JPH07161494A - Ｒｆ電源 - Google Patents
Ｒｆ電源Info
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- JPH07161494A JPH07161494A JP5307904A JP30790493A JPH07161494A JP H07161494 A JPH07161494 A JP H07161494A JP 5307904 A JP5307904 A JP 5307904A JP 30790493 A JP30790493 A JP 30790493A JP H07161494 A JPH07161494 A JP H07161494A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の入力電力がアンバランスの状態での装
置の運転をかならず停止させることができるＲＦ電源を
実現する。 【構成】 合成器１５内の合成アンバランス検出部によ
って検出されたアンバランス信号（Ｖｕ）は、第１の演
算器２１に供給される。第１の演算器２１は２乗器であ
り、（Ｖｕ）2の信号が得られる。第１の演算器２１の
出力とカプラー１６からの高周波出力（Ｐ）信号は、第
２の演算器２２に供給される。第２の演算器２２は割算
器であり、この結果、（Ｖｕ）2／Ｐが得られる。第２
の演算器２２の出力は演算増幅器２３に送られ、基準信
号源２４からのＭの信号と比較される。この第２の演算
器２２の出力がＭより大きくなった場合には、リレー２
５が動作し、その結果スイッチ２０がオフ状態とされ、
高周波出力の発生が停止する。
置の運転をかならず停止させることができるＲＦ電源を
実現する。 【構成】 合成器１５内の合成アンバランス検出部によ
って検出されたアンバランス信号（Ｖｕ）は、第１の演
算器２１に供給される。第１の演算器２１は２乗器であ
り、（Ｖｕ）2の信号が得られる。第１の演算器２１の
出力とカプラー１６からの高周波出力（Ｐ）信号は、第
２の演算器２２に供給される。第２の演算器２２は割算
器であり、この結果、（Ｖｕ）2／Ｐが得られる。第２
の演算器２２の出力は演算増幅器２３に送られ、基準信
号源２４からのＭの信号と比較される。この第２の演算
器２２の出力がＭより大きくなった場合には、リレー２
５が動作し、その結果スイッチ２０がオフ状態とされ、
高周波出力の発生が停止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマを用いたエッ
チング装置やＣＶＤ装置などに用いて好適なＲＦ電源に
関する。
チング装置やＣＶＤ装置などに用いて好適なＲＦ電源に
関する。
【０００２】
【従来の技術】エッチング装置やＣＶＤ装置などのプラ
ズマ装置では、プラズマを生成させるための高周波電力
を供給するＲＦ（高周波）電源が備えられている。この
ＲＦ電源においては、高周波発振器からの高周波電力を
電力増幅器で増幅し、プラズマ装置に供給している。
ズマ装置では、プラズマを生成させるための高周波電力
を供給するＲＦ（高周波）電源が備えられている。この
ＲＦ電源においては、高周波発振器からの高周波電力を
電力増幅器で増幅し、プラズマ装置に供給している。
【０００３】このようなＲＦ電源を用いて高周波大出力
を得るためには、複数個の高周波（ＲＦ）増幅器を並列
運転し、それぞれの電力を合成することが行われてい
る。このような合成方式の基本構成を図１に示す。図１
において、１は高周波発振器であり、高周波発振器１か
らの高周波電力は、分配器２に供給されて複数の高周波
出力に分配される。この分配された高周波出力は、それ
ぞれ増幅器３ａ〜３ｎによって増幅された後、合成器４
に供給されて合成される。この合成された高周波出力は
プラズマ装置などの負荷に接続されている出力端子５に
供給される。
を得るためには、複数個の高周波（ＲＦ）増幅器を並列
運転し、それぞれの電力を合成することが行われてい
る。このような合成方式の基本構成を図１に示す。図１
