JPH07100364A - 原料ガス供給装置 - Google Patents

原料ガス供給装置

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JPH07100364A
JPH07100364A JP25063493A JP25063493A JPH07100364A JP H07100364 A JPH07100364 A JP H07100364A JP 25063493 A JP25063493 A JP 25063493A JP 25063493 A JP25063493 A JP 25063493A JP H07100364 A JPH07100364 A JP H07100364A
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JP
Japan
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raw material
pressure
valve
venturi mixer
material gas
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JP25063493A
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Saburo Kitagawa
三郎 北川
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NIPPON GAS KYOKAI
Original Assignee
NIPPON GAS KYOKAI
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 プロパンガスのような原料ガスと空気を混合
して燃焼に適した混合ガスを消費設備側へ供給する装置
における種々のトラブルを自動的に処理して不完全燃焼
やガス洩れなどを防止する。 【構成】 原料ガスボンベ1と、このボンベ1から供給
される原料ガスと空気を混合するベンチュリーミキサ7
と、混合ガスを一時貯留するサージタンク2を設ける。
ガスボンベ1とベンチュリーミキサ7の間に原料ガスの
圧力が低下したときやベンチュリーミキサ7内の負圧が
異常に低下したときに原料ガスの供給を停止する負圧遮
断弁41を設ける。ベンチュリーミキサ7と、その空気
取入口に設けた逆止弁の間にベンチュリーミキサ7内が
正圧になったときに閉じる空気弁65を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はプロパンガスなどの原
料ガスを収容したガスボンベから供給された原料ガスを
空気と混合した13Aガスのような混合ガスを一たんサ
ージタンクに貯留し、消費設備側において燃料ガスの消
費が始まると、この混合ガスを所定の圧力として消費設
備に送るようにした燃料ガス供給装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図6ないし図8は従来の燃料ガス供給装
置の一例を示すもので、1は例えばプロパンガスの如き
原料ガスボンベ、2はサージタンクである。上記ボンベ
1に接続した原料ガス配管3に中圧調整器4を接続し、
この調整器4と、ベンチュリーミキサ7の入口側の自動
開閉弁6の間を空気取入配管13で連結する。
【0003】上記空気取入配管13の一部には開閉弁コ
ントローラ5を接続する。このコントローラ5は、図7
のようにダイヤフラム9を有するダイヤフラムケース1
0と、ダイヤフラム9で作動する弁11、12を有する
弁箱14からなり、弁11で開閉される弁座15はサー
ジタンク2のガス入口16に通じ、弁12で開閉される
弁座17は空気取入配管13に通じている。
【0004】そして、ダイヤフラム9は、ばね19およ
び、小孔によって通じる大気圧と、サージタンク2の入
口16から加わる混合ガス圧の差圧により作動し、弁1
1は、ばね20により弁座15に押し付けられ、弁1
1、12の間にはばね21を介在させている。
【0005】自動開閉弁6は図8のようにダイヤフラム
