JPH07162117A - 金属べ−ス回路基板及びその製造法 - Google Patents
金属べ−ス回路基板及びその製造法Info
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- JPH07162117A JPH07162117A JP32964893A JP32964893A JPH07162117A JP H07162117 A JPH07162117 A JP H07162117A JP 32964893 A JP32964893 A JP 32964893A JP 32964893 A JP32964893 A JP 32964893A JP H07162117 A JPH07162117 A JP H07162117A
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Abstract
路基板を構成できる金属べ−ス回路基板及びその製造法
を提供する。 【構成】 金属べ−ス材1の少なくとも一方面に絶縁皮
膜3を介して回路配線パタ−ン5を備える回路基板であ
って、絶縁皮膜3が形成された側の金属べ−ス材1の表
面にチタン薄膜層2を有するもの。
Description
金属べ−ス回路基板とその製造法に関するものである。
る従来の回路基板は、予め可撓性回路基板を別体に形成
した後、これを金属べ−ス材に貼着する手法が採用され
ている。
る回路基板に於いては、可撓性回路基板を十分に薄く形
成することができず、バネ性能を著しく損なうなどの問
題があった。
ることができず、微細且つ高精度な金属べ−ス回路基板
を形成することができない等の問題もあった。
有する回路基板に於いて、そのバネ性能を損なうことな
く微細且つ高精度に回路基板を構成できる金属べ−ス回
路基板及びその製造法を提供するものである。
くとも一方面に絶縁皮膜を介して回路配線パタ−ンを備
える回路基板に於いて、上記絶縁皮膜が形成された側の
上記金属べ−ス材表面にチタン薄膜層を有する金属べ−
ス回路基板が提供される。
ス材の少なくとも一方の面に回路基板の外形と同一形状
のチタンの薄膜層を形成し、次に、そのチタンの薄膜層
の表面に回路配線パタ−ンとの層間絶縁膜としての絶縁
皮膜を回路基板の外形より小さく形成し、次いで、アデ
ィティブ法により上記絶縁皮膜上に所要の回路配線パタ
−ンを形成した後、この回路配線パタ−ンの表面に表面
保護層を回路基板の外形より小さく形成し、次に、上記
チタンの薄膜層を外形エッチングレジスト層として用い
ながら上記金属べ−ス材をエッチングすることにより回
路基板の外形分離加工する工程を有する金属べ−ス回路
基板の製造法が提供される。
更に詳述する。図1は本発明の一実施例に従って構成さ
れた金属べ−ス回路基板の概念的断面構成図であって、
ステンレス等のバネ材からなる金属べ−ス材1の少なく
とも一方面にはポリイミド等の絶縁皮膜3を介して銅、
チタン又は金等からなる所要の回路配線パタ−ン5を備
え、この回路配線パタ−ン5の表面にはポリイミド等の
絶縁性皮膜によって表面保護層6が形成されており、ま
た、絶縁皮膜3が形成された側の金属べ−ス材1の表面
には回路基板の外形と同一形状のチタンの薄膜層2を具
備するように構成されている。
(6)はその為の製造工程図を示しており、先ず、図2
(1)のように、金属べ−ス材1の表面に回路基板の外
形と同一形状のチタン薄膜層2を形成し、次に、同図
(2)の如くこのチタン薄膜層2の上にポリイミド等の
絶縁皮膜3を回路基板の外形より小さく形成し、次いで
同図(3)のように、レジスト皮膜4を利用した通常の
アディティブ法によって絶縁皮膜3の上に銅、チタン又
は金等からなる所要の回路配線パタ−ン5を形成する。
4を剥離し、次いで、同図(5)のようにポリイミド等
の絶縁性皮膜によって表面保護層6を回路基板の外形よ
り小さくなるように回路配線パタ−ン5の表面に形成す
ると共に、金属べ−ス材1が露出する底面にエッチング
レジストとして作用する裏面保護膜7を形成する。
2をエッチングレジスト層として用いながら金属べ−ス
材1の所定部分にエッチング処理を施すことによって所
要の回路基板の外形形状に分離加工すると、金属べ−ス
材が本来有するバネ性を損なうことのない微細で高精度
な回路基板を製作することができる。なお、裏面保護膜
7はそのまま残すか又は剥離してもよい。
チタン薄膜層2は、これを金属べ−ス材1の両面に形成
することもでき、この場合には回路基板の外形を決定す
る為のエッチング加工の際、両面からエッチング処理す
ることにより更に加工精度を高めることができる。
の金属部材を用いた場合でもそのバネ性能を損なうこと
なく、高精度な回路基板を提供できる。
チタンの薄膜層とその上に形成される絶縁皮膜とは通常
のフォトリソグラフィ工程で位置合わせできるので、高
精度な外形加工が可能となり、更にチタンの薄膜層が絶
縁皮膜と金属べ−ス材の被着強度を高めるように作用す
るので、信頼性の高い回路基板を安定的に提供すること
ができる。
−ス回路基板の概念的断面構成図。
く製造工程図。
Claims (2)
- 【請求項1】 金属べ−ス材の少なくとも一方面に絶縁
皮膜を介して回路配線パタ−ンを備える回路基板に於い
て、上記絶縁皮膜が形成された側の上記金属べ−ス材表
面にチタン薄膜層を有することを特徴とする金属べ−ス
回路基板。 - 【請求項2】 金属べ−ス材の少なくとも一方の面に回
路基板の外形と同一形状のチタンの薄膜層を形成し、次
に、そのチタンの薄膜層の表面に回路配線パタ−ンとの
層間絶縁膜としての絶縁皮膜を回路基板の外形より小さ
く形成し、次いで、アディティブ法により上記絶縁皮膜
上に所要の回路配線パタ−ンを形成した後、この回路配
線パタ−ンの表面に表面保護層を回路基板の外形より小
さく形成し、次に、上記チタンの薄膜層を外形エッチン
グレジスト層として用いながら上記金属べ−ス材をエッ
チングすることにより回路基板の外形分離加工する工程
を有する金属べ−ス回路基板の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32964893A JP3161896B2 (ja) | 1993-12-01 | 1993-12-01 | 金属べ−ス回路基板の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32964893A JP3161896B2 (ja) | 1993-12-01 | 1993-12-01 | 金属べ−ス回路基板の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07162117A true JPH07162117A (ja) | 1995-06-23 |
JP3161896B2 JP3161896B2 (ja) | 2001-04-25 |
Family
ID=18223697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32964893A Expired - Fee Related JP3161896B2 (ja) | 1993-12-01 | 1993-12-01 | 金属べ−ス回路基板の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3161896B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009038338A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-02-19 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板の製造方法 |
-
1993
- 1993-12-01 JP JP32964893A patent/JP3161896B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009038338A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-02-19 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板の製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3161896B2 (ja) | 2001-04-25 |
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