JPH07140391A

JPH07140391A - オ─トコリメ─タ用反射装置

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Publication number: JPH07140391A
Application number: JP5288098A
Authority: JP
Inventors: Akitoshi Okuma; 昭利大熊
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1993-11-17
Filing date: 1993-11-17
Publication date: 1995-06-02

Abstract

(57)【要約】【目的】オ─トコリメ─タに反射光を容易に戻せるよう
にし、セッティング作業を簡単にする。光軸に垂直な面
内での傾きも検知できるようにする。【構成】この反射装置は、直交し対向する２つの反射面
からなる第１の反射面１０４，１０５と、その２つの反
射面各々と４５度傾斜しオ─トコリメ─タを指向する第
２の反射面１０６，１０７，１０８を有する。まず、必
ず入射光に平行となる第１の反射面１０４，１０５から
の反射光を利用してＸ軸１２１回りの反射装置１１１，
１１２の向きを調整し、次にそれを基準にしてＹ軸１２
２回りの反射装置１１３，１１４の向きを調整して、第
２の反射面１０６，１０７，１０８からの反射光もオ─
トコリメ─タ２００に戻るように調整する。また、Ｚ軸
回りに反射装置が傾いた場合、反射角度に影響を与えオ
─トコリメ─タにより検知できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、オ─トコリメ─タ用反
射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】定盤やステ─ジ等の平面度、真直度、直
角度や、運動の真直度等を測定する手段としてオ─トコ
リメ─タがしばしば用いられる。その一例として、オ─
トコリメ─タを用いた面の真直度の測定方法について図
１３を参照して説明する。図１３において、まず、オ─
トコリメ─タ２００内の光源２０１により発せられた光
は、コンデンサレンズ２０２、十字の標線が記された光
源側焦点板２０３を経て、半透過プリズム２０４により
反射され、さらに対物レンズ２０５により平行光７１６
とされ、被測定面３０５上に光軸２０８に垂直におかれ
た平面鏡９００に照射される。そして、平面鏡９００に
より反射された反射光７３２が再びオ─トコリメ─タ２
００内に採り込まれ、対物レンズ２０５、半透過プリズ
ム２０４を透過し、接眼側焦点板２０６上に標線を結像
させる。従って、平面鏡９００を被測定面３０５上をＺ
軸方向に動かし、このときの標線のずれｄを接眼レンズ
２０７を通して観察することにより被測定面３０５の真
直度を測定できる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した測定
を行うためのオ─トコリメ─タ、及び平面鏡のセッティ
ング作業は、大変手間のかかる難しい作業であり、従っ
て熟練を要し、さらに時間もかかるため、前記測定を効
率的に行えないという問題点があった。

【０００４】これは、以下に述べる理由による。まず、
オ─トコリメ─タの角度測定の精度は数分、或いは数秒
といった非常に微小な値であるため、前述のような平面
３０５の真直度を測定するためには、平面鏡９００を同
程度の精度で正確に光軸２０８に垂直にセットしなけれ
ばならない。また、一般的にオ─トコリメ─タの視野範
囲は測定精度を最も粗くした場合においても１５分程度
で、それ以上平面鏡が傾いていた場合には反射光は全く
オ─トコリメ─タに戻ってこないため、接眼レンズを見
ながらずれを補正し位置合わせを行うことができない。
しかも、そのずれは光軸に垂直な面内で２次元的にずれ
ているので調整はさらに難しくなる。さらに、数十分程
度の傾きでは、直接目視したのみで平面鏡がどの方向に
傾いているかを見極めるのは非常に難しい。従って、測
定者は勘に頼りながら試行錯誤を繰り返し、平面鏡の向
きを調整しなければならない。

【０００５】前記調整の具体例を図１４に示す。図１４
において、平面鏡９００が例えば面９０１に示すように
少しでもＸ軸回りにずれていると、その反射光はずれた
反射光７３３となり、また平面鏡９００が面９０２に示
すようにＹ軸回りにずれていると、その反射光はずれた
反射光７３４となり、ともにオ─トコリメ─タ２００に
戻ってこない。しかも、前記ずれは１度以下の微小なず
れであるため、目視したのみではどの方向に傾いている
のか見極めるのは不可能である。その結果、非常に微小
な角度を、しかもＸ軸回り、Ｙ軸回りの双方について同
時に２次元的に調整しながら、試行錯誤を繰り返し、平
面鏡９００の反射光がオ─トコリメ─タ２００に戻るよ
うにセッティングを行わなければならない。