ケース23内にダイヤフラム22を設け、このダイヤフ
ラム22で作動する弁24により弁座25を開閉する。
ダイヤフラム22はばね26と小孔から加わる大気圧に
より弁24を弁座25から離す方向に作用し、ダイヤフ
ラムケース23の弁側の室は上記コントローラ5の弁箱
14内に通じている。
【0006】ベンチュリーミキサ7は図8のように弁座
25に通じるノズル30とベンチュリー管31からな
り、このベンチュリー管31の出口がサージタンク2の
ガス入口16に通じ、同管31の入口は逆止弁32を有
する空気取入口29により大気に通じている。また、サ
ージタンク2のガス出口34には出口側圧力調整器33
と出口弁35を介して消費設備に通じる混合ガス供給配
管36を連結する。
【0007】上記の従来例において、サージタンク2内
が大気圧か、内部のガス圧が設定値以下のとき、コント
ローラ5のダイヤフラム9に作用するばね19により弁
11は弁座15から離れ、弁12が弁座17を閉じてい
る。また、自動開閉弁6のダイヤフラム22もばね26
により弁座25を開いている。
【0008】従ってボンベ1からの原料ガスは中圧調整
器4により適当な圧力となり、空気取入配管13、弁座
25を経てノズル30から噴出し、その際の負圧により
空気取入口29に吸い込まれた大気が逆止弁32を開い
てベンチュリーミキサ7内に流入し、ガスと混合して入
口16からサージタンク2内に流入する。
【0009】サージタンク2内の混合ガス圧が設定値以
上になるとそのガス圧でダイヤフラム9を大気圧とばね
19に抗して作動させ、弁12が弁座17を開き、弁1
1で弁座15を閉じることによって、空気取入配管13
の圧力が自動開閉弁6のダイヤフラム22に作動し、弁
24で弁座25を閉じてガスの供給を停止する。
【0010】また、出口弁35を開くと、サージタンク
2内の混合ガスがガス出口34から出口側圧力調整器3
3を経て出口弁35から消費部へ送り出される。混合ガ
スの消費により、タンク2内のガス圧が設定圧以下にな
ると、前記のガス供給時と同様にダイヤフラム9、22
が働いて、弁12、24が弁座17、25より離れ、弁
11が弁座15を閉じてサージタン2への混合ガスの供
給が始まる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】従来装置の構成と作用
は上記の通りであるが、従来ではサージタンク2にガス
入口16とガス出口34をそれぞれ別個に設けていたの
でサージタンク2の工作に手数がかかり、ガス漏れ箇所
が二ケ所になってガス漏れの危険が多い。
【0012】ベンチュリーミキサ7の空気取入口29に
設けたフィルターが目詰まりを起すと、空気不足が起こ
り、この空気の不足した混合ガスを燃焼に利用すると、
不完全燃焼を起すおそれがある。
【0013】ベンチュリーミキサ7の空気取入口29に
設けた逆止弁32にごみ噛みを起すと、閉止不良とな
り、ガス漏れの危険がある。従来のサージタンク2は容
量が5リットル程度であり、かつベンチュリーミキサ7
の噴射圧力が高いため、サージタンク2内の混合ガスの
圧力の変動による自動開閉弁などの作動回数が多くな
り、可動部の耐用年数が短い。
【0014】ボンベ1から供給される原料ガスの圧力が
気温の低下などにより低下して所定圧力のガスをベンチ
ュリーミキサ7に対して供給できなくなると適正な混合
比の混合ガスが得られなくなり、不完全燃焼を起す、な
どの問題があった。
【0015】この発明の課題は上記のような従来装置の
問題点を解決して安全で耐用性の高い原料ガス供給装置
を提供することである。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明はサージタンクの上部に内外2重の管を
固定し、内側の管は上記ベンチュリーミキサの出口に通
じるガス入口、外側の管はガス消費側に通じるガス出口
としたもの、原料ガスボンベの出口に通じる原料ガス配
管中に、開放位置にロックされた弁を有する負圧遮断弁
を設け、ベンチュリーミキサ内の負圧の異常上昇により
作用して、負圧遮断弁のロックを解除することにより上
記遮断弁で上記原料ガス配管を遮断するダイヤフラムを
上記負圧遮断弁に設けたもの、ベンチュリーミキサ内と