において、１は高周波発振器であり、高周波発振器１か
らの高周波電力は、分配器２に供給されて複数の高周波
出力に分配される。この分配された高周波出力は、それ
ぞれ増幅器３ａ〜３ｎによって増幅された後、合成器４
に供給されて合成される。この合成された高周波出力は
プラズマ装置などの負荷に接続されている出力端子５に
供給される。
【０００４】上記方式に使用される合成器４の原理を図
２を用いて説明する。図中６ａ，６ｂは合成器４の入力
端子であり、この図２のケースでは、ＰａとＰｂの２種
の入力がそれぞれ供給される。入力された高周波電力
は、合成トランス７を介して合成され、出力端子８に供
給される。合成トランス７には、入力端子６ａ，６ｂに
供給される入力のアンバランスの状態を検出するため
に、合成アンバランス検出部９が結合されている。な
お、図中１０ａ，１０ｂ，１０ｃはそれぞれインダクタ
ンスがＬ１，Ｌ２，Ｌ３のコイルである。
２を用いて説明する。図中６ａ，６ｂは合成器４の入力
端子であり、この図２のケースでは、ＰａとＰｂの２種
の入力がそれぞれ供給される。入力された高周波電力
は、合成トランス７を介して合成され、出力端子８に供
給される。合成トランス７には、入力端子６ａ，６ｂに
供給される入力のアンバランスの状態を検出するため
に、合成アンバランス検出部９が結合されている。な
お、図中１０ａ，１０ｂ，１０ｃはそれぞれインダクタ
ンスがＬ１，Ｌ２，Ｌ３のコイルである。
【０００５】さて、上記合成トランスにおいて、入力さ
れる高周波電力Ｐ１とＰ２とが同位相で同振幅であれ
ば、コイル１０ａとコイル１０ｂに流れる電流Ｉａ，Ｉ
ｂは、相反する向きで同一電流であるため、磁束が発生
しない。従って、合成アンバランス検出部９に流れる電
流Ｉｃは零となり、アンバランス信号であるＶｃも零と
なる。
れる高周波電力Ｐ１とＰ２とが同位相で同振幅であれ
ば、コイル１０ａとコイル１０ｂに流れる電流Ｉａ，Ｉ
ｂは、相反する向きで同一電流であるため、磁束が発生
しない。従って、合成アンバランス検出部９に流れる電
流Ｉｃは零となり、アンバランス信号であるＶｃも零と
なる。
【０００６】次に、入力される高周波電力ＰａとＰｂと
のバランスがくずれ、相互に位相が異なり、また、振幅
も異なると、コイル１０ａとコイル１０ｂに流れる電流
ＩａとＩｂとは等しくなくなり、｜Ｉａ−Ｉｂ｜に比例
した磁束が発生する。従って、コイル１０ｃには電流Ｉ
ｃとして次の電流が流れる。
のバランスがくずれ、相互に位相が異なり、また、振幅
も異なると、コイル１０ａとコイル１０ｂに流れる電流
ＩａとＩｂとは等しくなくなり、｜Ｉａ−Ｉｂ｜に比例
した磁束が発生する。従って、コイル１０ｃには電流Ｉ
ｃとして次の電流が流れる。
【０００７】Ｉｃ＝（Ｉａ−Ｉｂ）・Ｎａ／Ｎｃ その結果、次の電圧Ｖｃが合成アンバランス信号として
検出される。 Ｖｃ＝Ｒ・（Ｉａ−Ｉｂ）・Ｎａ／Ｎｃ なお、上式において、Ｎａはコイル１０ａの巻数であ
り、コイル１０ｂの巻数Ｎｂとの間には、Ｎａ＝Ｎｂの
関係がある。また、Ｎｃはコイル１０ｃの巻数である。
検出される。 Ｖｃ＝Ｒ・（Ｉａ−Ｉｂ）・Ｎａ／Ｎｃ なお、上式において、Ｎａはコイル１０ａの巻数であ
り、コイル１０ｂの巻数Ｎｂとの間には、Ｎａ＝Ｎｂの
関係がある。また、Ｎｃはコイル１０ｃの巻数である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記した合成方式のＲ
Ｆ電源において、各電力増幅器３ａ〜３ｎの出力の位相
と振幅を全て完全に一致させることは現実的に無理で、
多少のアンバランス状態は生じてしまう。この合成器３
の入力（電力増幅器３ａ〜３ｎの出力）のバランスがく
ずれた場合には、合成トランス９に磁束が発生し、コア
に大きな損失が生じ、場合によっては、コアが焼損して
しまうこともある。そこで、前記アンバランス検出部９
によって検出された信号に基づいて、高周波電力の供給
を停止するように構成している。図３は高周波電力Ｐと
アンバランス検出部９からのアンバランス信号Ｖｕの強
度との関係を示したものである。
