JPH0699612A - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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JPH0699612A
JPH0699612A JP24991692A JP24991692A JPH0699612A JP H0699612 A JPH0699612 A JP H0699612A JP 24991692 A JP24991692 A JP 24991692A JP 24991692 A JP24991692 A JP 24991692A JP H0699612 A JPH0699612 A JP H0699612A
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image carrier
vacuum chamber
light emitting
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Koji Tanimoto
弘二 谷本
Naoaki Ide
直朗 井出
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、高解像度化、高輝度化を両立し、高
速、高解像度のプリンタを可能にする露光装置を提供す
ることを目的とする。 【構成】本発明は感光体ドラム1に対向するとともに真
空室12aの一部を構成する透明なガラス基体11と、
前記真空室12a内に設けられ熱電子を放出する電極1
3と、前記ガラス基体11上に設けられ前記電極13か
らの熱電子が衝突されることにより発光する蛍光体19
と、この蛍光体19に対向する前記ガラス基体11の部
位に形成され、前記蛍光体19から発光された光を前記
感光体ドラム1に光学的に集光させるマイクロレンズ1
4とを具備してなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば、電子写真プ
リンタ、デジタルPPC、ファクシミリなどの装置に用
いられる露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電子写真プロセスを用いたプリンタの露
光手段としては種々のものが開発されているが、その代
表的なものとしては、レ−ザ光学系が広く知られてい
る。しかしながら、レ−ザ光を用いた場合、装置を小型
化するには限界があり、近年では、露光手段を小型にで
きる固体走査ヘッドの開発が盛んである。
【0003】この固体走査ヘッドは、発光素子としてL
ED、EL、プラズマなどを用い、あるいは、シャッタ
として液晶、プラズマなどを用いて光源からの光を制御
し、また、レンズとしてはロッドレンズアレイ(セルフ
ォクレンズ)を用いている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た種々の固体走査ヘッドは、通常、比較的、低速、低解
像度のプリンタに用いられてきた。その理由としては、
上記固体走査ヘッドがいずれも高解像度化と高輝度化に
は、不向きであることに起因する。
【0005】すなわち、固体走査ヘッドに用いられてき
たロッドレンズアレイ(セルフォックレンズアレイ)
が、発光素子とある程度距離を置いて配置されるため、
発光素子からの光を効率良く利用できないためである。
【0006】したがって、ロッドレンズアレイ(セルフ
ォックレンズアレイ)を用いて、上記の発光素子あるい
はシャッタの高輝度化を達成しようとした場合、発光素
子の発光面積を大きくしたり、シャッタの開口面積を大
きくしなければならなかった。つまり、プリンタのスピ
−ドを上げるためには解像度を犠牲にしなければならな
かった。一方、解像度を上げるためには、当然、発光素
子の発光面積を小さくしたり、シャッタの開口面積を小
さくする必要がある。これを実行すると、輝度は発光素
子の発光面積あるいはシャッタの開口面積に比例して低
下するため、プリンタのスピ−ドを犠牲にしなければな
らなかった。そこで、本発明は、高解像度化、高輝度化
を両立し、高速、高解像度のプリンタを可能にする露光
装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため、像担持体に対向するとともに真空室の一部を
構成する透明な基体と、前記真空室内に設けられ熱電子
を放出する電極と、前記基体上に設けられ前記電極から
の熱電子が衝突することにより発光する発光素子と、こ
の発光素子に対向する前記基体の部位に形成され、前記
発光素子から発光された光を前記像担持体に光学的に集
光させる集光部とを具備し、また、集光部を千鳥状に配
