JPH07110140B2 - 圧電素子モータ - Google Patents

圧電素子モータ

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JPH07110140B2
JPH07110140B2 JP62014753A JP1475387A JPH07110140B2 JP H07110140 B2 JPH07110140 B2 JP H07110140B2 JP 62014753 A JP62014753 A JP 62014753A JP 1475387 A JP1475387 A JP 1475387A JP H07110140 B2 JPH07110140 B2 JP H07110140B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧電体を利用したモータに関するものである。
〔従来技術〕
従来の、圧電素子を用いたモータは第5図に示すよう
に、圧電素子に電圧にかけることによって振動体2に発
生した振動である進行波または定在波を、摩擦力を利用
して可動体1に伝達するように構成されていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕 そこで、トルクを大きくとるためには可動体1と振動体
2とを強い力で密着させる必要があり、このために、そ
れらの接触部分の摩擦が激しいという欠点があった。
また、振動体2を共振させて用いるために、振動体2の
固有振動数が問題であり、そのために振動体2の材料の
選択範囲が狭いという欠点があった。
本発明の目的は上述の欠点を除去し、振動体と可動体と
の摩耗等が大幅に改善され、また、構造的に減速機能を
もっているために大トルクが得られ圧電性セラミック板
には大きな応力がかからず破損等の問題も少ない、圧電
素子モータを得ることにある。
〔問題点を解決するための手段〕
かかる目的を達成するために、本発明の圧電素子モータ
は、内歯を有する円環状可動体と、該円環状可動体の内
歯とは歯数の異なる外歯を外周面に有するとともに、該
円環状可動体の内歯と外歯が噛合可能に該円環状可動体
内に遊挿される弾性変形部材からなる円環状振動体と、
該弾性変形部材からなる円環状振動体の内周面に固定さ
れ、円周方向の複数位置で位置に応じた分極方向が設定
される円筒状の圧電体と、該円筒状の圧電体の複数位置
で位置に応じた分極方向を設定するため位相の異なる交
流電圧を印加する手段とを備え、該印加手段により位相
の異なる交流電圧を前記圧電体に印加することにより、
該圧電体により前記弾性変形部材からなる円環状の振動
体の一部が半径方向に膨出して、該振動体の外歯と前記
可動体の内歯とが噛合するように構成したことを特徴と
する。
また、本発明は、前記圧電体に印加する電圧の印加方法
を変えることにより、交流モータ的にもステップモータ
的にも使用し得ることを特徴とする。
[作用] 本発明では、歯数の異なる複数の歯車を圧電体とを具え
た歯車機構において、弾性変形部材を変形させる手段を
用いることによって高効率コンパクトなモータの作製が
可能である。また、円筒状の圧電体の複数位置で位置に
応じた分極方向を設定するため位相の異なる交流電圧を
印加することにより圧電体を複数枚設けた場合と同等の
性能を発揮する。また、円環状の振動体の一部が半径方
向に膨出して、該振動体の外歯と前記可動体の内歯とが
噛合することによりモータのトルク性能が改善される。
〔実施例〕
以下、第1図ないし第8図を参照して本発明の実施例を
詳細に説明する。
第1図は本発明の圧電素子モータの構成を示す。1は可
動体、2は振動体、3はフランジ、4は圧電性セラミッ
ク板である。可動体1は内側に歯車が切れらており、振
動体2は弾性変形可能な薄肉の部材の外側に歯車が切ら
れている。フランジ3は振動体2を固定し、圧電性セラ
ミック板4は振動を発生させる。
第2図は本発明の一実施例の駆動原理を示し、P1〜P8は
圧電性セラミック板である。第3図は圧電性セラミック
板P1〜P8に印加する電圧のタイミングを示し、縦軸には
電圧V、横軸には時刻tをとる。第4図は圧電セラミッ
ク板P1〜P8の貼り付け位置とそれらに電圧を印加するた
めの接続法を示す。
8枚の圧電性セラミック板を振動体2の内側に貼り付け
た場合の、本発明の一実施例の動作を以下に説明する。
上述の第1図のような構成において、可動体1の内歯歯
車に振動体2の外歯歯車を噛合した状態で、第2図にお
ける8枚の圧電性セラミック板P1〜P8に、第3図に示す
ような位相の異なる正弦波交流電圧を印加する。これら
