JPH0713775Y2 - クリーンルームのフィルタ取付枠 - Google Patents

クリーンルームのフィルタ取付枠

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JPH0713775Y2
JPH0713775Y2 JP4767690U JP4767690U JPH0713775Y2 JP H0713775 Y2 JPH0713775 Y2 JP H0713775Y2 JP 4767690 U JP4767690 U JP 4767690U JP 4767690 U JP4767690 U JP 4767690U JP H0713775 Y2 JPH0713775 Y2 JP H0713775Y2
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JP
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filter
mounting frame
clean room
air
filter mounting
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JP4767690U
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JPH049616U (ja
Inventor
捷二 平山
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平山設備株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案はクリーンルームにおけるフィルタ取付枠に関す
る。
[従来の技術] 精密機器やLSI等の電子部品、医薬品等の製造に際し、
十分に清浄化された空間を確保したクリーンルームが多
く利用されている。クリーンルームの型式は種々なもの
が知られているが、吹出口から空間内に垂直に清浄空気
を流す層流形ダウンフローが一般的である。その場合に
は、天井全面に設けたフィルタを通して清浄空気を空間
内に送給するスーパークリーンルームが実現されてい
る。一般にスーパークリーンルームに使用されているフ
ィルタは硝子繊維をバインダーで結合させてできている
ので、ろ過性能は良いが、バインダーからの臭気や経年
変化に伴う劣化等によって硝子繊維微粒子がクリーンル
ーム内に流入飛散することがある。現在使用されている
フィルターは上述のような難点を有している。
[考案が解決しようとする課題] 従来のクリーンルームは天井から吊下げた取付枠にフィ
ルタをかけ止め、フィルタの周辺をシール材で封止した
ものであるから、取付枠部分は清浄化空気は通過でき
ず、取付枠下部に空気溜りが生じ易く、その下流に浮遊
じんあいのうず流が生じてエアの清浄度を害うおそれが
あった。
本考案は、取付枠自体がフィルタの役をなして下流に空
気溜りを発生させることのないフィルタ取付枠を提供す
ることを目的としている [課題を解決するための手段] 上記目的を達成するため、本考案はフィルタを支持しう
る強度を有し、かつフィルタと同程度の空気ろ過抵抗を
有する硬質材料成形品でクリーンルームのフィルタ取付
枠を構成させたものである。
取付枠は、高性能フィルタと同程度またはそれに近い空
気ろ過抵抗を有するアルミナ系またはステンレス系焼結
材料、多孔質ガラス、FRPなどが用いられる。また高性
能フィルタに接する取付枠の段部に通気性シール材を貼
着することにより天井面全体をフィルタ化する。
[実施例] 次に図面に基づいて本考案を具体的に説明する。
第1図は本考案の1実施例を示すもので、天井から吊下
げた吊ボルト1に取付枠2を支持させ、取付枠2,2間に
高性能フィルタ3,3を取付ける。取付枠2は、通気性の
あるアルミナ焼結材料で角筒形に成形したものを用いた
が、その断面形状は図示のものに限定されない。またフ
ィルタ3の枠材4の下端面と取付枠2の上面との間に、
通気性シール5を用いてシールする。第2図は天井見上
げ図であって、フィルタ3、取付枠2およびシール材5
を含む天井全体が通気性を有している。なお、図中6は
取付枠2に設けた蛍光灯である。
上記のように、上方から送給された空気は取付枠を含む
天井面全体を通過し清浄化された空気のみがクリーンル
ーム内に吹出される。その結果、取付枠下部に空気溜り
を生ずることなく、天井面全体をフィルタ化して清浄度
を高く維持することができる。
上記実施例において、特に金属粉末を焼結させた高性能
フィルタを、通気性のある焼結材料製の取付け枠に支持
させると、温度差による伸縮率も同一なのでシールのも
のより確実となり、空気ろ過面積も増え、空気抵抗も減
少し、省エネルギーを果すことが可能である。
[考案の効果] 上述のように本考案によれば、フィルタ取付枠をフィル
タを支持しうる強度を有し、かつフィルタと同程度の空
気ろ過抵抗を有する硬質材料で成形してあるため、実質
的に空気ろ過面積を増大することができ、取付枠下部の
空気溜りの発生による清浄度低下の問題を解消できるば
かりか、天井面全体をフィルタとして取扱うことができ
るので、クリーンルームの性能を一段と向上させること
ができる。さらに、金属焼結部材等の硬質材で形成する
ことにより洗浄等によってじんあいを除去することがで
き清浄再利用が可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案フィルタ取扱枠を用いたクリーンルーム
フィルタ部分の断面図、第2図は天井見上図である。 1…吊りボルト、2…取扱枠、3…フィルタ、4…枠
材、5…シール材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】高性能フィルタの取付枠が当該フィルタを
    支持しうる強度を有し、かつ当該フィルタと同程度の空
    気ろ過抵抗を有する硬質材料で成形されていることを特
    徴とするクリーンルームのフィルタ取付枠。
JP4767690U 1990-05-09 1990-05-09 クリーンルームのフィルタ取付枠 Expired - Lifetime JPH0713775Y2 (ja)

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JPH049616U JPH049616U (ja) 1992-01-28
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