置し、さらに、光源と像担持体との間に設けられ離間対
向する2枚の透明な基体と、これら基体間に設けられ液
晶の分子配列を制御することにより前記光源からの光を
開閉する光開閉部材と、2枚の透明な期待の一方あるい
は両方に、光開閉部材を通過した光を前記像担持体に光
学的に集光する集光部とを具備してなる。
【0008】
【作用】前記電極から熱電子が放出されると、発光素子
が発光し、この光は基体の集光部を介して効率良く像担
持体に集光されて露光する。また、前記光源から照射さ
れる光は光開閉部材を通過したのち基体の集光部を介し
て効率良く像担持体に集光されて露光する。
【0009】
【実施例】以下、本発明を図面に示す一実施例を参照し
て説明する。図1は、露光手段としての固体走査ヘッド
を用いた電子写真プリンタの作像部を示す断面図であ
る。
【0010】図中1は像担持体としての感光体ドラム
で、この感光体ドラム1は図の矢印で示す方向に一定の
スピ−ドで回転するようになっている。前記感光体ドラ
ム1の周囲部にはその回転方向に沿って順次、帯電チャ
ジャ−2、露光手段としての固体走査ヘッド3、現像器
4、転写ロ−ラ5、除電ランプ6およびクリ−ナ7が配
設されている。
【0011】しかして、画像形成時には、感光体ドラム
1が回転され、帯電チャジャ−2を通過する際に、その
表面が一様に帯電される。この帯電された感光体ドラム
1の周面には上記固体走査ヘッド3の後述する1次元あ
るいは2次元的に配列された発光素子が送られてくる画
像デ−タに従って、選択的に発光して感光体ドラム1を
露光する。この露光により、光の当たった感光体ドラム
1の表面の電位は変化し、画像デ−タに応じた潜像が形
成される。この潜像は、現像器4を通過する際にトナ−
が供給されて現像され可視像となる。
【0012】一方、このときには、給紙部(図示しな
い)から、転写紙Pが供給されて転写ロ−ラ5に搬送さ
れており、現像器4で現像された感光体ドラム1上の可
視像(トナ−像)は、転写ロ−ラ5で転写紙P上に転写
される。可視像(トナ−像)が、転写された転写紙P
は、定着部(図示しない)に搬送され、ここで、転写紙
P上のトナ−像は、加熱および加圧されることにより転
写紙Pにしかっりと定着する。
【0013】上記感光体ドラム1は転写後、除電ランプ
6により除電される。転写されずに、感光体ドラム1上
に残ったトナ−は、クリ−ナ7でクリ−ニングされ、感
光体ドラム1は再び、帯電チャジャ−2に達する。電子
写真プリンタは、上記したプロセスを繰り返すことによ
って、連続的にプリント動作を行う。次に、上記固体走
査ヘッド3について詳しく説明する。図2は、固体走査
ヘッド3の断面を表した図である。
【0014】図中11は透明基板としてのガラス基板
で、このガラス基板11上には該ガラス基板11ととも
に真空室12aを構成する断面コ字状をなす長方形状の
ガラス体12が設けられている。このガラス体12の内
部は真空度10-8ト−ル以下に維持され、この内部に
は、電子放射性物質が塗布された1本のワイヤ−状のカ
ソ−ド電極13が張られている。また、上記ガラス基板
11内には、後述する発光点に相当する箇所に、集光部
としてのマイクロレンズ14が形成されている。このマ
イクロレンズ14の表面は、平面であり、通常のガラス
と同様に扱うことができる。
【0015】さらに、発光点に相当する箇所のガラス基
板11上には、真空蒸着により形成されたアルミニュ−
ム薄膜配線からなるアノ−ド電極16と、このアノ−ド
電極16と一体になった蛍光体19とからなる蛍光体ド
ット15が設けられている。図3は、図2の点線で示し
た部分を拡大して示す図である。
【0016】発光部となる箇所には、アノ−ド電極16
の上から、蛍光体ドット15が印刷法、あるいは、フォ
トリソ法、リフトオフ法などの電着法によって形成され
ている。上記蛍光体ドット15に使用される蛍光体19
は、たとえば、高速発光応答性と高輝度発光性を持つZ
nOである。また、高真空領域外のガラス基板11には
駆動IC17が蛍光体ドット15に応じて実装されてい
る。
【0017】上記アノ−ド電極16からは真空蒸着によ
り形成されたアルミニュ−ムリ−ド線18が高真空領域
外に延びており、駆動IC17とワイヤ−ボンディングで
電気的に接続されている。つぎに、発光原理について簡
単に説明する。カソ−ド電極13の両端には、AC5 V(10
KHz)程度の交流電圧が印加されており、この電圧によっ
てカソ−ド電極13は加熱される。この加熱により、カ
ソ−ド電極は(ワイヤ−)13は熱電子を放出する。一
方、発光するアノ−ド電極16には、カソ−ド電極13
の中心電位に対し、35V 程度の直流電圧が、駆動IC1