Ｆ電源において、各電力増幅器３ａ〜３ｎの出力の位相
と振幅を全て完全に一致させることは現実的に無理で、
多少のアンバランス状態は生じてしまう。この合成器３
の入力（電力増幅器３ａ〜３ｎの出力）のバランスがく
ずれた場合には、合成トランス９に磁束が発生し、コア
に大きな損失が生じ、場合によっては、コアが焼損して
しまうこともある。そこで、前記アンバランス検出部９
によって検出された信号に基づいて、高周波電力の供給
を停止するように構成している。図３は高周波電力Ｐと
アンバランス検出部９からのアンバランス信号Ｖｕの強
度との関係を示したものである。
【０００９】図中Ｖｕ１の曲線は、バランスがとれてい
る場合の検出信号を示しており、Ｖｕ２の曲線は、アン
バランス状態の検出信号を示している。なお、高周波電
力Ｐと電圧Ｖとの関係は、ｋを比例定数とすると、Ｐ＝
ｋＶ2であり、そのため、両者の関係は、図示の曲線と
なる。さて、アンバランス状態になって電力をオフさせ
る場合には、バランスがとれている場合に、最大電力Ｐ
max を出力しても、電力がオフされないようにその設定
を行わねばならない。従って、図３のケースでは、電力
オフの閾値として、Ｖ0が設定される。
る場合の検出信号を示しており、Ｖｕ２の曲線は、アン
バランス状態の検出信号を示している。なお、高周波電
力Ｐと電圧Ｖとの関係は、ｋを比例定数とすると、Ｐ＝
ｋＶ2であり、そのため、両者の関係は、図示の曲線と
なる。さて、アンバランス状態になって電力をオフさせ
る場合には、バランスがとれている場合に、最大電力Ｐ
max を出力しても、電力がオフされないようにその設定
を行わねばならない。従って、図３のケースでは、電力
オフの閾値として、Ｖ0が設定される。
【００１０】しかしながら、電力オフの閾値をＶ0とす
ると、バランスがくずれた状態で、電力がオフされない
電力（Ｐｓ以下の電力）で装置を運転すると、合成トラ
ンスに大きな損失を発生させたまま使用することにな
る。
ると、バランスがくずれた状態で、電力がオフされない
電力（Ｐｓ以下の電力）で装置を運転すると、合成トラ
ンスに大きな損失を発生させたまま使用することにな
る。
【００１１】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、複数の入力電力がアンバランスの
状態での装置の運転をかならず停止させることができる
ＲＦ電源を実現するにある。
もので、その目的は、複数の入力電力がアンバランスの
状態での装置の運転をかならず停止させることができる
ＲＦ電源を実現するにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明に基づくＲＦ電源
は、ＲＦ発振器と、ＲＦ発振器からの高周波を複数の出
力に分配する分配器と、各出力を増幅する複数の増幅器
と、増幅された各出力を合成する合成器と、合成アンバ
ランス（Ｖｕ）を検出するアンバランス検出手段と、合
成出力（Ｐ）を検出する出力検出手段と、（Ｖｕ）2／
Ｐを演算する演算手段と、演算手段と所定値とを比較す
る比較手段と、比較手段からの出力に応じて出力をオフ
する手段とを備えたことを特徴としている。
は、ＲＦ発振器と、ＲＦ発振器からの高周波を複数の出
力に分配する分配器と、各出力を増幅する複数の増幅器
と、増幅された各出力を合成する合成器と、合成アンバ
ランス（Ｖｕ）を検出するアンバランス検出手段と、合
成出力（Ｐ）を検出する出力検出手段と、（Ｖｕ）2／
Ｐを演算する演算手段と、演算手段と所定値とを比較す
る比較手段と、比較手段からの出力に応じて出力をオフ
する手段とを備えたことを特徴としている。
【００１３】
【作用】合成アンバランス（Ｖｕ）を検出し、この合成
アンバランスと合成出力（Ｐ）とによって（Ｖｕ）2／
Ｐを演算する。この演算結果に基づき高周波出力をオフ
する。
アンバランスと合成出力（Ｐ）とによって（Ｖｕ）2／
Ｐを演算する。この演算結果に基づき高周波出力をオフ
する。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図４は本発明の一実施例のプラズマ装置用
