JPH07135302A - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
固体撮像装置及びその製造方法Info
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- JPH07135302A JPH07135302A JP5303235A JP30323593A JPH07135302A JP H07135302 A JPH07135302 A JP H07135302A JP 5303235 A JP5303235 A JP 5303235A JP 30323593 A JP30323593 A JP 30323593A JP H07135302 A JPH07135302 A JP H07135302A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000007787 solid Substances 0.000 title abstract description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 88
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 87
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims abstract description 34
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 12
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 11
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カラ−フィルタの位置ずれのない固体撮像装
置及びその製造方法を提供する。 【構成】 固体撮像素子部１は、ガラス基板５ａの上
に、画素電極６、光導電膜８及び透明電極９が順に積層
されると共に、画素電極６の周囲には駆動回路７が形成
されてなる一方、フィルタ部２はカラ−フィルタ膜１１
及び遮光膜１２が形成されてなるもので、固体撮像素子
部１とフィルタ部２とは、カラ−フィルタ膜１１及び遮
光膜１２の領域に塗布された熱硬化性接着剤３と、カラ
−フィルタ膜１１及び遮光膜１２が形成されていない部
位に塗布された光硬化性接着剤４とで固着されている。
置及びその製造方法を提供する。 【構成】 固体撮像素子部１は、ガラス基板５ａの上
に、画素電極６、光導電膜８及び透明電極９が順に積層
されると共に、画素電極６の周囲には駆動回路７が形成
されてなる一方、フィルタ部２はカラ−フィルタ膜１１
及び遮光膜１２が形成されてなるもので、固体撮像素子
部１とフィルタ部２とは、カラ−フィルタ膜１１及び遮
光膜１２の領域に塗布された熱硬化性接着剤３と、カラ
−フィルタ膜１１及び遮光膜１２が形成されていない部
位に塗布された光硬化性接着剤４とで固着されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置に係り、
特に、カラ−フィルタを有する固体撮像装置に関する。
特に、カラ−フィルタを有する固体撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の固体撮像装置として例え
ば、図４に示されたような構造のものが知られている。
図４を参照しつつ、その構造を概略的に説明すれば、こ
の固体撮像装置は、先ず、ガラス基板２０の上に固体撮
像素子２１と、この固体撮像素子２１の周辺に駆動回路
（図示せず）が形成される一方、カラ−フィルタ膜２３
及び遮光層２４がガラス基板２５上に形成されてなるカ
ラ−フィルタ２６が、接着剤２７を介して丁度先の固体
撮像素子２１上に位置するようにして取着されているも
のである。そして、接着剤２７としては、熱硬化性樹脂
又は光硬化性樹脂が単独で使用されている。
ば、図４に示されたような構造のものが知られている。
図４を参照しつつ、その構造を概略的に説明すれば、こ
の固体撮像装置は、先ず、ガラス基板２０の上に固体撮
像素子２１と、この固体撮像素子２１の周辺に駆動回路
（図示せず）が形成される一方、カラ−フィルタ膜２３
及び遮光層２４がガラス基板２５上に形成されてなるカ
ラ−フィルタ２６が、接着剤２７を介して丁度先の固体
撮像素子２１上に位置するようにして取着されているも
のである。そして、接着剤２７としては、熱硬化性樹脂
又は光硬化性樹脂が単独で使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】A しかしながら、熱
硬化性樹脂を用いた場合、硬化過程において位置ずれが
生じてしまうことがある。すなわち、先の従来例で言え
ば、カラ−フィルタ膜２３が接着剤２７を介して丁度固
体撮像素子２１の上方に位置するようにしても、熱硬化
性樹脂が硬化してゆく間に、除々にその位置関係に狂い
が生じてしまうことがあった。また、接着材２７として
光硬化性樹脂を用いた場合には、カラ−フィルタ膜２３
の周囲に形成された遮光膜２４の直下に位置する光硬化
性樹脂には光が照射されないために、硬化しない状態で
残ってしまい、信頼性に欠けるという問題に加え、いわ
ゆる耐光性が悪いので、光の照射によって凝固した部分
であっても、長時間の間光を受けることによって接着力
が劣化してしまい、結局、信頼性の低下を招くという問
題があった。
硬化性樹脂を用いた場合、硬化過程において位置ずれが
生じてしまうことがある。すなわち、先の従来例で言え
ば、カラ−フィルタ膜２３が接着剤２７を介して丁度固
体撮像素子２１の上方に位置するようにしても、熱硬化
性樹脂が硬化してゆく間に、除々にその位置関係に狂い
が生じてしまうことがあった。また、接着材２７として
光硬化性樹脂を用いた場合には、カラ−フィルタ膜２３
の周囲に形成された遮光膜２４の直下に位置する光硬化
性樹脂には光が照射されないために、硬化しない状態で
残ってしまい、信頼性に欠けるという問題に加え、いわ
ゆる耐光性が悪いので、光の照射によって凝固した部分
であっても、長時間の間光を受けることによって接着力
が劣化してしまい、結局、信頼性の低下を招くという問
題があった。
【０００４】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
で、カラ−フィルタを有する固体撮像装置におけるカラ
−フィルタの位置ずれがなく、信頼性の高い固体撮像装
置及びその製造方法を提供するものである。
で、カラ−フィルタを有する固体撮像装置におけるカラ
−フィルタの位置ずれがなく、信頼性の高い固体撮像装
置及びその製造方法を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る固体撮像装置は、撮像素子と、この撮像素子の受光面
側に配設されたカラ−フィルタと、前記カラ−フィルタ
の周囲に形成され前記撮像素子へ直接入射する光を遮断
する遮光膜と、を有してなる固体撮像装置において、硬
化特性の異なる第１の接着剤と第２の接着剤とを、前記
カラ−フィルタ及び遮光膜と撮像素子との間に充填して
なるものである。
る固体撮像装置は、撮像素子と、この撮像素子の受光面
側に配設されたカラ−フィルタと、前記カラ−フィルタ
の周囲に形成され前記撮像素子へ直接入射する光を遮断
する遮光膜と、を有してなる固体撮像装置において、硬
化特性の異なる第１の接着剤と第２の接着剤とを、前記
カラ−フィルタ及び遮光膜と撮像素子との間に充填して
なるものである。
【０００６】請求項２記載の発明に係る固体撮像装置
は、撮像素子と、この撮像素子の受光面側に配設された
カラ−フィルタと、前記カラ−フィルタの周囲に形成さ
れ前記撮像素子へ直接入射する光を遮断する遮光膜と、
を有してなる固体撮像装置において、前記カラ−フィル
タ及び遮光膜と前記撮像素子との間に熱硬化性接着剤
を、前記カラ−フィルタ及び遮光膜が設けられた基板の
前記カラ−フィルタ及び遮光膜が形成されていない部位
と前記撮像素子が設けられた基板との間に光硬化性接着
剤を、それぞれ充填してなるものである。特に、光硬化
性接着剤は紫外線硬化樹脂が好適である。
は、撮像素子と、この撮像素子の受光面側に配設された
カラ−フィルタと、前記カラ−フィルタの周囲に形成さ
れ前記撮像素子へ直接入射する光を遮断する遮光膜と、
を有してなる固体撮像装置において、前記カラ−フィル
タ及び遮光膜と前記撮像素子との間に熱硬化性接着剤
を、前記カラ−フィルタ及び遮光膜が設けられた基板の