7によって供給される。この電位差によって、カソ−ド
電極13から放出された熱電子は、アノ−ド電極16方
向に加速し、蛍光体19に衝突する。この熱電子の衝突
により、蛍光体ドット15は発光する。なお、この蛍光
体ドット15からの光は、拡散光である。
【0018】このように、駆動IC17により電圧が印
加された蛍光体ドット15のみが発光するので、駆動IC
17に、画像デ−タを入力することによって、画像デ−
タに応じて、選択的に蛍光体ドット15を発光させるこ
とができる。つぎに、上記マイクロレンズ14の働きに
ついて説明する。
【0019】先に説明したように、ガラス基板11の蛍
光体ドット15に対応する箇所には、マイクロレンズ1
4が形成されており、蛍光体ドット15から発光した拡
散光は、マイクロレンズ14で屈折し、感光体ドラム1
上に集光する。このように、蛍光体ドット15からガラ
ス基板11へ発光した光は効率良く、感光体ドラム1上
に導かれる。
【0020】したがって、より高速のプリンタを構成す
ることができ、また、プリンタのスピ−ドを上げない場
合においては、同じ光量を、より小さい蛍光体19から
取り出せることになり、解像度を上げることが可能にな
る。なお、本発明は上記一実施例に限られるものではな
く、図4に示すように構成しても良い。
【0021】上記した図2,図3のように、1つの画素
に対して1つのマイクロレンズ14で光を集光させた場
合には、マイクロレンズ14の1面のみで、コマ収差と
球面収差と両方を補正しなければならない。これは、蛍
光体ドット15側のマイクロレンズ14の面が平面であ
るためである。周知の如く、一面のみでコマ収差と、球
面収差を補正するのは困難である。このことを解決する
ために、マイクロレンズを2個設けたのが図4の例であ
る。
【0022】たとえば、蛍光体ドット15からの光は第
1のマイクロレンズ21によってコマ収差が補正され、
ガラス基板11内を平行光として進み、第2のマイクロ
レンズ22に入光する。第2のマイクロレンズ22では
球面収差を補正するとともに、感光体ドラム1へ光を集
光させる。このように、マイクロレンズ21,22を2
つ設けることにより、より精度良く光を感光体ドラム1
へ導くことができる。つぎに、上記マイクロレンズ1
4,21,22をガラス基板11内に形成する方法につ
いて簡単に説明する。
【0023】まず、ガラス板を用意し、このガラス板に
Tiを蒸着し、フォトリソ法によって、蛍光体ドットに対
応する箇所に円形の窓を明けた後、400℃以上に加熱
した1価イオンの硝酸液中に浸す。このとき、溶液中の
陽イオンが開口窓から当方拡散し、イオン交換が起こ
る。このイオン交換によってガラス内の組成が変化し、
屈折率分布が生じ、レンズとしての機能が生まれる。
【0024】レンズの直径は10μm 〜1μm 、焦点距
離は50μm 〜5mmの範囲で設計できるので蛍光体ドッ
トの大きさおよび配列ピッチ、ガラス基板の厚さ、感光
体ドラムとの距離に応じてパラメ−タを設定できる。つ
ぎに、図5を用いて、マイクロレンズ14と、アノ−ド
電極16と、蛍光体ドット15のガラス平面上の配置に
ついて説明する。同図はガラス基板11をカソ−ド電極
13側から示した図である。図に示すように、マイクロ
レンズ14の配列ピッチとアノ−ド電極16の配列ピッ
チは共にPである。また、図に示すように、それぞれの
中心は、一致するように形成されている。アノ−ド電極
16の中央部は、窓になっており、この上にZno 層(蛍
光体)が、アノ−ド電極16とオ−バラップするよう
に、形成されている。電子が、発光体Zno に衝突して発
する光は、このアノ−ド電極16の窓を通してマイクロ
レンズ14に到達する。アノ−ド電極16からは、アル
ミニュ−ム線18が駆動IC17に向けて伸びている。
なお、マイクロレンズ14と、アノ−ド電極16と、蛍
光体ドット15は図6に示すように配置しても良い。こ
の図6は図5の配置の変形で、より輝度を高めようとし
た例である。
【0025】基本的な構造および発光の原理などは、図
5の例と全く同じである。異なる点は、マイクロレンズ
14、アノ−ド電極16、発光体ドット15を千鳥配置
としたことである。このような配置とすることにより、
解像度が同じでも、蛍光体ドット15の発光面積とマイ
クロレンズ14を大きくすることができる。この図6も
図5と同じく、ガラス基板11をカソ−ド電極13側か
ら示した図である。図に示すように、マイクロレンズ1
4、アノ−ド電極16、蛍光体ドット15は千鳥配列と
なっているが、主走査方向のピッチは、図5と同じく、
Pである。しかしながら、このときの、マイクロレンズ
14の直径φは図5のマイクロレンズの直径の約1.5
