JPH07116613A - 洗浄装置のブラシ回転駆動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明の目的は、洗浄装置、特にガラス基板を
洗浄対象物とする洗浄装置のディスク型ブラシ部におい
て、ブラシ高さを任意に微調節でき、簡素な構造である
ブラシ回転駆動機構を提供することにある。 【構成】回転軸は二重構造となっていて、ブラシを回転
させるための筒軸２の内側にはブラシ高さを調節するた
めの中軸１がある。筒軸２はトルク伝達片７によりブラ
シ部８へ回転駆動を与え、中軸１はネジ部４により軸心
方向に螺進可能でブラシ部８とは面で当接している。そ
の中軸１の他端は押しネジ６で固定できるカラー３のみ
の構成であり、カラー３には目盛を振っておくことによ
り中軸１のねじ込み量すなわちブラシ高さを知る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基板，シリコン
基板を洗浄対象物とした洗浄装置に係り、ディスクブラ
シを用いた擦り洗浄を行う洗浄装置のブラシ高さ調節機
構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の技術では、実開平4−96844号公報
記載のように、ブラシ部に回転を伝える回転軸そのもの
を上下することによりブラシ高さを調節する。その為部
品の数がかなり多く複雑な機構でありメンテ性低下，調
整作業に時間かかるなどの問題がある。又、ピンとピン
孔の嵌合により回転軸とその外側の筒軸が固定されるた
め、ピンとピン孔の嵌入位置以外での固定はできず、ピ
ン孔のピッチ角度以外での固定で得られるブラシ高さに
は調節できない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記の従来の機構で
は、複雑な構造となっているが、メンテ性向上，調整作
業の容易化のため簡素な構造が望ましい。又、ブラシ高
さを任意に調節できないという問題があった。

【０００４】本発明の目的は、回転伝達の為の部品と高
さ調節の為の部品とを明確に分離し、構造を簡素化し部
品点数を減らし、更に、ブラシ高さを任意に変更できる
構造にすることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明では、ブラシに回
転を与える回転軸を二重構造とし、回転伝達とブラシ高
さ調節の働きを分離した。又、ブラシ高さを調節するこ
とを目的とする部品は、中軸，中軸と一体となって回転
できるカラー、及びその中軸を固定させるための押しネ
ジのみとした。

【０００６】

【作用】図１に示すように、筒軸２はプーリー５から伝
えられた回転力をブラシ部８に伝達する。中軸１は、回
転操作することにより筒軸２内を上下しブラシ部８を上
下させる。又、カラー３の目盛により押し込み量を読む
ことができるが、360°を等分した目盛を振っておけば
ネジ部４のピッチの大きさと回転操作の回転角により、
押し込み量すなわちブラシ高さを知ることができる。

【０００７】

【実施例】以下本発明の一実施例を図１，図２により説
明する。

【０００８】図１において、回転軸は中軸１と筒軸２に
より構成している。プーリー５よりの回転力は、キー１
１，ベアリング９により支持された筒軸２、及びトルク
伝達片７によって、ブラシ部８へ伝えられる。

【０００９】中軸１は、ネジ部４により筒軸２内を上下
できるよう結合されている。中軸２のプーリー５側端部
にはカラー３を設置し、押しネジ６により筒軸２に固定
する。他端はブラシ部と平面で当接している。

【００１０】ブラシ高さを操作するときは、中軸１を回
転操作する。中軸１が押し込まれるとブラシ部８との当
接面１２がブラシ部８を押し、ブラシを下げることがで
きる。その際、ブラシ部８は、中軸１を押し込んだ向き
と逆向きにバネ１３の弾性力を受けているので、逆に中
軸１を引き込んだ場合でも当接面１２は離れることはな
い。つまり中軸１を上下させたときブラシはそれに追従
しているのである。

【００１１】ブラシを回転させるための回転力は、プー
リー５よりキー１１を介して筒軸２へ伝わり、トルク伝
達片７によりブラシ部８へ伝えられる。中軸１は直接回
転力を伝える働きをしないので負荷は小さく、中軸１は
押しネジ６により筒軸２に固定するだけでよい。

【００１２】図２において、カラー３に目盛１０を振る
ことにより中軸１を押し込んだときの押し込み量を知る
ことができる。目盛１０は３６０°をｎ等分して振って
おけばピッチの大きさｐとの関係より、一目盛ｐ／ｎと
なり、カラー３の回転から中軸１の押し込み量すなわち
ブラシ高さを得ることができる。例えば、目盛を３６０
°毎に振っておけば、ピッチが１の場合一目盛当り０.
１mm となる。更に細かい目盛を振れば、それ以下の微
調節ができる。

【００１３】以上の構造であれば、中軸１，カラー３，
押しネジ６及びカラー３固定の為のネジのみでブラシ高
さ調節を行うことができ、複雑な構造，多数の部品を必
要とせずに、任意の位置に調節できる。

【００１４】

【発明の効果】本発明により、ブラシ高さを調節するた
めの軸の固定は軽い保持力ですむため構造を簡素化する
ことができメンテ性・作業性が良く、更に、ブラシ高さ
は任意に調節でき微調整が行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるブラシ回転駆動機構の
断面図である。

【図２】本発明の一実施例であるブラシ回転駆動機構の
斜視図である。

【符号の説明】

１…中軸、２…筒軸、３…カラー、４…ネジ部、５…プ
ーリー、６…押しネジ、７…トルク伝達片、８…ブラシ
部、９…ベアリング、１０…目盛、１１…キー、１２…
当接面、１３…バネ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転軸端のトルク伝達片と嵌合しその嵌合
   を弾性部材により保持しながら回転力を得ているディス
   ク型ブラシを、被洗浄物に当接させ擦り洗浄を行う洗浄
   装置において、ブラシ部に回転を伝える回転軸を外側の
   筒軸と内側の中軸の二重回転軸とし、軸心方向固定の筒
   軸は回転力を伝え、軸心方向に移動可能な中軸はブラシ
   高さを調節する働きを持つ構造であることを特徴とする
   洗浄装置のブラシ回転駆動機構。
2. 【請求項２】請求項１の洗浄装置のブラシ回転駆動機構
   の、二重回転軸のブラシ側端部において、内側の中軸は
   ブラシ部と面で当接し前述弾性部材により保持され、外
   側の筒軸はトルク伝達片により回転を伝達する構造であ
   ることを特徴とする洗浄装置のブラシ回転駆動機構。
3. 【請求項３】請求項１又は２の洗浄装置のブラシ回転駆
   動機構の、二重回転軸の前述ブラシ側と逆側端部におい
   て、中軸はネジ部により筒軸と接合し筒軸内を螺進可能
   で、更に端部に有するカラーと筒軸とを押しネジで固定
   され筒軸と同回転を得る構造であり、プーリーよりの回
   転力を筒軸へ伝える構造であることを特徴とする洗浄装
   置のブラシ回転駆動機構。