【０００６】さらに、前述した測定方法では、オ─トコ
リメ─タの光軸に垂直な面内での被測定面の傾きは測定
できないという問題点もあった。例えば、図１５に示す
被測定面３０６がＺ軸回りに角度θだけ傾いた例におい
て、平面鏡９００からの反射光７３５は全く影響を受け
ず対物レンズ２０５に垂直に入射するため、焦点板２０
６の標線像８０８はずれを生じない。従って、測定者
は、Ｚ軸回りの面の傾きを検知できない。

【０００７】従って本発明の目的は、被測定面の真直度
等を測定するためのオ─トコリメ─タ、及び反射装置の
セッティング作業を容易にし、短時間に簡単にセッティ
ングを行えるようにすることにある。さらに本発明の他
の目的は、オ─トコリメ─タの光軸に垂直な面内での被
測定面の傾きを測定可能にすることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のオ─トコリメ─
タ用反射装置は、１つ以上の基準面と、該基準面と所定
の角度をなし互いに直交し対向する第１の２つの反射面
を有する。好適には、前記第１の２つの反射面各々に対
して４５度傾斜し、オ─トコリメ─タを指向する第２の
反射面を有することが望ましい。特定的には、前記反射
装置は、２つのＶ溝斜面を有するＶブロックとして構成
される。その場合、前記第１の２つの反射面は前記２つ
のＶ溝斜面として構成され、前記第２の反射面は前記２
つのＶ溝斜面の交差部近傍の底部またはその底部と反対
側のＶ溝斜面の端部に設けられる。また特定的には、前
記反射装置は、前記第１の２つの反射面たる２つの直交
表面と、基準表面と、光入射用表面を有するプリズムで
構成される。

【０００９】

【作用】本発明のオ─トコリメ─タ用の反射装置は、直
交し対向する第１の２つの反射面を有する。直交する２
つの反射面に平行光が入射すると、２つの反射面の交線
に垂直な方向に関しては、反射光は必ず入射光と平行に
反射される。本発明の反射装置はこの点に着目した。

【００１０】つまり、まず目視で可能な程度の精度で反
射装置にオ─トコリメ─タの光を照射すれば、反射光と
入射光は、前記第１の２つの反射面の交線に垂直な方向
については平行である。従って、その方向については反
射装置の向きを調整する必要がなく、残る一方向につい
て反射装置の向きを調整すれば、必ず反射光をオ─トコ
リメ─タ内に採り込むことができる。従って、２次元同
時に調整しなければならないために、勘に頼った試行錯
誤的な作業を繰り返さなければならないという問題を解
決でき、合理的にセッティング作業が行える。

【００１１】また、前記第１の２つの反射面各々に対し
て４５度傾斜しオ─トコリメ─タを指向する第２の反射
面を有する反射装置においては、前記調整の結果得られ
た反射光を基準にし、引き続き今度は前記反射装置の第
２の反射面からの光をオ─トコリメ─タに採り込むよう
よう反射装置の向きを調整すればよい。従って、１方向
づつの２回の調整で平面鏡である第２の反射面からの反
射光もオ─トコリメ─タに採りこめ、オ─トコリメ─
タ、及び反射装置のセッティングが容易になる。

【００１２】また、本発明の反射装置の第１の２つの反
射面は、平面鏡と異なり、その交線に平行な面内で方向
性を持つ。そのため、被測定面がその方向で傾いている
と、前記第１の２つの反射面からの反射光は影響を受
け、入射光と平行でなくなり、従ってその標線像はずれ
る。故に、このずれを検出することによりＺ軸まわりの
傾きも検知できる。

【００１３】

【実施例】本発明のオ─トコリメ─タ用反射装置（以
下、反射装置と言う）の第１実施例を図１〜図５を参照
して説明する。図１は、第１実施例の反射装置１００を
用いてオ─トコリメ─タ２００により、面３０１の光軸
２０８と平行な方向３０７の真直度を測定する方法を説
明する図である。図２は、第１実施例の反射装置１００
の斜視図である。反射装置１００は、互いに直交する３
つの基準面１０１，１０２，１０３、互いに直交しさら
にともに基準面１０２と直交し基準面１０３とは４５度
傾斜している第１の反射面１０４，１０５、及び基準面
１０２と直交し基準面１０３と平行な第２の反射面１０
６，１０７，１０８を有する。