前記カラ−フィルタ及び遮光膜が形成されていない部位
と前記撮像素子が設けられた基板との間に光硬化性接着
剤を、それぞれ充填してなるものである。特に、光硬化
性接着剤は紫外線硬化樹脂が好適である。
【０００７】請求項４記載の発明に係る固体撮像装置の
製造方法は、撮像素子と、この撮像素子の受光面側に配
設されたカラ−フィルタと、前記カラ−フィルタの周囲
に形成され前記撮像素子へ直接入射する光を遮断する遮
光膜と、を有してなる固体撮像装置の製造方法におい
て、前記カラ−フィルタ及び遮光膜と前記撮像素子との
間に熱硬化性接着剤を、前記カラ−フィルタ及び遮光膜
が設けられた基板の前記カラ−フィルタ及び遮光膜が形
成されていない部位と前記撮像素子が設けられた基板と
の間に光硬化性接着剤を、それぞれ充填する工程と、前
記接着剤の充填後、カラ−フィルタと撮像素子とが対向
するように位置調整を行う工程と、光硬化性接着剤の硬
化に必要な光の照射を行う工程と、熱硬化性接着剤が硬
化するに必要な加熱を行う工程と、を含んでなるもので
ある。特に、光硬化性接着剤は紫外線硬化樹脂が好適で
ある。
製造方法は、撮像素子と、この撮像素子の受光面側に配
設されたカラ−フィルタと、前記カラ−フィルタの周囲
に形成され前記撮像素子へ直接入射する光を遮断する遮
光膜と、を有してなる固体撮像装置の製造方法におい
て、前記カラ−フィルタ及び遮光膜と前記撮像素子との
間に熱硬化性接着剤を、前記カラ−フィルタ及び遮光膜
が設けられた基板の前記カラ−フィルタ及び遮光膜が形
成されていない部位と前記撮像素子が設けられた基板と
の間に光硬化性接着剤を、それぞれ充填する工程と、前
記接着剤の充填後、カラ−フィルタと撮像素子とが対向
するように位置調整を行う工程と、光硬化性接着剤の硬
化に必要な光の照射を行う工程と、熱硬化性接着剤が硬
化するに必要な加熱を行う工程と、を含んでなるもので
ある。特に、光硬化性接着剤は紫外線硬化樹脂が好適で
ある。
【０００８】
【作用】請求項１記載の発明においては、カラ−フィル
タ及びその周囲に形成された遮光膜と撮像素子との間
に、硬化特性の異なる２種類の接着剤が充填された構成
とすることにより、それぞれの接着剤が有する硬化特性
に起因する不都合を、互いに補えることとなり、そのた
め、従来と異なりカラ−フィルタと撮像素子との相対位
置の調整後に殆どずれることのない固体撮像装置が得ら
れることとなる。
タ及びその周囲に形成された遮光膜と撮像素子との間
に、硬化特性の異なる２種類の接着剤が充填された構成
とすることにより、それぞれの接着剤が有する硬化特性
に起因する不都合を、互いに補えることとなり、そのた
め、従来と異なりカラ−フィルタと撮像素子との相対位
置の調整後に殆どずれることのない固体撮像装置が得ら
れることとなる。
【０００９】請求項２記載の発明においては、カラ−フ
ィルタ及び遮光膜と撮像素子との間に熱硬化性接着剤が
充填され、カラ−フィルタ及び遮光膜が形成されていな
い部位に光硬化性接着剤が充填されることにより、熱硬
化性接着剤と光硬化性接着剤とで相互の接着特性の欠点
を補うこととなるので、従来と異なりカラ−フィルタと
撮像素子との相対位置の調整後に殆どずれることのない
固体撮像装置が得られることとなる。
ィルタ及び遮光膜と撮像素子との間に熱硬化性接着剤が
充填され、カラ−フィルタ及び遮光膜が形成されていな
い部位に光硬化性接着剤が充填されることにより、熱硬
化性接着剤と光硬化性接着剤とで相互の接着特性の欠点
を補うこととなるので、従来と異なりカラ−フィルタと
撮像素子との相対位置の調整後に殆どずれることのない
固体撮像装置が得られることとなる。
【００１０】請求項４記載の発明においては、カラ−フ
ィルタ及び遮光膜と固体撮像素子との間に熱硬化性接着
剤を充填し、その周囲に光硬化性接着剤を充填した後
に、光硬化性接着剤に光を照射して硬化させて熱硬化性
接着剤の周囲を固定し、その後に熱硬化性接着剤を硬化
させることとなるので、光硬化性接着剤がいわゆる仮止
めの役割を果たし、この仮止めの後に、熱硬化性接着剤
による固着が行われることとなり、熱硬化性接着剤の一
部に硬化不十分の箇所があったとしても従来と異なり位
置ずれするようなことがなくなるものである。
ィルタ及び遮光膜と固体撮像素子との間に熱硬化性接着
剤を充填し、その周囲に光硬化性接着剤を充填した後
に、光硬化性接着剤に光を照射して硬化させて熱硬化性
接着剤の周囲を固定し、その後に熱硬化性接着剤を硬化
させることとなるので、光硬化性接着剤がいわゆる仮止
めの役割を果たし、この仮止めの後に、熱硬化性接着剤
による固着が行われることとなり、熱硬化性接着剤の一
部に硬化不十分の箇所があったとしても従来と異なり位
置ずれするようなことがなくなるものである。
【００１１】
【実施例】以下、図１乃至図３を参照しつつ、本発明に
係る固体撮像装置について説明する。ここで、図１は本
発明に係る固体撮像装置の第１の実施例におけるフィル
タ膜と光硬化性接着剤との位置関係を示す平面図、図２
は図１ＡＡ線断面図、図３は第２の実施例における縦断
面図である。
係る固体撮像装置について説明する。ここで、図１は本
発明に係る固体撮像装置の第１の実施例におけるフィル
タ膜と光硬化性接着剤との位置関係を示す平面図、図２
は図１ＡＡ線断面図、図３は第２の実施例における縦断
面図である。
【００１２】この固体撮像装置は、図２に示されたよう
に固体撮像素子部１と、フィルタ部２とが、２種類の接
着剤３，４（詳細は後述）を介して結合されてなるもの
である。固体撮像素子部１は、ガラス基板５ａ上の略同
一平面内に画素電極６と駆動回路７とが形成されると共
に、画素電極６上には、光導電膜８及び透明電極９が順
に積層されて、撮像素子１３が形成されている。この撮
像素子１３はガラス基板５ａの長手軸方向（図１におい
て紙面左右方向）に複数設けられている。さらに、これ
ら駆動回路７、透明電極９、光導電膜８を覆うように、
可視領域において透明な樹脂部材からなる樹脂膜１０が
形成されている。
に固体撮像素子部１と、フィルタ部２とが、２種類の接
着剤３，４（詳細は後述）を介して結合されてなるもの
である。固体撮像素子部１は、ガラス基板５ａ上の略同
一平面内に画素電極６と駆動回路７とが形成されると共
に、画素電極６上には、光導電膜８及び透明電極９が順
に積層されて、撮像素子１３が形成されている。この撮
像素子１３はガラス基板５ａの長手軸方向（図１におい
て紙面左右方向）に複数設けられている。さらに、これ
ら駆動回路７、透明電極９、光導電膜８を覆うように、
可視領域において透明な樹脂部材からなる樹脂膜１０が
形成されている。
【００１３】一方、フィルタ部２は、ガラス基板５ｂの
一方の平面上に、カラ−フィルタ膜１１が貼着されると
共に、その長手軸方向の両側にはクロム等の部材からな
る遮光膜１２が形成されてなるものである（図１参
照）。ここで、カラ−フィルタ膜１１の長手軸方向の長
さは、先の固体撮像素子部１の長手軸方向における撮像
素子１３の配設されている範囲に合わせてガラス基板５
ｂの長さよりもやや短めに設定されている。本実施例に
おいては、カラ−フィルタ膜１１の長手軸方向の両端部
近傍に位置するガラス基板５ｂ上のカラ−フィルタ膜１
１が配置されない部分が略同一の長さとなるように配置
されている。また、本実施例におけるカラ−フィルタ膜
１１は、顔料を含む部材からなるものである。一方、遮
光膜１２の長手軸方向の長さはガラス基板５ｂの長手軸
方向の長さと略同一に設定されており、ガラス基板５ｂ
の長手軸方向の端部近傍において、カラ−フィルタ膜１
１が配置されない部位を、ガラス基板５ｂの短手軸方向
（図１において紙面上下方向）から挟むようになってい
る。
一方の平面上に、カラ−フィルタ膜１１が貼着されると
共に、その長手軸方向の両側にはクロム等の部材からな
る遮光膜１２が形成されてなるものである（図１参
照）。ここで、カラ−フィルタ膜１１の長手軸方向の長
さは、先の固体撮像素子部１の長手軸方向における撮像
素子１３の配設されている範囲に合わせてガラス基板５
ｂの長さよりもやや短めに設定されている。本実施例に
おいては、カラ−フィルタ膜１１の長手軸方向の両端部
近傍に位置するガラス基板５ｂ上のカラ−フィルタ膜１
１が配置されない部分が略同一の長さとなるように配置
されている。また、本実施例におけるカラ−フィルタ膜
１１は、顔料を含む部材からなるものである。一方、遮
光膜１２の長手軸方向の長さはガラス基板５ｂの長手軸
方向の長さと略同一に設定されており、ガラス基板５ｂ
の長手軸方向の端部近傍において、カラ−フィルタ膜１
１が配置されない部位を、ガラス基板５ｂの短手軸方向
（図１において紙面上下方向）から挟むようになってい
る。
【００１４】そして、固体撮像素子部１とフィルタ部２
とは、カラ−フィルタ膜１１が撮像素子１３の丁度上方
に位置するように、熱硬化性接着剤３と光硬化性接着剤
４とで接着されている。すなわち、光硬化性接着剤４
は、カラ−フィルタ膜１１の長手軸方向の両端部であっ
て且つ遮光膜１２に挟まれる部位に充填される（図１及
び図２参照）一方、熱硬化性接着剤３は、カラ−フィル
タ膜１１及び遮光膜１２と固体撮像素子部１との間に充
填された構造となっている。次に、この固体撮像装置の
製造プロセス、特に、固体撮像素子部１とフィルタ部２
との接着手順について説明する。先ず、フィルタ部２に
おいてカラ−フィルタ膜１１の長手軸方向の端部と遮光
膜１２とで囲まれてカラ−フィルタ膜１１が形成されて
ないガラス基板５ｂの上に光硬化性接着剤４としての紫
外線硬化樹脂（例えば、セメダイン製 Ｙ−８７７、信
越化学工業製 Ｘ−３１−７３４−Ｌ等）を塗布する一
方、カラ−フィルタ膜１１及び遮光膜１２の表面には、
熱硬化性接着剤３としての熱硬化性樹脂（例えば、アル
テコ製 ＲＸ７９０１−１、同社製ＨＸ７９０１−１、
信越化学工業製 ＫＪＲ９０２２、同社製Ｃ−９０２２
等）を塗布する。
とは、カラ−フィルタ膜１１が撮像素子１３の丁度上方
に位置するように、熱硬化性接着剤３と光硬化性接着剤
４とで接着されている。すなわち、光硬化性接着剤４
は、カラ−フィルタ膜１１の長手軸方向の両端部であっ
て且つ遮光膜１２に挟まれる部位に充填される（図１及
び図２参照）一方、熱硬化性接着剤３は、カラ−フィル
タ膜１１及び遮光膜１２と固体撮像素子部１との間に充
填された構造となっている。次に、この固体撮像装置の
製造プロセス、特に、固体撮像素子部１とフィルタ部２
との接着手順について説明する。先ず、フィルタ部２に
おいてカラ−フィルタ膜１１の長手軸方向の端部と遮光
膜１２とで囲まれてカラ−フィルタ膜１１が形成されて
ないガラス基板５ｂの上に光硬化性接着剤４としての紫
外線硬化樹脂（例えば、セメダイン製 Ｙ−８７７、信
越化学工業製 Ｘ−３１−７３４−Ｌ等）を塗布する一
方、カラ−フィルタ膜１１及び遮光膜１２の表面には、
熱硬化性接着剤３としての熱硬化性樹脂（例えば、アル
テコ製 ＲＸ７９０１−１、同社製ＨＸ７９０１−１、
信越化学工業製 ＫＪＲ９０２２、同社製Ｃ−９０２２
等）を塗布する。
【００１５】そして、上述のように接着剤３，４を塗布
したフィルタ部２を固体撮像素子部１の上に乗せ、フィ
ルタ部２を上方から押圧する。そして、上方（フィルタ
部２側）から顕微鏡（図示せず）により観察しつつカラ
−フィルタ膜１１の領域内に各撮像素子１３が位置する
ように位置合わせを行う。次に、上方より光硬化性接着
剤４が塗布された部分に紫外線を照射して光硬化性接着
剤４を硬化させる。これにより、フィルタ部２と固体撮
像素子部１とは、いわゆる仮止め状態となる。続いて、
全体を電気オ−ブンに入れて１５０℃で数時間の間、加
熱して熱硬化性接着剤３を硬化させることによって、フ
ィルタ部２と固体撮像素子部１とが相互に確実に固着さ
れた状態となる。
したフィルタ部２を固体撮像素子部１の上に乗せ、フィ
ルタ部２を上方から押圧する。そして、上方（フィルタ
部２側）から顕微鏡（図示せず）により観察しつつカラ
−フィルタ膜１１の領域内に各撮像素子１３が位置する
ように位置合わせを行う。次に、上方より光硬化性接着
剤４が塗布された部分に紫外線を照射して光硬化性接着
剤４を硬化させる。これにより、フィルタ部２と固体撮
像素子部１とは、いわゆる仮止め状態となる。続いて、
全体を電気オ−ブンに入れて１５０℃で数時間の間、加
熱して熱硬化性接着剤３を硬化させることによって、フ
ィルタ部２と固体撮像素子部１とが相互に確実に固着さ
れた状態となる。
【００１６】次に、第２の実施例について図３を参照し
つつ説明する。尚、図１及び図２に示された第１の実施
例と同一の構成要素には同一の番号を付してその説明を
省略し、以下、異なる点を中心に説明する。この第２の
実施例は、カラ−フィルタ膜１１の材料が染料の場合の
例である。この場合、カラ−フィルタ膜１１の保護、耐
久性の保持等の目的で、カラ−フィルタ膜１１及び遮光
膜１２上にはパシベ−ション膜１４が形成されており、
