JPH07120299A - 電磁式の天びんまたは力測定器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小さい永久磁石等を用いても、フォースコイ
ルの発熱により永久磁石が急激に加熱されて過渡的に磁
界が変化しても、これに十分に追随して補償を行うこと
のできる電磁式の天びんまたは力測定器を提供する。 【構成】 永久磁石１の近傍に、温度補償手段１３に対
して温度データを供給するための温度センサ１２を設け
るとともに、この温度センサ１２を、フォースコイル４
の発熱量に一定の係数を乗じた熱量で加熱する加熱手段
１４，１５を備えた構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は質量測定または力測定を
行うための装置に関し、更に詳しくは、電磁力平衡式の
天びんまたは力測定器に関する。

【０００２】

【従来の技術】電磁力を被測定荷重（質量）または力に
対して釣り合わせることによってその荷重ないしは力を
測定する、いわゆる電磁式の天びんまたは力測定器にお
いては、永久磁石により生成される磁界中にフォースコ
イルを配置し、そのフォースコイルに電流を流すことに
よって、被測定荷重またら力と釣り合わせるための電磁
力を発生している。そして、この電磁力と被測定荷重ま
たは力が釣り合っている状態でフォースコイルに流れる
電流により、その荷重または力を求めるようになってい
る。

【０００３】ところで、永久磁石はその温度によって、
発生する磁界の強さが約−２００ｐｐｍ／°Ｃ〜−４０
０ｐｐｍ／°Ｃ程度の割合で変化する。この磁界の強さ
の変化により、フォースコイルに流れる電流値と発生電
磁力との関係が変化するため、被測定荷重ないしは力と
釣り合わせるために要する電流は、逆に＋２００ｐｐｍ
／°Ｃ〜＋４００ｐｐｍ／°Ｃの割合で変化し、その分
測定誤差が生じる。

【０００４】従来の電磁式の天びんまたは力測定器にお
いては、一般に、永久磁石の近傍に温度センサを配置
し、その出力を用いてハード的またはソフト的に、ある
いはその両方によって永久磁石の温度変化に起因する測
定誤差を補償している。すなわち、ハード的な補償方法
としては、例えばその温度センサの出力に基づき、フォ
ースコイルに流れる電流の計測値をデジタル化するため
のＡ−Ｄ変換器の基準電圧を＋２００ｐｐｍ／°Ｃ〜＋
４００ｐｐｍ／°Ｃで変化させる等の方法が、また、ソ
フト的な補償方法としては、デジタル化されたフォース
コイル電流の計測データをマイクロコンピュータで処理
する際に、温度センサの出力に応じた補正演算を行う等
の方法が採用されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の補
償方法によると、いずれも環境温度に対する補償であっ
て、気温の変化等による静的な、あるいはゆるやかな永
久磁石の温度変化に対する補償は比較的簡単に行うこと
ができて問題はないものの、永久磁石の比較的急激な温
度変化による過渡的な磁界変化には十分に補償できない
という問題があった。

【０００６】すなわち、例えば電磁式の天びんにあって
は、試料を測定皿上に載せたまま放置し、また、その状
態で発生している電磁力がその天びんのひょう量に近い
状態であるような場合、フォースコイルの発熱により永
久磁石が急激に加熱される。このような場合、永久磁石
の温度変化による磁界変化が急であるが故に、従来の補
償方法では温度センサの出力がこれに追随せずに十分な
補償はできず、結果的に天びんの表示値がクリープ現象
的に徐々に大きくなっていくことになる。

【０００７】この対策として、従来、永久磁石の熱容量
を大きくしてその温度変化をゆるやかにするとともに、
永久磁石を大きくし、その発生磁界を大きくしてフォー
スコイルの所要電流を小さくしてコイルの発熱を小さく
したり、温度センサの取り付け位置を工夫する等の方法
が採用されているが、コストが高くなるばかりでなく、
これでもなお十分な対策にはなっていなかった。