【００１４】図３は、第１実施例の反射装置１００、及
びオ─トコリメ─タ２００のセッティングの方法を説明
する図であり、（Ａ）はＸ軸回りの角度の調整方法を説
明する図、（Ｂ）はＹ軸回りの角度の調整方法を説明す
る図である。図４は、第１実施例の反射装置１００の直
交する第１の２つの反射面１０４，１０５に対する、平
行入射光７１１，７１２の反射の仕方を説明する図であ
り、（Ａ）は第１の２つの反射面の指向方向が入射光と
平行な場合、（Ｂ）は第１の２つの反射面が入射光に対
して＋Ｘの方向を指向している場合、（Ｃ）は第１の２
つの反射面が入射平行光に対して−Ｘの方向に指向して
いる場合を示す図である。図５は、反射装置１００がオ
─トコリメ─タの光軸に垂直な面内で傾いた場合の反射
の仕方を説明する図である。

【００１５】以下、第１実施例のオ─トコリメ─タ用反
射装置を用いた被測定面の真直度の測定方法について説
明する。まず、図１に示すように、被測定面３０１上に
反射装置１００を、基準面１０１が被測定面３０１に接
し、第２の反射面１０６が真直度の測定方向３０７に直
交するようにセットする。次にオ─トコリメ─タ２００
を、反射面１０６に対して垂直に光が照射するように高
さ及び角度を調整する。但し、この調整は目視して可能
な程度の精度でよい。またこの調整は、被測定面３０１
の高さを調整することにより相対的にオ─トコリメ─タ
２００の光線の高さ、及び角度を調整する方法でもよ
い。

【００１６】前記調整を行った結果、反射装置１００の
Ｙ軸回りの向きに関係なく、少なくとも第１の２つの反
射面１０４，１０５により反射された光は、Ｘ軸方向の
高さに関しては入射光と平行に反射される。このことに
ついて図４を参照して説明する。つまり、反射装置１０
０の第２の反射面１０６により反射された反射光７２
２，７２４，７２６は反射装置１００の向きに応じた方
向に反射されるが、第１の２つの反射面１０４，１０５
により反射された光は反射装置のＹ軸回りの向きに関係
なく、入射光７１１と平行な反射光７２１，７２３，７
２５となり反射される。

【００１７】そこで次に、図３（Ａ）に示すようにＸ軸
方向に回転軸１２１をとり、反射装置１００を反射装置
１１１に示す向きから反射装置１１２に示す向きまで少
しづつ回転させる。すると、その回転動作中に、例えば
標線像８０１から標線像８０２のように移動する標線像
を必ず観測することができる。そこで、その標線像が焦
点板２０６の中心になるように反射装置１００の向きを
調整する。以上の操作により、Ｘ軸回りの反射装置１０
０の向きのセッティングは完了する。

【００１８】しかし、焦点板の中心に結像している標線
は、第１の２つの反射面１０４，１０５により反射され
た光による標線像であり、Ｙ軸回りの反射装置１００の
向きは未調整である。そこで次に、第２の反射面１０６
からの反射光をオ─トコリメ─タに採り込めるようＹ軸
回りの向きの調整を行う。そこで、図３（Ｂ）に示すよ
うに、Ｙ軸方向を回転軸１２２として反射装置１００を
反射装置１１３に示す向きから反射装置１１４に示す向
きまで少しづつ回転させる。すると、その回転動作中、
第１の２つの反射面１０４，１０５からの反射光による
標線像８０５は焦点板の中心に結像したまま移動しない
が、例えば標線像８０３から標線像８０４のように移動
する第２の反射面１０６からの標線像は必ず観測するこ
とができる。そこで、その標線像を前記第１の２つの反
射面１０４，１０５からの標線像８０５と重ねて焦点板
２０６の中心に結像するように反射装置１００の向きを
調整する。尚、前記反射装置のＹ軸回りの向きの調整は
オ─トコリメ─タの高さ、向きを調整することにより相
対的に行われるものであってもよい。

【００１９】以上の操作により、オ─トコリメ─タ２０
０、及び反射装置１００のセッティングは完了する。つ
づけて、反射装置１００を真直度の測定方向３０７の方
向に移動させながら標線の移動量を観測し被測定面３０
１の真直度を測定できる。このように、第１の２つの反
射面１０４，１０５により反射された光による標線像を
用いて、１次元的な調整を２度繰り返すことにより反射
装置１００の方向を的確に調整すればよい。