この点が先の第１の実施例におけるフィルタ部２と異な
っている。尚、他の構成及び製造方法については、第１
の実施例と基本的に同一であるので、ここでの説明は省
略することとする。
つつ説明する。尚、図１及び図２に示された第１の実施
例と同一の構成要素には同一の番号を付してその説明を
省略し、以下、異なる点を中心に説明する。この第２の
実施例は、カラ−フィルタ膜１１の材料が染料の場合の
例である。この場合、カラ−フィルタ膜１１の保護、耐
久性の保持等の目的で、カラ−フィルタ膜１１及び遮光
膜１２上にはパシベ−ション膜１４が形成されており、
この点が先の第１の実施例におけるフィルタ部２と異な
っている。尚、他の構成及び製造方法については、第１
の実施例と基本的に同一であるので、ここでの説明は省
略することとする。
【００１７】上述した実施例においては、カラ−フィル
タ膜１１の近傍に遮光膜１２を有する固体撮像装置を例
に説明したが、本発明は、遮光膜を有しないものにも適
用可能である。また、光硬化性接着剤４はガラス基板５
ｂから食み出さないようにしたが（図２又は図３参
照）、ガラス基板５ｂの端面へ食み出すようにして、固
着状態がより強力となるようにしても良い。
タ膜１１の近傍に遮光膜１２を有する固体撮像装置を例
に説明したが、本発明は、遮光膜を有しないものにも適
用可能である。また、光硬化性接着剤４はガラス基板５
ｂから食み出さないようにしたが（図２又は図３参
照）、ガラス基板５ｂの端面へ食み出すようにして、固
着状態がより強力となるようにしても良い。
【００１８】本実施例においては、フィルタ部２と固体
撮像素子部１との間であって、フィルタ部２のカラ−フ
ィルタ膜１１及び遮光膜１２が位置する部位には熱硬化
性接着剤３を充填する一方、カラ−フィルタ膜１１の端
部で遮光膜１２が形成されていない部位には、光硬化性
接着剤４を充填し、この光硬化性接着剤４が硬化の際確
実に光を受ける構造とすることにより、従来と異なり光
硬化性接着剤４の充填された部分は、確実に光を受けて
硬化するが、この光硬化性接着剤４が充填された部分
は、熱硬化性接着剤３が充填された部位に比して小さい
範囲なので、硬化後に接着力が低下するようなことがあ
っても、従来と異なり固体撮像素子部１とフィルタ部２
との固着力が極端に弱まるようなことがなくなる。
撮像素子部１との間であって、フィルタ部２のカラ−フ
ィルタ膜１１及び遮光膜１２が位置する部位には熱硬化
性接着剤３を充填する一方、カラ−フィルタ膜１１の端
部で遮光膜１２が形成されていない部位には、光硬化性
接着剤４を充填し、この光硬化性接着剤４が硬化の際確
実に光を受ける構造とすることにより、従来と異なり光
硬化性接着剤４の充填された部分は、確実に光を受けて
硬化するが、この光硬化性接着剤４が充填された部分
は、熱硬化性接着剤３が充填された部位に比して小さい
範囲なので、硬化後に接着力が低下するようなことがあ
っても、従来と異なり固体撮像素子部１とフィルタ部２
との固着力が極端に弱まるようなことがなくなる。
【００１９】また、製造過程において、光硬化性接着剤
４を先に硬化させて固体撮像素子部１とフィルタ部２と
を仮止め状態とした後に、熱硬化性接着剤３を硬化させ
るようにすることにより、接着剤として熱硬化性接着剤
のみを使用した従来のものと異なり、熱硬化性接着剤４
の硬化中に固体撮像素子部１とフィルタ部２との相対位
置がずれるということがなくなり、固体撮像素子部１と
フィルタ部２との固着状態がより確実になり、信頼性の
高い装置となる。
４を先に硬化させて固体撮像素子部１とフィルタ部２と
を仮止め状態とした後に、熱硬化性接着剤３を硬化させ
るようにすることにより、接着剤として熱硬化性接着剤
のみを使用した従来のものと異なり、熱硬化性接着剤４
の硬化中に固体撮像素子部１とフィルタ部２との相対位
置がずれるということがなくなり、固体撮像素子部１と
フィルタ部２との固着状態がより確実になり、信頼性の
高い装置となる。
【００２０】
【発明の効果】以上、述べたように、請求項１記載の発
明によれば、硬化特性の異なる２種類の接着剤を用いた
構成とすることにより、それぞれの接着剤が有する硬化
特性に起因する不都合を、互いに補った構造となるの
で、そのため、従来と異なりカラ−フィルタと撮像素子
との相対位置が殆どずれることのない信頼性の高い固体