倍程度のとすることができる。このように、発光点を千
鳥配列とすることで、発光体ドット15の面積を大きく
し、発光量を多くすることができる。
【0026】但し、ここでは、詳細について述べない
が、このように発光点が、千鳥配置をなす場合には、発
光点の配置に応じて、発光タイミングを制御しなければ
ならない。つぎに、固体走査ヘッドとして、液晶シャッ
タアレイ(光開閉部材)を用いた例を、図7を用いて説
明する。
【0027】液晶シャッタアレイは、周知のごとく、自
らは発光しないで、各液晶セルの電気光学効果を用い
て、背面の光源30から照明された光を制御して、感光
体ドラム1を露光する。
【0028】通常、液晶シャッタアレイは液晶封入用2
枚のガラス基板31,32を用いており、それぞれのガ
ラス基板31,32上に設けた電極を制御することによ
り、液晶分子の配列状態を変化させ、光の通過を制御す
る。
【0029】上記ガラス基板31,32間にはITO4
1,41、アルミニュ−ム42,42、ポリイミド4
3,43、液晶44、SiNx45が積層されている。46
は偏向板である。
【0030】ここでは、液晶分子の挙動およびシャッタ
の動作の詳しい説明は省略するが、ここでの特徴的であ
るのは、ガラス基板32内に、先に、説明したマイクロ
レンズ14を設けたことである。このマイクロレンズ1
4により、液晶部44を通過した光は効率良く、感光体
ドラム上に光を導くことができる。
【0031】
【発明の効果】本発明は以上説明したように、ガラス基
板に集光部を形成し、この集光部に対応して発光素子あ
るいは光開閉部材を配置したから、発光素子あるいは光
開閉部材からの光を効率良く、像担持体へ導くことがで
き、より高速のプリンタを構成することができる。
【0032】さらに、プリンタのスピ−ドを上げない場
合においては、同じ光量を、より小さく発光素子、ある
いは光開閉部材から取り出せることになり、解像度を上
げることが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である固体走査ヘッドを用い
た電子写真プリンタの作像プロセスを説明するための図
である。
【図2】図1の固体走査ヘッドに用いられるマイクロレ
ンズを示すための断面図である。
【図3】図2中の一部であるマイクロレンズおよび発光
部を拡大して示す図。
【図4】本発明の第1の他の実施例を示す断面図。
【図5】図1の固体走査ヘッドに用いられるマイクロレ
ンズ、アノ−ド電極、蛍光体ドット、AIリ−ド線の配置
を示した図。
【図6】図1の固体走査ヘッドに用いられるマイクロレ
ンズ、アノ−ド電極、蛍光体ドット、AIリ−ド線の他の
配置例を示した図。
【図7】本発明の第2の他の実施例であるマイクロレン
ズを液晶シャッタヘッドに応用した例を示す断面図。
【符号の説明】 1…感光体ドラム(像担持体)、11…ガラス基体、1
9…蛍光体(発光素子)、14,21,22…マイクロ
レンズ(集光部)。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 像担持体に対向するとともに真空室の一
    部を構成する透明な基体と、 前記真空室内に設けられ熱電子を放出する電極と、 前記基体上に設けられ前記電極からの熱電子が衝突され
    ることにより発光する発光素子と、 この発光素子が対向する前記基体の部位に形成され、前
    記発光素子から発光された光を前記像担持体に光学的に
    集光させる集光部と、を具備してなることを特徴する露
    光装置。
  2. 【請求項2】 像担持体に対向するとともに真空室の一
    部を構成する透明な基体と、 前記真空室内に設けられ熱電子を放出する電極と、 前記基体上に設けられ前記カソ−ド電極からの熱電子が
    衝突されることにより発光する発光素子と、 この発光素子が対向する前記基体の部位に千鳥状に配置
    され、前記発光素子から発光された光を前記像担持体に
    光学的に集光させる集光部と、を具備してなることを特
    徴する露光装置。
  3. 【請求項3】 光源と像担持体との間に設けられ離間対
    向する2枚の透明な基体と、 これら基体間に設けられ液晶の分子配列を制御すること
    により前記光源からの光を開閉する光開閉部材と、 この光開閉部材を通過した光を前記像担持体に光学的に
    集光する透光性の基体に形成された集光部と、を具備し
    てなることを特徴する露光装置。
JP24991692A 1992-09-18 1992-09-18 露光装置 Pending JPH0699612A (ja)

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