JPH07130814A - Ｉｃパッケージの外観検査装置 - Google Patents
Ｉｃパッケージの外観検査装置Info
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- JPH07130814A JPH07130814A JP5293999A JP29399993A JPH07130814A JP H07130814 A JPH07130814 A JP H07130814A JP 5293999 A JP5293999 A JP 5293999A JP 29399993 A JP29399993 A JP 29399993A JP H07130814 A JPH07130814 A JP H07130814A
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- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 カバーテープの乱反射やＩＣパッケージの傾
きに伴う不都合を解消できるＩＣパッケージの外観検査
装置を提供する。 【構成】 鉛直面内で回転可能に設けられるとともに、
外周部にエンボステープ４が巻装され且つ回転によって
エンボステープ４を搬送するドライブホイール１と、ド
ライブホイール１の立ち上がり側の外周部と立ち下がり
側の外周部とにそれぞれ対向して配置された一対の画像
取込用カメラ２ａ，２ｂとを具備する。
きに伴う不都合を解消できるＩＣパッケージの外観検査
装置を提供する。 【構成】 鉛直面内で回転可能に設けられるとともに、
外周部にエンボステープ４が巻装され且つ回転によって
エンボステープ４を搬送するドライブホイール１と、ド
ライブホイール１の立ち上がり側の外周部と立ち下がり
側の外周部とにそれぞれ対向して配置された一対の画像
取込用カメラ２ａ，２ｂとを具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エンボステープに収納
されたＩＣパッケージの外観を検査する際に用いて好適
な装置に関するものである。
されたＩＣパッケージの外観を検査する際に用いて好適
な装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、一連の製造工程を経て完成した
ＩＣパッケージは、自動搭載機（オートマウンタ）など
への部品供給形態としてエンボステープに収納される。
エンボステープに収納されたＩＣパッケージは、そのま
まマウンタ・ヘッドによってピックアップされ、配線基
板に搭載されるが、その際、収納状態におけるＩＣパッ
ケージの向きが逆になっていたり、１ピン位置を示すマ
ークの位置が違っていたり、さらには異品種のＩＣパッ
ケージが混入していたり、リードの曲がりや浮き沈みが
生じていたりすると、製品出荷後における配線基板への
実装工程で不良を招いてしまう。このような理由から、
エンボステープに収納したＩＣパッケージに対しては、
出荷前の段階で外観検査を行う必要がある。
ＩＣパッケージは、自動搭載機（オートマウンタ）など
への部品供給形態としてエンボステープに収納される。
エンボステープに収納されたＩＣパッケージは、そのま
まマウンタ・ヘッドによってピックアップされ、配線基
板に搭載されるが、その際、収納状態におけるＩＣパッ
ケージの向きが逆になっていたり、１ピン位置を示すマ
ークの位置が違っていたり、さらには異品種のＩＣパッ
ケージが混入していたり、リードの曲がりや浮き沈みが
生じていたりすると、製品出荷後における配線基板への
実装工程で不良を招いてしまう。このような理由から、
エンボステープに収納したＩＣパッケージに対しては、
出荷前の段階で外観検査を行う必要がある。
【０００３】図６は従来におけるＩＣパッケージの外観
検査装置を説明する図である。図示のように従来の外観
検査装置は、図示せぬリールから引き出されたエンボス
テープ３０を図中左方向に一定のピッチで搬送するテー
プ搬送機構（不図示）と、このテープ搬送機構によって
搬送されるエンボステープ３０に対向する状態で配置さ
れた画像取込用カメラ３１とを備えていた。そして、エ
ンボステープ３０に収納されたＩＣパッケージＰの画像
は、エンボステープ３０に貼着されたカバーテープ３２
を透して画像取込用カメラ３１に取り込まれ、この取り
込まれたパッケージ画像を基に外観検査が行われてい
た。
検査装置を説明する図である。図示のように従来の外観
検査装置は、図示せぬリールから引き出されたエンボス
テープ３０を図中左方向に一定のピッチで搬送するテー
プ搬送機構（不図示）と、このテープ搬送機構によって
搬送されるエンボステープ３０に対向する状態で配置さ
れた画像取込用カメラ３１とを備えていた。そして、エ
ンボステープ３０に収納されたＩＣパッケージＰの画像
は、エンボステープ３０に貼着されたカバーテープ３２
を透して画像取込用カメラ３１に取り込まれ、この取り
込まれたパッケージ画像を基に外観検査が行われてい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の外
観検査装置においては、以下のような問題があった。 （１）カバーテープ３２の弛みによって光源からの光が
カバーテープ３２の表面で乱反射を起こし、例えば図７
に示すように、カバーテープ３２の乱反射した部分（図
中ハッチング部分）がカメラ画像では白っぽく映り、Ｉ
ＣパッケージＰの形状を明確に認識できなくなる。 （２）画像取込用カメラ３１の監視エリアでのパッケー
ジ姿勢が不安定であるため、例えば図７に示すように、
振動等によってＩＣパッケージＰがエンボステープ３０
の収納凹部３０ａ内で傾いたりすると、マークＭの位置
を基準に読み取られる文字列（ＩＣパッケージの型式、
品種等を表す）の記載位置が画像取込用カメラ側の読取
エリアから外れてしまい、ＩＣパッケージＰの品種確認
ができなくなる。 （３）エンボステープ３０の収納凹部３０ａの側壁に
は、その製法上、抜きテーパが設けられているため、Ｉ
ＣパッケージＰの傾きによってリードＬの先端部が収納
凹部３０ａの側壁に接触すると、図８に示すように、リ
ードＬの虚像が収納凹部３０ａの側壁Ｗに映し出され、
リードＬの曲がりや浮き沈みを正確に検査できなくな
る。
観検査装置においては、以下のような問題があった。 （１）カバーテープ３２の弛みによって光源からの光が
カバーテープ３２の表面で乱反射を起こし、例えば図７
に示すように、カバーテープ３２の乱反射した部分（図
中ハッチング部分）がカメラ画像では白っぽく映り、Ｉ
