間内であるかどうかが判定される（ステップ
４０３）。この所定経過時間は、あらかじめメモリ３０
４に登録されている。
も少ない場合（ステップ４０２でＮＯ）、磁気カード１
０に登録されている前回の定期検査日時と、時計３０５
のデータを参照して前回の定期検査からの経過時間が、
所定経過時間内であるかどうかが判定される（ステップ
４０３）。この所定経過時間は、あらかじめメモリ３０
４に登録されている。
【００１７】定期検査後の経過時間が所定経過時間内の
場合（ステップ４０３でＮＯ）、通信装置３０１により
ホスト２０２へプローブカード１１の所在変更を報告し
ホスト２０２において所在の変更を記録する（ステップ
４０４）。表示装置１０１へ、もう一度、磁気カード１
０をカードリーダーライター１０２へ通すよう案内が表
示され、磁気カード１０がカードリーダーライター１０
２を通ったときに前記、定期検査後の使用回数を１増加
させた回数を磁気カード１０に書き込んで（ステップ４
０５、４０６）、プローブカード１１の定期検査時期判
定処理手順は終了する。
場合（ステップ４０３でＮＯ）、通信装置３０１により
ホスト２０２へプローブカード１１の所在変更を報告し
ホスト２０２において所在の変更を記録する（ステップ
４０４）。表示装置１０１へ、もう一度、磁気カード１
０をカードリーダーライター１０２へ通すよう案内が表
示され、磁気カード１０がカードリーダーライター１０
２を通ったときに前記、定期検査後の使用回数を１増加
させた回数を磁気カード１０に書き込んで（ステップ４
０５、４０６）、プローブカード１１の定期検査時期判
定処理手順は終了する。
【００１８】上記ステップ４０２で定期検査後の使用回
数が所定使用回数を越えている場合（ステップ４０２で
ＹＥＳ）、プローブカード１１の定期検査が必要である
と判断され、ステップ４０７に移って、表示装置１０１
にプローブカード１１を定期検査するよう案内を表示し
てプローブカード１１の定期検査時期判定処理手順は終
了する。
数が所定使用回数を越えている場合（ステップ４０２で
ＹＥＳ）、プローブカード１１の定期検査が必要である
と判断され、ステップ４０７に移って、表示装置１０１
にプローブカード１１を定期検査するよう案内を表示し
てプローブカード１１の定期検査時期判定処理手順は終
了する。
【００１９】同様に、上記ステップ４０３で定期検査後
の経過時間が所定経過時間を越えている場合（ステップ
４０３でＹＥＳ）、プローブカード１１の定期検査が必
要であると判断され、ステップ４０７に移って、表示装
置１０１にプローブカード１１を定期検査するよう案内
を表示してプローブカード１１の定期検査時期判定処理
手順は終了する。定期検査を実施した後は報告端末のカ
ードリーダーライター１０２を通し磁気カード１０の定
期検査日時を更新し、使用回数を０として磁気カード１
０のデータを更新する。
の経過時間が所定経過時間を越えている場合（ステップ
４０３でＹＥＳ）、プローブカード１１の定期検査が必
要であると判断され、ステップ４０７に移って、表示装
置１０１にプローブカード１１を定期検査するよう案内
を表示してプローブカード１１の定期検査時期判定処理
手順は終了する。定期検査を実施した後は報告端末のカ
ードリーダーライター１０２を通し磁気カード１０の定
期検査日時を更新し、使用回数を０として磁気カード１
０のデータを更新する。
【００２０】次に、この発明を、プローブカード１１の
認識媒体として磁気カード１０を使用し、この磁気カー
ド１０の情報にもとづき、ホストより報告端末１０３へ
定期検査後の使用回数、及び定期検査日時を連絡するプ
ローブカード所在管理装置に適用した第二の実施例につ
いて説明する。報告端末、その他構成については図２、
図３、図４に示した前記実施例と同じ構成であるので、
第二の実施例における説明は省略する。
認識媒体として磁気カード１０を使用し、この磁気カー
ド１０の情報にもとづき、ホストより報告端末１０３へ
定期検査後の使用回数、及び定期検査日時を連絡するプ
ローブカード所在管理装置に適用した第二の実施例につ
いて説明する。報告端末、その他構成については図２、
図３、図４に示した前記実施例と同じ構成であるので、
第二の実施例における説明は省略する。
【００２１】図６は、この発明の第二の実施例の前記Ｃ
ＰＵ３０３による使用時のプローブカード１１の定期検
査時期判定処理手順を示すフロー図である。プローブカ
ード１１を使用させるときに、カードリーダーライター
１０２でプローブカード１１に付属している磁気カード
１０を読むと（ステップ５０１）、磁気カード１０に登
録されているプローブカード１１のデータにもとづき、
通信装置３０１によりホスト２０２へプローブカード１
１の定期検査後の経過時間、定期検査後の使用回数を問
い合わせ（ステップ５０２）、ホスト２０２から送られ
た、前回の定期検査からの使用回数が所定使用回数内で
あるかどうかが判定される（ステップ５０３）。この所
定使用回数は、あらかじめメモリ３０４に登録されてい
る。定期検査後の使用回数が所定使用回数よりも少ない
場合（ステップ５０３でＮＯ）、ホスト２０２から送ら
れた前回の定期検査日時と、時計３０５のデータを参照
して前回の定期検査からの経過時間が、所定経過時間内
であるかどうかが判定される（ステップ５０４）。この
所定経過時間は、あらかじめメモリ３０４に登録されて
いる。
ＰＵ３０３による使用時のプローブカード１１の定期検
査時期判定処理手順を示すフロー図である。プローブカ
ード１１を使用させるときに、カードリーダーライター
１０２でプローブカード１１に付属している磁気カード
１０を読むと（ステップ５０１）、磁気カード１０に登
録されているプローブカード１１のデータにもとづき、
通信装置３０１によりホスト２０２へプローブカード１
