JPH07116558B2 - Fe-Ni alloy thin plate for shadow mask and method for manufacturing the same - Google Patents

Fe-Ni alloy thin plate for shadow mask and method for manufacturing the same

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JPH07116558B2
JPH07116558B2 JP2210242A JP21024290A JPH07116558B2 JP H07116558 B2 JPH07116558 B2 JP H07116558B2 JP 2210242 A JP2210242 A JP 2210242A JP 21024290 A JP21024290 A JP 21024290A JP H07116558 B2 JPH07116558 B2 JP H07116558B2
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rolling
annealing
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正行 木下
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Description

【発明の詳細な説明】 「発明の目的」 (産業上の利用分野) 本発明はシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板およびその製
造方法に係り、カラーテレビブラウン管のシャドウマス
クを製造するためのFe−Ni系合金薄板においてエッチン
グ穿孔性が優れ、特に穿孔時のムラ発生を防止し、かつ
穿孔後のフラットマスクを焼鈍するときの密着焼付を防
止し適切な製品を得るための技術に関するものである (従来の技術) 近年、カラーテレビの高品位化に伴い、色ずれの問題に
対応できる低熱膨脹のシャドウマスク材料としてFe−Ni
系のインバータ合金が注目されているが、この合金は従
来の低炭素鋼によるシャドウマスク材に比し、エッチン
グ穿孔時におけるフラットマスクのムラ発生および穿孔
後のフラットマスクを焼鈍するときに密着焼付性が著し
い。
The present invention relates to a Fe—Ni alloy thin plate for a shadow mask and a method for manufacturing the same, and Fe-for manufacturing a shadow mask for a color television cathode ray tube. It relates to a technology for obtaining an appropriate product by excellent etching piercing property in a Ni-based alloy thin plate, particularly preventing unevenness during piercing, and preventing adhesion baking when annealing a flat mask after piercing ( (Prior Art) Fe-Ni is used as a shadow mask material with low thermal expansion that can cope with the problem of color misregistration as color televisions become higher in quality in recent years.
Inverter alloys of the series have been attracting attention, but this alloy is more likely to produce unevenness in the flat mask during etching perforation and adhesion bakeability when the flat mask after perforation is annealed, as compared with conventional shadow mask materials made of low carbon steel. Is remarkable.

これらのうち、前者の問題を解決すべく、特開昭61−
39344号公報,特開昭62−243780号公報,同243781
号公報および同243782号公報が提案されている。
Among these, in order to solve the former problem, JP-A-61-
39344, JP-A-62-243780, and 243781.
No. 243782 and No. 243782 are proposed.

即ちはシャドウマスク用素材の表面粗さ(中心線平均
粗さRa)を0.1〜0.4μmとすることにより開孔形状の規
則性および開孔のシャドウマスク全体における均一性を
得ている。又はシャドウマスク用素材の表面粗度(R
a)を0.2〜0.7μm,Sm(基準長さ内における表面粗度を
示す断面曲線の凹凸間隔平均値)を100μmn以下、結晶
粒度を粒度番号で8.0以上とすることによりエッチング
穿孔後のムラ品位の高いマスクを提供している。更に
は前記の規定に加えてRe(透過孔径α1/エッチング孔
径α)を0.9以上とすることによりエッチング穿孔後
のムラ品位の高いマスクを提供している。なおはエッ
チング素材の集合組織を強冷延−再結晶焼鈍によって集
積させ、且つ結晶粒度を粒度番号で8.0以上とし、その
後に前記に記載の表面粗度への調整をダルロールによ
る冷間加工度を3〜15%としてエッチング穿孔後のムラ
品位の高いマスクを製造しようとするものである。
That is, the surface roughness (center line average roughness Ra) of the shadow mask material is set to 0.1 to 0.4 μm to obtain the regularity of the aperture shape and the uniformity of the aperture in the entire shadow mask. Or the surface roughness (R
a) 0.2 to 0.7 μm, Sm (average value of the unevenness of the cross-sectional curve showing the surface roughness within the standard length) is 100 μmn or less, and the grain size is 8.0 or more in terms of grain size number. We offer high-quality masks. Further, in addition to the above-mentioned regulation, Re (transmission hole diameter α 1 / etching hole diameter α 2 ) is set to 0.9 or more to provide a mask having high unevenness after etching perforation. Note that the texture of the etching material is integrated by strong cold rolling-recrystallization annealing, and the crystal grain size is 8.0 or more in the grain size number, and then the surface roughness described above is adjusted to the cold workability by the dull roll. It is intended to manufacture a mask with high unevenness after etching perforation with 3 to 15%.

一方上記した後者の問題を解決するに好ましい提案はな
されていない。
On the other hand, no preferable proposal has been made to solve the latter problem described above.

即ち特開昭62−238003号公報の如き従来の低炭素鋼フ
ラットマスクの焼鈍時密着焼付を表面粗度の適正化、即
ちRaを0.2〜2.0μmで、Rsk(粗さ曲線の高さ方向にお
ける偏りの指標)を0以上とするような提案はみられる
としてもFe−Ni系インバー合金の強度は低炭素鋼に比し
て高く、その曲面プレス前の焼鈍温度は低炭素鋼の場合
よりも高く採らざるを得ず、また数十枚〜数百枚重ね合
わせて800〜1100℃のように相当の高温で焼鈍を行って
いるものであるからこの低炭素鋼フラットマスクの技術
ではFe−Ni系インバー合金のフラットマスクにおける焼
鈍時密着焼付防止をなし得ないことになり、その焼付防
止に関する好ましい技術は見当らない。
That is, contact adhesion during annealing of a conventional low carbon steel flat mask as disclosed in JP-A-62-238003 is optimized for surface roughness, that is, Ra is 0.2 to 2.0 μm and Rsk (in the height direction of the roughness curve is The strength of Fe-Ni Invar alloy is higher than that of low carbon steel, and the annealing temperature before curved surface pressing is higher than that of low carbon steel, even if there is a proposal to make the index of deviation) 0 or more. Inevitably, it is necessary to use a high temperature, and since several tens to several hundreds of sheets are stacked and annealed at a considerably high temperature of 800 to 1100 ° C, this low carbon steel flat mask technology uses Fe-Ni. Since it is impossible to prevent adhesion and seizure during annealing in a flat mask of a system-based Invar alloy, there is no preferable technique for preventing such seizure.

更に特開昭64−52022号においてはSiなどの合金成分
と冷間圧延率、更に結晶粒度を規定し、また特開平1
−252725号においてはスラブの均一化熱処理を行い、Ni
の偏析を低減することによりスジムラを抑制することが
開示されている。
Further, in JP-A-64-52022, alloy components such as Si, cold rolling rate, and grain size are specified.
In No. 252725, heat treatment for homogenizing the slab was performed and
It is disclosed that the uneven streaks are suppressed by reducing the segregation.