ＣパッケージＰの形状を明確に認識できなくなる。 （２）画像取込用カメラ３１の監視エリアでのパッケー
ジ姿勢が不安定であるため、例えば図７に示すように、
振動等によってＩＣパッケージＰがエンボステープ３０
の収納凹部３０ａ内で傾いたりすると、マークＭの位置
を基準に読み取られる文字列（ＩＣパッケージの型式、
品種等を表す）の記載位置が画像取込用カメラ側の読取
エリアから外れてしまい、ＩＣパッケージＰの品種確認
ができなくなる。 （３）エンボステープ３０の収納凹部３０ａの側壁に
は、その製法上、抜きテーパが設けられているため、Ｉ
ＣパッケージＰの傾きによってリードＬの先端部が収納
凹部３０ａの側壁に接触すると、図８に示すように、リ
ードＬの虚像が収納凹部３０ａの側壁Ｗに映し出され、
リードＬの曲がりや浮き沈みを正確に検査できなくな
る。
【０００５】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、カバーテープの乱反射やＩＣパッケージの
傾きに伴う不都合を解消することができるＩＣパッケー
ジの外観検査装置を提供することを目的としている。
れたもので、カバーテープの乱反射やＩＣパッケージの
傾きに伴う不都合を解消することができるＩＣパッケー
ジの外観検査装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたもので、エンボステープの収納凹
部に収納されたＩＣパッケージを、エンボステープに貼
着されたカバーテープを透して取り込まれるパッケージ
画像を基に外観検査する装置において、鉛直面内で回転
可能に設けられるとともに、外周部にエンボステープが
巻装され且つ回転によってエンボステープを搬送するド
ライブホイールと、ドライブホイールの立ち上がり側の
外周部と立ち下がり側の外周部とにそれぞれ対向して配
置された一対の画像取込用カメラとを備えたものであ
る。
成するためになされたもので、エンボステープの収納凹
部に収納されたＩＣパッケージを、エンボステープに貼
着されたカバーテープを透して取り込まれるパッケージ
画像を基に外観検査する装置において、鉛直面内で回転
可能に設けられるとともに、外周部にエンボステープが
巻装され且つ回転によってエンボステープを搬送するド
ライブホイールと、ドライブホイールの立ち上がり側の
外周部と立ち下がり側の外周部とにそれぞれ対向して配
置された一対の画像取込用カメラとを備えたものであ
る。
【０００７】また、エンボステープの収納凹部に収納さ
れたＩＣパッケージを、エンボステープに貼着されたカ
バーテープを透して取り込まれるパッケージ画像を基に
外観検査する装置において、鉛直面に対して互いに相反
する方向に傾斜した状態で回転可能に設けられるととも
に、各々の外周部にエンボステープが連続的に巻装され
且つ回転によってエンボステープを搬送する一対のドラ
イブホイールと、一対のドライブホイールのうち、一方
のドライブホイールの立ち上がり側の外周部と他方のド
ライブホイールの立ち下がり側の外周部とにそれぞれ対
向して配置された一対の画像取込用カメラとを備えたも
のである。
れたＩＣパッケージを、エンボステープに貼着されたカ
バーテープを透して取り込まれるパッケージ画像を基に
外観検査する装置において、鉛直面に対して互いに相反
する方向に傾斜した状態で回転可能に設けられるととも
に、各々の外周部にエンボステープが連続的に巻装され
且つ回転によってエンボステープを搬送する一対のドラ
イブホイールと、一対のドライブホイールのうち、一方
のドライブホイールの立ち上がり側の外周部と他方のド
ライブホイールの立ち下がり側の外周部とにそれぞれ対
向して配置された一対の画像取込用カメラとを備えたも
のである。
【０００８】
【作用】本発明のＩＣパッケージの外観検査装置におい
ては、ドライブホイールの外周部にエンボステープが巻
装されることで、エンボステープに貼着されたカバーテ
ープに張力が加えられ、この状態でパッケージ画像がカ
バーテープを透して一対の画像取込用カメラにより取り
込まれるため、カバーテープの弛みに伴う乱反射を防止
することができる。さらに、ドライブホイールの立ち上
がり側の外周部と立ち下がり側の外周部とでは、エンボ
ステープの収納凹部内におけるＩＣパッケージの位置が
それぞれ反対方向に寄せられるため、ＩＣパッケージに
傾きを生じさせることなく、しかも収納凹部の側壁とＩ
Ｃパッケージのリードとの間に隙間を確保した状態で、
一対の画像取込用カメラによりパッケージ画像を取り込
むことができる。
ては、ドライブホイールの外周部にエンボステープが巻
装されることで、エンボステープに貼着されたカバーテ
ープに張力が加えられ、この状態でパッケージ画像がカ
バーテープを透して一対の画像取込用カメラにより取り
込まれるため、カバーテープの弛みに伴う乱反射を防止
することができる。さらに、ドライブホイールの立ち上
がり側の外周部と立ち下がり側の外周部とでは、エンボ
ステープの収納凹部内におけるＩＣパッケージの位置が
それぞれ反対方向に寄せられるため、ＩＣパッケージに
傾きを生じさせることなく、しかも収納凹部の側壁とＩ
Ｃパッケージのリードとの間に隙間を確保した状態で、
一対の画像取込用カメラによりパッケージ画像を取り込
むことができる。
【０００９】また本発明においては、一方のドライブホ
イールの外周部と他方のドライブホイールの外周部とに
連続的にエンボステープが巻装されることで、エンボス
テープに貼着されたカバーテープに張力が加えられ、こ
の状態でパッケージ画像がカバーテープを透して一対の
画像取込用カメラにより取り込まれるため、カバーテー
プの弛みに伴う乱反射を防止することができる。さら
に、一方のドライブホイールの立ち上がり側の外周部
と、他方のドライブホイールの立ち下がり側の外周部と
では、鉛直面に対して各ドライブホイールが傾斜した分
だけＩＣパッケージの位置がそれぞれ収納凹部内の相対
向するコーナ側に寄せられるため、ＱＦＰタイプのＩＣ
パッケージを取り扱う場合であっても、ＩＣパッケージ
に傾きを生じさせることなく、しかも収納凹部の側壁と
ＩＣパッケージの各リードとの間に隙間を確保した状態
で、一対の画像取込用カメラによりパッケージ画像を取
り込むことができる。
イールの外周部と他方のドライブホイールの外周部とに
連続的にエンボステープが巻装されることで、エンボス
テープに貼着されたカバーテープに張力が加えられ、こ
の状態でパッケージ画像がカバーテープを透して一対の
画像取込用カメラにより取り込まれるため、カバーテー
プの弛みに伴う乱反射を防止することができる。さら
に、一方のドライブホイールの立ち上がり側の外周部