撮像装置が得られることとなる。また、請求項２記載の
発明によれば、熱硬化性接着剤を主な接着剤とし、光硬
化性接着剤を従の接着剤とし、しかも光硬化性接着剤は
硬化の際に要する光が確実に照射されるような部位に充
填された構成とすることにより、熱硬化性接着剤と光硬
化性接着剤とで、互いに接着特性の不十分さを補うこと
となるで、従来と異なりカラ−フィルタと撮像素子との
相対位置が殆どずれることのない信頼性の高い固体撮像
装置が得られることとなる。さらに、請求項４記載の発
明によれば、熱硬化性接着剤の周囲に光硬化性接着剤を
充填し、光硬化性接着剤を硬化させた後に、熱硬化性接
着剤を硬化させるような構成とすることにより、熱硬化
性接着剤が完全に硬化するまでは光硬化性接着剤によっ
て、カラ−フィルタと撮像素子との相対位置のずれが防
止されるので、カラ−フィルタと撮像素子との相対位置
が殆どずれることのない信頼性の高い固体撮像装置が得
られることとなる。
明によれば、硬化特性の異なる２種類の接着剤を用いた
構成とすることにより、それぞれの接着剤が有する硬化
特性に起因する不都合を、互いに補った構造となるの
で、そのため、従来と異なりカラ−フィルタと撮像素子
との相対位置が殆どずれることのない信頼性の高い固体
撮像装置が得られることとなる。また、請求項２記載の
発明によれば、熱硬化性接着剤を主な接着剤とし、光硬
化性接着剤を従の接着剤とし、しかも光硬化性接着剤は
硬化の際に要する光が確実に照射されるような部位に充
填された構成とすることにより、熱硬化性接着剤と光硬
化性接着剤とで、互いに接着特性の不十分さを補うこと
となるで、従来と異なりカラ−フィルタと撮像素子との
相対位置が殆どずれることのない信頼性の高い固体撮像
装置が得られることとなる。さらに、請求項４記載の発
明によれば、熱硬化性接着剤の周囲に光硬化性接着剤を
充填し、光硬化性接着剤を硬化させた後に、熱硬化性接
着剤を硬化させるような構成とすることにより、熱硬化
性接着剤が完全に硬化するまでは光硬化性接着剤によっ
て、カラ−フィルタと撮像素子との相対位置のずれが防
止されるので、カラ−フィルタと撮像素子との相対位置
が殆どずれることのない信頼性の高い固体撮像装置が得
られることとなる。
【図１】 本発明に係る固体撮像装置の実施例における
フィルタ膜と熱硬化性接着剤との位置関係を示す平面図
である。
フィルタ膜と熱硬化性接着剤との位置関係を示す平面図
である。
【図２】 図１ＡＡ線縦断面図である。
【図３】 本発明に係る固体撮像装置の第２の実施例に
おける縦断面図である。
おける縦断面図である。
【図４】 従来の固体撮像装置の一例を示す縦断面図で
ある。
ある。
１…固体撮像素子部、 ２…フィルタ部、 ３…熱硬化
性接着剤、 ４…光硬化性接着剤、 １０…樹脂膜、
１１…カラ−フィルタ膜、 １２…遮光膜、１３…撮像
素子、 １４…パシベ−ション膜
性接着剤、 ４…光硬化性接着剤、 １０…樹脂膜、
１１…カラ−フィルタ膜、 １２…遮光膜、１３…撮像
素子、 １４…パシベ−ション膜
Claims (5)
- 【請求項１】 撮像素子と、この撮像素子の受光面側に
配設されたカラ−フィルタと、前記カラ−フィルタの周
囲に形成され前記撮像素子へ直接入射する光を遮断する
遮光膜と、を有してなる固体撮像装置において、硬化特
性の異なる第１の接着剤と第２の接着剤とを、前記カラ
−フィルタ及び遮光膜と撮像素子との間に充填してなる
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項２】 撮像素子と、この撮像素子の受光面側に
配設されたカラ−フィルタと、前記カラ−フィルタの周
囲に形成され前記撮像素子へ直接入射する光を遮断する
遮光膜と、を有してなる固体撮像装置において、前記カ
ラ−フィルタ及び遮光膜と前記撮像素子との間に熱硬化
性接着剤を、前記カラ−フィルタ及び遮光膜が設けられ
た基板の前記カラ−フィルタ及び遮光膜が形成されてい
ない部位と前記撮像素子が設けられた基板との間に光硬
化性接着剤を、それぞれ充填してなることを特徴とする
固体撮像装置。 - 【請求項３】 光硬化性接着剤は、紫外線硬化樹脂であ
ることを特徴とする請求項２記載の固体撮像装置。 - 【請求項４】 撮像素子と、この撮像素子の受光面側に
配設されたカラ−フィルタと、前記カラ−フィルタの周