ＲＦ電源を示しており、１１はＲＦ発振器である。ＲＦ
発振器１からの高周波は、自動ゲインコントローラ１２
を介して分配器１３に供給される。分配器１３によって
分配された複数の高周波出力は、それぞれ電力増幅器１
４ａ〜１４ｎに供給されて増幅された後、合成器１５に
供給される。合成器１５の出力はカプラー１６を介して
負荷と接続されている出力端子１７に供給される。
に説明する。図４は本発明の一実施例のプラズマ装置用
ＲＦ電源を示しており、１１はＲＦ発振器である。ＲＦ
発振器１からの高周波は、自動ゲインコントローラ１２
を介して分配器１３に供給される。分配器１３によって
分配された複数の高周波出力は、それぞれ電力増幅器１
４ａ〜１４ｎに供給されて増幅された後、合成器１５に
供給される。合成器１５の出力はカプラー１６を介して
負荷と接続されている出力端子１７に供給される。
【００１５】カプラー１６からの端子１７に供給される
高周波出力に比例した信号は、演算増幅器１８に供給さ
れ、基準信号源１９からの基準信号と比較される。演算
増幅器１８の出力は、前記自動ゲインコントローラ１２
に供給される。なお、基準信号源１９と演算増幅器１８
との間にはスイッチ２０が設けられてる。
高周波出力に比例した信号は、演算増幅器１８に供給さ
れ、基準信号源１９からの基準信号と比較される。演算
増幅器１８の出力は、前記自動ゲインコントローラ１２
に供給される。なお、基準信号源１９と演算増幅器１８
との間にはスイッチ２０が設けられてる。
【００１６】前記合成器１５内で検出された合成アンバ
ランス信号は、第１の演算器２１に供給される。この第
１の演算器２１の出力と、前記カプラ１６からの信号
は、第２の演算器２２に供給される。第２の演算器２２
の出力は、演算増幅器２３に供給され、基準信号源２４
からの基準信号と比較される。演算増幅器２３は、前記
スイッチ２０の開閉を行うリレー２５の制御を行う。こ
のような構成の動作を次に説明する。
ランス信号は、第１の演算器２１に供給される。この第
１の演算器２１の出力と、前記カプラ１６からの信号
は、第２の演算器２２に供給される。第２の演算器２２
の出力は、演算増幅器２３に供給され、基準信号源２４
からの基準信号と比較される。演算増幅器２３は、前記
スイッチ２０の開閉を行うリレー２５の制御を行う。こ
のような構成の動作を次に説明する。
【００１７】ＲＦ発振器１１から発振された高周波は、
自動ゲインコントローラ１２によって増幅された後、分
配器１３に供給されて複数の高周波出力に分配される。
分配された各高周波出力は、電力増幅器１４ａ〜１４ｎ
によって増幅され、更に、合成器１５によって合成され
た後、出力端子１７に供給される。この出力端子から、
図示していないが負荷（例えば、プラズマ装置）に高周
波出力が供給され、プラズマ装置内では、供給される高
周波電力によりプラズマが発生し、イオンエッチングや
成膜が実行される。
自動ゲインコントローラ１２によって増幅された後、分
配器１３に供給されて複数の高周波出力に分配される。
分配された各高周波出力は、電力増幅器１４ａ〜１４ｎ
によって増幅され、更に、合成器１５によって合成され
た後、出力端子１７に供給される。この出力端子から、
図示していないが負荷（例えば、プラズマ装置）に高周
波出力が供給され、プラズマ装置内では、供給される高
周波電力によりプラズマが発生し、イオンエッチングや
成膜が実行される。
【００１８】さて、増幅器１４ａ〜１４ｎによって増幅
され、合成器１５によって合成された高周波出力に比例
した強度の信号がカプラー１６から得られる。カプラー
１６の信号は、演算増幅器１８に供給されて基準信号源
１９からの基準信号と比較される。演算増幅器１８では
２種の信号との差の信号が得られ、この差信号は自動ゲ
インコントローラ１２に供給される。自動ゲインコント
ローラ１２においては、供給される差信号に応じて増幅
率が変化させられ、その結果、出力端子１７に供給され
る高周波出力は常に一定に維持される。