(発明が解決しようとする課題) 上記したエッチング穿孔時におけるフラットマスクのム
ラ品位向上を図った前記〜の技術では何れも曲面プ
レス前の焼鈍における密着焼付防止が達成されていな
い。又では上述のように従来における低炭素鋼フラッ
トマスクの焼鈍時密着焼付を防止しているのみで、実際
のインバー合金強度は低炭素鋼に比して高く、その曲面
プレス前の焼鈍温度は低炭素鋼の場合に比し高く採らざ
るを得ず、ブラウン管メーカーではFe−Niインバー合金
のフラットマスク焼鈍を数十枚〜数百枚重ね合わせて81
0〜1100℃という低炭素鋼フラットマスクの焼鈍温度よ
りも相当の高温で行っているのが現状である。このよう
な焼鈍温度においては前記の技術ではインバー合金フ
ラットマスク焼鈍時の焼付防止をなし得ない。
(Problems to be Solved by the Invention) None of the above-mentioned techniques for improving the uneven quality of the flat mask at the time of etching perforation achieves the prevention of adhesion seizure in the annealing before the curved surface pressing. In addition, as mentioned above, only the conventional adhesion prevention during low carbon steel flat mask annealing is prevented, the actual Invar alloy strength is higher than that of low carbon steel, and the annealing temperature before the curved surface press is low. It is inevitable to use it higher than in the case of carbon steel, and cathode ray tube manufacturers have to stack dozens to several hundreds of flat mask annealing of Fe-Ni Invar alloys.
The present condition is that the temperature is 0 to 1100 ° C, which is considerably higher than the annealing temperature of the low carbon steel flat mask. At such an annealing temperature, the above-mentioned technique cannot prevent seizure during the Invar alloy flat mask annealing.

前記のものは表面性状や密着焼付防止について考慮さ
れていないのでむらの発生や焼付発生が不可避であり、
のものもせいぜいNiの偏析を低減する程度であって、
密着焼付防止、表面性状との関係における焼付防止など
を適切に得ることができない。
Since the above-mentioned things are not considered in terms of surface texture and adhesion seizure prevention, occurrence of unevenness and seizure is unavoidable,
However, it is the extent to reduce the segregation of Ni at most,
It is not possible to properly obtain the prevention of sticking seizure and the prevention of seizure in relation to surface properties.

従って従来のFe−Ni系インバー合金のシャドウマスク用
素材においてエッチング穿孔時のムラ発生を防止し、又
穿孔後の焼鈍時密着焼付を適切に防止する技術が確立さ
れていない。
Therefore, in the conventional Fe—Ni-based Invar alloy shadow mask material, no technique has been established for preventing unevenness during etching perforation and for appropriately preventing adhesion baking during annealing after perforation.

「発明の構成」 (課題を解決するための手段) 本発明は上記したような実情に鑑み、エッチング穿孔性
が優れ、特に穿孔時のムラ発生を防止し、かつ穿孔後の
フラットマスクを焼鈍するときの密着焼付を防止したFe
−Ni系インバー合金のシャドウマスク用素材を得べく、
検討を重ねて創案されたものであって、以下の如くであ
る。
“Structure of the Invention” (Means for Solving the Problems) In view of the above-mentioned circumstances, the present invention has excellent etching perforation properties, particularly prevents unevenness during perforation, and anneals a flat mask after perforation. Fe that prevents sticking and burning
-To obtain a Ni-based Invar alloy shadow mask material,
It was created through repeated studies and is as follows.

(1) Si:0.01〜0.15wt%、Ni:34〜38wt%を含有し、
残部がFeおよび不可避的不純物から成り、かつその合金
鋼帯の板厚はフラットマスクの多数枚を積み重ねて焼鈍
処理する工程を含むシャドウマスクの製造に供する該フ
ラットマスクと実質上同等であり、その表面粗度(Ra)
が0.3〜0.7μmで、しかも粗さ曲線の高さ方向における
片寄り指標であるスキューネス(Rsk)が0.3〜1.0で、
且つ、 の条件を満足し、またエッチング直前での合金板の表面
におけるSiの成分編析率 が10%以下であることを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板; (2) 前記(1)の成分および表面粗度を有し、しか
も該表面粗度の異方性が、下記式、 |Ra(L)−Ra(c)|≦0.1μm |Rsk(L)−Rsk(c)|≦0.2 但し、Ra(L),Rsk(L)は圧延方向における測定値
で、Ra(c),Rsk(c)は圧延方向と垂直な方向におけ
る測定値である。
(1) Contains Si: 0.01 to 0.15 wt% and Ni: 34 to 38 wt%,
The balance consists of Fe and unavoidable impurities, and the plate thickness of the alloy steel strip is substantially the same as the flat mask used in the production of a shadow mask including a step of stacking and annealing a number of flat masks, Surface roughness (Ra)
Is 0.3 to 0.7 μm, and the skewness (Rsk), which is a deviation index in the height direction of the roughness curve, is 0.3 to 1.0,
and, Of the composition of Si on the surface of the alloy plate just before etching Fe for shadow masks characterized by less than 10%
-Ni alloy thin plate; (2) It has the component and surface roughness of (1) above, and the anisotropy of the surface roughness is expressed by the following formula: | Ra (L) -Ra (c) | ≦ 0.1 μm. | Rsk (L) −Rsk (c) | ≦ 0.2 where Ra (L) and Rsk (L) are measured values in the rolling direction, and Ra (c) and Rsk (c) are measured in the direction perpendicular to the rolling direction. It is a value.

の関係を満足することを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板; (3) 前記(1)の成分を有する薄板を製造するに当
り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、前記(1)の表面粗度を該薄板の表面に付与するこ
とを特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造
方法; (4) 前記(1)の成分を有する薄板を製造するに当
り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、前記(2)の表面粗度を該薄板の表面に付与するこ
とを特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造
方法。
Fe for shadow masks characterized by satisfying the relationship
-Ni alloy thin plate; (3) In producing a thin plate having the component of (1), a dull roll is used at the time of final cold rolling or temper rolling, and the surface roughness of (1) is applied to the surface of the thin plate. A method for producing an Fe-Ni alloy thin plate for a shadow mask, which is characterized by applying: (4) In producing a thin plate having the component (1), a dull roll is used at the final cold rolling or temper rolling, A method for producing an Fe-Ni alloy thin plate for a shadow mask, which comprises imparting the surface roughness of (2) to the surface of the thin plate.

(作用) 上記したような本発明について説明すると、本発明はシ
ャドウマスク用のインバー合金を対象としているが、事
実上問題のない熱膨脹特性として平均熱膨脹係数(30〜
100℃)の上限を2.0×10-6/℃とし、この熱膨脹特性はN
i量に依存するもので、上述した平均熱膨脹係数の条件
を満たす成分範囲はwt(以下単に%という)で、Ni量が
34〜38%の場合であるから本発明合金のNi量としてはこ
の34〜38%とする。なおこのNi量は必要とされる熱膨脹
係数に応じ上記範囲内において適当に選択される。
(Operation) To explain the present invention as described above, the present invention is directed to an Invar alloy for a shadow mask, but the average thermal expansion coefficient (30 to 30
The upper limit of (100 ℃) is 2.0 × 10 -6 / ℃, and the thermal expansion property is N
It depends on the amount of i, and the component range that satisfies the above-mentioned average thermal expansion coefficient is wt (hereinafter simply referred to as%), and the amount of Ni is
Since it is 34 to 38%, the Ni content of the alloy of the present invention is 34 to 38%. The Ni content is appropriately selected within the above range according to the required thermal expansion coefficient.