【００２０】さらに、図１に示すように反射装置１００
及び、オ─トコリメ─タ２００のセッティングを行った
場合には、光軸２０８に垂直な面内での被測定面３０１
の傾きも測定できることについて図５を参照して説明す
る。つまり、図５に示すように、反射装置１００が被測
定面３０１の傾きによりＺ軸回りに角度θで傾いている
と、第２の反射面１０６への光の入射角度は変わらない
ため、その反射光７２７は変化せず焦点板２０６の中心
に標線像８０６を結像する。しかし、第１の２つの反射
面１０４、１０５については光の入射角度が変わるた
め、反射光７２８はずれ、標線像８０７もずれた位置に
結像される。従って、光軸に垂直なＺ軸回りの被測定面
３０１の傾きもオ─トコリメ─タ２００により検出でき
る。

【００２１】尚、第１実施例の反射装置１００において
は、第２の反射面は、第１の２つの反射面の交線部分に
位置する第２の反射面１０６、及び第１の２つの反射面
の交線とは反対側に第１の２つの反射面各々と連続して
設けた第２の反射面１０７，１０８、の３面を有した
が、これに限られるものではなく、何れか１面のみ有し
ても、或いは任意の２面を有しても何ら差し支えない。

【００２２】第２実施例を図６を参照して説明する。図
６は、本発明の第２実施例を示す図である。第２実施例
は、一般に広く用いられているＶブロックを利用して本
発明の反射装置を実現した例であり、図６（Ａ）はＶ字
溝底部に加工の逃げがあるＶブロックの例を、図６
（Ｂ）はＶ字溝底部に第２の反射面を設けその両脇に加
工の逃げがあるＶブロックの例を示す。図６に示すよう
に、本発明の反射装置は、一般的に広く用いられている
いわゆるＶブロックを用い、必要な面を鏡面加工する
か、或いは必要な面に平面鏡を接合することにより、容
易に作成できる。

【００２３】その一例が、図６（Ａ）に示す反射装置４
１０である。Ｖブロックには通常加工の逃げが存在する
場合が多い。反射装置４１０にはＶ字溝底部に加工の逃
げ４１１がある。この加工の逃げ４１１の部分は、鏡面
加工し第２の反射面として用いても、或いはそのまま加
工の逃げとして放置しておいてもよい。また、Ｖブロッ
クを利用した反射装置の他の例を、図６（Ｂ）に示す反
射装置４２０である。反射装置４２０は、Ｖブロックの
Ｖ字溝底部に第２の反射面となる平面部４２２を形成し
ている。この反射装置４２０においても加工の逃げ４２
１が存在するが、この程度の変形は放置しこのまま反射
装置４２０を使用しても何ら差し支えない。尚、第２実
施例の反射装置４１０，４２０の使用方法は前述した第
１実施例の反射装置１００と全く同等である。このよう
に、一般に広く用いられているＶブロックを用いれば、
本発明の反射装置は容易に実現できる。

【００２４】第３実施例を図７を参照して説明する。図
７は、本発明の第３実施例を示す図である。第３実施例
の反射装置４３０は、互いに直交する第１の２つの反射
面４３１，４３２の側面に、第２の反射面４３３を有す
る構造となっている。この第３実施例の反射装置４３０
は、オ─トコリメ─タからの光の照射領域４３４が小領
域であっても、図示するように、第１の２つの反射面４
３１、４３２と第２の反射面４３３に同時に光を照射で
きると言う点で有効である。

【００２５】第４実施例を説明する。図示せぬ第４実施
例の反射装置は、第２の反射面として、図２に第１実施
例として示した反射装置１００の第２の反射面１０６
と、図７に第３実施例として示した反射装置４３０の第
２の反射面４３３を、同時に有する構成の反射装置であ
る。このように、第２の反射面は、前述の第１実施例〜
第３実施例に限らず、第１の２つの反射面の近傍であっ
て、第１の２つの反射面と同一のオ─トコリメ─タの光
を受光できる範囲内であれば、任意好適な場所でよい。