の印加した正弦波交流電圧が最大値をとる時刻t1〜5tに
おける振動体2の弾性変形形状を第2図に示す。圧電性
セラミック板P1〜P8が電圧によって変形し、この変形に
よって振動体2は楕円状に弾性変形され、時刻が進むに
つれて、この楕円は長径の両端で部分的に可動体1の内
歯にかみ合いながら回転する。
ところが、可動体1の内歯の歯数N枚に対して、振動体
2の外歯の歯数はそれよりもM枚少なく切ってあるため
に、振動体2が1回転した時、可動体1は歯数の差M枚
分だけ回転することになる。したがって可動体1の回転
数Uは次式で表わされる。
ただしfは電圧セラミック板は印加する交流電圧の周波
数(Hz) 以上のように、圧電性セラミック板が8枚の場合の一実
施例を説明したが、圧電性セラミック板の枚数は2枚以
上であれば何枚でもよく、この枚数を変化させても何ら
本発明の本質を変えない。
第5図は本発明の他の実施例を示す図であり、振動体2
の内側へ4枚の圧電性セラミック板P1〜P4を貼り付ける
場合の配置と、それらへの電圧印加方法を示す。図示の
ようにP1とP3、P2とP4とが接続されて、位相の異なる正
弦波交流電圧が印加される。
第6図は本発明の他の実施例を示す図であり、振動体2
の内側へ、ほぼ中空円筒状に作製した圧電性セラミック
板を挿入して電圧を印加する場合の印加方法と、この場
合の分極方向とを示す。中空円筒状に作製した圧電性セ
ラミック板をP1〜P8の部分に分けて電圧を印加する。こ
のことによって8つの部分の分極方向を変化させること
ができるので、圧電性セラミック板を8枚用いた場合と
同様の作用が得られる。
第7図は本発明の他の実施例を示し、第1図で示した実
施例とは構成が異なっている。図において1,2,4は第1
図の参照番号で示されるのと同一のものを示し、5は固
定体である。内側に歯数Nの歯車を切った可動体1、歯
数が可動体1よりもM枚少ない歯車を切った固定体5、
固定体5と同数の歯数をもつ弾性変形可能な振動体2お
よび振動体2の内側に圧電性セラミック板4を2枚以上
貼り付けた構成をとれば、第1図〜第3図において説明
したように、振動体2を楕円状に変形させながら回転さ
せると、可動体1の歯車の歯数は振動体2のそれよりも
M枚多いので、可動体1はM/Nの減速比で減速されて回
転する。この場合固定体5は歯車の歯数が振動体2の歯
数と同数であるので回転しない。したがって固定体5を
固定しておけば可動体1は相対的に回転することにな
る。本構成においては非常に薄形のモータとすることが
可能となる。
また、電圧印加方法を変更することにより、本発明はパ
ルスモータ的な使い方をすることもできる。すなわち、
第2図において圧電性セラミック板P1〜P8に第8図のよ
うなシーケンスをもったステップ状の電圧を入力パルス
毎に加えると、1入力パルスにつき一定の回転角度で可
動体1が回転する。その減速効果を考えると非常な高分
解能をもつパルスモータとなり得る。
以上説明したように本実施例においては、歯数の異なる
複数の歯車で構成された歯車機構において、弾性変形部
材を変形させるものとして圧電性セラミック板を用いる
ことにより、 1)磁力を全く用いず、また減速用のギア等が不要であ
るモータの構成が可能となり、発熱が少なく、高効率で
コンパクトなモータの作製が可能となった。
2)構成を変えれば中空円筒状のモータとすることも可
能であり、たとえばカメラのレンズを中空円筒内側に構
成して駆動させる等が可能となり、コンパクトなモータ
の作製が可能となった。
3)圧電性セラミック板に印加する電圧の印加方法を変
えれば、連続回転するACモータ的にも使用でき、またオ
ープンループ制御において位置決め等を可能にするステ
ップモータ的にも使用することが可能となった。
〔発明の効果〕
本発明は歯数の異なる複数の歯車と圧電体とを具えた歯
車機構において、弾性変形部材を変形させる手段を用い
る構成としてあるので、トルク特性を改善した汎用性あ
る圧電素子モータを得ることができる。さらには圧電体
を複数枚設ける必要がなくなり、経済的効果も高まる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、 第2図は本発明の駆動原理を示す説明図、 第3図は圧電性セラミック板に印加する電圧のタイミン
グを示す説明図、 第4図は圧電性セラミック板を8枚用いたときの配置と
接続を示す説明図、 第5図は本発明の他の実施例として圧電性セラミック板
を4枚用いたときの配置と接続を示す説明図、 第6図は本発明の他の実施例として圧電性セラミック板
の分極方向を変えるように電圧を印加する方法を示す説
明図、 第7図は本発明の外の実施例として薄形化が可能な構成