【０００８】本発明はこのような実情に鑑みてなされた
もので、小さい永久磁石ないしは温度係数の大きな永久
磁石を用いても、フォースコイルの発熱により永久磁石
が急激に加熱されて過渡的に磁界が変化しても、これに
十分に追随して補償を行うことのできる電磁式の天びん
または力測定器の提供を目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの構成を、実施例図面である図１を参照しつつ説明す
ると、本発明の電磁式の天びんまたは力測定器は、永久
磁石１による磁界中に置かれたフォースコイル４に電流
を流すことによって発生する電磁力を、被測定荷重また
は力と釣り合わせ、その釣り合い状態でフォースコイル
４に流れる電流の大きさから被測定荷重または力を測定
する装置において、永久磁石１の近傍に、当該永久磁石
１の温度補償手段（回路）１３に対して温度データを供
給するための温度センサ１２が設けられているととも
に、フォースコイル４の発熱量に一定の係数を乗じた熱
量でその温度センサ１２を加熱する加熱手段（例えばバ
ッファ１５およびヒータ１４）を備えていることによっ
て特徴づけられる。

【００１０】また、図５に例示するように、温度センサ
１２を永久磁石１１を含む磁気回路Ｍの略中央部に設け
るとともに、その温度センサ１２とこれを強制加熱する
加熱手段の熱源（ヒータ）１４の間に、熱源１４からの
熱に対する温度センサ１２の熱応答性を調整するための
熱応答調整部材３０を配設すると、正確な補償を行うた
めの調整が容易化されて好ましい。

【００１１】

【作用】従来の温度補償方法により永久磁石の急激な温
度変化に対する補償ができない理由は、前記したよう
に、温度補償を行うべく永久磁石の温度を検出するため
の温度センサの出力が実際の永久磁石の温度変化に追随
できないためである。そしてこのような永久磁石の急激
な温度変化は、フォースコイルに流れる電流によるコイ
ルの発熱に起因する。

【００１２】そこで本発明では、フォースコイル４の発
熱量に一定の係数を乗じた熱量で、温度補償用の温度セ
ンサ１２を強制的に加熱することにより、その出力を永
久磁石１の急激な温度変化に一致するように変化させ、
所期の目的を達成している。

【００１３】すなわち、フォースコイル４の発熱により
永久磁石１が加熱されると同時に、その近傍に置かれた
温度補償用の温度センサ１２もそのフォースコイル４の
発熱量に準じた熱量によって強制加熱される結果、その
出力は永久磁石１の過渡的な温度変化に追随して変化
し、温度補償手段１３には常に永久磁石１の温度を正し
く検出した信号が供給される。

【００１４】ここで、温度センサ１２の出力を、フォー
スコイル４の発熱による永久磁石１の過渡的な温度変化
に正しく追随させるためには、加熱手段の加熱による温
度センサ１２の温度変化を、実験等によってフォースコ
イル４の発熱による永久磁石１の温度変化に厳密に合致
するように調整しておく必要が生じ、そのためには加熱
手段の熱源１４の発熱量を厳密に設定する必要が生じ
る。そこで、温度センサ１２を磁気回路Ｍの略中央部に
配置し、しかもその温度センサ１２と熱源１４との間
に、熱源１４からの熱に対する温度センサ１２の熱応答
性を適宜に低下させる熱応答調整部材３０を介在させる
と、温度センサ１２の温度変化を調整するためのパラメ
ータとしては、加熱手段の熱源１４の発熱量に加えて、
熱応答調整部材３０による温度センサ１２の熱応答性の
低下の量も有効となり、より厳密な調整が容易となる。

【００１５】

【実施例】図１は本発明実施例の要部構造の断面図と回
路構成のブロック図を併記して示す構成図である。

【００１６】永久磁石１は例えば図中上方にＮ極、下方
にＳ極が位置するようにカップ状のヨーク２内の底面上
にその下面が固着されているとともに、その上面には円
柱状ないしは円盤状のポールピース３が固着されてお
り、これらによって磁気回路Ｍが構成され、ポールピー
ス３の外周面とこれに対向するヨーク２の内周面とで囲
まれた円筒状の空隙に静磁界が形成される。そして、こ
の静磁界内にフォースコイル４が配置されている。