【００２６】第５実施例を図８を参照して説明する。図
８は、本発明の第５実施例を示す図であり、（Ａ）は第
５実施例の反射装置を示す図、（Ｂ）はその反射装置の
使用例を示す図である。第５実施例の反射装置４４０
は、第２の反射面を有せず、互いに直交する第１の２つ
の反射面４４１，４４２のみからなる構造となってい
る。このように、第１の２つの反射面各々と４５度傾斜
し、オ─トコリメ─タの光軸に対し垂直な第２の反射面
は、用途に応じてはこれを有しない構造でもよい。

【００２７】前記用途とは、例えば図８（Ｂ）に示す被
測定面３０３のＺ方向へのたわみを測定する場合が考え
られる。図８（Ｂ）においては、反射装置４４０のＹ軸
回りの角度変化をオ─トコリメ─タ２００を用いて測定
する。従ってセッティング時には、オ─トコリメ─タ２
００と反射装置４４０の相対的なＹ軸回りの角度を調整
し反射光を受光できるようにすればよく、さらにＸ軸回
りの角度を調整して光軸に垂直な面からの反射光を受光
できるようにする必要はない。故に、図８（Ａ）に示す
直交し対向する第１の２つの反射面４４１，４４２のみ
からなる反射装置４４０を用いればよい。

【００２８】第６実施例を図９を参照して説明する。図
９は、本発明の第６実施例を示す図であり、（Ａ）は第
６実施例の反射装置を示す図、（Ｂ）はその反射装置の
使用例を示す図である。第６実施例の反射装置４５０
は、第１及び第２の反射面の指向方向が基準面と平行で
ない構造となっている。つまり、反射装置４５０は、基
準面４５１と、互いに直交する第１の２つの反射面４５
２、４５３と、この第１の２つの反射面各々と４５度傾
斜ししさらにそれらの交線部分に位置する第２の反射面
４５４を有している。そして、この第２の反射面４５４
と直角な方向４５５がオ─トコリメ─タへの指向方向で
あり、この４５５は基準面４５１と任意の角度αをなし
ている。但し、αは０度より大きく９０度より小さいも
のとする。

【００２９】この反射装置４５０を用いれば、例えば図
９（Ｂ）に示す場合に有効である。図９（Ｂ）におい
て、被測定面３０４は回転テ─ブルであり、その運動面
の真直度を測定する。また、被測定面３０４の垂直方
向、及び水平方向には遮蔽物９１１、９１２がある。こ
の例においては、被測定面３０４に垂直或いは水平方向
から光を照射できないため、第１実施例に示した反射装
置１００では前記測定は不可能である。しかし、基準面
に対してαの角度でオ─トコリメ─タを指向する反射装
置４５０を図９（Ｂ）のように設置すると、斜め方向か
らオ─トコリメ─タ２００により光を照射することによ
り、前記測定が可能となる。

【００３０】第７実施例を図１０及び図１１を参照して
説明する。図１０は、本発明の第７実施例を示す図であ
り、（Ａ）は直角プリズムによる反射装置を示す図、
（Ｂ）は直角プリズムと平面鏡を接合した構成の反射装
置を示す図である。図１１は、図１０に示した反射装置
の光の進行経路を説明する図であり、（Ａ）は図１０
（Ａ）の反射装置の光の進行経路を説明する図、（Ｂ）
は図１０（Ｂ）の反射装置の光の進行経路を説明する図
である。第７実施例の反射装置は、透明体で形成された
直角プリズムを用いて本発明の反射装置を実現した場合
である。

【００３１】図１０（Ａ）に示す反射装置４６０は、基
準面４６１、互いに直交する水平表面である第１の２つ
の反射面４６２，４６３、光の入射面４６５よりなる直
角プリズムである。図１０（Ａ）に示した反射装置４６
０をＹ軸方向からみた側面図が図１１（Ａ）である。図
１１（Ａ）において、オ─トコリメ─タから入射された
光７１３は第１の２つの反射面４６２、４６３において
図示したように各々反射され、入射光７１３と平行な反
射光７２９となりオ─トコリメ─タに戻る。従って、直
角プリズムで形成した反射装置４６０は、図８（Ａ）に
示した第４実施例の、第２の反射面を有しない反射装置
４４０と同等の働きをする。