と、他方のドライブホイールの立ち下がり側の外周部と
では、鉛直面に対して各ドライブホイールが傾斜した分
だけＩＣパッケージの位置がそれぞれ収納凹部内の相対
向するコーナ側に寄せられるため、ＱＦＰタイプのＩＣ
パッケージを取り扱う場合であっても、ＩＣパッケージ
に傾きを生じさせることなく、しかも収納凹部の側壁と
ＩＣパッケージの各リードとの間に隙間を確保した状態
で、一対の画像取込用カメラによりパッケージ画像を取
り込むことができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は本発明に係わるＩＣパッ
ケージの外観検査装置の第１実施例を説明する側面概略
図である。図示のように本第１実施例の外観検査装置
は、ドライブホイール１と、一対の画像取込用カメラ２
ａ，２ｂと、ガイドローラ３ａ〜３ｄとを備えており、
ローダ側にはエンボステープ４を収納してなる供給リー
ル５が装着され、アンローダ側にはエンボステープ４を
巻き取るための巻き取りリール６が装着されるようにな
っている。
ながら詳細に説明する。図１は本発明に係わるＩＣパッ
ケージの外観検査装置の第１実施例を説明する側面概略
図である。図示のように本第１実施例の外観検査装置
は、ドライブホイール１と、一対の画像取込用カメラ２
ａ，２ｂと、ガイドローラ３ａ〜３ｄとを備えており、
ローダ側にはエンボステープ４を収納してなる供給リー
ル５が装着され、アンローダ側にはエンボステープ４を
巻き取るための巻き取りリール６が装着されるようにな
っている。
【００１１】まず、ドライブホイール１は、例えば図示
せぬ駆動モータを駆動源として、鉛直面内で図中Ｒ１方
向に回転可能に設けられている。ドライブホイール１の
外周部には、エンボステープ４のスプロケット孔４ａ
（図３）と同じ配列ピッチでスプロケットピン１ａが突
設されており、このスプロケットピン１ａにエンボステ
ープ４のスプロケット孔４ａが係合した状態で、ドライ
ブホイール１の外周部にエンボステープ４が巻装される
ようになっている。
せぬ駆動モータを駆動源として、鉛直面内で図中Ｒ１方
向に回転可能に設けられている。ドライブホイール１の
外周部には、エンボステープ４のスプロケット孔４ａ
（図３）と同じ配列ピッチでスプロケットピン１ａが突
設されており、このスプロケットピン１ａにエンボステ
ープ４のスプロケット孔４ａが係合した状態で、ドライ
ブホイール１の外周部にエンボステープ４が巻装される
ようになっている。
【００１２】また、一対の画像取込用カメラ（例えば工
業用テレビジョンカメラ）２ａ，２ｂは、エンボステー
プ４に貼着されたカバーテープ７（図２，図３）を透し
てパッケージ画像を取り込むためのものであり、このう
ち、一方の画像取込用カメラ２ａはドライブホイール１
の立ち上がり側（図中Ｕ側）の外周部に対向して配置さ
れ、他方の画像取込用カメラ２ｂはドライブホイール１
の立ち下がり側（図中Ｄ側）の外周部に対向して配置さ
れている。
業用テレビジョンカメラ）２ａ，２ｂは、エンボステー
プ４に貼着されたカバーテープ７（図２，図３）を透し
てパッケージ画像を取り込むためのものであり、このう
ち、一方の画像取込用カメラ２ａはドライブホイール１
の立ち上がり側（図中Ｕ側）の外周部に対向して配置さ
れ、他方の画像取込用カメラ２ｂはドライブホイール１
の立ち下がり側（図中Ｄ側）の外周部に対向して配置さ
れている。
【００１３】一方、ガイドローラ３ａ〜３ｄは、ローダ
側とアンローダ側とにそれぞれ２個ずつ配置されてい
る。そして、ローダ側に配置されたガイドローラ３ａ，
３ｂは、供給リール５とドライブホイール１との間でエ
ンボステープ４の搬送経路を形成し、アンローダ側に配
置されたガイドローラ３ｃ，３ｄは、ドライブホイール
１と巻き取りリール６との間でエンボステープ４の搬送
経路を形成している。
側とアンローダ側とにそれぞれ２個ずつ配置されてい
る。そして、ローダ側に配置されたガイドローラ３ａ，
３ｂは、供給リール５とドライブホイール１との間でエ
ンボステープ４の搬送経路を形成し、アンローダ側に配
置されたガイドローラ３ｃ，３ｄは、ドライブホイール
１と巻き取りリール６との間でエンボステープ４の搬送
経路を形成している。
【００１４】続いて、本第１実施例の外観検査装置の動
作手順について説明する。まず、エンボステープ４が収
納された供給リール５をローダ側に装着し、アンローダ
側には空の巻き取りリール６を装着する。次に、供給リ
ール５から引き出したエンボステープ４をガイドローラ
３ａ，３ｂを介してドライブホイール１の外周部に巻装
する。さらに、ドライブホイール１から引き出したエン
ボステープ４の先端部をガイドローラ３ｃ，３ｄを介し
て巻き取りリール６に留め付ける。
作手順について説明する。まず、エンボステープ４が収
納された供給リール５をローダ側に装着し、アンローダ
側には空の巻き取りリール６を装着する。次に、供給リ
ール５から引き出したエンボステープ４をガイドローラ
３ａ，３ｂを介してドライブホイール１の外周部に巻装
する。さらに、ドライブホイール１から引き出したエン
ボステープ４の先端部をガイドローラ３ｃ，３ｄを介し
て巻き取りリール６に留め付ける。
【００１５】このとき、ドライブホイール１のスプロケ
ットピン１ａにエンボステープ４のスプロケット孔４ａ
を係合させるようにする。また、エンボステープ４の先
端部を巻き取りリール６に留め付けた状態では、先頭の
ＩＣパッケージ（不図示）が一方の画像取込用カメラ２
ａの監視エリアよりもローダ側に位置するように、予め
エンボステープ４の先端側にＩＣパッケージが収納され
ないエリアを設けておく。
ットピン１ａにエンボステープ４のスプロケット孔４ａ
を係合させるようにする。また、エンボステープ４の先
端部を巻き取りリール６に留め付けた状態では、先頭の
ＩＣパッケージ（不図示）が一方の画像取込用カメラ２
ａの監視エリアよりもローダ側に位置するように、予め
エンボステープ４の先端側にＩＣパッケージが収納され
ないエリアを設けておく。
【００１６】続いて、図示せぬ駆動モータの駆動により
ドライブホイール１を図中Ｒ１方向に回転させ、一方の
画像取込用カメラ２ａの監視エリア内に先頭のＩＣパッ
ケージ（不図示）を配置する。このとき、ドライブホイ
ール１の回転動作に連動したかたちで、供給リール５お
よび巻き取りリール６が図中Ｒ１方向にそれぞれ回転
し、ガイドローラ３ａ〜３ｄが図中Ｒ２方向に回転す
る。
ドライブホイール１を図中Ｒ１方向に回転させ、一方の
画像取込用カメラ２ａの監視エリア内に先頭のＩＣパッ
ケージ（不図示）を配置する。このとき、ドライブホイ