空気取入口に設けた逆止弁の間に、上記ベンチュリーミ
キサ内が負圧のときは開弁して外気を流入させ、正圧の
ときに閉弁して空気の流通を遮断する空気弁を設けたも
の、サージタンクの内容量を100リットル程度の大き
なものとすること、ベンチュリーミキサのノズル端の開
口面積Anとベンチュリー管のノド部の面積Ad比、A
d/Anを2〜6とし、ノズルの噴射圧力を6.8kgf/
cm2 未満としたもの、ベンチュリーミキサの入口配管部
分に、この部分の圧力が設定圧力以下になると上記負圧
遮断弁のロックを解除して、上記原料ガス配管を遮断す
る低圧遮断コントローラを設けたものなどを採用した。
【0017】
【作用】この発明は上記の構成であるから、負圧遮断弁
が開放位置にロックされており、サージタンク内が大気
圧か、または設定圧以下のとき原料ガスボンベからのガ
スが自動開閉弁を経てベンチュリーミキサにより空気と
混合して混合ガスとなり、サージタンク内に流入する。
【0018】この原料ガス供給中にベンチュリーミキサ
の空気取入口のフィルタが目詰まりすると、負圧遮断弁
のロックが解除されて原料ガスの供給が停止する。
【0019】また、逆止弁のごみの噛み込みにより閉止
不良を起した場合にあってもベンチュリー管の入口部が
正圧であることにより空気弁のダイヤフラムが作用して
逆止弁とベンチュリーミキサの間を遮断し、逆止弁から
のガス漏れを防止する。
【0020】サージタンクの容量が大きいので混合ガス
の消費によるガス圧の低下が少なくなり、従来の小容量
のサージタンクに比較して自動開閉弁などの作動回数が
少ない。ベンチュリーミキサのノズルの噴出圧力は従来
のものに比較して低くなっているから原料ガスの圧力が
従来のものより低いところまで使用できるので原料ガス
の気化装置は不要である。
【0021】原料ガスの圧力が気温低下などの原因で所
定の圧力より低くなると低温遮断コントローラが作用し
て負圧遮断弁のロックを解除し、原料ガスの供給を遮断
する。
【0022】
【実施例】図1ないし図5はこの発明の実施例を示すも
ので、図6ないし図8に示す従来例と同じ構成と機能を
有する部分は同一の符号を付けて説明を省略し、異なる
部分についてのみ説明する。
【0023】図1において、ボンベ1の出口と中圧調整
器4の間に負圧遮断弁41を設ける。上記遮断弁41は
図2に示すように、ストレーナ40と弁42およびノブ
37を有する弁箱43とダイヤフラム44を有するダイ
ヤフラムケース45からなっている。
【0024】弁42は閉止ばね46によりストレーナ4
0と中圧調整器4間の弁座39を閉じるもので、ノブ3
7をばね38に抗して押すと、弁棒28により弁42が
押されて弁座39が開放され、ダイヤフラム44に連結
したロック棒47の下端がノブ37の溝に係合して開放
位置を保つようになっている。
【0025】ダイヤフラムケース45の上室にはダイヤ
フラム44とロック棒47を押すばね49が装着され、
ベンチュリー管31の入口側に通じる管路63を連結し
た負圧感知孔50が設けてある。また、ケース45の下
部には大気を取入れる小孔27を設ける。
【0026】ダイヤフラムケース45の下室と、開閉弁
6の入口側に通じる空気取入配管13とを通じる管路5
1の途中に低圧遮断コントローラ52を設ける。このコ
ントローラ52は、図4のように、弁箱53内にダイヤ
フラム54を設け、このダイヤフラム54の下部に弁座
55を開閉する副弁56と、この弁座55内に嵌入する
作用棒57を設け、ダイヤフラム54を押下するばね6
1を設ける。上記弁座55の下部には下向きの弁座59
を連通させて設け、この弁座59を下方から開閉する主
弁60を設けてばね62により支持させる。
【0027】図5の65はベンチュリーミキサ7に設け
た空気弁で、ダイヤフラム66を有するダイヤフラムケ
ース67と弁箱69とからなり、弁箱69には大気に通
じる逆止弁32とベンチュリー管31の入口側を通じる
弁座70を設け、この弁座70をダイヤフラム側から閉
じる弁71を設ける。
【0028】この弁71とダイヤフラム66とは両端を
開放した管72により連結してベンチュリー管31の入
口側とダイヤフラムケース67のばね室側を連通させ、
このばね室に設けたばね73により弁71を弁座70に
押し付ける。
【0029】サージタンク2には大径の連結口74を設
け、この連結口74内に上記ベンチュリー管31の出口
に通じるガス入口16を設け、このガス入口16の外側
と連結口74の内側間をガス出口34とし、連結口74
の一側に出口側の圧力調整器33、出口弁35などを連
結する。
【0030】また、連結口74の他側には、安全弁75
を設ける。この安全弁75はその弁座76をばね77に
より常時閉鎖し、サージタンク2内の圧力が設定値を越
えると弁座76を開くもので、弁座76と前記開閉弁コ
ントローラ5の弁座15とは従来例と同様に連通させ
る。
【0031】上記実施例の場合、図2のように、ロック
棒47がスプール弁42を開放位置にロックし、低圧遮
断コントローラ52の副弁56が弁座55から離れ、主
弁60が弁座59を閉じている条件で、サージタンク2
内が大気圧か、内部のガス圧が設定値以下のとき、開閉
弁コントローラ5のダイヤフラム9に作用するばね19
により弁11は弁座15から離れ、弁12が弁座17を
閉じている。また、自動開閉弁6のダイヤフラム22も
ばね26により弁座25を開いている。
【0032】従って、ボンベ1からの原料ガスはストレ
ーナ40、弁座39、中圧調整器4、弁座25を経てノ
ズル30から噴出し、その際の負圧が空気弁65のダイ
ヤフラムケース67のばね室に働いて、ダイヤフラム6
6がばね73を圧縮して動き、弁座70が開いて大気が
逆止弁32を開いてベンチュリーミキサ7内に流入し、
ガスと混合して入口16からサージタンク2内に流入す
る。
【0033】この原料ガス供給中において、ベンチュリ
ーミキサ7の空気取入口29の部分の圧力は通常、僅か
に負圧(−10〜−50mmAq)になっているが、この
部分のフィルターが目詰りを起すとベンチュリー管31
に吸込まれる空気が不足するが、このとき、ベンチュリ
ー管31の入口内は大きな負圧(−100mmAq以下)
となる。
【0034】このように大きな負圧になると、これに連
通している負圧遮断弁41のダイヤフラム44の上室が
負圧となり、小孔27により大気に通じているダイヤフ
ラム44の下部の大気圧によりダイヤフラム44がばね
49を圧縮して上昇し、ロック棒47が引上げられてス
プール弁42の係止を解きばね46の作用でスプール弁
42が弁座39を閉じてガスの供給を遮断する。
【0035】また、上記逆止弁32は閉止能力を高くし
ようとすると、空気の吸い込み時に大きな抵抗を生じて
空気の吸い込みが悪くなる。このため、閉止能力を大き
くできない。しかし、閉止能力が小さいと僅かなごみを
噛んでも閉止不良が起る。逆止弁32が閉止不良を起す
と、空気吸込み停止時、ベンチュリー管31の入口の部
分が正圧となったときガス漏れを起す。しかし、この実
施例ではベンチュリー管31の入口内が正圧となると、
その圧力が管72内を通ってダイヤフラム66のばね7
3側に通じるのでダイヤフラム66が働いて弁71を弁
座70に押し付け、逆止弁32からのガス漏れを防止す
る。
【0036】上記の作用において、サージタンク2内の
混合ガス圧が設定値以上になると、そのガス圧でダイヤ
フラム9を大気圧とばね19に抗して作動させ、弁12
で弁座17を開き、弁11で弁座15を閉じることによ
って、空気取入配管13の圧力が自動開閉弁6のダイヤ
フラム22に作動し、弁24で弁座25を閉じてガスの
供給を停止する。
【0037】また、出口弁35を開くとサージタンク2
内の混合ガスがガス入口16の外周のガス出口34を経
てガス器具に送られる。混合ガスの消費により、タンク
2内のガス圧が設定値以下になると前記の作用と同様に
ダイヤフラム9、22が働いて弁24が弁座25により
離れ、タンク2へのガスの供給が始まる。上記のように
サージタンク2内の混合ガスの一定以上の圧力の変動に
応じて自動開閉弁6が作用する。
【0038】従って、サージタンク2内の内容量が5リ
ットル程度の小さいものの場合、サージタンク2内の混
合ガスの圧力変動が頻繁となり、開閉弁6の開閉回数が
多くなり、また、開閉時に生じるガス混合比の誤差が大
となるが、実施例ではサージタンク2の内容量を100
リットル程度の大きいものにしたので圧力変動による開
閉弁6の開閉の回数が少なくなった。
【0039】実施例ではベンチュリーミキサ7のノズル
30端の開口面積Anとベンチュリー管31のノド部a
の面積Ad比、Ad/Anを2〜6とし、ノズル30の
噴射圧力を6.8kgf/cm2 未満としてある。例えばAd
/Anを3.5とし、噴射圧力を3kgf/cm2 とすると、
背圧が500〜3500mmAqの範囲で安定した混合比
(発熱量)のガスが得られる。
【0040】原料ガス、すなわち、ボンベから供給され
るプロパンガスの圧力が気温低下などの原因で低下して
所定の圧力のガスがベンチュリーミキサ7に提供できな
くなると、適正な混合比の混合ガスが得られなくなる。
【0041】この実施例ではベンチュリーミキサ7の入
口配管部に低圧遮断コントローラ52を設けてあるか
ら、不適正な混合ガスが消費側に送られることを未然に
防止する。
【0042】すなわち、自動開閉弁6の入口に通じる空
気取入配管13内のガス圧が設定圧力以下に低下すると
低圧遮断コントローラ52のダイヤフラム54の下部の
圧力が下り、ばね61によりダイヤフラム54を押し下
げて、作用棒57により主弁60を押し下げ弁座59を
開く。弁座59が開くと、空気取入配管13が管路51
によりダイヤフラムケース45の下室に通じるので、空
気取入配管13内のガス圧がダイヤフラムケース45の
下室に加わり、下室内が大気圧より高くなる。
【0043】このため、ダイヤフラム44がばね49を
圧縮して上昇し、ロック棒47を引上げてスプール弁4
2のロックを解除して弁座39を閉じ原料ガスの供給を
止める。
【0044】上記負圧遮断弁41のダイヤフラムケース
45の下部には小孔27があり、大気に連通している。
従って上記のように弁座59が開いてガスがダイヤフラ
ムケース45の下部に導入されたとき、小孔27からガ
スが大気に放出される。
【0045】しかし、上記のコントローラ52の作動に
より空気取入配管13の圧力がさらに低下すると、ばね
61により副弁56がさらに下降して弁座55を閉じる
ので大気中に放出されるガスは極めて少ない。
【0046】
【効果】この発明は上記のようにサージタンクに設ける
ガス入口とガス出口とを内外2重にしたので、サージタ
ンクに設ける配管の接続部が一ケ所となり、従来の入口
と出口が別々のものに比較して接続箇所が減少する。従
ってサージタンクの加工箇所が一ケ所省略でき、漏洩箇
所が減少するので外部漏洩の危険が少なくなる。
【0047】長期使用すると、ベンチュリーミキサの空
気取入口に設けたフィルターが目詰まりを起こす。しか
し、この発明では負圧遮断弁を設けてフィルターの目詰
まりにより空気取入口の負圧が大きくなると負圧遮断弁
が働いて原料ガスの供給を止める。従って、空気の不足
した混合ガスにより不完全燃焼の恐れが未然に防止でき
る。
【0048】従来は、ベンチュリーミキサの空気取入口
に逆止弁のみを設置していた。しかし、逆止弁は閉止能
力を高くしようとすると、空気吸い込み時に大きな抵抗
を生じて空気の吸い込みが悪くなるため、閉止能力を大
きくできない。閉止能力が劣ると僅かのごみ噛みでも閉
止不良を起こし逆流、すなわちガス漏れを起こす危険が
あった。
【0049】この発明は、空気取入口(ベンチュリーミ
キサと逆止弁の間)に、ベンチュリーミキサ部が負圧の
ときには開弁し、正圧の時には閉弁する空気弁を取りつ
けることにより、混合ガス製造停止時(ベンチュリーミ
キサが正圧となる)に、その正圧をダイヤフラムで受け
て大きな力として弁を閉じるので、完全な締切りが得ら
れガス漏れのおそれがなくなる。
【0050】サージタンクの内容積を100リットル程
度の大きいものとした。これにより、ガス製造時の開閉
弁の開閉回数を少なくできるため、開閉弁その他の耐用
年数を長くできるとともに、開閉時に生じるガス混合比
の誤差を吸収することができ混合ガス製造量の変化に対
してより安定した混合比のガスが得られる。
【0051】この発明ではベンチュリーミキサのノズル
端の開口面積Anとベンチュリー管のノド部の面積Ad
比、Ad/Anを6〜7とし、ノズルの噴射圧力を6.
8kgf/cm2 未満としてある。
【0052】これにより噴射圧力が下がり原料ガス(プ
ロパン)が低い圧力になるまで使用できる。従来では噴
射圧力が高くて、容器からガスで取り出すと気化熱を奪
って圧力が低下し直ぐに所要圧力が得られなくなるため
LPG気化装置が必要であった。この発明により原料ガ
ス(プロパン)が低い圧力まで使えれば、気化装置が不
要になる。
【0053】原料ガスの圧力が、気温低下等により、所
定の圧力をベンチュリーミキサに対して供給できなくな
ると、適正な混合比の混合ガスが得られなくなる。
【0054】この発明ではベンチュリーミキサ入口配管
部に低圧遮断コントローラを設け、ベンチュリーミキサ
入口配管部が設定圧力以下になると、ベンチュリーミキ
サ入口圧力を負圧遮断弁のダイヤフラム下部に導入する
ことにより、負圧遮断弁のロックが解除され原料ガスの
供給を止め、混合ガスの製造を停止させるようにしたの
で、不適正な混合ガスによる不完全燃焼を未然に防止で
きる。
【0055】上記負圧遮断弁のダイヤフラム下部には、
小穴があり通常大気と連通している。そのため、低圧遮
断コントローラ作動時負圧遮断弁以降のガスが大気中に
放出される事になるが、低圧遮断コントローラには副弁
が備わっており、負圧遮断弁作動とともにただちにベン
チュリーミキサ入口圧力が更に低下し副弁が閉止するこ
とによりガスの放出は停止する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の配管図
【図2】同上に用いる負圧遮断弁の拡大縦断面図
【図3】同じく開閉弁コントローラの拡大縦断面図
【図4】同じく低圧遮断コントローラの拡大縦断面図
【図5】同じく自動開閉弁、内外二重の管やベンチュリ
ーミキサなどの拡大縦断面図
【図6】従来例の配管図
【図7】同上に用いる開閉弁のコントローラの拡大縦断
面図
【図8】同じく自動開閉弁やベンチュリーミキサなどの
拡大縦断面図
【符号の説明】
1 原料ガスボンベ 2 サージタンク 3 原料ガス配管 5 開閉弁コントローラ 6 自動開閉弁 7 ベンチュリーミキサ 13 入口配管 16 ガス入口 29 空気取入口 30 ノズル 31 ベンチュリー管 32 逆止弁 34 ガス出口 41 負圧遮断弁 47 ロック棒 52 低圧遮断コントローラ 65 空気弁

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 原料ガスボンベから供給される原料ガス
    をベンチュリー管に噴射し、逆止弁を有する空気取入口
    から吸い込んだ空気と原料ガスを混合してサージタンク
    のガス入口からサージタンク内に供給するベンチュリー
    ミキサと、このベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧
    を検出して、この圧力が上限設定圧以上になると、上記
    ベンチュリーミキサの入口部に設けた自動開閉弁を閉
    じ、上記ベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧が下限
    設定圧以下になると、上記自動開閉弁を開く作用をする
    開閉弁コントローラを設けた原料ガス供給装置におい
    て、上記サージタンクの上部に内外2重の管を固定し、
    内側の管は上記ベンチュリーミキサの出口に通じるガス
    入口、外側の管はガス消費側に通じるガス出口とした原
    料ガス供給装置。
  2. 【請求項2】 原料ガスボンベから供給される原料ガス
    をベンチュリー管に噴射し、逆止弁を有する空気取入口
    から吸い込んだ空気と原料ガスを混合してサージタンク
    のガス入口からサージタンク内に供給するベンチュリー
    ミキサと、このベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧
    を検出して、この圧力が上限設定圧以上になると、上記
    ベンチュリーミキサの入口部に設けた自動開閉弁を閉
    じ、上記ベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧が下限
    設定圧以下になると、上記自動開閉弁を開く作用をする
    開閉弁コントローラを設けた原料ガス供給装置におい
    て、上記原料ガスボンベの出口に通じる原料ガス配管中
    に、開放位置にロックされた弁を有する負圧遮断弁を設
    け、上記ベンチュリーミキサ内の負圧の異常上昇により
    作用して、上記弁のロックを解除することにより上記弁
    で上記原料ガス配管を遮断するダイヤフラムを上記負圧
    遮断弁に設けた原料ガス供給装置。
  3. 【請求項3】 原料ガスボンベから供給される原料ガス
    をベンチュリー管に噴射し、逆止弁を有する空気取入口
    から吸い込んだ空気と原料ガスを混合してサージタンク
    のガス入口からサージタンク内に供給するベンチュリー
    ミキサと、このベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧
    を検出して、この圧力が上限設定圧以上になると、上記
    ベンチュリーミキサの入口部に設けた自動開閉弁を閉
    じ、上記ベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧が下限
    設定圧以下になると、上記自動開閉弁を開く作用をする
    開閉弁コントローラを設けた原料ガス供給装置におい
    て、上記ベンチュリーミキサ内と空気取入口に設けた逆
    止弁の間に、上記ベンチュリーミキサ内が負圧のとき
    は、開弁して外気を流入させ正圧のときに閉弁して空気
    の流通を遮断する空気弁を設けた原料ガス供給装置。
  4. 【請求項4】 原料ガスボンベから供給される原料ガス
    をベンチュリー管に噴射し、逆止弁を有する空気取入口
    から吸い込んだ空気と原料ガスを混合してサージタンク
    のガス入口からサージタンク内に供給するベンチュリー
    ミキサと、このベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧
    を検出して、この圧力が上限設定圧以上になると、上記
    ベンチュリーミキサの入口部に設けた自動開閉弁を閉
    じ、上記ベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧が下限
    設定圧以下になると、上記自動開閉弁を開く作用をする
    開閉弁コントローラを設けた原料ガス供給装置におい
    て、上記サージタンクの内容量を100リットル程度の
    大きなものとした原料ガス供給装置。
  5. 【請求項5】 原料ガスボンベから供給される原料ガス
    をベンチュリー管に噴射し、逆止弁を有する空気取入口
    から吸い込んだ空気と原料ガスを混合してサージタンク
    のガス入口からサージタンク内に供給するベンチュリー
    ミキサと、このベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧
    を検出して、この圧力が上限設定圧以上になると、上記
    ベンチュリーミキサの入口部に設けた自動開閉弁を閉
    じ、上記ベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧が下限
    設定圧以下になると、上記自動開閉弁を開く作用をする
    開閉弁コントローラを設けた原料ガス供給装置におい
    て、上記ベンチュリーミキサのノズル端の開口面積An
    とベンチュリー管のノド部の面積Ad比、Ad/Anを
    1.5〜6とし、ノズルの噴射圧力を6.8kgf/cm2
    満とした原料ガス供給装置。
  6. 【請求項6】 原料ガスボンベから供給される原料ガス
    をベンチュリー管に噴射し、逆止弁を有する空気取入口
    から吸い込んだ空気と原料ガスを混合してサージタンク
    のガス入口からサージタンク内に供給するベンチュリー
    ミキサと、このベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧
    を検出して、この圧力が上限設定圧以上になると、上記
    ベンチュリーミキサの入口部に設けた自動開閉弁を閉
    じ、上記ベンチュリーミキサの出口の混合ガス圧が下限
    設定圧以下になると、上記自動開閉弁を開く作用をする
    開閉弁コントローラを設けた原料ガス供給装置におい
    て、上記原料ガスボンベの出口に通じる原料ガス配管中
    に、開放位置にロックされた弁を有する負圧遮断弁を設
    け、上記ベンチュリーミキサの入口配管部分に、この部
    分の圧力が設定圧力以下になると上記負圧遮断弁のロッ
    クを解除して、上記弁により原料ガス配管を遮断する低
    圧遮断コントローラを設けた原料ガス供給装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004505758A (ja) * 2000-08-04 2004-02-26 アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド 超純粋なまたは汚染に敏感な化学薬品のための自動補充システム
JP2005177665A (ja) * 2003-12-22 2005-07-07 Ito Koki Kk ガス供給装置
JP2016161237A (ja) * 2015-03-03 2016-09-05 武陽ガス株式会社 ガス供給装置
JP2017207272A (ja) * 2016-05-11 2017-11-24 I・T・O株式会社 混合ガス製造装置

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