【００３２】また図１０（Ｂ）に示す反射装置４７０
は、基準面４７１、互いに直交する水平表面である第１
の２つの反射面４７２，４７３、光の入射面４７５を有
し、さらに前記第１の２つの反射面の交差部分をその２
表面４７２，４７３に対して４５度の角度で削除し水平
な表面４７４を形成し、さらにその水平部分４７４に平
面鏡をその鏡面がプリズム内部に向くように接合した。
図１１（Ｂ）において、オ─トコリメ─タから入射され
た光７１４，７１５に対する反射光は、第１の２つの反
射面４７２，４７３においては、図示したように入射光
７１４と平行な反射光７３０となり、また第２の反射面
４７４においては、反射装置４７４の向きに応じた反射
光７３１となる。従って、直角プリズムと平面鏡で構成
した反射装置４７０は、図２に示した反射装置１００と
同等の働きをする。

【００３３】第８実施例を図１２を参照して説明する。
図１２は、本発明の第８実施例である反射部をその指向
方向と垂直な面内で回転できる用に支持部に設置し、そ
の回転角度を表示できるようにした反射装置を示す図で
ある。図１２において、反射装置４８０は、反射部４８
１、支持部４８２より構成され、反射部４８１は支持部
４８２により支持されている。また、反射部４８１はそ
の指向方向に垂直な面内で回転可能な構造になってお
り、その反射部４８１の回転角度を表示部４８３に表示
するようになっている。尚、支持部４８２の底面が基準
面４８４である。

【００３４】この反射装置４８０を用いれば、図５に例
示したように、オ─トコリメ─タの光軸と垂直な方向の
被測定面の傾きθにより標線像がずれた場合、前記反射
部４８１を回転させ、標線像が中心に結像するよう補正
し、この時の補正角度を表示部４８３により読み取るこ
とにより前記被測定面の傾きθを測定できる。このよう
に、第８実施例の反射装置を用いれば、オ─トコリメ─
タの光軸に垂直な方向の被測定面の傾きも検知できる。

【００３５】

【発明の効果】本発明のオ─トコリメ─タ用反射装置
は、入射光と平行に光を反射する性質をもつ２直交反射
面を有し、その平行な反射光を利用して、一次元的に反
射装置の向きを調整することにより、反射光をオ─トコ
リメ─タ内に採り込み可能としている。また、必要に応
じ、その調整された向きを基準にして先の方向について
再び一次元的に反射装置の向きを調整し、平面鏡からの
反射光を採り込み可能としている。従って、反射装置の
セッティング作業を簡単に行うことができ、故に、誰で
も短時間で効率的にオ─トコリメ─タを用いた種々の測
定が行える。また、オ─トコリメ─タの光軸に垂直な面
内での被測定面の傾きも検出できるため、面の真直度等
を効率的に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例の反射装置を用いてオ─トコリメ─
タにより面の真直度を測定する方法を説明する図であ
る。

【図２】第１実施例の反射装置の斜視図である。

【図３】第１実施例の反射装置、及びオ─トコリメ─タ
のセッティングの方法を説明する図であり、（Ａ）は反
射装置のＸ軸回りの角度の調整方法を説明をする図、
（Ｂ）は反射装置のＹ軸回りの角度の調整方法を説明を
する図である。

【図４】第１実施例の反射装置に対する平行光の反射の
仕方を説明する図であり、（Ａ）は反射装置の指向方向
が入射光に平行な場合、（Ｂ）は反射装置が入射光に対
して＋Ｘの方向を指向している場合、（Ｃ）は直交２鏡
面が入射光に対して−Ｘの方向に指向している場合を示
す図である。

【図５】第１実施例の反射装置がオ─トコリメ─タの光
軸に垂直な面内で傾いた場合の反射の仕方を説明する図
である。

【図６】第２実施例の反射装置を示す図であり、（Ａ）
はＶブロックのＶ字溝底部に加工の逃げがある反射装置
を示す図、（Ｂ）はＶブロックのＶ字溝底部に設けた第
２の反射面の両脇に加工の逃げがある反射装置を示す図
である。

【図７】第３実施例の反射装置を示す図であり、第１の
２つの反射面の側面に第２の反射面を設けた反射装置を
示す図である。

【図８】第４実施例の説明をする図であり、（Ａ）は第
２の反射面を有しない反射装置を示す図、（Ｂ）は
（Ａ）に示した反射装置を用いた面のたわみの測定方法
を説明する図である。

【図９】第６実施例の説明をする図であり、（Ａ）は第
１及び第２の反射面の指向方向が基準面と平行でない反
射装置を示す図、（Ｂ）は（Ａ）に示した反射装置を用
いた回転テ─ブルの動作の真直度の測定方法を説明する
図である。