次に本発明が目標とするエッチング性およびフラットマ
スク焼鈍時の密着焼付防止は表面粗度の適正化と合金中
Si量およびその分布適正化が同時に満たされて始めて達
成される。即ちSiはFe−Ni系インバー合金において焼鈍
時の密着焼付防止に有効な元素であって、このSiが0.01
%以上となるとこの焼付防止に有効な酸化膜が形成され
る。一方このSiが0.15%を越えるとエッチング穿孔時の
ムラ発生が著しくなるのでこれを上限とし、これらから
して焼付が防止でき、しかもエッチング穿孔時にムラ発
生のないSi量として0.01〜0.15%と定めた。なおSi量が
この範囲内の場合でも合金板表面でのSiの成分変動が大
きいと、局部的にエッチング穿孔状態の差に起因するム
ラ発生や焼鈍時に形成される酸化膜の性状に差が生じ、
結果として局部的に焼付くなどの問題が発生するため斯
様な成分変動は制御されねばならない。従って本発明で
は上記Si量の規定に加え、エッチング直前での合金板表
面におけるSiの成分編析率、 を10%以下とすることにより上記の成分変動によるエッ
チング穿孔性の局部的劣化、焼鈍時の局部的焼付を解決
する。なお、このSiの成分編析率が10%以下であっても
最小濃度部で0.01%未満となったり、最大濃度部で0.15
%を超えるような場合には焼鈍時の焼付、エッチング穿
孔時のムラがそれぞれ発生するので、このようなことに
ならないように制御する。
Next, the target of the present invention is the etching property and the prevention of adhesion and seizure during flat mask annealing, by optimizing the surface roughness and
It is achieved only when the Si content and its distribution optimization are satisfied at the same time. That is, Si is an element effective in preventing adhesion seizure during annealing in Fe-Ni-based Invar alloy.
When it is more than 0.1%, an oxide film effective for preventing the seizure is formed. On the other hand, if this Si exceeds 0.15%, unevenness during etching perforation becomes significant, so this is set as the upper limit, and from these, seizure can be prevented, and the amount of Si without unevenness during etching perforation is set to 0.01 to 0.15%. It was Even if the amount of Si is in this range, if the variation in the composition of Si on the surface of the alloy plate is large, there will be differences in the properties of the oxide film formed during annealing or local unevenness caused by the difference in the etching perforation state. ,
As a result, a problem such as local image sticking occurs, and such component fluctuations must be controlled. Therefore, in the present invention, in addition to the regulation of the above Si amount, the component segregation ratio of Si on the alloy plate surface immediately before etching, By setting the ratio to 10% or less, it is possible to solve the local deterioration of the etching piercing property and the local baking during annealing due to the above component fluctuation. It should be noted that, even if the composition ratio of Si is 10% or less, it is less than 0.01% in the minimum concentration part, or 0.15 in the maximum concentration part.
If it exceeds%, baking during annealing and unevenness during etching perforation respectively occur, so control is performed to prevent this.

本発明で意図する焼鈍時の焼付防止効果およびエッチン
グ穿孔時のムラ発生の抑制は上述したような成分規定に
加えて、表面粗度の適正化が必要である。即ち第1図
は、S≧0.0025%で、Si:0.01〜0.15%(板面内の何れ
の場所でもSiは0.01〜0.15%)、siの成分偏析率≦10%
の合金板についてエッチング穿孔性、焼鈍時の密着焼付
きについて調査し、それら両者を共に満足する領域を表
面粗度のパラメータRaおよびRskで示したものである。R
skが何れの値の場合でもRaが0.7μmを超える場合には
エッチング穿孔時のムラ発生が著しくなり、一方Raが0.
3μm未満の場合にはフラットマスク焼鈍時の密着焼付
が全面に発生し、且つフラットマスクの均一密着性不良
が発生するので本発明におけるRaの範囲は0.3〜0.7μm
とする。
In order to prevent the seizure during annealing and suppress the occurrence of unevenness during etching perforation, which is the intended purpose of the present invention, it is necessary to optimize the surface roughness in addition to the above-mentioned component regulation. That is, Fig. 1 shows that S ≥ 0.0025%, Si: 0.01 to 0.15% (Si 0.01 to 0.15% at any place in the plate surface), and the component segregation ratio of si ≤ 10%
The alloy plate of No. 1 was investigated for etching perforation property and adhesion seizure during annealing, and the regions satisfying both of them were shown by surface roughness parameters Ra and Rsk. R
Regardless of the value of sk, if Ra exceeds 0.7 μm, unevenness during etching and perforation becomes remarkable, while Ra is 0.
If it is less than 3 μm, adhesion baking during flat mask annealing occurs on the entire surface, and uniform adhesion failure of the flat mask occurs, so the Ra range in the present invention is 0.3 to 0.7 μm.
And

又このようなRaの適正化に加え、焼鈍時の焼付き防止の
ためにはRskの適正化も必要である。即ちRaが0.3〜0.7
μmの範囲でも、Rskが+0.3未満では、フラットマスク
焼鈍時の密着が全面にわたって発生し、一方Rskが+1.0
を越える場合ではフラットマスク焼鈍時の局部的焼付き
が発生する。また、Ra<−1/3Rsk+0.5の条件ではフラ
ットマスク焼鈍時の密着が全面にわたり発生する。
In addition to such optimization of Ra, optimization of Rsk is also necessary to prevent seizure during annealing. That is, Ra is 0.3 to 0.7
Even in the μm range, if Rsk is less than +0.3, adhesion occurs during flat mask annealing over the entire surface, while Rsk is +1.0.
If it exceeds, local seizure occurs during flat mask annealing. Also, under the condition of Ra <-1 / 3Rsk + 0.5, adhesion occurs during flat mask annealing over the entire surface.

以上より本発明で意図する効果を得るための表面粗度の
条件として、Ra:0.3〜0.7μm、Rsk:0.3〜1.0かつ(R
a)−1/3(Rsk)+0.5と定めた。
From the above, as the conditions of the surface roughness for obtaining the effect intended by the present invention, Ra: 0.3 to 0.7 μm, Rsk: 0.3 to 1.0 and (R
a) -1/3 (Rsk) + 0.5.

