JPH0713775Y2 - クリーンルームのフィルタ取付枠 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案はクリーンルームにおけるフィルタ取付枠に関す
る。

［従来の技術］ 精密機器やLSI等の電子部品、医薬品等の製造に際し、
十分に清浄化された空間を確保したクリーンルームが多
く利用されている。クリーンルームの型式は種々なもの
が知られているが、吹出口から空間内に垂直に清浄空気
を流す層流形ダウンフローが一般的である。その場合に
は、天井全面に設けたフィルタを通して清浄空気を空間
内に送給するスーパークリーンルームが実現されてい
る。一般にスーパークリーンルームに使用されているフ
ィルタは硝子繊維をバインダーで結合させてできている
ので、ろ過性能は良いが、バインダーからの臭気や経年
変化に伴う劣化等によって硝子繊維微粒子がクリーンル
ーム内に流入飛散することがある。現在使用されている
フィルターは上述のような難点を有している。

［考案が解決しようとする課題］ 従来のクリーンルームは天井から吊下げた取付枠にフィ
ルタをかけ止め、フィルタの周辺をシール材で封止した
ものであるから、取付枠部分は清浄化空気は通過でき
ず、取付枠下部に空気溜りが生じ易く、その下流に浮遊
じんあいのうず流が生じてエアの清浄度を害うおそれが
あった。

本考案は、取付枠自体がフィルタの役をなして下流に空
気溜りを発生させることのないフィルタ取付枠を提供す
ることを目的としている ［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本考案はフィルタを支持しう
る強度を有し、かつフィルタと同程度の空気ろ過抵抗を
有する硬質材料成形品でクリーンルームのフィルタ取付
枠を構成させたものである。

取付枠は、高性能フィルタと同程度またはそれに近い空
気ろ過抵抗を有するアルミナ系またはステンレス系焼結
材料、多孔質ガラス、FRPなどが用いられる。また高性
能フィルタに接する取付枠の段部に通気性シール材を貼
着することにより天井面全体をフィルタ化する。

［実施例］ 次に図面に基づいて本考案を具体的に説明する。

第１図は本考案の１実施例を示すもので、天井から吊下
げた吊ボルト１に取付枠２を支持させ、取付枠2,2間に
高性能フィルタ3,3を取付ける。取付枠２は、通気性の
あるアルミナ焼結材料で角筒形に成形したものを用いた
が、その断面形状は図示のものに限定されない。またフ
ィルタ３の枠材４の下端面と取付枠２の上面との間に、
通気性シール５を用いてシールする。第２図は天井見上
げ図であって、フィルタ３、取付枠２およびシール材５
を含む天井全体が通気性を有している。なお、図中６は
取付枠２に設けた蛍光灯である。

上記のように、上方から送給された空気は取付枠を含む
天井面全体を通過し清浄化された空気のみがクリーンル
ーム内に吹出される。その結果、取付枠下部に空気溜り
を生ずることなく、天井面全体をフィルタ化して清浄度
を高く維持することができる。

上記実施例において、特に金属粉末を焼結させた高性能
フィルタを、通気性のある焼結材料製の取付け枠に支持
させると、温度差による伸縮率も同一なのでシールのも
のより確実となり、空気ろ過面積も増え、空気抵抗も減
少し、省エネルギーを果すことが可能である。

［考案の効果］ 上述のように本考案によれば、フィルタ取付枠をフィル
タを支持しうる強度を有し、かつフィルタと同程度の空
気ろ過抵抗を有する硬質材料で成形してあるため、実質
的に空気ろ過面積を増大することができ、取付枠下部の
空気溜りの発生による清浄度低下の問題を解消できるば
かりか、天井面全体をフィルタとして取扱うことができ
るので、クリーンルームの性能を一段と向上させること
ができる。さらに、金属焼結部材等の硬質材で形成する
ことにより洗浄等によってじんあいを除去することがで
き清浄再利用が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案フィルタ取扱枠を用いたクリーンルーム
フィルタ部分の断面図、第２図は天井見上図である。 １…吊りボルト、２…取扱枠、３…フィルタ、４…枠
材、５…シール材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】高性能フィルタの取付枠が当該フィルタを
   支持しうる強度を有し、かつ当該フィルタと同程度の空
   気ろ過抵抗を有する硬質材料で成形されていることを特
   徴とするクリーンルームのフィルタ取付枠。