１の定期検査後の経過時間、定期検査後の使用回数を問
い合わせ（ステップ５０２）、ホスト２０２から送られ
た、前回の定期検査からの使用回数が所定使用回数内で
あるかどうかが判定される（ステップ５０３）。この所
定使用回数は、あらかじめメモリ３０４に登録されてい
る。定期検査後の使用回数が所定使用回数よりも少ない
場合（ステップ５０３でＮＯ）、ホスト２０２から送ら
れた前回の定期検査日時と、時計３０５のデータを参照
して前回の定期検査からの経過時間が、所定経過時間内
であるかどうかが判定される（ステップ５０４）。この
所定経過時間は、あらかじめメモリ３０４に登録されて
いる。
【００２２】定期検査後の経過時間が所定経過時間内の
場合（ステップ５０４でＮＯ）、プローブカード１１の
新しい所在と前回ホストから送られてきた使用回数を１
増加させた使用回数を通信装置３０１を通してホストへ
連絡し（ステップ５０５）、プローブカード１１の定期
検査時期判定処理手順は終了する。
場合（ステップ５０４でＮＯ）、プローブカード１１の
新しい所在と前回ホストから送られてきた使用回数を１
増加させた使用回数を通信装置３０１を通してホストへ
連絡し（ステップ５０５）、プローブカード１１の定期
検査時期判定処理手順は終了する。
【００２３】上記ステップ５０３で定期検査後の使用回
数が所定使用回数を越えている場合（ステップ５０３で
ＹＥＳ）、プローブカード１１の定期検査が必要である
と判断され、ステップ５０６に移って、表示装置１０１
にプローブカード１１を定期検査するよう案内を表示し
てプローブカード１１の定期検査時期判定手順は終了す
る。
数が所定使用回数を越えている場合（ステップ５０３で
ＹＥＳ）、プローブカード１１の定期検査が必要である
と判断され、ステップ５０６に移って、表示装置１０１
にプローブカード１１を定期検査するよう案内を表示し
てプローブカード１１の定期検査時期判定手順は終了す
る。
【００２４】同様に、上記ステップ５０４で定期検査後
の経過時間が所定経過時間を越えている場合（ステップ
５０４でＹＥＳ）、プローブカード１１の定期検査が必
要であると判断され、ステップ５０６に移って、表示装
置１０１にプローブカード１１を定期検査するよう案内
を表示してプローブカード１１の定期検査時期判定処理
手順は終了する。定期検査を行った場合は、定期検査報
告用の表示装置１０１よりホストへ所在の変更報告を行
う。報告を受けたホストはプローブカードの定期検査日
時を更新し、使用回数を０にする。
の経過時間が所定経過時間を越えている場合（ステップ
５０４でＹＥＳ）、プローブカード１１の定期検査が必
要であると判断され、ステップ５０６に移って、表示装
置１０１にプローブカード１１を定期検査するよう案内
を表示してプローブカード１１の定期検査時期判定処理
手順は終了する。定期検査を行った場合は、定期検査報
告用の表示装置１０１よりホストへ所在の変更報告を行
う。報告を受けたホストはプローブカードの定期検査日
時を更新し、使用回数を０にする。
【００２５】第二の実施例においては、使用回数をホス
トが記憶するので使用決定後、第一の実施例のようにも
う一度、磁気カード１０をカードリーダーライター１０
２へ通す必要がなく、カードの通し忘れによる使用回数
のカウントミスを防止できる利点がある。
トが記憶するので使用決定後、第一の実施例のようにも
う一度、磁気カード１０をカードリーダーライター１０
２へ通す必要がなく、カードの通し忘れによる使用回数
のカウントミスを防止できる利点がある。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明は、プロー
ブカード１１の使用を行う前にそのプローブカード１１
が前回の定期検査からどのくらい時間が経過している
か、また、どのくらい使用されたかを記憶し、前回の定
期検査より所定の時間、または所定の使用回数が経過し
た場合に、プローブカード１１の定期検査を指示するこ
とができるので、プローブカード１１の針先傷による半
導体装置パッドの破壊や半導体装置検査時の針先接触不
良による検査ミスを防止できる。また、使用回数を記憶
し、使用回数からも定期検査の時期を判定しているの
で、定期検査後の経過時間だけよりも効果的な定期検査
必要時期を知ることができる。
ブカード１１の使用を行う前にそのプローブカード１１
が前回の定期検査からどのくらい時間が経過している
か、また、どのくらい使用されたかを記憶し、前回の定
期検査より所定の時間、または所定の使用回数が経過し
た場合に、プローブカード１１の定期検査を指示するこ
とができるので、プローブカード１１の針先傷による半
導体装置パッドの破壊や半導体装置検査時の針先接触不
良による検査ミスを防止できる。また、使用回数を記憶
し、使用回数からも定期検査の時期を判定しているの
で、定期検査後の経過時間だけよりも効果的な定期検査
必要時期を知ることができる。
【図１】本発明の第一の実施例のプローブカードの外観
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】本発明の第一の実施例の報告端末の外観を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図３】本発明の第一の実施例の報告端末とホストを結
ぶ通信経路のネットワーク図である。
ぶ通信経路のネットワーク図である。
【図４】本発明の一実施例の報告端末の電気的特性を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図５】本発明の第一の実施例のフローチャートであ
る。
る。
【図６】本発明の第二の実施例のフローチャートであ
る。
る。