ール１の回転動作に連動したかたちで、供給リール５お
よび巻き取りリール６が図中Ｒ１方向にそれぞれ回転
し、ガイドローラ３ａ〜３ｄが図中Ｒ２方向に回転す
る。
【００１７】次いで、一方の画像取込用カメラ２ａによ
って先頭のＩＣパッケージの画像を取り込み、その取り
込んだパッケージ画像に所定の画像処理を施して、ＩＣ
パッケージの外観検査を行う。続いて、エンボステープ
４におけるＩＣパッケージの収納ピッチ分だけドライブ
ホイール１を回転させながら、一方の画像取込用カメラ
２ａで順にパッケージ画像を取り込んでいく。
って先頭のＩＣパッケージの画像を取り込み、その取り
込んだパッケージ画像に所定の画像処理を施して、ＩＣ
パッケージの外観検査を行う。続いて、エンボステープ
４におけるＩＣパッケージの収納ピッチ分だけドライブ
ホイール１を回転させながら、一方の画像取込用カメラ
２ａで順にパッケージ画像を取り込んでいく。
【００１８】さらに、ドライブホイール１の回転によっ
て、先頭のＩＣパッケージが他方の画像取込用カメラ２
ｂの監視エリアに到達したら、他方の画像取込用カメラ
２ｂ側でも順にＩＣパッケージの画像を取り込み、その
取り込んだパッケージ画像に所定の画像処理を施して、
ＩＣパッケージの外観検査を行う。以降、ドライブホイ
ール１を一定のピッチで回転させながら、個々のＩＣパ
ッケージに対して外観検査を行い、一番後方のＩＣパッ
ケージの画像を他方の画像取込用カメラ２ｂによって取
り込んだ時点で、ローダ側の巻き取りリール６でエンボ
ステープ４を完全に巻き取るようにする。
て、先頭のＩＣパッケージが他方の画像取込用カメラ２
ｂの監視エリアに到達したら、他方の画像取込用カメラ
２ｂ側でも順にＩＣパッケージの画像を取り込み、その
取り込んだパッケージ画像に所定の画像処理を施して、
ＩＣパッケージの外観検査を行う。以降、ドライブホイ
ール１を一定のピッチで回転させながら、個々のＩＣパ
ッケージに対して外観検査を行い、一番後方のＩＣパッ
ケージの画像を他方の画像取込用カメラ２ｂによって取
り込んだ時点で、ローダ側の巻き取りリール６でエンボ
ステープ４を完全に巻き取るようにする。
【００１９】ここで、本第１実施例の外観検査装置にお
いては、エンボステープ４がドライブホイール１の外周
部に巻装された状態で、ＩＣパッケージの画像が画像取
込用カメラ２ａ，２ｂによって取り込まれるようになっ
ている。したがって、図２に示すように、ドライブホイ
ール１の立ち上がり側（Ｕ側）および立ち下がり側（Ｄ
側）のいずれにおいても、エンボステープ４に貼着され
たカバーテープ７に十分な張力が加えられ、これによっ
てカバーテープ７の弛みに伴う乱反射が確実に防止され
る。
いては、エンボステープ４がドライブホイール１の外周
部に巻装された状態で、ＩＣパッケージの画像が画像取
込用カメラ２ａ，２ｂによって取り込まれるようになっ
ている。したがって、図２に示すように、ドライブホイ
ール１の立ち上がり側（Ｕ側）および立ち下がり側（Ｄ
側）のいずれにおいても、エンボステープ４に貼着され
たカバーテープ７に十分な張力が加えられ、これによっ
てカバーテープ７の弛みに伴う乱反射が確実に防止され
る。
【００２０】また、ドライブホイール１の立ち上がり側
では、図３（ａ），（ｂ）に示すように、ＩＣパッケー
ジＰがその自重によってエンボステープ４の収納凹部４
ｂ内における一方の側壁Ｗ１側に寄せられる、つまりＩ
ＣパッケージＰの一方のリードＬ１が側壁Ｗ１に突き当
たった状態となる。したがって、エンボステープ４の収
納凹部４ｂにおいては、ＩＣパッケージＰの傾きが生じ
ることはなく、ＩＣパッケージＰの姿勢が安定した状態
に保持される。また、ＩＣパッケージＰの他方のリード
Ｌ２と、これに対向する収納凹部４ｂの他方の側壁Ｗ２
との間には、必ず隙間Ｇが形成される。
では、図３（ａ），（ｂ）に示すように、ＩＣパッケー
ジＰがその自重によってエンボステープ４の収納凹部４
ｂ内における一方の側壁Ｗ１側に寄せられる、つまりＩ
ＣパッケージＰの一方のリードＬ１が側壁Ｗ１に突き当
たった状態となる。したがって、エンボステープ４の収
納凹部４ｂにおいては、ＩＣパッケージＰの傾きが生じ
ることはなく、ＩＣパッケージＰの姿勢が安定した状態
に保持される。また、ＩＣパッケージＰの他方のリード
Ｌ２と、これに対向する収納凹部４ｂの他方の側壁Ｗ２
との間には、必ず隙間Ｇが形成される。
【００２１】一方、ドライブホイール１の立ち下がり側
では、図３（ｃ），（ｄ）に示すように、ＩＣパッケー
ジＰがその自重によって収納凹部４ｂの他方の側壁Ｗ２
側に寄せられる、つまりＩＣパッケージＰの他方のリー
ドＬ２が側壁Ｗ２に突き当たった状態となる。したがっ
て、上記同様にエンボステープ４の収納凹部４ｂにおい
ては、ＩＣパッケージＰの傾きが生じることはなく、Ｉ
ＣパッケージＰの姿勢が安定した状態に保持される。ま
た、ＩＣパッケージＰの一方のリードＬ１と、これに対
向する収納凹部４ｂの一方の側壁Ｗ１との間にも、必ず
隙間Ｇが形成される。
では、図３（ｃ），（ｄ）に示すように、ＩＣパッケー
ジＰがその自重によって収納凹部４ｂの他方の側壁Ｗ２
側に寄せられる、つまりＩＣパッケージＰの他方のリー
ドＬ２が側壁Ｗ２に突き当たった状態となる。したがっ
て、上記同様にエンボステープ４の収納凹部４ｂにおい
ては、ＩＣパッケージＰの傾きが生じることはなく、Ｉ
ＣパッケージＰの姿勢が安定した状態に保持される。ま
た、ＩＣパッケージＰの一方のリードＬ１と、これに対
向する収納凹部４ｂの一方の側壁Ｗ１との間にも、必ず
隙間Ｇが形成される。
【００２２】その結果、一対の画像取込用カメラ２ａ，
２ｂでパッケージ画像を取り込んだ場合、ドライブホイ
ール１の立ち上がり側では、ＩＣパッケージＰのリード
Ｌ２の虚像が収納凹部４ｂの側壁Ｗ２に映し出されるこ
とがなく、これに対してドライブホイール１の立ち下が
り側では、ＩＣパッケージＰのリードＬ１の虚像が収納
凹部４ｂの側壁Ｗ１に映し出されることがない。
２ｂでパッケージ画像を取り込んだ場合、ドライブホイ
ール１の立ち上がり側では、ＩＣパッケージＰのリード
Ｌ２の虚像が収納凹部４ｂの側壁Ｗ２に映し出されるこ
とがなく、これに対してドライブホイール１の立ち下が
り側では、ＩＣパッケージＰのリードＬ１の虚像が収納
凹部４ｂの側壁Ｗ１に映し出されることがない。
【００２３】なお、画像取込用カメラ２ａ，２ｂの配置
については、エンボステープ４内におけるＩＣパッケー
ジＰの姿勢の安定性を考慮すると、ドライブホイール１
の中心から斜め上方に３０°〜６０°の角度範囲内に設
定するのが好ましいが、ドライブホイール１の外径寸法