され、合成器１５によって合成された高周波出力に比例
した強度の信号がカプラー１６から得られる。カプラー
１６の信号は、演算増幅器１８に供給されて基準信号源
１９からの基準信号と比較される。演算増幅器１８では
２種の信号との差の信号が得られ、この差信号は自動ゲ
インコントローラ１２に供給される。自動ゲインコント
ローラ１２においては、供給される差信号に応じて増幅
率が変化させられ、その結果、出力端子１７に供給され
る高周波出力は常に一定に維持される。
【００１９】上記合成器１５では、各電力増幅器１４ａ
〜１４ｎから入力される高周波電力のバランスを図２に
示した原理によって検出している。この合成器１５内の
合成アンバランス検出部によって検出されたアンバラン
ス信号（Ｖｕ）は、第１の演算器２１に供給される。第
１の演算器２１は２乗器であり、（Ｖｕ）2の信号が得
られる。第１の演算器２１の出力とカプラー１６からの
高周波出力（Ｐ）信号は、第２の演算器２２に供給され
る。第２の演算器２２は割算器であり、この結果、（Ｖ
ｕ）2／Ｐが得られる。
〜１４ｎから入力される高周波電力のバランスを図２に
示した原理によって検出している。この合成器１５内の
合成アンバランス検出部によって検出されたアンバラン
ス信号（Ｖｕ）は、第１の演算器２１に供給される。第
１の演算器２１は２乗器であり、（Ｖｕ）2の信号が得
られる。第１の演算器２１の出力とカプラー１６からの
高周波出力（Ｐ）信号は、第２の演算器２２に供給され
る。第２の演算器２２は割算器であり、この結果、（Ｖ
ｕ）2／Ｐが得られる。
【００２０】ここで、（Ｖｕ）2と高周波出力Ｐとの関
係を図５のグラフに示す。図５で縦軸は（Ｖｕ）2であ
り、横軸がＰである。バランスが取れている状態のとき
の曲線が（Ｖｕ１）2であり、アンバランス状態のとき
の曲線が（Ｖｕ２）2である。この２つの曲線につい
て、（Ｖｕ）2／Ｐを演算すると、図６のようになる。
図６で縦軸は（Ｖｕ）2／Ｐであり、横軸はＰである。
係を図５のグラフに示す。図５で縦軸は（Ｖｕ）2であ
り、横軸がＰである。バランスが取れている状態のとき
の曲線が（Ｖｕ１）2であり、アンバランス状態のとき
の曲線が（Ｖｕ２）2である。この２つの曲線につい
て、（Ｖｕ）2／Ｐを演算すると、図６のようになる。
図６で縦軸は（Ｖｕ）2／Ｐであり、横軸はＰである。
【００２１】このように、（Ｖｕ）2／Ｐを演算する
と、その値は、バランスが取れていてもアンバランスで
も、電力Ｐとの関係は常に一定となる。従って、バラン
ス状態とアンバランス状態との中間の値Ｍを設定し、
（Ｖｕ）2／ＰとＭとを比較する。そして、（Ｖｕ）2／
Ｐの値がＭ以上となった場合にＲＦ電源をオフにすれ
ば、バランスがくずれた状態で装置を運転し、合成トラ
ンスに大きな損失を与えることを防止することができ
る。
と、その値は、バランスが取れていてもアンバランスで
も、電力Ｐとの関係は常に一定となる。従って、バラン
ス状態とアンバランス状態との中間の値Ｍを設定し、
（Ｖｕ）2／ＰとＭとを比較する。そして、（Ｖｕ）2／
Ｐの値がＭ以上となった場合にＲＦ電源をオフにすれ
ば、バランスがくずれた状態で装置を運転し、合成トラ
ンスに大きな損失を与えることを防止することができ
る。
【００２２】そのため、図４の実施例では、第２の演算
器２２の出力（Ｖｕ）2／Ｐを演算増幅器２３に送り、
基準信号源２４からのＭの信号と比較している。この第
２の演算器２２の出力がＭより大きくなった場合には、
リレー２５が動作し、その結果スイッチ２０がオフ状態
とされ、高周波出力の発生が停止する。
器２２の出力（Ｖｕ）2／Ｐを演算増幅器２３に送り、
基準信号源２４からのＭの信号と比較している。この第
２の演算器２２の出力がＭより大きくなった場合には、
リレー２５が動作し、その結果スイッチ２０がオフ状態
とされ、高周波出力の発生が停止する。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づくＲ
Ｆ電源は、合成アンバランス（Ｖｕ）を検出し、この合