１０ 磁気カード １１ プローブカード １２ プローブカード針 １３ プローブカード保護ケース １０１ 表示装置 １０２ カードリーダーライター １０３ 報告端末 ２０１ 通信網 ２０２ ホスト ３０１ 通信装置 ３０２ 入出力インターフェース ３０３ ＣＰＵ ３０４ メモリ ３０５ 時計
Claims (1)
- 【請求項１】 プローブカード固有のデータが記述され
ている認識媒体を用い、この認識媒体の読み取りデー
タ、または、この読み取りデータでアクセスされたデー
タによりプローブカードの所在を管理するプローブカー
ド所在管理装置を使用し、プローブカードの前回の定期
検査からの使用回数を記録する計数手段と、プローブカ
ードの前回の定期検査からの経過時間を記録する計時手
段と、使用されるプローブカードが定期検査時期に達し
ている場合に、その事実を第三者に知らせる伝達手段と
を備え、プローブカードの所在を報告するときに、前記
プローブカードが定期検査されてからの使用回数と経過
時間を調査する第一のステップと、前記プローブカード
の定期検査後の使用回数が、所定使用回数内であるか否
か判定する第二のステップと、前記プローブカードの定
期検査後の経過時間が、所定経過時間内であるか否か判
定する第三のステップと、前記プローブカードの定期検
査後の使用回数、経過時間ともに、所定使用回数、所定
経過時間内であるときにプローブカード所在管理装置へ
使用の報告を行う第四のステップと、前記プローブカー
ドの定期検査後の使用回数の計数しているデータを一回
増加させる第五のステップと、前記プローブカードの定
期検査後の使用回数、または、経過時間のうちのどちら
か一方が所定使用回数、または、所定経過時間を超過し
ているときに、第三者へプローブカードの定期検査が必
要であることを知らせる第六のステップとを含むことを
特徴とするプローブカードの定期検査時期判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31239393A JPH07169800A (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | プローブカードの定期検査時期判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31239393A JPH07169800A (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | プローブカードの定期検査時期判定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07169800A true JPH07169800A (ja) | 1995-07-04 |
Family
ID=18028713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31239393A Withdrawn JPH07169800A (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | プローブカードの定期検査時期判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07169800A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7313494B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-12-25 | Elpida Memory, Inc. | Semiconductor chip inspection supporting apparatus |
| JP2013083523A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Hitachi Kokusai Denki Engineering:Kk | ４探針抵抗率測定装置 |
| US10184954B2 (en) | 2012-11-22 | 2019-01-22 | Japan Electronic Materials Corp. | Probe card case and probe card transfer method |
-
1993
- 1993-12-14 JP JP31239393A patent/JPH07169800A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7313494B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-12-25 | Elpida Memory, Inc. | Semiconductor chip inspection supporting apparatus |
| JP2013083523A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Hitachi Kokusai Denki Engineering:Kk | ４探針抵抗率測定装置 |
| US10184954B2 (en) | 2012-11-22 | 2019-01-22 | Japan Electronic Materials Corp. | Probe card case and probe card transfer method |
| US10908180B2 (en) | 2012-11-22 | 2021-02-02 | Japan Electronic Materials Corp. | Probe card case and probe card transfer method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |