JPH0716174U - 検査装置 - Google Patents

検査装置

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JPH0716174U
JPH0716174U JP5192293U JP5192293U JPH0716174U JP H0716174 U JPH0716174 U JP H0716174U JP 5192293 U JP5192293 U JP 5192293U JP 5192293 U JP5192293 U JP 5192293U JP H0716174 U JPH0716174 U JP H0716174U
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JP
Japan
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work
inspection
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defective
shooter
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JP5192293U
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English (en)
Inventor
大 佐藤
利則 津田
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Tokin Corp
Original Assignee
Tokin Corp
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Publication date
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  • Testing Relating To Insulation (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワークの仕様変更による治具交換作業をなく
し、別種のワークも検査し、その後良品、不良品は検査
項目ごとの良品不良品に分別する段取時間の少ない、か
つ安価な検査装置を提供すること。 【構成】 プローブ5を設けたシリンダ6で上下動でき
るブラケット20を有し、ダイレクトドライブモータ1
で駆動され、回転可能なインデックステーブル2に、こ
のテーブルの外周縁辺近傍に2種類以上の被検査ワーク
A12,ワークB13を搭載した2種類以上のワーク位
置決め治具A3,B4を有し、この治具を搭載したテー
ブルを位置決めする原点センサとを持ち、ワークを検査
する検査器と、ワークを取り出す取出ハンドラ7と、移
動可能なシューター8と、シリンダ9と、良品と不良品
を区別する良品箱11と不良品箱10とからなるワーク
分別機溝とを有する検査装置である。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は複数の形状の異るワークの検査及び、その検査結果により、ワークの 弁別を行う検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の検査装置は、図4に示すように、インデックスドライブ21上に設置さ れ、ドライブモータに取り付けられたインデックステーブル22には治具a23 が固定されている。治具a23はインデックステーブルの外周縁辺同一円周上に 60゜の円周分割角度で配置されている。検査装置にはインデックステーブルの 中心の位置にシリンダ29があり、インデックステーブルの上方に上下移動可能 なブラケット30が設けられている。ブラケット30には、測定プローブ5がと りつけられてインデックステーブル22上の治具a23の中のワークA12の特 性を測定プローブ5で検査する。ワークA12が検査されると、センサによって ワークA12の良・不良を弁別して良品の場合は良品取出ハンドラ26のアーム が可動して良品箱28に良品を入れる。不良品の場合は不良品取出ハンドラ25 のアームが可動して不良品箱27に不良品を入れる。ワークA12がすべて検査 完了すると、インデックステーブル上の治具a23はすべて交換される。その後 ワークB13が治具b24に搭載されてインデックステーブル上に治具a23と 同様に載せられ、治具a23のワークA12と同様検査される。
【0003】 従来この種のワークの検査装置においては、ワークの種類の切換ごとに、その ワークを位置決め及び保持する治具を交換する必要があり、仕様切換時の段取時 間が長くかかる。また、良品、不良品の弁別においては、それぞれの取出ハンド ラが必要となるため装置の構成が複雑になり、かつコスト高となる欠点があった 。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】 本考案は、これらの欠点を除去するため、形状の異なるワークを検査する時、 治具を交換する作業を減らすため、数種類のワークを治具の交換なしに検査でき るようにしたものである。さらにワークの良・不良にかかわらずすべてのワーク を1つのハンドラで取り出し、その後、良・不良を弁別するようにしたもので、 簡単な構成であるにもかかわらず治具交換回数を減らし、かつ安価な検査装置を 提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本考案は、インデックステーブルを用い、同種のワークは所定のステージ分割 角度をとり、かつ異種のものについては、前記ステージ分割角度に対して、所定 の角度をずらして、前記インデックステーブル上に数種類の位置決め治具を外周 にもうけ、ダイレクトドライブモータで、通常動作においては、等角度で間欠送 りし、形状の異なるワークを検査する時には、任意の角度をずらす事により、治 具の交換なしに、複数の治具に搭載した複数ワークの特性を測定できる様にした 。また、ワークの弁別においてはワークの取り出しを良・不良ワークを同一ハン ドラで取り出し、その後シューターで良・不良の弁別を行い、不良に関しては、 不良の内容ごとにロータリーテーブル上の数分割された箱に弁別する。
【0006】 本考案によれば、検査用プローブを所定位置に取付け、シリンダを用いた上下 移動可能なブラケットと、モータによって駆動され、前記モータに取付けられた 回転可能なインデックステーブルと、前記テーブルの外周縁辺近傍に設けられ、 被検査ワークを搭載したワーク位置決め治具と、前記治具を搭載したインデック ステーブルを所定の位置に位置決めし、テーブルの原点を決定する原点センサと 、検査用プローブでワークを検査する検査器と、ワークを取出す取出ハンドラと からなる検査装置において、インデックステーブル上の同一円周上に異なる円周 分割角度でかつステージ数の整数倍の等間隔で取付けられた複数のワーク位置決 め治具を有し、該インデックステーブルを間欠駆動するダイレクトドライブモー タとを有する検査装置が得られる。
【0007】 本考案によれば、上述した考案において、取出ハンドラの近傍に2つの傾斜面 を有した、前進、後退する移動可能なシューターと、前記シューターを駆動する アクチュエータを駆動するアクチュエータ付きシリンダと、シューター側に配置 され、シューターの前進にともない良品を投入する良品箱と、不良品を検査項目 別に区別する回転可能な内部を数分割された不良品箱と、その不良品箱を回転さ せるモータとからなるワーク弁別機構を有する検査装置が得られる。
【0008】
【作用】
ブラケットと、インデックステーブルと、ワーク位置決め治具と、原点センサ と、検査機と、取出ハンドラとからなる従来の検査装置を次のように改善した。 ある同一のワーク位置決め治具は、インデックステーブルのステージの分割角度 と等しく取付けられ、異種のワーク位置決め治具は前記分割角度とは異なる分割 角度で取付けられる。各々ワークを搭載した前記2種類以上の位置決め治具を前 記インデックステーブル上の同一円周上に設けて、検査したいワークを搭載した 治具の配置にあわせて、ダイレクトドライブモータで間欠送りすることにより複 数の治具に搭載した複数のワークの特性を測定できるようにし、さらに取出ハン ドラは、従来は良品の取出ハンドラと、不良品の取出ハンドラとを用いていた。 本考案では、取出ハンドラを1つにし、取出したワークを取出ハンドラの吸着ノ ズルで吸着移送し、良品のときは、シューターがアクチュエータでシリンダを後 退して良品箱に入れ、不良品のときはシューターがアクチュエータでシリンダを 前進して、不良品を不良箱に入れるようにすることによって目的を果すことがで きる。
【0009】
【実施例】
以下本考案の実施例を図面を用いて説明する。
【0010】 図1は本考案の検査装置を示す斜視図。図2は本考案の検査装置のインデック ステーブルの作業ステージの機能を説明する図で、1例として4種類の検査が出 来る配置を示す。図3は本考案のインデックステーブルに取付けられた図では1 例として2種類の治具の配置を示す説明図。
【0011】 本考案の検査装置は、図1に示すように、ダイレクトドライブモータ1を取付 けた基板の上に、密着固定するように、インデックステーブル2が取付けられて いる。インデックステーブル2には、図1では2種類の、ワークA12の位置を 決めるワークAを搭載した治具A3,及びワークB13の位置を決めるワークB 13を搭載した治具B4が図3に示すように合計で12個固定されている。治具 A3(詳細な配置は図3に示す)は、インデックステーブルの同一円周上に6個 60゜点対称に等角度、等間隔で配置され、治具B4は、治具A3より30゜ず れて、同様に6個60゜点対称に等角度、等間隔で配置されている。本考案の検 査装置は、例えば4種類の検査ができるように、図2に示すように、インデック ステーブルの作業ステージとして供給部a14,検査b15,検査c16,検査 d17,検査e18,取出部f19の6ステージを設けており、検査b15,検 査c16,検査d17,検査e18のステージ(インデックステーブル)の上方 に、シリンダ6により上下し、検査項目に従った検査をする測定プローブ5がそ れぞれ4種類配置されている。
【0012】 測定プローブ5は、例えば電気抵抗、磁束密度等の特性を各ステージ毎に検査 する測定器である。
【0013】 ワークを取り出す取出部f19においては、取出ハンドラ7とシューター8を 設ける。シューター8は面対称な二つの傾斜面を有し、各々の傾斜面の落下位置 に良品箱と不良品箱とを配している。不良品箱は不良内容毎に弁別され、4分割 された各々の内部に不良内容別に収納される。
【0014】 前記シューターは、シューター駆動用アクチュエータ付きシリンダ9により取 出ハンドラに対して前後に移動して、良品は取出ハンドラの外径φ7mmのノズ ルに吸着されて、シューターが取出ハンドラへ前進して良品箱に投入される。不 良品は、シューターが取出ハンドラから後退して、不良品箱に投入できるよう取 出ハンドラのノズルから放され不良品箱に入られる。内部が4分割された不良品 箱はインデックステーブルにある検査b,検査c,検査d,検査eと連動して回 転するモータによって回転し、不良品箱の4つの弁別箱に検査bの不良品、検査 cの不良品、検査dの不良品、検査eの不良品が投入されるようになっている。
【0015】 例えば、ワークA12の検査の場合、6個の治具A3は、作業ステージ位置に あって、ワークA12がステージの供給部a14(図2参照)で治具A3に供給 される。その後インデックステーブル2は60゜回転し、測定プローブ5がシリ ンダ6によって下げられ、ワークA12を検査する。測定プローブ5によってワ ークA12を検査した後に、測定プローブが上がり、再びインデックステーブル 2は、60゜回転し、上述の動作をくりかえし各々の測定を完了する。全測定を 終了後、ワークAはステージの取出部fの位置で取出ハンドラ7により取出され る。
【0016】 ワークAを取出す取出ハンドラ7はワークをハンドラの吸着ノズルで吸着し、 シューター8上に移動し、ワークAが不良品である場合シューター8はアクチュ エータ付きシリンダ9により図1ではx方向に移動する。同時に不良品箱がモー タで回転移動し、シューター上に落下したワークA12は検査項目の不良内容毎 に不良品箱10内に弁別される。
【0017】 ワークが良品である場合は、シューター8は図1ではy方向に移動し、シュー ター8上に落下されたワークは良品箱に弁別される。
【0018】 他のワークの検査を行なう場合、例えばワークA12の検査をワークB13の 検査にする際は、図3に示すように、インデックステーブル2を30゜回転させ る。このことによって治具B4が各作業ステージに移動し、ワークB13の検査 を開始する。次に、インデックステーブル2が60゜の間欠送りになり、ワーク Bの検査の動作をくりかえすことになる。
【0019】
【考案の効果】
以上述べたごとく本考案によれば、複数の異なる形状のワークの検査を治具交 換作業無しに行うことが可能となり、かつ良品・不良品のワークを1つのハンド ラで取り出し弁別を行える、段取時間の少なくかつ安価な検査装置の提供が可能 となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の1実施例である検査装置を示す斜視
図。
【図2】インデックステーブルの作業ステージ配置を示
す説明図。
【図3】インデックステーブルに取り付けられた治具の
配置を示す説明図。
【図4】従来の検査装置を示す斜視図。
【符号の説明】
1 ダイレクトドライブモータ 2 インデックステーブル 3 治具A 4 治具B 5 プローブ 6 シリンダ 7 取出ハンドラ 8 シューター 9 シリンダ 10 不良品箱 11 良品箱 12 ワークA 13 ワークB 14 供給部a 15 検査b 16 検査c 17 検査d 18 検査e 19 取出部f 20 ブラケット 21 インデックスドライブ 22 インデックステーブル 23 治具a 24 治具b 25 不良品取出ハンドラ 26 良品取出ハンドラ 27 不良品箱 28 良品箱 29 シリンダ 30 ブラケット

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検査用プローブを所定位置に取付け、シ
    リンダを用いた上下移動可能なブラケットと、モータに
    よって駆動され、間欠回転可能なインデックステーブル
    と、前記テーブルの外周縁辺近傍に設けられ、被検査ワ
    ークを搭載したワーク位置決め治具と、前記治具を搭載
    したインデックステーブルを所定の位置に位置決めし、
    テーブルの原点を決定する原点センサと、検査用プロー
    ブでワークを検査するワーク検査器と、ワークを取出す
    取出ハンドラとからなる検査装置において、インデック
    ステーブル上の同一円周上に異なる円周分割角度でかつ
    ステージ数の整数倍の等間隔で取付けられた複数のワー
    ク位置決め治具を有し、該インデックステーブルを間欠
    駆動するダイレクトドライブモータとを有することを特
    徴とする検査装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載において、取出ハンドラの
    近傍に2つの傾斜面を有した、前進、後退する移動可能
    なシューターと、前記シューターを駆動するアクチュエ
    ータ付きシリンダと、シューター側に配置され、シュー
    ターの前進にともない良品を投入する良品箱と、不良品
    を検査項目別に区別する回転可能な内部を数分割された
    不良品箱と、その不良品箱を回転させるモータとからな
    るワーク弁別機構を有することを特徴とする検査装置。
JP5192293U 1993-08-30 1993-08-30 検査装置 Pending JPH0716174U (ja)

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JP5192293U JPH0716174U (ja) 1993-08-30 1993-08-30 検査装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58173360A (ja) * 1983-03-11 1983-10-12 バブコツク日立株式会社 直焚吸収式高温再生器
JP2016161296A (ja) * 2015-02-26 2016-09-05 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
CN112595600A (zh) * 2020-12-14 2021-04-02 沈阳航天新光集团有限公司 气体驱动近距、远程控制试验系统

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