によっては上記角度範囲外であっても、カバーテープ７
に十分な張りを持たせながらＩＣパッケージＰを収納凹
部４ｂの片側に寄せた状態で外観検査を行うことができ
る。ちなみに、上記第１実施例の構成では、ドライブホ
イール１の中心から斜め上方に約４５°の角度で画像取
込用カメラ２ａ，２ｂを配置するようにした。
については、エンボステープ４内におけるＩＣパッケー
ジＰの姿勢の安定性を考慮すると、ドライブホイール１
の中心から斜め上方に３０°〜６０°の角度範囲内に設
定するのが好ましいが、ドライブホイール１の外径寸法
によっては上記角度範囲外であっても、カバーテープ７
に十分な張りを持たせながらＩＣパッケージＰを収納凹
部４ｂの片側に寄せた状態で外観検査を行うことができ
る。ちなみに、上記第１実施例の構成では、ドライブホ
イール１の中心から斜め上方に約４５°の角度で画像取
込用カメラ２ａ，２ｂを配置するようにした。
【００２４】ところで、上記第１実施例の外観検査装置
は、ＳＯＰ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｐａｃｋａ
ｇｅ）タイプのＩＣパッケージに対応したものであり、
以下の第２実施例では、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ
Ｐａｃｋａｇｅ）タイプのＩＣパッケージへの対応例に
ついて述べる。図４は、本発明に係わるＩＣパッケージ
の外観検査装置の第２実施例を説明する側面概略図であ
る。図示のように本第２実施例の外観検査装置は、一対
のドライブホイール１０，１１と、一対の画像取込用カ
メラ１２ａ，１２ｂと、ガイドローラ１３ａ〜１３ｄと
を備えており、上記第１実施例と同様にローダ側にはエ
ンボステープ１４を収納してなる供給リール１５が装着
され、アンローダ側にはエンボステープ１４を巻き取る
ための巻き取りリール１６が装着されるようになってい
る。
は、ＳＯＰ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｐａｃｋａ
ｇｅ）タイプのＩＣパッケージに対応したものであり、
以下の第２実施例では、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ
Ｐａｃｋａｇｅ）タイプのＩＣパッケージへの対応例に
ついて述べる。図４は、本発明に係わるＩＣパッケージ
の外観検査装置の第２実施例を説明する側面概略図であ
る。図示のように本第２実施例の外観検査装置は、一対
のドライブホイール１０，１１と、一対の画像取込用カ
メラ１２ａ，１２ｂと、ガイドローラ１３ａ〜１３ｄと
を備えており、上記第１実施例と同様にローダ側にはエ
ンボステープ１４を収納してなる供給リール１５が装着
され、アンローダ側にはエンボステープ１４を巻き取る
ための巻き取りリール１６が装着されるようになってい
る。
【００２５】まず、一対のドライブホイール１０，１１
は、例えば図示せぬ駆動モータを駆動源として、鉛直面
に対して互いに相反する方向に傾斜した状態で回転可能
に設けられている。そして、各々の外周部には、上記第
１実施例と同様にエンボステープ１４のスプロケット孔
１４ａ（図５）と同じ配列ピッチで図示せぬスプロケッ
トピンが突設されており、このスプロケットピンにエン
ボステープ１４のスプロケット孔１４ａが係合した状態
で、各々のドライブホイール１０，１１の外周部にエン
ボステープ１４が巻装されるようになっている。
は、例えば図示せぬ駆動モータを駆動源として、鉛直面
に対して互いに相反する方向に傾斜した状態で回転可能
に設けられている。そして、各々の外周部には、上記第
１実施例と同様にエンボステープ１４のスプロケット孔
１４ａ（図５）と同じ配列ピッチで図示せぬスプロケッ
トピンが突設されており、このスプロケットピンにエン
ボステープ１４のスプロケット孔１４ａが係合した状態
で、各々のドライブホイール１０，１１の外周部にエン
ボステープ１４が巻装されるようになっている。
【００２６】また、一対の画像取込用カメラ（例えば工
業用テレビジョンカメラ）１２ａ，１２ｂは、エンボス
テープ１４に貼着されたカバーテープ１７（図５）を透
してパッケージ画像を取り込むためのものである。ここ
で、一方の画像取込用カメラ１２ａは、上記一対のドラ
イブホイール１０，１１のうち、一方のドライブホイー
ル１０の立ち上がり側（図中Ｕ側）の外周部に対向して
配置されている。また、他方の画像取込用カメラ１２ｂ
は、上記一対のドライブホイール１０，１１のうち、他
方のドライブホイール１１の立ち下がり側（図中Ｄ側）
の外周部に対向して配置されている。
業用テレビジョンカメラ）１２ａ，１２ｂは、エンボス
テープ１４に貼着されたカバーテープ１７（図５）を透
してパッケージ画像を取り込むためのものである。ここ
で、一方の画像取込用カメラ１２ａは、上記一対のドラ
イブホイール１０，１１のうち、一方のドライブホイー
ル１０の立ち上がり側（図中Ｕ側）の外周部に対向して
配置されている。また、他方の画像取込用カメラ１２ｂ
は、上記一対のドライブホイール１０，１１のうち、他
方のドライブホイール１１の立ち下がり側（図中Ｄ側）
の外周部に対向して配置されている。
【００２７】さらに、各々のガイドローラ１３ａ〜１３
ｄは、一対のドライブホイール１０，１１、供給リール
１５および巻き取りリール１６の間にそれぞれ配置さ
れ、エンボステープ１４の搬送経路を形成している。
ｄは、一対のドライブホイール１０，１１、供給リール
１５および巻き取りリール１６の間にそれぞれ配置さ
れ、エンボステープ１４の搬送経路を形成している。
【００２８】続いて、本第２実施例の外観検査装置の動
作手順について説明する。まず、エンボステープ１４が
収納された供給リール１５をローダ側に装着し、アンロ
ーダ側には空の巻き取りリール１６を装着する。次に、
供給リール１５から引き出したエンボステープ１４をガ
イドローラ１３ａを介して一方のドライブホイール１０
に巻装し、さらにドライブホイール１０から引き出した
エンボステープ１４をガイドローラ１３ｂ，１３ｃを介
して他方のドライブホイール１１に連続的に巻装する。
あとは、他方のドライブホイール１１から引き出したエ
ンボステープ１４の先端部をガイドローラ１３ｄを介し
て巻き取りリール１６に留め付ける。
作手順について説明する。まず、エンボステープ１４が
収納された供給リール１５をローダ側に装着し、アンロ
ーダ側には空の巻き取りリール１６を装着する。次に、
供給リール１５から引き出したエンボステープ１４をガ
イドローラ１３ａを介して一方のドライブホイール１０
に巻装し、さらにドライブホイール１０から引き出した
エンボステープ１４をガイドローラ１３ｂ，１３ｃを介
して他方のドライブホイール１１に連続的に巻装する。
あとは、他方のドライブホイール１１から引き出したエ
ンボステープ１４の先端部をガイドローラ１３ｄを介し
て巻き取りリール１６に留め付ける。
【００２９】このとき、ドライブホイール１０，１１の
各スプロケットピン（不図示）にエンボステープ１４の
スプロケット孔４ａをそれぞれ係合させるようにする。
また、エンボステープ１４の先端部を巻き取りリール１
６に留め付けた状態では、先頭のＩＣパッケージ（不図
示）が一方の画像取込用カメラ１２ａの監視エリアより
もローダ側に位置するように、予めエンボステープ１４
の先端側にＩＣパッケージが収納されないエリアを設け
ておく。
各スプロケットピン（不図示）にエンボステープ１４の
スプロケット孔４ａをそれぞれ係合させるようにする。
また、エンボステープ１４の先端部を巻き取りリール１
６に留め付けた状態では、先頭のＩＣパッケージ（不図
示）が一方の画像取込用カメラ１２ａの監視エリアより
もローダ側に位置するように、予めエンボステープ１４
の先端側にＩＣパッケージが収納されないエリアを設け
ておく。
【００３０】続いて、図示せぬ駆動モータの駆動により
ドライブホイール１０，１１を図中Ｒ１方向にそれぞれ
回転させ、一方の画像取込用カメラ１２ａの監視エリア
内に先頭のＩＣパッケージを配置する。このとき、ドラ
イブホイール１０，１１の回転動作に連動したかたち
で、供給ルール１５および巻き取りリール１６が図中Ｒ
１方向にそれぞれ回転し、ガイドローラ１３ａ〜１３ｄ
が図中Ｒ２方向に回転する。
ドライブホイール１０，１１を図中Ｒ１方向にそれぞれ
回転させ、一方の画像取込用カメラ１２ａの監視エリア
内に先頭のＩＣパッケージを配置する。このとき、ドラ
イブホイール１０，１１の回転動作に連動したかたち
で、供給ルール１５および巻き取りリール１６が図中Ｒ
１方向にそれぞれ回転し、ガイドローラ１３ａ〜１３ｄ
が図中Ｒ２方向に回転する。
【００３１】次いで、一方の画像取込用カメラ１２ａに
よって先頭のＩＣパッケージの画像を取り込み、その取
り込んだパッケージ画像に所定の画像処理を施して、Ｉ
Ｃパッケージの外観検査を行う。続いて、エンボステー
プ１４におけるＩＣパッケージの収納ピッチ分だけドラ
イブホイール１０，１１を回転させながら、一方の画像
取込用カメラ１２ａで順にパッケージ画像を取り込んで
いく。
よって先頭のＩＣパッケージの画像を取り込み、その取
り込んだパッケージ画像に所定の画像処理を施して、Ｉ
Ｃパッケージの外観検査を行う。続いて、エンボステー
プ１４におけるＩＣパッケージの収納ピッチ分だけドラ
イブホイール１０，１１を回転させながら、一方の画像
取込用カメラ１２ａで順にパッケージ画像を取り込んで
いく。
【００３２】さらに、各ドライブホイール１０，１１の
回転によって先頭のＩＣパッケージが他方の画像取込用
カメラ１２ｂの監視エリアに到達したら、他方の画像取
込用カメラ１２ｂ側でも順にＩＣパッケージの画像を取
り込み、その取り込んだパッケージ画像に所定の画像処
理を施して、ＩＣパッケージの外観検査を行う。以降、
ドライブホイール１０，１１を一定のピッチで回転させ
ながら、個々のＩＣパッケージに対して外観検査を行
い、一番後方のＩＣパッケージの画像を他方の画像取込
用カメラ１２ｂによって取り込んだ時点で、ローダ側の
巻き取りリール１６でエンボステープ１４を完全に巻き
取るようにする。
回転によって先頭のＩＣパッケージが他方の画像取込用
カメラ１２ｂの監視エリアに到達したら、他方の画像取
込用カメラ１２ｂ側でも順にＩＣパッケージの画像を取
り込み、その取り込んだパッケージ画像に所定の画像処
理を施して、ＩＣパッケージの外観検査を行う。以降、
ドライブホイール１０，１１を一定のピッチで回転させ
ながら、個々のＩＣパッケージに対して外観検査を行
い、一番後方のＩＣパッケージの画像を他方の画像取込
用カメラ１２ｂによって取り込んだ時点で、ローダ側の
巻き取りリール１６でエンボステープ１４を完全に巻き
取るようにする。
【００３３】ここで、本第２実施例の外観検査装置にお
いては、上記第１実施例と同様にエンボステープ１４が
一対のドライブホイール１０，１１の外周部に巻装され
た状態で、ＩＣパッケージの画像が画像取込用カメラ１
２ａ，１２ｂによって取り込まれるようになっているた
め、エンボステープ１４に貼着されたカバーテープ１７
に十分な張力が加えられることから、カバーテープ１７
の弛みによる乱反射が確実に防止される。
いては、上記第１実施例と同様にエンボステープ１４が
一対のドライブホイール１０，１１の外周部に巻装され
た状態で、ＩＣパッケージの画像が画像取込用カメラ１
２ａ，１２ｂによって取り込まれるようになっているた
め、エンボステープ１４に貼着されたカバーテープ１７
に十分な張力が加えられることから、カバーテープ１７
の弛みによる乱反射が確実に防止される。
【００３４】また、一方のドライブホイール１０の立ち
上がり側では、図５（ａ）に示すように、ＩＣパッケー
ジＰがその自重によってエンボステープ１４の収納凹部
１４ｂにおけるコーナＣ１側に寄せられる、つまりＩＣ
パッケージＰの隣接する２辺のリードＬ１，Ｌ２が、そ
れぞれ収納凹部１４ｂの側壁Ｗ１，Ｗ２に突き当たった
状態となる。したがって、エンボステープ１４の収納凹
部１４ｂにおいては、ＩＣパッケージＰの傾きが生じる
ことはなく、ＩＣパッケージＰの姿勢が安定した状態に
保持されるとともに、ＩＣパッケージＰの他方の隣接す
る２辺のリードＬ３，Ｌ４と、これに対向する収納凹部
１４ｂの側壁Ｗ３，Ｗ４との間には、必ず隙間Ｇが形成
される。
上がり側では、図５（ａ）に示すように、ＩＣパッケー
ジＰがその自重によってエンボステープ１４の収納凹部
１４ｂにおけるコーナＣ１側に寄せられる、つまりＩＣ
パッケージＰの隣接する２辺のリードＬ１，Ｌ２が、そ
れぞれ収納凹部１４ｂの側壁Ｗ１，Ｗ２に突き当たった
状態となる。したがって、エンボステープ１４の収納凹
部１４ｂにおいては、ＩＣパッケージＰの傾きが生じる
ことはなく、ＩＣパッケージＰの姿勢が安定した状態に
保持されるとともに、ＩＣパッケージＰの他方の隣接す
る２辺のリードＬ３，Ｌ４と、これに対向する収納凹部
１４ｂの側壁Ｗ３，Ｗ４との間には、必ず隙間Ｇが形成
される。
【００３５】一方、他方のドライブホイール１１の立ち
下がり側では、図５（ｂ）に示すように、ＩＣパッケー
ジＰがその自重によってエンボステープ１４の収納凹部
１４ｂにおけるコーナＣ２側に寄せられる、つまりＩＣ
パッケージＰの他の隣接する２辺のリードＬ３，Ｌ４
が、それぞれ収納凹部１４ｂの側壁Ｗ３，Ｗ４に突き当
たった状態となる。したがって、エンボステープ１４の
収納凹部１４ｂにおいては、ＩＣパッケージＰの傾きが
生じることはなく、ＩＣパッケージＰの姿勢が安定した
状態に保持されるとともに、上述したＩＣパッケージＰ
の隣接する２辺のリードＬ１，Ｌ２と、これに対向する
収納凹部１４ｂの側壁Ｗ１，Ｗ２との間には、必ず隙間
Ｇが形成される。
下がり側では、図５（ｂ）に示すように、ＩＣパッケー
ジＰがその自重によってエンボステープ１４の収納凹部
１４ｂにおけるコーナＣ２側に寄せられる、つまりＩＣ
パッケージＰの他の隣接する２辺のリードＬ３，Ｌ４
が、それぞれ収納凹部１４ｂの側壁Ｗ３，Ｗ４に突き当
たった状態となる。したがって、エンボステープ１４の
収納凹部１４ｂにおいては、ＩＣパッケージＰの傾きが
生じることはなく、ＩＣパッケージＰの姿勢が安定した
状態に保持されるとともに、上述したＩＣパッケージＰ
の隣接する２辺のリードＬ１，Ｌ２と、これに対向する
収納凹部１４ｂの側壁Ｗ１，Ｗ２との間には、必ず隙間
Ｇが形成される。
【００３６】その結果、一対の画像取込用カメラ１２
ａ，１２ｂでパッケージ画像を取り込んだ場合、一方の
ドライブホイール１０の立ち上がり側では、ＩＣパッケ
ージＰのリードＬ３，Ｌ４の虚像が収納凹部１４ｂの側
壁Ｗ３，Ｗ４に映し出されることがなく、これに対して
他方のドライブホイール１１の立ち下がり側では、ＩＣ
パッケージＰのリードＬ１，Ｌ２の虚像が収納凹部１４
ｂの側壁Ｗ１，Ｗ２に映し出されることがない。
ａ，１２ｂでパッケージ画像を取り込んだ場合、一方の
ドライブホイール１０の立ち上がり側では、ＩＣパッケ
ージＰのリードＬ３，Ｌ４の虚像が収納凹部１４ｂの側
壁Ｗ３，Ｗ４に映し出されることがなく、これに対して
他方のドライブホイール１１の立ち下がり側では、ＩＣ
パッケージＰのリードＬ１，Ｌ２の虚像が収納凹部１４
ｂの側壁Ｗ１，Ｗ２に映し出されることがない。
【００３７】
【発明の効果】以上、説明したように本発明の外観検査
装置によれば、カバーテープに張力が加えられた状態で
一対の画像取込用カメラによりパッケージ画像が取り込
まれるようになるため、カバーテープの弛みに伴う乱反
射が確実に防止され、画像取込用カメラの監視エリア全
域にわたってＩＣパッケージの形状を明確に認識するこ
とが可能となる。さらに、ドライブホイールの立ち上が
り側の外周部と立ち下がり側の外周部とでは、ＩＣパッ
ケージに傾きを生じさせることなく、しかも収納凹部の
側壁とＩＣパッケージのリードとの間に隙間を確保した
状態でパッケージ画像を取り込むことができるため、Ｉ
Ｃパッケージのマーク位置を基準とした文字列（ＩＣパ
ッケージの型式、品種等を表す）を確実に読み取って品
種確認を行うことが可能になるとともに、エンボステー
プの収納凹部の側壁にリードの虚像を映し出すことな
く、リードの曲がりや浮き沈みを正確に検査することが
可能となる。
装置によれば、カバーテープに張力が加えられた状態で
一対の画像取込用カメラによりパッケージ画像が取り込
まれるようになるため、カバーテープの弛みに伴う乱反
射が確実に防止され、画像取込用カメラの監視エリア全
域にわたってＩＣパッケージの形状を明確に認識するこ
とが可能となる。さらに、ドライブホイールの立ち上が
り側の外周部と立ち下がり側の外周部とでは、ＩＣパッ
ケージに傾きを生じさせることなく、しかも収納凹部の
側壁とＩＣパッケージのリードとの間に隙間を確保した
状態でパッケージ画像を取り込むことができるため、Ｉ
Ｃパッケージのマーク位置を基準とした文字列（ＩＣパ
ッケージの型式、品種等を表す）を確実に読み取って品
種確認を行うことが可能になるとともに、エンボステー
プの収納凹部の側壁にリードの虚像を映し出すことな
く、リードの曲がりや浮き沈みを正確に検査することが
可能となる。
【００３８】また本発明においては、一対のドライブホ
イールを鉛直面に対して互いに相反する方向に傾斜した
状態で設け、これら一対のドライブホイールに連続的に
エンボステープを巻装させて、一方のドライブホイール
の立ち上がり側の外周部と他方のドライブホイールの立
ち下がり側の外周部とに配置した一対の画像取込用カメ
ラでパッケージ画像を取り込むことにより、ＱＦＰタイ
プのＩＣパッケージを取り扱う場合であっても、上記同
様にカバーテープの乱反射やＩＣパッケージの傾きに伴
う不都合を全て解消することができる。
イールを鉛直面に対して互いに相反する方向に傾斜した
状態で設け、これら一対のドライブホイールに連続的に
エンボステープを巻装させて、一方のドライブホイール
の立ち上がり側の外周部と他方のドライブホイールの立
ち下がり側の外周部とに配置した一対の画像取込用カメ
ラでパッケージ画像を取り込むことにより、ＱＦＰタイ
プのＩＣパッケージを取り扱う場合であっても、上記同
様にカバーテープの乱反射やＩＣパッケージの傾きに伴
う不都合を全て解消することができる。
【図１】本発明の第１実施例を説明する側面概略図であ
る。
る。
【図２】ホイール外周部におけるテープ巻装状態を示す
図である。
図である。
【図３】ホイール外周部におけるパッケージ姿勢を示す
図である。
図である。
【図４】本発明の第２実施例を説明する側面概略図であ
る。
る。
【図５】各々のホイール外周部におけるパッケージ姿勢
を示す図である。
を示す図である。
【図６】従来例を説明する図である。
【図７】従来問題を説明する図（その１）である。
【図８】従来問題を説明する図（その２）である。
１、１０、１１ ドライブホイール ２ａ、２ｂ、１２ａ、１２ｂ 画像取込用カメラ ４、１４ エンボステープ ４ｂ、１４ｂ 収納凹部 ７、１７ カバーテープ Ｐ ＩＣパッケージ Ｌ１〜Ｌ４ リード
Claims (2)
- 【請求項１】 エンボステープの収納凹部に収納された
ＩＣパッケージを、前記エンボステープに貼着されたカ
バーテープを透して取り込まれるパッケージ画像を基に
外観検査する装置において、 鉛直面内で回転可能に設けられるとともに、外周部に前
記エンボステープが巻装され且つ回転によって前記エン
ボステープを搬送するドライブホイールと、 前記ドライブホイールの立ち上がり側の外周部と立ち下
がり側の外周部とにそれぞれ対向して配置された一対の
画像取込用カメラとを備えたことを特徴とするＩＣパッ
ケージの外観検査装置。 - 【請求項２】 エンボステープの収納凹部に収納された
ＩＣパッケージを、前記エンボステープに貼着されたカ
バーテープを透して取り込まれるパッケージ画像を基に
