JPH07108232A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は洗浄装置に関し、その目的は、複数の
洗浄槽で構成される洗浄装置において、洗浄槽間から液
体が漏出するのを防止することにある。 【構成】洗浄槽と洗浄槽間をつなぐ各構成部品が、いか
なる条件でも板状弾性体と密着するように構成した。 【効果】本発明によれば、洗浄槽と洗浄槽をつなぐ各構
成部品間の隙間をなくし、液体の漏出を防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は洗浄装置に係り、特にガ
ラス基板，シリコン基板等を被処理物とした洗浄装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来技術の一例を図３に示す。図３にお
いて部品５は被処理物が通過する為の通過口が形成され
た１枚の板で構成されている。その為、以下に示すよう
な問題があった。

【０００３】洗浄槽間の隙間４は洗浄槽の製作による寸
法誤差及び、組立上の誤差により部品５と接する洗浄槽
１，部品７の壁面は同一平面にはならない。よって、部
品７のフランジ部の寸法に対して、もし、洗浄槽間の隙
間４が短いと部品７のフランジ部は壁面３より出っ張
り、壁面３とゴムパッキン８の間に隙間ができてしま
う。逆に、洗浄槽間の隙間４が長いと部品７とゴムパッ
キン８の間に隙間が出来る。以上の事から液体を使用す
る洗浄槽間において、洗浄槽外へ液体が漏出するという
問題があった。

【０００４】又、図４に示すように、部品５，部品７，
ゴムパッキン８，ゴムパッキン９を省き、洗浄槽の下部
に受け皿１６を設け、漏出した液体を受けるという方法
もあるが、洗浄槽１，洗浄槽２の内側と外側の仕切がな
いため、温水洗浄を行う場合、蒸気が外に漏れるため、
洗浄装置周囲の環境を汚すという問題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前述した従来技術の問
題点は、いずれも洗浄槽間の密閉が不完全であることに
起因している。特に、図３の例において、密閉度を高め
るためには、各構成部品の製作精度及び、組立精度を高
くする必要があり、これを実現するには製作コストが極
めて高価なものになる。仮に実現したとしても、温水洗
浄等、温度変化を伴う場合、熱変形による各構成部品間
の寸法誤差が発生し、完全な密閉を阻害するという問題
点がある。

【０００６】本発明の課題は上記の問題点を解決し、低
コストで、製作誤差や熱変形に対しても、槽間の密閉度
が安定である洗浄装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、従来技術の課
題を解決する為、以下の点に着眼する。

【０００８】前述した様に図３の例では、部品５と接す
る洗浄槽１，部品７の壁面が同一平面にならず、ゴムパ
ッキン８が有効に機能しない。従って本発明において
は、各構成部品の寸法誤差を許容しつつ槽間の密閉度を
高めるために、図３における部品５を２分割する。

【０００９】

【作用】図１においては、従来技術例である図３の部品
５を部品６との２部品に分割し、又、その２部品の間に
は大きめの隙間を設けた構造とする。これにより、ゴム
パッキン８は部品５，部品６，部品７，壁面３と密着し
各構成部品間の隙間をなくし、液体が洗浄槽外へ漏出す
るのを防止することができる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１から図２により
説明する。

【００１１】洗浄槽１，洗浄槽２は、６面を１枚あるい
は複数枚の板で構成された箱状の形状である。洗浄槽２
には部品７のフランジ部が差し込める最小寸法の穴と、
部品７及びゴムパッキン９をネジ１０，１１で固定でき
るネジ穴が形成されている。洗浄槽１は洗浄槽２の部品
７用の穴よりも大きめの穴と、部品５及びゴムパッキン
８をネジ１２，１５で固定できるネジ穴が形成されてい
る。又、部品７のフランジ部先端には、部品６及びゴム
パッキン８をネジ１３，１４で固定できるネジ穴が形成
されている。更に、部品５，部品７，ゴムパッキン８に
は被処理物が通過可能な最小寸法の通過口が形成されて
いる。なお、洗浄槽１又は洗浄槽２では、液体を使用し
て洗浄を行うものとする。

【００１２】このような構造において、洗浄槽１，洗浄
槽２を定位値に組み立てる。この時に必ず、洗浄槽の位
置関係は設計上と異なる。何故ならば、洗浄槽には寸法
誤差があり、又、組立上の誤差も出る。以上により、洗
浄槽間の隙間４は一定でなくなり、部品７のフランジ部
先端と壁面３には段差が生じる。しかし、洗浄槽１側の
部品は、部品７のフランジ部よりも小さい部品６と、洗
浄槽１の穴より大きめの穴が形成された部品５の２部品
に分割されているので、部品７のフランジ部先端面と壁
面３が同一平面上になくても、ゴムパッキン８が伸び縮
みし、各構成部品は常に密着できる。

【００１３】以上の事により、各構成部品間の密閉度は
高くなるので、洗浄槽外へ液体が漏出することはない。

【００１４】

【発明の効果】本発明によれば、洗浄槽と各構成部品
が、いかなる条件でも板状弾性体により密閉されている
ため、液体が洗浄槽外へ漏出するのを防止するという効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である洗浄装置の正面断面図
である。

【図２】本発明の一実施例である洗浄装置の上面図であ
る。

【図３】従来技術による洗浄装置の正面断面図である。

【図４】従来技術による洗浄装置の正面断面図である。

【符号の説明】

１，２…洗浄槽、３…壁面、４…洗浄槽間の隙間、５，
６，７…部品、８，９…ゴムパッキン、１０，１１，１
２，１３，１４，１５…ネジ、１６…受け皿。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】洗浄を液体で行い、複数の洗浄槽で構成
   し、被洗浄物を前記複数の洗浄槽に順次送り込む搬送手
   段を有する洗浄装置において、洗浄槽には被洗浄物を搬
   入，搬出する開口部が搬送方向の上下流に形成され、隣
   あった洗浄槽の開口部間の接続が前記槽とは別部品であ
   る槽間つなぎ部品と、少なくとも２枚の板状弾性体を介
   してなされ、前記槽間つなぎ部品の第１部材は、一面が
   一方の洗浄槽の開口部が形成された壁面に第１の弾性体
   を介し、フランジ接続により壁面に固定され、反面は他
   方の洗浄槽の開口部と第１の槽間つなぎ部材の開口部そ
   れぞれに接するつなぎ部品の第２部材，第３部材と第２
   の弾性体により、接続されていることを特徴とする洗浄
   装置。