囲に形成され前記撮像素子へ直接入射する光を遮断する
遮光膜と、を有してなる固体撮像装置の製造方法におい
て、前記カラ−フィルタ及び遮光膜と前記撮像素子との
間に熱硬化性接着剤を、前記カラ−フィルタ及び遮光膜
が設けられた基板の前記カラ−フィルタ及び遮光膜が形
成されていない部位と前記撮像素子が設けられた基板と
の間に光硬化性接着剤を、それぞれ充填する工程と、前
記接着剤の充填後、カラ−フィルタと撮像素子とが対向
するように位置調整を行う工程と、光硬化性接着剤の硬
化に必要な光の照射を行う工程と、熱硬化性接着剤が硬
化するに必要な加熱を行う工程と、を含んでなることを
特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項５】 光硬化性接着剤は、紫外線硬化樹脂であ
ることを特徴とする請求項４記載の固体撮像装置の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5303235A JPH07135302A (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5303235A JPH07135302A (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07135302A true JPH07135302A (ja) | 1995-05-23 |
Family
ID=17918508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5303235A Pending JPH07135302A (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07135302A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006085004A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置、並びに、半導体装置のレンズ位置調整方法、半導体装置の組立方法、画像読取ユニット、及び、画像形成装置 |
| JP2006085003A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置、並びに、半導体装置のレンズ位置調整方法、半導体装置の組立方法、画像読取ユニット、及び、画像形成装置 |
| WO2018030140A1 (ja) * | 2016-08-08 | 2018-02-15 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子、製造方法、および電子機器 |
-
1993
- 1993-11-10 JP JP5303235A patent/JPH07135302A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006085004A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置、並びに、半導体装置のレンズ位置調整方法、半導体装置の組立方法、画像読取ユニット、及び、画像形成装置 |
| JP2006085003A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置、並びに、半導体装置のレンズ位置調整方法、半導体装置の組立方法、画像読取ユニット、及び、画像形成装置 |
| WO2018030140A1 (ja) * | 2016-08-08 | 2018-02-15 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子、製造方法、および電子機器 |
| US10748947B2 (en) | 2016-08-08 | 2020-08-18 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging device, manufacturing method, and electronic apparatus |
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