外観検査する装置において、 鉛直面に対して互いに相反する方向に傾斜した状態で回
転可能に設けられるとともに、各々の外周部に前記エン
ボステープが連続的に巻装され且つ回転によって前記エ
ンボステープを搬送する一対のドライブホイールと、 前記一対のドライブホイールのうち、一方のドライブホ
イールの立ち上がり側の外周部と他方のドライブホイー
ルの立ち下がり側の外周部とにそれぞれ対向して配置さ
れた一対の画像取込用カメラとを備えたことを特徴とす
るＩＣパッケージの外観検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5293999A JPH07130814A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | Ｉｃパッケージの外観検査装置 |
| KR1019940025214A KR100273021B1 (ko) | 1993-10-29 | 1994-10-01 | 아이씨 패키지의 외관검사장치 |
| US08/327,713 US5473425A (en) | 1993-10-29 | 1994-10-24 | IC package inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5293999A JPH07130814A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | Ｉｃパッケージの外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07130814A true JPH07130814A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=17801938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5293999A Pending JPH07130814A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | Ｉｃパッケージの外観検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5473425A (ja) |
| JP (1) | JPH07130814A (ja) |
| KR (1) | KR100273021B1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5760891A (en) * | 1995-08-25 | 1998-06-02 | Eastman Kodak Company | Wound web roll sidewall quality measurement |
| US5974903A (en) * | 1998-01-08 | 1999-11-02 | Intel Corporation | Method and apparatus for in situ visual inspection of die products in tape and reel shipping medium |
| KR100309878B1 (ko) * | 1998-03-31 | 2001-11-15 | 윤종용 | 디지털 티브이의 입력 포맷 변환장치 |
| US7155299B2 (en) * | 2004-06-01 | 2006-12-26 | Manufacturing Integration Technology Ltd | Method and apparatus for precise marking and placement of an object |
| US7521791B2 (en) * | 2006-03-08 | 2009-04-21 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for dissipating heat from an integrated circuit |
| EP3797883B1 (en) | 2019-09-27 | 2022-06-08 | SCHOTT Schweiz AG | Apparatus for inspecting a pharmaceutical container |
| EP3798621B1 (en) | 2019-09-27 | 2022-11-23 | SCHOTT Schweiz AG | Apparatus for inspecting a pharmaceutical container |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE789263A (fr) * | 1971-09-27 | 1973-03-26 | Lilly Co Eli | Systeme et procede electroniques de controle de capsules |
| US4136930A (en) * | 1977-01-10 | 1979-01-30 | The Coca-Cola Company | Method and apparatus for detecting foreign particles in full beverage containers |
| US4912318A (en) * | 1987-08-04 | 1990-03-27 | Kanebo Ltd. | Inspection equipment for small bottles |
-
1993
- 1993-10-29 JP JP5293999A patent/JPH07130814A/ja active Pending
-
1994
- 1994-10-01 KR KR1019940025214A patent/KR100273021B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-10-24 US US08/327,713 patent/US5473425A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100273021B1 (ko) | 2000-12-01 |
| KR950012664A (ko) | 1995-05-16 |
| US5473425A (en) | 1995-12-05 |
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