を示す構成図、 第8図は本発明の他の実施例としてステップモータ的な
使用をするときの印加電圧のタイミングを示す説明図、 第9図は従来の圧電素子モータの構成図である。 1……可動体、 2……振動体、 3……固定フランジ、 4……圧電性セラミック板、 5……固定体、 P1〜P8……圧電性セラミック板。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】内歯を有する円環状可動体と、 該円環状可動体の内歯とは歯数の異なる外歯を外周面に
    有するとともに、該円環状可動体の内歯と外歯が噛合可
    能に該円環状可動体内に遊挿される弾性変形部材からな
    る円環状振動体と、 該弾性変形部材からなる円環状振動体の内周面に固定さ
    れ、円周方向の複数位置に応じた分極方向が設定される
    円筒状の圧電体と、 該円筒状の圧電体の複数位置で位置に応じた分極方向を
    設定するため位相の異なる交流電圧を印加する手段とを
    備え、 該印加手段により位相の異なる交流電圧を前記圧電体に
    印加することにより、該圧電体により前記弾性変形部材
    からなる円環状の振動体の一部が半径方向に膨出して、
    該振動体の外歯と前記可動体の内歯とが噛合するように
    構成したことを特徴とする圧電素子モータ。
  2. 【請求項2】前記圧電体に印加する電圧の印加方法を変
    えることにより、交流モータ的にもステップモータ的に
    も使用し得ることを特徴する特許請求の範囲第1項記載
    の圧電素子モータ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016129123A1 (ja) * 2015-02-13 2016-08-18 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ 波動歯車装置および波動発生器

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9425712B2 (en) * 2011-09-16 2016-08-23 Harmonic Drive Systems Inc. Vibration power-generating strain wave gearing

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2088645A (en) 1980-11-28 1982-06-09 Rockwell International Corp High speed, high response drive

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62144579A (ja) * 1985-12-17 1987-06-27 Daikin Ind Ltd 歪回転リング
JPS6323570A (ja) * 1986-07-15 1988-01-30 Hitachi Ltd 回転アクチユエ−タ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2088645A (en) 1980-11-28 1982-06-09 Rockwell International Corp High speed, high response drive

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016129123A1 (ja) * 2015-02-13 2016-08-18 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ 波動歯車装置および波動発生器
JPWO2016129123A1 (ja) * 2015-02-13 2017-12-14 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ 波動歯車装置および波動発生器
TWI665396B (zh) * 2015-02-13 2019-07-11 日商和諧驅動系統股份有限公司 諧波齒輪裝置及諧波產生器
US10393250B2 (en) 2015-02-13 2019-08-27 Harmonic Drive Systems Inc. Strain wave gearing and wave generator

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