【００１７】フォースコイル４は巻き枠４ａを介してビ
ーム５に固着されており、このビーム５は支点（図示せ
ず）を挟んでその一端部に、天びんにあっては測定皿
が、力測定器にあっては被測定力の負荷部が設けられる
とともに、他端部には変位センサ６が配設されてその変
位が検出されるようになっている。

【００１８】変位センサ６の出力はサーボアンプ７に導
かれ、このサーボアンプ７からビーム５の変位量に応じ
た大きさの電流がフォースコイル４に流される。この構
成により、測定皿ないしは被測定力の負荷部に荷重ない
しは力が加わると、それに応じた電流ｉがフォースコイ
ル４に流れることになり、永久磁石１による発生磁界を
Ｈ、フォースコイル４の半径および巻き数をそれぞれｒ
およびｎとしたとき、フォースコイル４を介してビーム
５にはＦ＝２πｒｎｉＨの電磁力が作用し、ビーム５の
レバー比によって何倍かに拡大されて、被測定荷重ない
しは力に抗してビーム５の変位が零になるよう自動平衡
する。

【００１９】この平衡状態においてフォースコイル４に
流れる電流ｉは、永久磁石１による磁界Ｈが一定である
限りにおいて被測定荷重ないしは力に比例することにな
り、その電流値ｉは出力抵抗Ｒで電圧信号ｅに変換さ
れ、Ａ−Ｄ変換器８でデジタル化された後にマイクロコ
ンピュータ９に採り込まれる。マイクロコンピュータ９
では、その電流値ｉのデジタル変換データを用いた演算
によって被測定荷重ないしは力を算出し、表示器１０に
表示する。

【００２０】永久磁石１、ヨーク２およびポールピース
３には、その中心部分に貫通孔１１が形成されており、
その内部に温度センサ１２が配設されている。この温度
センサ１２の出力は温度補償回路１３に供給される。温
度補償回路１３は、Ａ−Ｄ変換器８の基準電圧源８ａか
らの電圧信号を、温度センサ１２の出力に応じて変化さ
せた後に、Ａ−Ｄ変換器８の基準電圧入力端子に供給す
る。すなわち、温度補償回路１３は、永久磁石１の磁界
の温度特性が例えば−３００ｐｐｍ／°Ｃであるとする
と、温度センサ１２による温度検出値が１°Ｃ上昇する
ごとに、Ａ−Ｄ変換器８の基準電圧を＋３００ｐｐｍ／
°Ｃずつ増大させ、これにより、永久磁石１の温度が相
違することによる磁界Ｈの大きさの相違に起因する、フ
ォースコイル４の電流ｉと発生電磁力Ｆとの関係の変化
を、電流値ｉのデジタル化の際に補償し得るようになっ
ている。

【００２１】さて、温度センサ１２の周囲には、抵抗線
からなるヒータ１４が配置されており、このヒータ１４
によって温度センサ１２がフォースコイル４の発熱量に
一定の係数を乗じた熱量で加熱され、これにより、フォ
ースコイル４の発熱による永久磁石１の急激な温度変化
に追随して、温度センサ１２の出力が変化するようにな
っている。

【００２２】すなわち、ヒータ１４はバッファ１５から
供給される電力によって駆動され、バッファ１５の入力
は、フォースコイル４に流れる電流ｉを電圧化するため
の抵抗Ｒの電圧ｅが導入されている。これにより、ヒー
タ１４の発熱量（電力）Ｐ_Hは、その抵抗値をＲ_H 、バ
ッファ１５のゲインをＧとすると、