成アンバランスと合成出力（Ｐ）とによって（Ｖｕ）2
／Ｐを演算し、この演算結果に基づき高周波出力をオフ
するように構成した。そのため、複数の入力電力がアン
バランスの状態での装置の運転をかならず停止させるこ
とが可能となった。
Ｆ電源は、合成アンバランス（Ｖｕ）を検出し、この合
成アンバランスと合成出力（Ｐ）とによって（Ｖｕ）2
／Ｐを演算し、この演算結果に基づき高周波出力をオフ
するように構成した。そのため、複数の入力電力がアン
バランスの状態での装置の運転をかならず停止させるこ
とが可能となった。
【図１】複数の高周波増幅器を並列運転し、それぞれの
電力を合成する方式のＲＦ電源を示す図である。
電力を合成する方式のＲＦ電源を示す図である。
【図２】合成器の原理を説明するための図である。
【図３】高周波電力Ｐとアンバランス信号Ｖｕとの関係
を示す図である。
を示す図である。
【図４】本発明に基づくＲＦ電源の一実施例を示す図で
ある。
ある。
【図５】高周波電力Ｐと（Ｖｕ）2との関係を示す図で
ある。
ある。
【図６】高周波電力Ｐと（Ｖｕ）2／Ｐとの関係を示す
図である。
図である。
１１ ＲＦ発振器 １２ 自動ゲインコントローラ １３ 分配器 １４ 電力増幅器 １５ 合成器 １６ カプラー １７ 出力端子 １８，２３ 演算増幅器 １９，２４ 基準信号源 ２０ スイッチ ２１，２２ 演算器 ２５ リレー
Claims (1)
- 【請求項１】 ＲＦ発振器と、ＲＦ発振器からの高周波
を複数の出力に分配する分配器と、各出力を増幅する複
数の増幅器と、増幅された各出力を合成する合成器と、
合成アンバランス（Ｖｕ）を検出するアンバランス検出
手段と、合成出力（Ｐ）を検出する出力検出手段と、
（Ｖｕ）2／Ｐを演算する演算手段と、演算手段と所定
値とを比較する比較手段と、比較手段からの出力に応じ
て出力をオフする手段とを備えたＲＦ電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5307904A JPH07161494A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | Ｒｆ電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5307904A JPH07161494A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | Ｒｆ電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07161494A true JPH07161494A (ja) | 1995-06-23 |
Family
ID=17974575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5307904A Withdrawn JPH07161494A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | Ｒｆ電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07161494A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014222717A (ja) * | 2013-05-14 | 2014-11-27 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
-
1993
- 1993-12-08 JP JP5307904A patent/JPH07161494A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014222717A (ja) * | 2013-05-14 | 2014-11-27 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |