JPH07117513B2 - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサInfo
- Publication number
- JPH07117513B2 JPH07117513B2 JP60266950A JP26695085A JPH07117513B2 JP H07117513 B2 JPH07117513 B2 JP H07117513B2 JP 60266950 A JP60266950 A JP 60266950A JP 26695085 A JP26695085 A JP 26695085A JP H07117513 B2 JPH07117513 B2 JP H07117513B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sensor
- elements
- detection
- gas sensor
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、調理器たとえば電子レンジに用いるガスセ
ンサに関する。
ンサに関する。
一般に、調理器たとえば電子レンジにあっては、食品か
ら放散するガスを検知するガスセンサを備え、このガス
センサの出力によって食品の種類を自動判別し、その食
品の種類に対応する最適な調理を行なうようにしたもの
がある。
ら放散するガスを検知するガスセンサを備え、このガス
センサの出力によって食品の種類を自動判別し、その食
品の種類に対応する最適な調理を行なうようにしたもの
がある。
このような電子レンジにおいては、ガスセンサとしてた
とえばアルコール系のガスに対する選択性（感度）の良
いものを使用し、食品から放散するガスがアルコール系
であるか否かを検出することによって食品の種類を判別
するようにしている。
とえばアルコール系のガスに対する選択性（感度）の良
いものを使用し、食品から放散するガスがアルコール系
であるか否かを検出することによって食品の種類を判別
するようにしている。
しかしながら、ガスセンサがアルコール系のガスだけに
反応するとは言切れないのが実状であり、それ以外のガ
スたとえば一酸化炭素（CO）にも反応することがある。
この場合、当然ながら食品の種類判別に誤りを生じるこ
とになり、調理の出来具合に悪影響を及ぼしてしまう。
反応するとは言切れないのが実状であり、それ以外のガ
スたとえば一酸化炭素（CO）にも反応することがある。
この場合、当然ながら食品の種類判別に誤りを生じるこ
とになり、調理の出来具合に悪影響を及ぼしてしまう。
この発明は上記のような事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、特定のガスに対してのみ大き
く反応し得る選択性の良好なガスセンサを提供すること
にある。
その目的とするところは、特定のガスに対してのみ大き
く反応し得る選択性の良好なガスセンサを提供すること
にある。
この発明は、基板上の複数箇所に配設された同一種類の
酸化物半導体からなる複数の素子と、これら複数の素子
のそれぞれに塗布され被検知ガス雰囲気中での特定のガ
スに対する検知度が異なると共に他のガスの検知度が同
程度である種類の触媒とからなる複数のセンサ素子を設
け、前記複数のセンサ素子からの出力差に基づいて前記
特定のガスを検出するように構成したものであり、これ
により、被検知ガス雰囲気中での各センサ素子の検出出
力は特定のガスに対してのみ検出出力が異なると共に他
のガスについては同定度の検出出力となるので、それら
の出力差を求めることにより、他のガスに対する検出出
力の成分をキャンセルして特定のガスについてのみ大き
く反応する検出出力を得ることができる。
酸化物半導体からなる複数の素子と、これら複数の素子
のそれぞれに塗布され被検知ガス雰囲気中での特定のガ
スに対する検知度が異なると共に他のガスの検知度が同
程度である種類の触媒とからなる複数のセンサ素子を設
け、前記複数のセンサ素子からの出力差に基づいて前記
特定のガスを検出するように構成したものであり、これ
により、被検知ガス雰囲気中での各センサ素子の検出出
力は特定のガスに対してのみ検出出力が異なると共に他
のガスについては同定度の検出出力となるので、それら
の出力差を求めることにより、他のガスに対する検出出
力の成分をキャンセルして特定のガスについてのみ大き
く反応する検出出力を得ることができる。
以下、この発明一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図および第２図に示すように、アルミナ基板１の一
方の面に酸化物半導体（たとえば酸化第二スズSnO2）２
を取付け、かつ他方の面に素子加熱用のヒータ３を取付
ける。上記酸化物半導体２は、全体の二つの素子2a,2b
に分離したもので、素子2aに電極４、素子2bに電極５を
取付け、さらに素子2a,2bに対して共通のコモン電極６
を取付ける。そして、素子2a上に触媒（たとえばRt−Rh
−Al2O3）７を塗布し、素子2b上に触媒（たとえばＷ−C
u−Al2O3）８を塗布する。すなわち、素子2aおよび触媒
７を主体としてセンサ素子Ａを形成し、素子2bおよび触
媒８を主体としてセンサ素子Ｂを形成している。
方の面に酸化物半導体（たとえば酸化第二スズSnO2）２
を取付け、かつ他方の面に素子加熱用のヒータ３を取付
ける。上記酸化物半導体２は、全体の二つの素子2a,2b
に分離したもので、素子2aに電極４、素子2bに電極５を
取付け、さらに素子2a,2bに対して共通のコモン電極６
を取付ける。そして、素子2a上に触媒（たとえばRt−Rh
−Al2O3）７を塗布し、素子2b上に触媒（たとえばＷ−C
u−Al2O3）８を塗布する。すなわち、素子2aおよび触媒
７を主体としてセンサ素子Ａを形成し、素子2bおよび触
媒８を主体としてセンサ素子Ｂを形成している。
そして、このように構成したガスセンサを実際に使用す
る場合、第３図に示すようなユニット回路を構成する。
る場合、第３図に示すようなユニット回路を構成する。
センサ素子Ａ（電極4,6間）に抵抗11を介して直流定電
圧Vdを印加するとともに、センサ素子Ｂ（電極5,6間）
に抵抗12を介して直流定電圧Vdを印加する。さらに、ヒ
ータ３に直流電源13を接続する。
圧Vdを印加するとともに、センサ素子Ｂ（電極5,6間）
に抵抗12を介して直流定電圧Vdを印加する。さらに、ヒ
ータ３に直流電源13を接続する。
そして、センサ素子Ａおよび抵抗11の相互接続点Saに生
じる電圧とセンサ素子Ｂおよび抵抗12の相互接続点Sbに
生じる電圧との差Vabを出力とする。
じる電圧とセンサ素子Ｂおよび抵抗12の相互接続点Sbに
生じる電圧との差Vabを出力とする。
ここで、センサ素子A,Bの特性を第４図に示す。
センサ素子Ａはアルコール系のガスに対して感度が鈍
く、逆にセンサ素子Ｂはアルコール系のガスに対して感
度が良い。また、一酸化炭素等のアルコール系以外のガ
スに対してはセンサ素子A,Bはほぼ同等の感度をもって
いる。
く、逆にセンサ素子Ｂはアルコール系のガスに対して感
度が良い。また、一酸化炭素等のアルコール系以外のガ
スに対してはセンサ素子A,Bはほぼ同等の感度をもって
いる。
したがって、電子レンジで実際に調理を行なっていると
き、食品からアルコール系のガスが放散すると、センサ
素子Ａの抵抗はほぼ一定であるが、センサ素子Ｂの抵抗
はガス量の増加に伴って大きく低下する。よって、接続
点Saに生じると電圧と接続点Sbに生じる電圧との差Vab
は第５図に示すようにガス量の増加に伴って大きく上昇
する。一方、食品から一酸化炭素等のアルコール系以外
のガスが放散した場合、センサ素子Ａの抵抗とセンサ素
子Ｂの抵抗はほとんど同じとなる。よって、接続点Saに
生じる電圧と接続点Sbに生じる電圧との差Vabは零に近
い値となる。
き、食品からアルコール系のガスが放散すると、センサ
素子Ａの抵抗はほぼ一定であるが、センサ素子Ｂの抵抗
はガス量の増加に伴って大きく低下する。よって、接続
点Saに生じると電圧と接続点Sbに生じる電圧との差Vab
は第５図に示すようにガス量の増加に伴って大きく上昇
する。一方、食品から一酸化炭素等のアルコール系以外
のガスが放散した場合、センサ素子Ａの抵抗とセンサ素
子Ｂの抵抗はほとんど同じとなる。よって、接続点Saに
生じる電圧と接続点Sbに生じる電圧との差Vabは零に近
い値となる。
しかして、電子レンジの制御部は、電圧信号Vabのレベ
ルが大きければガスがアルコール系であると判定し、そ
の判定結果に基づいて食品の種類を判別する。また、電
圧信号Vabのレベルが零に近ければガスがアルコール系
以外のものであると判定し、その判定結果に基づいて食
品の種類を判別する。
ルが大きければガスがアルコール系であると判定し、そ
の判定結果に基づいて食品の種類を判別する。また、電
圧信号Vabのレベルが零に近ければガスがアルコール系
以外のものであると判定し、その判定結果に基づいて食
品の種類を判別する。
このように、特定のガスたとえばアルコール系に対して
のみ大きく反応する選択性の良好なガスセンサを得るこ
とができ、よって電子レンジにおける食品の種類判別が
的確となり、常に良好な出来具合の調理を行なうことが
できる。特に、センサ素子A,Bを一つのパッケージ内に
形成するものであるから、二つのガスセンサを設ける場
合に比べてコストを安くすることができる。しかも、周
囲の温度や湿度の変化に対しては、センサ素子A,Bが同
じように抵抗変化して互いにキャンセルし合うという利
点がある。
のみ大きく反応する選択性の良好なガスセンサを得るこ
とができ、よって電子レンジにおける食品の種類判別が
的確となり、常に良好な出来具合の調理を行なうことが
できる。特に、センサ素子A,Bを一つのパッケージ内に
形成するものであるから、二つのガスセンサを設ける場
合に比べてコストを安くすることができる。しかも、周
囲の温度や湿度の変化に対しては、センサ素子A,Bが同
じように抵抗変化して互いにキャンセルし合うという利
点がある。
なお、全体の形状としては上記実施例に限定されるもの
ではなく、たとえば第６図に示すように円筒状のセラミ
ック基板１′を使用して構成してもよい。また、二つの
センサ素子を形成したが、種々の触媒を使用することに
よって三つまたはそれ以上の数のセンサ素子を形成する
ようにしてもよい。さらに、アルコール系のガスに対す
る選択性を良くしたが、触媒の組合わせによりアルコー
ル系以外のガスに対する選択性を良くすることも可能で
ある。
ではなく、たとえば第６図に示すように円筒状のセラミ
ック基板１′を使用して構成してもよい。また、二つの
センサ素子を形成したが、種々の触媒を使用することに
よって三つまたはそれ以上の数のセンサ素子を形成する
ようにしてもよい。さらに、アルコール系のガスに対す
る選択性を良くしたが、触媒の組合わせによりアルコー
ル系以外のガスに対する選択性を良くすることも可能で
ある。
以上述べたようにこの発明によれば、基板上に形成する
複数のセンサ素子を、同一種類の酸化物半導体からなる
素子のそれぞれに、被検知ガス雰囲気中での特定のガス
に対する検知度が異なると共に他のガスの検知度が同程
度である種類の触媒を塗布して設けることにより構成
し、これら複数のセンサ素子からの出力差に基づいて特
定のガスを検出するように構成したので、被検知ガス雰
囲気中での各センサ素子の検出出力は特定のガスに対し
てのみ検出出力が異なると共に他のガスについては同定
度の検出出力となるので、それらの出力差を求めること
により、他のガスに対する検出出力の成分をキャンセル
して特定のガスについてのみ大きく反応する検出出力を
得ることができ、しかも、それらのセンサ素子を同一基
板上に形成しているので、簡単且つ安価に成し得ると共
に、周囲の温度や湿度の変化に対しても同じ条件の下で
同等に変化させることができることからそれらの変化分
もキャンセルして正確な検出出力を得ることができると
いう優れた効果を奏する。
複数のセンサ素子を、同一種類の酸化物半導体からなる
素子のそれぞれに、被検知ガス雰囲気中での特定のガス
に対する検知度が異なると共に他のガスの検知度が同程
度である種類の触媒を塗布して設けることにより構成
し、これら複数のセンサ素子からの出力差に基づいて特
定のガスを検出するように構成したので、被検知ガス雰
囲気中での各センサ素子の検出出力は特定のガスに対し
てのみ検出出力が異なると共に他のガスについては同定
度の検出出力となるので、それらの出力差を求めること
により、他のガスに対する検出出力の成分をキャンセル
して特定のガスについてのみ大きく反応する検出出力を
得ることができ、しかも、それらのセンサ素子を同一基
板上に形成しているので、簡単且つ安価に成し得ると共
に、周囲の温度や湿度の変化に対しても同じ条件の下で
同等に変化させることができることからそれらの変化分
もキャンセルして正確な検出出力を得ることができると
いう優れた効果を奏する。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す図、第２図は
第１図のＸ−Ｘ′線断面を矢印方向に見た図、第３図は
同実施例のユニット回路の構成を示す図、第４図は同実
施例における各センサ素子の特性を示す図、第５図は同
実施例における出力の状態を示す図、第６図は同実施例
の変形例の構成を示す図である。 １……アルミナ基板、２……酸化物半導体、３……ヒー
タ、7,8……触媒、A,B……センサ素子。
第１図のＸ−Ｘ′線断面を矢印方向に見た図、第３図は
同実施例のユニット回路の構成を示す図、第４図は同実
施例における各センサ素子の特性を示す図、第５図は同
実施例における出力の状態を示す図、第６図は同実施例
の変形例の構成を示す図である。 １……アルミナ基板、２……酸化物半導体、３……ヒー
タ、7,8……触媒、A,B……センサ素子。
Claims (3)
- 【請求項１】基板上の複数箇所に配設された同一種類の
酸化物半導体からなる複数の素子と、これら複数の素子
のそれぞれに塗布され被検知ガス雰囲気中での特定のガ
スに対する検知度が異なると共に他のガスの検知度が同
程度である種類の触媒とからなる複数のセンサ素子を設
け、 前記複数のセンサ素子からの出力差に基づいて前記特定
のガスを検出するように構成されていることを特徴とす
るガスセンサ。 - 【請求項２】酸化物半導体はSnO2であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のガスセンサ。 - 【請求項３】触媒は、白金（Pt）＋ロジュウム（Rh）−
アルミナ（Al2O3）系のものとタングステン（Ｗ）−銅
（Cu）−アルミナ（Al2O3）系のものとの二種類である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記
載のガスセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60266950A JPH07117513B2 (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60266950A JPH07117513B2 (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | ガスセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62126341A JPS62126341A (ja) | 1987-06-08 |
| JPH07117513B2 true JPH07117513B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=17437938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60266950A Expired - Lifetime JPH07117513B2 (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07117513B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3729286A1 (de) * | 1987-09-02 | 1989-03-16 | Draegerwerk Ag | Messgeraet zur analyse eines gasgemisches |
| JPS6486052A (en) * | 1987-09-29 | 1989-03-30 | Osaka Gas Co Ltd | Gas sensor |
| JP2007017426A (ja) * | 2005-06-06 | 2007-01-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 大気中の一酸化炭素や炭化水素の濃度を検出するガスセンサ |
| JP2007017217A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | 薄膜ガスセンサ |
| JPWO2022239551A1 (ja) * | 2021-05-12 | 2022-11-17 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50138997U (ja) * | 1974-05-01 | 1975-11-15 | ||
| JPS50138998U (ja) * | 1974-05-01 | 1975-11-15 | ||
| JPS5729925Y2 (ja) * | 1977-08-01 | 1982-06-30 | ||
| JPS5938641A (ja) * | 1982-08-27 | 1984-03-02 | Toshiba Corp | ガス検知素子 |
| JPS60149957A (ja) * | 1984-01-17 | 1985-08-07 | Toshiba Corp | 感ガス素子 |
| JPS60188368U (ja) * | 1984-05-23 | 1985-12-13 | 新日本無線株式会社 | ガス検知装置 |
-
1985
- 1985-11-27 JP JP60266950A patent/JPH07117513B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62126341A (ja) | 1987-06-08 |
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