【００２３】

【数１】

【００２４】となる。一方、フォースコイル４の発熱量
Ｐ_C は、その抵抗値をＲ_C とすると、

【００２５】

【数２】

【００２６】であり、結局、温度センサ１２はフォース
コイル４の発熱量に、

【００２７】

【数３】

【００２８】なる係数αを乗じた熱量Ｐ_H によって加熱
されることになる。なお、この係数αは実験により、あ
るいは有限要素法等によって定めるが、ヒータ１４によ
る加熱量Ｐ_H は温度センサ１２と永久磁石１の熱容量の
関係によって異なるものの、フォースコイル４の発熱量
Ｐ_C の数分の一ないしは数百分の一程度の熱量となる。

【００２９】以上の構成により、フォースコイル４の発
熱によって永久磁石１の温度が上昇し、磁界Ｈが変化し
ても、温度センサ１２の出力は、その磁界Ｈが変化する
のと同程度の遅れのもとに変化することになり、つまり
永久磁石１の温度変化に遅れることなく変化し、温度補
償回路１３に供給されてＡ−Ｄ変換器８の基準電圧の大
きさに反映される。

【００３０】図２は、長時間にわたって測定皿ないしは
被測定力の負荷部に、天びんひょう量ないしはフルスケ
ールに相当する力を加えた状態を継続したときの表示値
の時間的変化を示すグラフである。この図において実線
は従来装置による比較例の特性で、Ａ、ＢおよびＣはそ
れぞれ永久磁石の熱容量が小、中および大の従来装置の
特性を示し、破線がＡと同じ熱容量のものに本発明実施
例を適用した場合の特性を示している。

【００３１】このグラフのように、本発明実施例による
とフォースコイル４に大電流が流れた状態が継続して、
その発熱によって永久磁石１が急激に加熱されても、温
度センサ１２がこれに準じて自動的に加熱され、その温
度検出出力は永久磁石１の温度変化に正しく追随して温
度補償回路１３に供される結果、表示値は殆ど変化する
ことがない。これに対し、従来装置では、永久磁石の熱
容量を大きくすることによって表示値の変化量は少なく
なるものの、その変化を完全に無くすることはできず、
しかも装置が大型化してしまう。

【００３２】ここで、このような状態から荷重ないしは
力の負荷を止めたときには、永久磁石１の温度は次第に
低下するが、この温度低下時においても、温度センサ１
２の出力はその温度低下カーブに追随して減少していく
必要がある。このようにするための対策としては、主と
して温度センサ１２とこれを収容している貫通孔１１の
寸法や形状等を、実験または有限要素法等による解析に
よって最適値に決定する等の方法を採用することができ
る。

【００３３】さて、温度センサ１２をフォースコイル４
の発熱量に一定の係数を乗じた熱量で加熱する手段とし
ては、以上の実施例のほか、例えば図３に本発明の他の
実施例の要部構成図を示すような手段を採用することが
できる。

【００３４】この例では、バッファ１５を用いず、フォ
ースコイル４に流れる電流ｉを直接ヒータ１４に流して
いる。この場合、ヒータ１４の抵抗値Ｒ_H を、フォース
コイル４の発熱量に対して最適の係数αを乗じた熱量で
発熱するように設定することにより、先の実施例と同等
の作用効果を奏することができる。

【００３５】また、図１に示す実施例におけるバッファ
１５のゲインＧを可変とし、あるいは、図３に示す実施
例におけるヒータ１４に対して、図４に示すように可変
抵抗ＶＲを並列接続し、この可変抵抗ＶＲを介してフォ
ースコイル４からの電流ｉをヒータ１４に流すように構
成することによって、前記した係数αを適宜に調整でき
るように構成することもできる。

【００３６】ところで、以上の各例では、温度センサ１
２をヒータ１４によって直接的に加熱したが、この場
合、ヒータ１４による強制加熱時の温度センサ１２の出
力変化を、フォースコイル４の発熱による永久磁石１の
温度変化に合致させるための調整に際してのパラメータ
は、永久磁石１やフォースコイル４を含む天びんの機
構、および温度センサ１２の種類等を一定とした場合、
実質的にヒータ１４の発熱量、換言すれば係数αのみと
なり、厳密な調整が困難な場合も生じる。

【００３７】この調整の困難性を改善することのできる
構成を、図５に全体構成図（Ａ）およびその温度センサ
１２近傍の拡大斜視図（Ｂ）で示す。なお、この図５に
おいては、図１まはた図３に示した例における各部材ま
たは回路のうち、同等の部材または回路については図１
または図３と同一の符号を付しており、これらについて
はその詳細な説明は省略する。

【００３８】図５の例における特徴は、温度センサ１２
とヒータ１４との間に、ヒータ１４の熱に対する温度セ
ンサ１２の熱応答性を調整するための熱応答調整部材３
０を介在させた点にある。

【００３９】すなわち、この例においては、永久磁石
１、ヨーク２およびポールピース３の各中心部に穿たれ
た貫通孔１１の内部、つまり磁気回路Ｍの略中央部に温
度センサ１２が配置されており、その温度センサ１２の
周囲が筒状の熱応答調整部材３０で覆われているととも
に、その熱応答調整部材３０の外周にヒータ１４が巻回
されている。

【００４０】ヒータ１４には、図３の例と同様にフォー
スコイル４に流れる電流ｉが直接流され、その電流ｉが
流れることによってヒータ１４が発熱し、その熱が熱応
答調整部材３０を介して温度センサ１２を強制的に加熱
するようになっている。

【００４１】この構成によると、ヒータ１４に電流ｉが
流れることによって発生する熱に対する温度センサ１２
の熱応答性が、熱応答調整部材３０の熱容量ないしは熱
伝導度等に応じて低下することになる。そしてこの図５
の例では、電流ｉが流れることによるヒータ１４の発熱
量は、図３に示した例に比して若干多く設定され、これ
により、熱応答調整部材３０が存在しない状態では、フ
ォースコイル４に電流ｉが流れることによる永久磁石１
の温度上昇よりも、温度センサ１２の出力が早く上昇し
てしまうことになるが、熱応答調整部材３０は、これら
が一致するように温度センサ１２の熱応答性を低下させ
るように機能する。

【００４２】この熱応答調整部材３０は、その材質とし
ては銅、黄銅、アルミニウム、あるいはプラスチック
等、特に磁気回路Ｍが作る磁界に大きな影響を与えない
ものであれば任意の材質とすることができ、その材質の
持つ熱容量、熱伝導度等に応じて、天びんの品種（全体
構造並びに各部材の形状・寸法等）ごとに、あらかじめ
実験的にその大きさ等が決定される。

【００４３】図６はその熱応答調整部材３０の選定手法
の説明図である。この図は、測定皿ないしは力負荷部に
当該測定器のフルスケールに近い大きな荷重ないしは力
を負荷した状態での、表示値の経時的変化を横軸を時間
軸で表すグラフである。

【００４４】この図６に示すように、熱応答調整部材３
０が小さすぎた場合には、ヒータ１４の発熱による温度
センサ１２の出力の応答が、フォースコイル４からの熱
による永久磁石１の熱応答よりも早く、フォースコイル
４の発熱によるスパン変化は過補償され、表示値が経時
的に小さくなる。一方、熱応答調整部材３０が大きすぎ
ると、ヒータ１４の発熱による温度センサ１２の応答
が、フォースコイル４からの熱による永久磁石１の熱応
答よりも遅くなり、この場合にはスパン変化に対する補
償不足によって表示値は経時的に大きくなる。最適な大
きさの熱応答調整部材３０を装着した場合には、フォー
スコイル４の発熱にも関わらずスパン変化が生じず、こ
れは、ヒータ１４の発熱による温度センサ１２の応答が
フォースコイル４からの熱による永久磁石１の熱応答と
合致していることを示すものであり、熱応答調整部材３
０はこのような実線で示すグラフが得られるよう、その
材質の持つ熱容量と熱伝導度に関連して最適な大きさを
選定することができる。

【００４５】ここで、以上はフォースコイル４の発熱量
に対するヒータ１４の発熱量の割合、つまり係数αを一
定として熱応答調整部材３０を選定した例を示している
が、係数αを変化させると図６のグラフは当然変化す
る。従って、図５の実施例の調整に際しては、熱応答調
整部材３０の大きさ（材質等を含む）と、係数αとの２
つのパラメータを用いて調整を行うことができ、図１な
いしは図３に示した実施例に比して調整の自由度が増え
る結果、厳密な調整が容易となる。

【００４６】なお、図５に示した実施例において、荷重
または力の負荷を止めたときの永久磁石１の温度低下時
において、温度センサ１２の出力をこれに追随して低下
させていくための対策としては、図１の例において述べ
たように温度センサ１２とこれを収容する貫通孔１１の
寸法や形状等のほか、熱応答調整部材３０の寸法・形状
等を、実験または有限要素法等による解析で最適値に決
定する等の方法を採用することができる。

【００４７】また、図５に示した実施例においても、ヒ
ータ１４に流すべき電流を、図１の例と同様のバッファ
１５を介して供給するように構成することができる。こ
の場合、図５に示した例に比してヒータ１４の発熱量を
より微細に調整することが可能となり、熱応答調整部材
３０の調整と併せてより正確な調整が可能となる。

【００４８】更に、そのバッファ１５のゲインＧを可変
としたり、あるいはバッファ１５を使用しない場合に
は、図４に例示したように、ヒータ１４に対して可変抵
抗ＶＲを並列接続し、その可変抵抗ＶＲを介してフォー
スコイル４からの電流ｉをヒータ１４に流すように構成
することによって、係数αを随時に変更できるようにす
ることができる。

【００４９】ここで、図５の実施例における熱応答調整
部材３０の支持方法として、リード線により支持された
温度センサ１２に熱応答調整部材３０を固定するほか、
図７に要部断面図を示すように、ポールピース３に熱応
答調整部材３０を固定するようにしてもよい。熱応答調
整部材３０をポールピース３に固定すると、永久磁石１
の温度が伝達されやすくなり、磁石１の温度と熱応答調
整部材３０、ひいては温度センサ１２の温度差が小さく
なって望ましい。

【００５０】なお、磁気回路Ｍの構造としては、以上の
各実施例のような構造のほかに各種の構造が考えられ、
本発明はその磁気回路Ｍの構造についは何ら限定される
ことはない。その一例を図８に要部断面図で示す。この
例では、ポールピース８３の上下両端面のそれぞれに永
久磁石８１ａおよび８１ｂをＮ，Ｓ極を互いに逆転させ
て配置し、その全体をヨーク８２内に収容している。そ
して、フォースコイル８４を巻き枠８４ａを介してポー
ルピース８３とヨーク８２との間の筒状空隙に配置して
いる。

【００５１】また、以上の各実施例では、温度センサ１
２の出力を、Ａ−Ｄ変換器８の基準電圧を変化させる温
度補償回路１３に供給してハード的に温度補償を行う例
について述べたが、これに代えて、温度センサ１２の出
力をデジタル化してマイクロコンピュータ９に採り込
み、その温度データに基づき、Ａ−Ｄ変換器８を介して
採り込まれた電流ｉのデジタル変換データを公知の演算
により補償することもでき、あるいは、このようなソフ
ト的な補償とハード的な補償とを組み合わせてもよい。

【００５２】更に、図９に要部構成図を例示するよう
に、前記した図１および図５をはじめとする各実施例で
示したようなヒータ１４によって強制加熱される温度セ
ンサ１２に加えて、加熱されない温度センサ２０を適宜
箇所に配置し、この温度センサ２０によって環境温度測
定を行わせるとともに、温度センサ１２によってフォー
スコイル４の発熱時における過渡的な温度変化を測定し
て、これらの両センサ２０，１２の出力を重み付け加算
回路２１によって適当な重みを付けて加算し、その加算
後の出力を温度補償回路１３に供給するか、あるいはこ
れをデジタル化した後にソフト的な補償演算に供するよ
うにしてもよい。

【００５３】なお、以上の各例において、ヒータ１４は
熱容量が小さいものでよく、また、磁石内部ないしは近
傍に設けるから、磁界を発生しないよう無誘導巻きにす
るかフィルム状のものを使用することが望ましい。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
温度補償に供すべく永久磁石の近傍に置かれる温度セン
サを、フォースコイルの発熱量に一定の係数を乗じた熱
量で強制加熱するように構成しているので、フォースコ
イルの発熱により永久磁石が加熱されてその発生磁界が
急激に変化しても、温度センサの出力はこれに追随して
変化することになり、従来装置では補償できなかった過
渡的な磁界変化をも確実に補償することが可能となり、
表示値のクリープ現象的な変動を防止することができ
る。このことは、熱容量の小さい、従って小型の永久磁
石や、温度係数の大きい磁石を用いても、表示値のクリ
ープ現象的変化のない電磁式の天びんや力測定器を得る
ことが可能となることを意味し、装置の小型化ないしは
低コスト化を達成することができる。また、同一寸法の
永久磁石を用いる場合には、本発明の採用によってより
高精度（ひょう量ないしはフルスケール値と最小表示値
の日野大きい）の天びんないしは力測定器を得ることが
できる。

【００５５】また、温度センサとこれを強制加熱するた
めの熱源との間に、温度センサの熱応答性を調整するた
めの熱応答調整部材を介在させる構成を採用することに
より、温度センサの出力と永久磁石の温度変化とを合致
させるための調整時に採用可能なパラメータが増加する
ことになり、調整の自由度が増して、より厳密な調整を
容易に行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明実施例の要部構造の断面図と回路構成の
ブロック図とを併記して示す構成図

【図２】図１の実施例の作用説明図

【図３】本発明の他の実施例の要部構成図

【図４】本発明の更に他の実施例の要部構成図

【図５】熱応答調整部材を用いた実施例の要部構造の断
面図と回路構成のブロック図とを併記して示す構成図

【図６】図５の実施例の熱応答調整部材３０の選定手法
を説明するためのグラフ

【図７】熱応答調整部材を用いた本発明の他の実施例の
要部構造の断面図

【図８】本発明の各実施例を適用可能な磁気回路Ｍの他
の構成例を示す断面図

【図９】環境温度測定用の温度センサを個別に設けた本
発明の更にまた他の実施例の要部構成図

【符号の説明】

１ 永久磁石 ２ ヨーク ３ ポールピース ４ フォースコイル ５ ビーム ６ 変位センサ ７ サーボアンプ ８ Ａ−Ｄ変換器 ８ａ 基準電圧源 ９ マイクロコンピュータ １１ 貫通孔 １２ 温度センサ １３ 温度補償回路 １４ ヒータ １５ バッファ ３０ 熱応答調整部材 Ｍ 磁気回路

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 永久磁石による磁界中に置かれたフォー
   スコイルに電流を流すことによって発生する電磁力を、
   被測定荷重または力と釣り合わせ、その釣り合い状態で
   上記フォースコイルに流れる電流の大きさから被測定荷
   重または力を測定する装置において、上記永久磁石の近
   傍に、当該永久磁石の温度補償手段に対して温度データ
   を供給するための温度センサが設けられているととも
   に、上記フォースコイルの発熱量に一定の係数を乗じた
   熱量で上記温度センサを加熱する加熱手段を備えている
   ことを特徴とする電磁式の天びんまたは力測定器。
2. 【請求項２】 上記温度センサが永久磁石を含む磁気回
   路の略中央部に配置されているとともに、この温度セン
   サと上記加熱手段の熱源との間には、その熱源からの熱
   に対する当該温度センサの熱応答性を調整するための熱
   応答調整部材が配設されていることを特徴とする請求項
   １に記載の電磁式の天びんまたは力測定器。