【図１０】第７実施例の反射装置を示す図であり、
（Ａ）は直角プリズムによる反射装置を示す図、（Ｂ）
は直角プリズムと平面鏡を接合した構成の反射装置を示
す図である。

【図１１】図１０に示した反射装置の光の進行経路を説
明する図であり、（Ａ）は図１０（Ａ）の反射装置の光
の進行経路を説明する図、（Ｂ）は図１０（Ｂ）の反射
装置の光の進行経路を説明する図である。

【図１２】第８実施例の反射装置を示す図であり、支持
部に取り付けられた反射部の回転角度を表示できるよう
にした反射装置を示す図である。

【図１３】平面鏡を用いてオ─トコリメ─タにより面の
真直度を測定する方法を説明する図である。

【図１４】図１３に示した測定における、平面鏡、及び
オ─トコリメ─タのセッティング方法を説明する図であ
る。

【図１５】平面鏡がオ─トコリメ─タの光軸に垂直な面
内で傾いた場合の反射の仕方を説明する図である。

【符号の説明】

１００反射装置１０１〜１０３基準面１０４，１０５第１の反射面１０６〜１０８第２の反射面１１１〜１１４反射装置１２１，１２２回転軸２００オ─トコリメ─タ２０１光源２０２光源側焦点板２０３コンデンサレンズ２０４半透過プリズム２０５対物レンズ２０６接眼側焦点板２０７接眼レンズ２０８光軸３０１，３０３〜３０６被測定面３０７真直度の測定方向４１０，４２０反射装置４１１，４２１加工の逃げ４２２第２の反射面４３０反射装置４３１，４３２第１の反射面４３３第２の反射面４３４光照射領域４４０反射装置４４１，４４２第１の反射面４５０反射装置４５１基準面４５２，４５３第１の反射面４５４第２の反射面４５５反射面の指向方向４６０，４７０反射装置４６１，４７１基準面４６２，４６３，４７２，４７３第１の反射面４６５，４７５光の入反射面４７４第２の反射面４８０反射装置４８１反射部４８２支持部４８３表示部４０４基準面７１１〜７１６入射光７２１〜７３５反射光８０１〜８０８標線像９００〜９０２平面鏡９１１，９１２遮蔽物

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基準面と、該基準面と所定の角度をなし直交し対向する第１の２つ
の反射面とを有するオ─トコリメ─タ用反射装置。
【請求項２】前記第１の２つの反射面に対して４５度傾
斜し、オ─トコリメ─タを指向する少なくとも１つの第
２の反射面をさらに有する請求項１記載のオ─トコリメ
─タ用反射装置。
【請求項３】前記第２の反射面は、前記第１の２つの反射面の対向する両端部を結ぶ線に平
行し、前記第１の２つの反射面の接続部位、または、該
接続部位と反対側の少なくとも一方の反射面の端部に連
続して設けられている請求項２記載のオ─トコリメ─タ
用反射装置。
【請求項４】前記反射装置は２つのＶ溝斜面を有するＶ
ブロックとして構成され、前記第１の２つの反射面は前記２つのＶ溝斜面として構
成されており、前記第２の反射面は前記２つのＶ溝斜面の交差部近傍の
底部または該底部と対向するＶ溝斜面の端部に設けられ
ている請求項３記載のオ─トコリメ─タ用反射装置。
【請求項５】前記第２の反射面は、前記第１の２つの反射面の対向する両端部を結ぶ線に平
行し、前記第１の２つの反射面の側端部側に設けられて
いる請求項２記載のオ─トコリメ─タ用反射装置。
【請求項６】前記反射装置は、前記基準面と、光入射面
と、該光入射面に入射された光を受け入れて反射させる
第１の面と、該反射された光を受け入れて前記光入射面
に向けてさらに反射する第２の面を有するプリズムであ
り、前記２つの受光・反射面が前記第１の２つの反射面を構
成する請求項１記載のオ─トコリメ─タ用反射装置。
【請求項７】前記第１の面と第２の面との接続部位に前
記第１の面と第２の面に４５度傾斜した反射平面が設け
られている請求項６記載のオ─トコリメ─タ用反射装
置。
【請求項８】前記第１の２つの反射面の交線に平行な面
内で当該反射装置を回転する手段と、該回転した角度を指示する手段とをさらに有する請求項
１〜７いずれか記載のオ─トコリメ─タ用反射装置。