以上のような、Si量及びその分布の適正化と表面粗度の
適正化により、Fe−Niインバー合金をシャドウマスク用
薄板に適用する際でのエッチング穿孔性及び焼鈍時の密
着焼付を防止できるが、フラットマスクの1回の焼鈍で
の積層枚数を従来よりもさらに多くして焼鈍時のコスト
の低減を図ろうとする場合には、上記の表面粗度の規定
に加え、表面粗さの面内での異方性を特定値以下にしな
ければならない。即ち表面粗度の異方性を |Ra(L)−Ra(c)|≦0.1μm |Rsk(L)−Rsk(c)|≦0.2 とすることにより、従来よりフラットマスクの積層枚数
を多くした際でも、部分的な焼付きは回避できる。
As described above, by optimizing the Si amount and its distribution and optimizing the surface roughness, it is possible to prevent the adhesion perforation during etching perforation and annealing when the Fe-Ni Invar alloy is applied to a thin plate for a shadow mask. However, in order to reduce the cost during annealing by increasing the number of laminated flat masks in one annealing more than before, in addition to the above surface roughness regulation, the surface roughness The anisotropy within should be below a specific value. That is, by setting the surface roughness anisotropy to | Ra (L) −Ra (c) | ≦ 0.1 μm | Rsk (L) −Rsk (c) | ≦ 0.2, the number of stacked flat masks is increased compared to the conventional case. Even when doing, partial seizure can be avoided.

なお、フラットマスクの焼鈍時の密着焼付の発生しない
臨界温度を高くするためには、上記の成分、表面粗度の
規定に加え、Sの低減が有効である。第2図は、Ra,Rs
k,Si及びSiの編析率が本発明範囲内でかつS量が変化し
た材料を用いて焼鈍温度を変えて、密着焼付の状態を調
べたものである。S量の低減により、焼付の生じない臨
界の焼鈍温度を高くすることができる。
In addition, in order to increase the critical temperature at which adhesion baking does not occur during annealing of the flat mask, it is effective to reduce S in addition to the above-described components and surface roughness regulation. Figure 2 shows Ra, Rs
The state of adhesion baking was investigated by changing the annealing temperature using a material having k, Si and Si segregation ratios within the range of the present invention and varying the S content. By reducing the amount of S, the critical annealing temperature at which seizure does not occur can be increased.

このようなSの低減による効果の明確な機構は必ずしも
判然としないが、本発明範囲内Si量のインバー合金にお
けるプレス全焼鈍時に表面に形成される密着防止に有効
なSiの酸化膜形成と、Sの表面偏析が、表面に競合して
起るためではないかと推察される。
Although a clear mechanism of the effect of the reduction of S is not clear, the formation of an oxide film of Si which is effective in preventing adhesion formed on the surface of the Invar alloy having a Si content within the scope of the present invention during press annealing, It is speculated that the surface segregation of S may occur due to competition with the surface.

又、Siの偏析低減の手段としては、たとえば、鋼塊又は
連続鋳造(CC)スラブを1200℃×20hrの加熱をなし、1
次分塊での断面減少率20〜60%にて分塊圧延を行ないそ
の軽分塊スラブを1200℃×20hrで加熱し、2次分塊での
断面減少率30〜50%で分塊圧延し、徐冷する工程があげ
られる。この工程の中では1次の加熱・均熱によるSiの
鋼塊偏析低減、1次分塊での加工及び引き続く加熱・均
熱によるSiの鋼塊偏析及びミクロ偏析の低減促進および
2次分塊による加工並びに引き続く徐冷過程でのSiの鋼
塊偏析及びミクロ偏析の低減のさらなる促進という、大
きく分けて3つの工程における均質化の相乗効果により
はじめてSiの均質化が達成されているのである。なお、
分塊前の加熱は、雰囲気中のS含有量を80ppm以下と極
力低くして加熱中の粒界脆化を抑制し、分塊スラブにお
ける表面疵の発生抑制を配慮した。
As means for reducing the segregation of Si, for example, a steel ingot or a continuous cast (CC) slab is heated at 1200 ° C for 20 hours, and 1
Slab rolling is performed at a cross section reduction rate of 20 to 60% in the secondary slab, the light slab is heated at 1200 ° C for 20 hours, and slab rolling is performed at a cross section reduction rate of 30 to 50% in the secondary slab. Then, the process of slow cooling can be mentioned. In this process, reduction of Si ingot segregation by primary heating and soaking, processing in primary slab and subsequent reduction of steel ingot segregation and micro segregation by heating and soaking, and secondary slumping The homogenization of Si is achieved for the first time by the synergistic effect of homogenization in three major steps, namely further promotion of reduction of steel ingot segregation and microsegregation of Si in the processing and subsequent slow cooling process. In addition,
The heating before lumping suppressed the S content in the atmosphere to 80 ppm or less as much as possible to suppress the grain boundary embrittlement during heating, and considered the generation of surface defects in the lumped slab.

更に本発明で特徴としているシャドウマスク用薄板は上
記のような製造履歴のものに限らず、溶鋼から直接に冷
延素材を鋳造するストリップキャスティングまたはスト
リップキャスティングにより鋳造された鋼帯を熱延軽圧
下することにより冷延素材を製造する工程を経たもので
も本発明の効果は充分に発揮される。又このような表面
をもつシャドウマスク用インバー合金素材の製造は最終
冷延または調質圧延時にダルロールを用いて圧延するこ
とにより達成し得る。
Further, the thin plate for a shadow mask, which is a feature of the present invention, is not limited to the one having the above-mentioned manufacturing history, and strip casting for casting a cold rolled material directly from molten steel or a steel strip cast by strip casting is subjected to hot rolling and light rolling. By doing so, the effect of the present invention can be sufficiently exhibited even in the case where the cold-rolled material is manufactured. The production of the Invar alloy material for a shadow mask having such a surface can be achieved by rolling with a dull roll during final cold rolling or temper rolling.

なお、アンバー合金のエッチング穿孔性、特にエッチン
グ穿孔後の孔界面の品質を向上させ、かつエッチング工
程におけるエッチング液の汚れを少なくし、エッチング
の作業性を向上させるためには、合金中の非金属介在物
の組成を第3図に示すAl2O3−CuO−MgO系三次元状態図
の点1,2,3,4,および5を結んだ5辺形で囲まれた領域外
の組成に制御することが必要である。すなわち、このよ
うな介在物の組成制御により、エッチング直前での非金
属介在物はサイズ3μm以下の球形の介在物が主体とな
り、展伸性を有する圧延方向に伸びた線型の介在物が極
めて少なくなる結果エッチング孔の界面における介在物
に起因したピットの形成が抑制され、かつ線状介在物が
エッチング液に混入してエッチング液の汚れることも極
めて少なくなる。
In order to improve the etching perforation property of the amber alloy, especially the quality of the hole interface after the etching perforation, and to reduce the contamination of the etching solution in the etching process and to improve the workability of etching, the non-metal in the alloy is used. The composition of the inclusions should be the composition outside the region enclosed by the pentagon connecting points 1, 2, 3, 4, and 5 in the Al 2 O 3 —CuO—MgO system three-dimensional phase diagram shown in FIG. It is necessary to control. That is, by controlling the composition of such inclusions, non-metallic inclusions immediately before etching are mainly spherical inclusions having a size of 3 μm or less, and there are very few linear inclusions that have extensibility and extend in the rolling direction. As a result, the formation of pits due to the inclusions at the interface of the etching holes is suppressed, and the linear inclusions are hardly mixed with the etching liquid and are contaminated with the etching liquid.

上記したようなダルロールを得るには放電加工、レーザ
ー加工なども採用し得るが、ショットブラスト法によっ
てダル目付けすることが好ましく、この場合においてロ
ール材質としてはSKH(硬度Hs85〜95)を採用し、又径1
00〜125mmφのものを用いることが適切である。ショッ
トブラスト法によるロール加工条件としては#120〜#2
40のスチールグリット(Hv400〜950)を用い、投射エネ
ルギーとしては#120で低目、#240では高目のものを採
用する。
To obtain the above-mentioned dull roll, electric discharge machining, laser machining or the like may be adopted, but it is preferable to make dull weight by the shot blasting method, and in this case, SKH (hardness Hs85 to 95) is adopted as the roll material, Also diameter 1
It is appropriate to use one with a diameter of 00 to 125 mm. # 120 ~ # 2 as roll processing conditions by shot blasting method
40 steel grit (Hv400 ~ 950) is used, and the projection energy is low at # 120 and high at # 240.

適正ロール表面粗度を得るには、加工前においてRa0.1
μm以下(Rsk<0)としたものに対し加工処理してRa:
0.4〜1.0μm,Rsk:<−0.2、より好ましくは<−0.5のも
のとし、このようなロール粗度として本発明範囲の表面
粗度を適切に得しめる。
To obtain the proper roll surface roughness, Ra0.1
Ra: when processed to a value of less than μm (Rsk <0)
0.4 to 1.0 μm, Rsk: <−0.2, more preferably <−0.5, and the surface roughness within the range of the present invention can be appropriately obtained as such roll roughness.

圧延に関しては、最終冷延または調質圧延に当り前述し
たようなダルロールで1パス当り10%以上、しかも合計
2パス以上を採用し、1パス当り10%以上の圧下をなす
ことでロール粗度が充分に転写され、しかも2パス以上
とすることより所定のRskを有効に得しめる。
Regarding rolling, the final cold rolling or temper rolling uses 10% or more for each pass with a dull roll as described above, and a total of 2 or more passes is adopted, and the roll roughness is reduced by 10% or more for each pass. Is sufficiently transferred, and the predetermined Rsk can be effectively obtained by using two or more passes.

更に具体的な圧延に際して用いられる圧延油としては温
度10〜50℃で粘度7〜8cstのものを0.1〜0.5kg/cm2で吐
出して用い、圧延速度は30〜200mpm、圧延時の張力は前
方が15〜45kg/mm2、後方を10〜40kg/mm2程度となし、単
位幅当りの圧下力としては0.15〜0.25トン/mmとするこ
とが好ましい。前記した圧延油吐出圧力が0.1kg/cm2
満であり、あるいは0.5kg/cm2超えではその他の条件が
適正でも本発明で目標とする合金薄板の表面粗度が得難
い傾向が認められ、又0.5kg/cm2超えでは表面粗度にム
ラが発生する。又上記したような圧延時の張力条件適正
化によって圧延材である合金薄板の平坦度を良好なレベ
ルとすることができる。
Further, as a rolling oil used at the time of concrete rolling, one having a temperature of 10 to 50 ° C. and a viscosity of 7 to 8 cst is discharged at a rate of 0.1 to 0.5 kg / cm 2 and used, a rolling speed is 30 to 200 mpm, and a tension during rolling is front 15~45Kg / mm 2, preferably in the 0.15 to 0.25 t / mm is a rear 10~40Kg / mm 2 degree and without, as rolling force per unit width. The rolling oil discharge pressure described above is less than 0.1 kg / cm 2 , or more than 0.5 kg / cm 2 the surface roughness of the alloy thin plate targeted by the present invention tends to be difficult to obtain even if other conditions are appropriate, or If it exceeds 0.5 kg / cm 2 , uneven surface roughness will occur. Further, by adjusting the tension conditions during rolling as described above, the flatness of the alloy thin plate as a rolled material can be made to be a good level.

薄板圧延に当ってアイアニングロール、アンチクリンピ
ンクロールなどが採用され、又中間焼鈍、SR焼鈍として
軟鋼用連続焼鈍炉(H2濃度5〜15%、DP−10〜−30℃の
雰囲気ガス)または光輝焼鈍炉(H2濃度15〜100%、DP
−20〜−50℃)などが用いられる。
Ironing rolls, anti-clean pink rolls, etc. are used for rolling thin sheets, and continuous annealing furnaces for mild steel (H 2 concentration 5 to 15%, DP-10 to -30 ° C atmosphere gas) for intermediate annealing and SR annealing. Or bright annealing furnace (H 2 concentration 15-100%, DP
-20 to -50 ° C) and the like are used.

(実施例) 上記したような本発明によるものの具体的実施例を示
し、その作用効果の仔細を説明すると以下の如くであ
る。
(Examples) The specific examples of the present invention as described above will be shown, and the details of the operation and effects thereof will be described below.

実施例1 次の第1表に示すような成分組成を有する本発明例およ
び比較例の合金No.1〜5を電気炉にて出鋼し、その後に
取鍋精錬を行うことによって7トン鋼塊として得た。
Example 1 Alloys Nos. 1 to 5 of the present invention and comparative examples having the composition as shown in Table 1 below are tapped in an electric furnace and then ladle refining is performed to produce a 7 ton steel. Obtained as a lump.

なお、出鋼後の取鍋精錬は、CaO:40%以下のMgO−CaO系
耐火物よりなる取鍋を使用し、溶滓は成分がwt%で(Ca
O)/〔(CaO)+(Al2O3)〕が0.45%以上、MgOが25%
以下、SiOが15%以下、Siより酸化力の弱い金属の酸化
物が30%以下であるCaO−Al2O3−MgO系のものであり、
これにより処理することで第1表中の化学成分および後
述する第2表のような合金を得た。
For ladle refining after tapping, a ladle made of MgO-CaO refractory with CaO: 40% or less is used, and the slag is composed of wt% (Ca
O) / [(CaO) + (Al 2 O 3 )] 0.45% or more, MgO 25%
Hereinafter, SiO 15% or less, the weak metal oxides oxidizing power than Si is one of the CaO-Al 2 O 3 -MgO based 30% or less,
By processing with this, the chemical composition in Table 1 and the alloy as shown in Table 2 described later were obtained.

上記したようにして得られた各鋼塊を手入れの後、1200
℃で20時間加熱し、1次分塊にて断面減少率60%で分塊
圧延を行い、しかるのち1200℃で20時間加熱し、2次分
塊にて断面減少率45%で分塊圧延を行い、徐冷すること
により、合金No.1よりa,c〜fの供試材を得、合金No.2
は試供材g、合金No.3は共試材h、合金No.4は共試材
i、合金No.5は共試材Pとして夫々用意した。なお共試
材bの材料は合金No.1の7トン鋼塊を手入れ後、1200℃
にて15時間加熱し、1次分塊にて断面減少率78%で分塊
圧延を行い徐冷することによりスラブを準備した。
After caring for each steel ingot obtained as described above, 1200
Heat at 20 ° C for 20 hours, lump-roll at the primary agglomeration at a cross-section reduction rate of 60%, then heat at 1200 ° C for 20 hours, then slab-roll at a secondary lump at a cross-section reduction rate of 45%. Then, by slowly cooling, the test materials a, c to f were obtained from alloy No. 1 and alloy No. 2
Is a sample material g, alloy No. 3 is a sample material h, alloy No. 4 is a sample material i, and alloy No. 5 is a sample material P. The material of co-test material b is 1200 ° C after caring for a 7-ton ingot of alloy No.1.
A slab was prepared by heating for 15 hours, slab rolling with a primary slab at a cross-sectional reduction rate of 78%, and slow cooling.

これらのスラブを手入れし酸化防止剤を塗布後、加熱温
度1100℃で加熱してから熱間圧延を行った。なおこの
際、1000℃以上での合計圧下率は82%であり、850℃以
上での合計圧下率は98%であって、熱間圧延された熱延
コイルの巻取り温度は550〜750℃であった。
These slabs were cared for, coated with an antioxidant, heated at a heating temperature of 1100 ° C., and then hot rolled. At this time, the total rolling reduction at 1000 ° C or higher is 82%, the total rolling reduction at 850 ° C or higher is 98%, and the winding temperature of the hot rolled hot rolled coil is 550 to 750 ° C. Met.

上記のようにして得られた熱延コイルのうち、合金No.1
〜No.4に対応するものは脱スケール後、冷延、焼鈍を繰
返し、最終冷延または調質圧延時にダルロールを用いて
圧延することにより後述する第3表に示す表面粗度を有
する板厚0.25mmの合金板を夫々得た。なお、エッチング
テスト材の介在物の形態、大きさ分類は、原板の圧延方
向における板厚断面で測定した。測定方法は800倍にて6
0mm2検鏡し、視野内すべての介在物の厚さ,長さを測定
し、(長さ/厚さ)≦3を球状介在物、(長さ/厚さ)
>3を線状介在物として分類し、かつそれらの介在物の
サイズ別の個数(1mm2当り)で表記した。
Of the hot rolled coils obtained as described above, alloy No. 1
~ No. 4 corresponds to the plate thickness having the surface roughness shown in Table 3 described later by repeating cold rolling and annealing after descaling and rolling with a dull roll during final cold rolling or temper rolling. 0.25 mm alloy plates were obtained respectively. The morphology and size of the inclusions in the etching test material were measured by measuring the plate thickness section in the rolling direction of the original plate. The measuring method is 800 times 6
0mm 2 Specimen, measure the thickness and length of all the inclusions in the field of view, (length / thickness) ≤ 3 are spherical inclusions, (length / thickness)
> 3 was classified as linear inclusions and indicated by the number of these inclusions (per 1 mm 2 ).

用いたロールのダル目付けはショットブラスト法で材質
SKH(Hs90)の径120mmのロールに対し#120のスチール
グリット(Hv400〜950)で加工し、加工後の表面粗度が
Ra:0.3〜0.85、Rsk:−0.2〜−1.1のロールを用い、この
実施例では最終調質圧延時に前記ダルロールにより1パ
ス目は18.6%、2パス目は12.3%(合計圧下率28.6%で
行った。またこの圧延に当って採用された圧延油の粘度
は7.5cstであり、圧延速度は100mpmであって、圧延時張
力については前方20kg/mm2、後方15kg/mm2で実施した。
The material used for the rolls used is a shot blasting method
SKH (Hs90) roll with a diameter of 120 mm is processed with # 120 steel grit (Hv400 to 950), and the surface roughness after processing is
Ra: 0.3 to 0.85, Rsk: -0.2 to -1.1 rolls were used. In this example, the first pass was 18.6% due to the dull roll at the time of final temper rolling, and the second pass was 12.3% (total reduction ratio was 28.6%. The rolling oil used for this rolling had a viscosity of 7.5 cst, a rolling speed of 100 mpm, and a rolling tension of 20 kg / mm 2 forward and 15 kg / mm 2 backward.

なお、この圧延において用いられた単位幅当りの圧下力
は0.20トン/mm、圧延油の吐出圧力は0.4kg/cm2であっ
て、円滑に圧延処理することができ、得られた合金板の
平坦度その他は良好なレベルのものとして得ることがで
きた。
The rolling force per unit width used in this rolling was 0.20 ton / mm, the discharge pressure of the rolling oil was 0.4 kg / cm 2 , and the rolling process could be carried out smoothly. The flatness and the like could be obtained at a good level.

上記のような各合金板の板面におけるSiの偏析率はEPMA
によるマッピングアナライザーにより調査した。又これ
らの合金薄板コイルにエッチング穿孔し、フラットマス
クを作製し、ムラ発生の状況を調査した。さらにエッチ
ング孔の界面を走査型電子顕微鏡により観察し、ピット
の有無を調べ、またエッチング液の汚れは、エッチング
穿孔後の残滓の量を調べることにより行った。更に焼鈍
時の密着焼付については上記したようなフラットマスク
を30枚積層し、900℃の温度で焼鈍した後に密着の状況
を調査した。合金No.1〜5の各材は、次の第2表に示す
ような介在物の組成を有し、この介在物は液相線温度16
00℃以上の融点を有するもので、エッチング直前の合金
薄板での介在物は形状からして球状、大きさも厚さでみ
て、3μm以下のものが主体となっており、エチング穿
孔性でみても、孔界面のピットは見られず、エッチング
液の汚れも極めて少なく、エッチング性に優れている。
即ち本発明で意図する合金素材としては、このようにエ
ッチング穿孔性に優れているものを基本としている。
The segregation ratio of Si on the plate surface of each alloy plate as described above is EPMA.
It was investigated by a mapping analyzer by. Further, these alloy thin plate coils were perforated by etching to prepare flat masks, and the occurrence of unevenness was investigated. Further, the interface of the etching hole was observed by a scanning electron microscope to check for the presence of pits, and the contamination of the etching solution was checked by checking the amount of residue after the etching perforation. Further, regarding the adhesion baking at the time of annealing, 30 pieces of the above flat masks were laminated and an adhesion state was investigated after annealing at a temperature of 900 ° C. Each of the alloy Nos. 1 to 5 has a composition of inclusions as shown in Table 2 below, and the inclusions have a liquidus temperature of 16
It has a melting point of 00 ° C or more, and the inclusions in the alloy thin plate just before etching are spherical in shape and 3μm or less in terms of size and thickness. The pits at the pore interfaces are not seen, and the contamination of the etching solution is extremely small, and the etching property is excellent.
That is, as the alloy material intended in the present invention, a material having such excellent etching piercing property is basically used.

上記したような各調査の結果は何れも次の第3表に示す
如くであり、又各合金No.1〜5については前述第4図の
Al2O3−CaO−MgO系三元状態図に〜として示した。
The results of each of the above-mentioned investigations are shown in Table 3 below, and the alloy Nos. 1 to 5 are shown in FIG.
In the ternary phase diagram of the Al 2 O 3 -CaO-MgO system, it is shown as ~.

即ち供試材aおよびgの材料は、Si量、Si偏析率、Ra
(L),Ra(c),Rsk(L),Rsk(c),(Ra)+1/3
(Rsk)の値が何れも本発明範囲内にあり、エッチング
穿孔時のムラ発生および焼鈍時の密着焼付はともに認め
られない。
That is, the materials of the test materials a and g are Si amount, Si segregation ratio, Ra
(L), Ra (c), Rsk (L), Rsk (c), (Ra) +1/3
All the values of (Rsk) are within the range of the present invention, and neither unevenness during etching perforation nor adhesion baking during annealing is observed.

これに対し、供試材h,i,bのものは、何れも表面粗度の
パラメータが本発明範囲内にあるものの、Si量について
は本発明規定範囲下限を下まわるもの、その上限値を越
えるもの、あるいは偏析率が上限を越えるものであり、
エッチング穿孔時のムラ発生、焼鈍時の密着焼付のう
ち、1つまたは2つに問題が認められる。
On the other hand, for the test materials h, i, b, although the parameters of the surface roughness are all within the range of the present invention, the amount of Si falls below the lower limit of the present invention, and its upper limit is set. Or the segregation rate exceeds the upper limit,
Problems are recognized in one or two of unevenness occurring during etching perforation and adhesion baking during annealing.

なお供試材c,d,e,fの各材は何れもSi量およびSiの偏析
率が本発明の規定範囲内にあるが、それぞれ本発明にお
けるRaの上限,(Ra)+1/3(Rsk)−0.5の値,Rskの下
限,Rskの上限から外れるものであって、エッチング穿孔
時のムラ発生、焼鈍時の密着焼付性のうち1つ以上の性
能が好ましくない。
In each of the test materials c, d, e, and f, the amount of Si and the segregation ratio of Si are within the specified range of the present invention, but the upper limit of Ra in the present invention, (Ra) +1/3 ( Rsk) -0.5, the lower limit of Rsk, and the upper limit of Rsk, which are unfavorable for one or more of unevenness during etching perforation and adhesion bakeability during annealing.

即ち本発明で目的とする効果は、Si量、Siの偏析率とい
う成分的配慮に加え、表面粗度の適正化が図られて始め
て達成されることが理解される。
That is, it is understood that the effect aimed at by the present invention can be achieved only by optimizing the surface roughness in addition to the component consideration such as the amount of Si and the segregation ratio of Si.

実施例2 前記した実施例1の供試材aの作製のために用いた熱延
コイル、供試材pの作製に用いた熱延コイルおよび供試
材gの作製に用いた熱延コイルを脱スケール後、冷延と
焼鈍を繰返し最終冷延または調質圧延時にダルロールを
用いて圧延し、次の第4表に示すような表面粗度を有す
る板厚0.25mmの合金板(供試材j,k,l,m,n,pおよびo)
を得た。
Example 2 The hot-rolled coil used for producing the test material a, the hot-rolled coil used for production of the test material p, and the hot-rolled coil used for production of the test material g of Example 1 were described above. After descaling, cold rolling and annealing are repeated, and final rolling or temper rolling is performed using a dull roll, and an alloy sheet having a surface roughness of 0.25 mm as shown in Table 4 below (test material j, k, l, m, n, p and o)
Got

これらの供試材における板面でのSi偏析率は実施例1と
同じ方法で調べたが何れも2〜7%の範囲であった。又
これらの合金薄板コイルをエッチング穿孔してフラット
マスクを作製し、ムラ発生状況を調査した。更に焼鈍時
の密着焼付は上記したフラットマスクを50枚積層し第4
表に示す温度で焼鈍してその後の密着状況を調べた。こ
れらの結果は何れも次の第4表に示す如くである。
The Si segregation rate on the plate surface of each of these test materials was examined by the same method as in Example 1, but all were in the range of 2 to 7%. In addition, these alloy thin plate coils were punched by etching to produce flat masks, and the occurrence of unevenness was investigated. Further, the adhesion baking during annealing is performed by stacking 50 of the above flat masks
After annealing at the temperature shown in the table, the adhesion state after that was examined. All of these results are shown in Table 4 below.

なお、この実施例において用いられたダルロール、圧延
条件などについては前記した実施例1に述べたところと
同様であるが、ロールの表面粗度は加工後においてRa:
0.45〜0.70μm,Rsk:−0.4〜−0.9のものであった。
The dull roll and rolling conditions used in this example are the same as those described in Example 1 above, but the surface roughness of the roll is Ra:
0.45 to 0.70 μm, Rsk: −0.4 to −0.9.

即ち供試材jは、Si量、Si偏析率および表面粗度が何れ
も本発明規定範囲内で、S量は0.0005%のものであり、
エッチング穿孔時のムラ発生はなく、しかもこの実施例
の焼鈍条件においても密着焼付は発生していない。
That is, in the sample material j, the Si content, the Si segregation ratio, and the surface roughness are all within the ranges specified by the present invention, and the S content is 0.0005%.
No unevenness was generated during etching perforation, and no adhesion baking occurred even under the annealing conditions of this example.

これに対し供試材oは、Si量、Siの偏析率および表面粗
度が本発明の規定範囲内のもので、S量が0.0025%のも
のであり、エッチング穿孔時のムラ発生はないが、焼鈍
時の密着焼付が一部で発生している。このように本発明
の構成要件を満たす場合であっても焼鈍温度が実施例1
より高温となるような場合にはS量を低くすることによ
り密着焼付の発生を防止し得ることが理解される。
On the other hand, the test material o has Si content, Si segregation rate, and surface roughness within the stipulated range of the present invention, and S content of 0.0025%. In some cases, adhesion baking during annealing occurs. As described above, even when the constituent requirements of the present invention are satisfied, the annealing temperature is set to the value of Example 1
It is understood that when the temperature becomes higher, the amount of S can be lowered to prevent the occurrence of adhesion baking.

更には、供試材pは、Si量、Si偏析率および表面粗度が
本発明の規定範囲内で、S量が0.0002%のものであり、
エッチング穿孔時のムラ発生はなく、しかも焼鈍温度は
供試材jの場合よりもい高温であるが、密着焼付は発生
していない。このようにS量を低減することにより1100
℃の高温でも密着焼付の発生防止が達成されていること
が明らかである。
Furthermore, the test material p has a Si content, a Si segregation rate, and a surface roughness within the specified ranges of the present invention, and an S content of 0.0002%,
There is no unevenness during etching perforation, and the annealing temperature is higher than that of the test material j, but no adhesion baking occurs. By reducing the amount of S in this way, 1100
It is clear that even at a high temperature of 0 ° C, the prevention of adhesion sticking is achieved.

また供試材nはRaの面内異方性およびRskの面内異方性
以外は本発明の規定範囲内のものであって、この材料は
エッチング穿孔時のムラ発生はなく、850℃の焼鈍では
密着焼付が発生していない。これに対し供試材mは供試
材nのフラッドマスクを950℃で焼鈍した場合であっ
て、この場合は焼鈍時の密着焼付が全面にわたって発生
している。
In addition, the test material n is within the specified range of the present invention except for the in-plane anisotropy of Ra and the in-plane anisotropy of Rsk. Adhesion seizure did not occur in annealing. On the other hand, the test material m is a case where the flood mask of the test material n is annealed at 950 ° C. In this case, the adhesion baking during the annealing occurs over the entire surface.

なお供試材k,lの各材も夫々Raの面内異方性、Rskの面内
異方性以外は本発明の規定範囲内のものであるが、これ
らの材料でも950℃の焼鈍で密着焼付きが一部に発生し
ている。これらの供試材k,l,mに対し、供試材jのもの
ではRaの面内異方性およびRskの面内異方性も含め、す
べてが本発明規定範囲内であって、この場合には焼鈍温
度が950℃でも密着焼付は発生していない。
Note that each of the test materials k and l also falls within the specified range of the present invention except for the in-plane anisotropy of Ra and the in-plane anisotropy of Rsk, and these materials can be annealed at 950 ° C. Adhesion sticking is partially generated. With respect to these test materials k, l, and m, all of the test material j, including the in-plane anisotropy of Ra and the in-plane anisotropy of Rsk, are within the scope of the present invention. In this case, even if the annealing temperature was 950 ° C, no adhesion baking occurred.

このように850℃で焼鈍密着が発生しない材料であって
も、焼鈍温度をより高温とする際にはRaおよびRskの面
内異方性について適正化が必要である。
Even with a material that does not cause annealing adhesion at 850 ° C., it is necessary to optimize the in-plane anisotropy of Ra and Rsk when increasing the annealing temperature.

「発明の効果」 以上説明したような本発明によるときは、エッチング穿
孔性に優れ、又穿孔時のムラ発生を的確に防止し、且つ
穿孔後のフラットマスクを焼鈍するに当っての密着焼付
をも適切に防止したFe−Ni系インバー合金のシャドウマ
スク用薄板を提供し、又その好ましい製造法を得しめて
高品位のフラットマスクを歩留り高く製造せしめ、それ
によってコスト低減を可能ならしめるなどの効果を有
し、工業的にその効果の大きい発明である。
"Effects of the Invention" According to the present invention as described above, excellent etching piercing property, also accurately prevent occurrence of unevenness at the time of piercing, and adhesion baking in annealing the flat mask after piercing. Providing a thin plate for a shadow mask of Fe-Ni-based Invar alloy that is also appropriately prevented, and obtaining a preferable manufacturing method to manufacture a high-quality flat mask with a high yield, thereby enabling cost reduction. It is an invention that has a large effect industrially.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

図面は本発明の技術的内容を示すものであって、第1図
はフラットマスクにおけるエッチング穿孔時のムラ発生
および焼鈍時の密着焼付性とRa,Rskの関係を示した図
表、第2図はフラットマスクの焼鈍密着性とS量の関係
を焼鈍時フラットマスク積層数30枚の場合について示し
た図表、第3図はCaO−Al2O3−MgO系非金属介在物の三
元状態図の一部であって、第4図はその全般的関係を示
した三元状態図であり、第4図において本発明の実施例
において用いた各合金No.1〜5を〜として示したも
のである。
The drawings show the technical contents of the present invention. FIG. 1 is a table showing the relation between Ra, Rsk and the occurrence of unevenness during etching perforation in a flat mask and the adhesion bakeability during annealing. charts the relationship between the annealing adhesion and S of the flat mask shows the case of 30 sheets annealed at a flat mask lamination, FIG. 3 is a ternary phase diagram of CaO-Al 2 O 3 -MgO based nonmetallic inclusions FIG. 4 is a ternary phase diagram showing the general relationship, which is a part, and shows alloy Nos. 1 to 5 used in the embodiment of the present invention as FIG. is there.

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−238003(JP,A) 特開 昭61−39344(JP,A) 特開 昭62−243782(JP,A)Continuation of the front page (56) References JP 62-238003 (JP, A) JP 61-39344 (JP, A) JP 62-243782 (JP, A)

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】Si:0.01〜0.15wt%、Ni:34〜38wt%および
Mn:0.40wt%以下を含有し、残部がFeおよび不可避的不
純物から成り、かつその合金鋼帯の板厚はフラットマス
クの多数枚を積み重ねて焼鈍処理する工程を含むシャド
ウマスクの製造に供する該フラットマスクと実質上同等
であり、その表面粗度(Ra)が0.3〜0.7μmで、しかも
粗さ曲線の高さ方向における片寄り指標であるスキュー
ネス(Rsk)が0.3〜1.0で、且つ、 の条件を満足し、またエッチング直前での合金板の表面
におけるSiの成分偏析率 が10%以下であることを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。
1. Si: 0.01 to 0.15 wt%, Ni: 34 to 38 wt% and
Mn: containing 0.40 wt% or less, the balance consisting of Fe and unavoidable impurities, and the plate thickness of the alloy steel strip is used for the production of a shadow mask including a step of stacking and annealing a number of flat masks. It is substantially equivalent to a flat mask, its surface roughness (Ra) is 0.3 to 0.7 μm, and its skewness (Rsk), which is an offset index in the height direction of the roughness curve, is 0.3 to 1.0, and Segregation rate of Si on the surface of the alloy plate just before etching Fe for shadow masks characterized by less than 10%
-Ni alloy thin plate.
【請求項2】請求項1の成分および表面粗度を有し、し
かも該表面粗度の異方性が、下記式、 |Ra(L)−Ra(c)|≦0.1μm |Rsk(L)−Rsk(c)|≦0.2 但し、Ra(L)、Rsk(L)は圧延方向における測定値
で、Ra(c)、Rsk(c)は圧延方向と垂直な方向にお
ける測定値である。 の関係を満足することを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。
2. The composition according to claim 1 and the surface roughness, and the anisotropy of the surface roughness is expressed by the following formula: | Ra (L) −Ra (c) | ≦ 0.1 μm | Rsk (L ) −Rsk (c) | ≦ 0.2 where Ra (L) and Rsk (L) are measured values in the rolling direction, and Ra (c) and Rsk (c) are measured values in the direction perpendicular to the rolling direction. Fe for shadow masks characterized by satisfying the relationship
-Ni alloy thin plate.
【請求項3】請求項1の成分を有する薄板を製造するに
当り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、請求項1の表面粗度を該薄板の表面に付与すること
を特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方
法。
3. In producing a thin plate having the components of claim 1, a dull roll is used during the final cold rolling or temper rolling to impart the surface roughness of claim 1 to the surface of the thin plate. And a method for manufacturing an Fe-Ni alloy thin plate for a shadow mask.
【請求項4】請求項1の成分を有する薄板を製造するに
当り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、請求項2の表面粗度を該薄板の表面に付与すること
を特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方
法。
4. When producing a thin plate having the components of claim 1, a dull roll is used during the final cold rolling or temper rolling to impart the surface roughness of claim 2 to the surface of the thin plate. And a method for manufacturing an Fe-Ni alloy thin plate for a shadow mask.
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