JPH0694689A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0694689A JPH0694689A JP4246905A JP24690592A JPH0694689A JP H0694689 A JPH0694689 A JP H0694689A JP 4246905 A JP4246905 A JP 4246905A JP 24690592 A JP24690592 A JP 24690592A JP H0694689 A JPH0694689 A JP H0694689A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate
- reflected wave
- signal
- transmission
- threshold value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】おのおのの試料に対して適当なしきい値を自動
的に設定することのできる超音波顕微鏡を提供する。 【構成】送信波の送信タイミングに基づいて第１ゲ―ト
信号を発生させる第１ゲ―ト発生部６と、第１ゲ―ト発
生部手段により発生した第１ゲ―ト信号によって試料か
らの反射波信号から任意の反射波成分を抽出する第１抽
出部７と、この第１抽出部７により抽出された反射波成
分の強度に応じてしきい値を設定するしきい値設定部９
と、抽出された反射波成分をしきい値と比較する比較部
１１と、比較部１１の出力タイミングに基づいて第２ゲ
―ト信号を発生させる第２ゲ―ト発生部１２と、受信し
た反射波から第２ゲ―ト信号によって任意の反射成分を
抽出する抽出部１４とを具備する。
的に設定することのできる超音波顕微鏡を提供する。 【構成】送信波の送信タイミングに基づいて第１ゲ―ト
信号を発生させる第１ゲ―ト発生部６と、第１ゲ―ト発
生部手段により発生した第１ゲ―ト信号によって試料か
らの反射波信号から任意の反射波成分を抽出する第１抽
出部７と、この第１抽出部７により抽出された反射波成
分の強度に応じてしきい値を設定するしきい値設定部９
と、抽出された反射波成分をしきい値と比較する比較部
１１と、比較部１１の出力タイミングに基づいて第２ゲ
―ト信号を発生させる第２ゲ―ト発生部１２と、受信し
た反射波から第２ゲ―ト信号によって任意の反射成分を
抽出する抽出部１４とを具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は試料の内部欠陥等を観察
することのできる超音波顕微鏡に関する。
することのできる超音波顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、超音波を試料に入射させ試料から
の反射波に対してゲ―トをかけて試料表面から一定の深
さの反射波成分のみを抽出するために、反射波信号と予
め設定されているしきい値とを比較し、前記しきい値を
越える反射波信号に基づいてゲ―トタイミング信号を出
力する比較手段を有する超音波顕微鏡が知られている。
特開昭６２−８７８５４号公報及び特開昭６２−１６３
９６４号はこのような装置を開示しており、第１のゲ―
ト信号を送信タイミングに基づいて発生させ、この第１
のゲ―ト信号のゲ―ト期間中に反射波信号がしきい値を
越えたならば、そのタイミングに基づいて反射波成分を
抽出するための第２のゲ―ト信号を発生する。
の反射波に対してゲ―トをかけて試料表面から一定の深
さの反射波成分のみを抽出するために、反射波信号と予
め設定されているしきい値とを比較し、前記しきい値を
越える反射波信号に基づいてゲ―トタイミング信号を出
力する比較手段を有する超音波顕微鏡が知られている。
特開昭６２−８７８５４号公報及び特開昭６２−１６３
９６４号はこのような装置を開示しており、第１のゲ―
ト信号を送信タイミングに基づいて発生させ、この第１
のゲ―ト信号のゲ―ト期間中に反射波信号がしきい値を
越えたならば、そのタイミングに基づいて反射波成分を
抽出するための第２のゲ―ト信号を発生する。
【０００３】このように最初にしきい値を越す信号が試
料表面からの反射波であるようにすることにより、試料
表面から一定の深さの反射波成分のみを抽出でき、試料
表面から一定深さの観察画像を得ることができる。
料表面からの反射波であるようにすることにより、試料
表面から一定の深さの反射波成分のみを抽出でき、試料
表面から一定深さの観察画像を得ることができる。
【０００４】ところで試料表面からの反射波信号がしき
い値を越えてから実際にゲ―トが開くまでにはタイムラ
グが生じるため、試料表面も含めて試料近傍の観察画像
が得られない。
い値を越えてから実際にゲ―トが開くまでにはタイムラ
グが生じるため、試料表面も含めて試料近傍の観察画像
が得られない。
【０００５】そこで、特願平２−０１２９６９号明細書
では送信タイミングに基づいて第１のゲ―ト信号を発生
させ、反射波信号を同一レベルの複数の反射波信号に分
配し、分配されたひとつの反射波信号を所定時間遅延さ
せ、前記分配手段で分配された他の反射波信号と予め設
定されているしきい値とを比較し、前記しきい値を越え
る反射波信号に基づいて第２のゲ―ト信号を発生させ、
この第２のゲ―ト信号によって前記遅延された反射波信
号から、試料表面及び試料表面近傍の反射波成分まで含
めた任意の反射波成分を抽出する。
では送信タイミングに基づいて第１のゲ―ト信号を発生
させ、反射波信号を同一レベルの複数の反射波信号に分
配し、分配されたひとつの反射波信号を所定時間遅延さ
せ、前記分配手段で分配された他の反射波信号と予め設
定されているしきい値とを比較し、前記しきい値を越え
る反射波信号に基づいて第２のゲ―ト信号を発生させ、
この第２のゲ―ト信号によって前記遅延された反射波信
号から、試料表面及び試料表面近傍の反射波成分まで含
めた任意の反射波成分を抽出する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、超音波受信
部より出力された反射波信号の大きさは試料の材質によ
り異なるため、前記反射波信号が予め設定されたしきい
値を越えない場合、第２のゲ―ト信号を発生させること
ができない。そこで観察するおのおのの試料に対してし
きい値をそれぞれ設定しなければならないという問題が
あった。
部より出力された反射波信号の大きさは試料の材質によ
り異なるため、前記反射波信号が予め設定されたしきい
値を越えない場合、第２のゲ―ト信号を発生させること
ができない。そこで観察するおのおのの試料に対してし
きい値をそれぞれ設定しなければならないという問題が
あった。
【０００７】本発明の超音波顕微鏡はこのような課題に
着目してなされたものであり、その目的とするところ
は、おのおのの試料に対して適当なしきい値を自動的に
設定することのできる超音波顕微鏡を提供することにあ
る。
着目してなされたものであり、その目的とするところ
は、おのおのの試料に対して適当なしきい値を自動的に
設定することのできる超音波顕微鏡を提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の超音波顕微鏡は、高周波信号を発生する
送信波発生部と、送信波発生部において発生された送信
波を超音波に変換して試料に入射させ、この試料からの
反射波を受信する超音波受信部と、前記送信波発生部に
おいて発生された送信波の送信タイミングに基づいて第
１のゲ―ト信号を発生させる第１のゲ―ト発生手段と、
前記超音波受信部から出力された反射波信号を同一レベ
ルの複数の反射波信号に分配する分配手段と、分配され
た１つの反射波信号を所定時間遅延させる遅延手段と、
前記第１のゲ―ト発生手段により発生した第１のゲ―ト
信号によって反射波信号から任意の反射波成分を抽出す
る第１の抽出手段と、この第１の抽出手段により抽出さ
れた反射波成分の強度に応じてしきい値を設定するしき
い値設定手段と、前記抽出された反射波成分を前記しき
い値と比較する比較手段と、前記比較手段の出力タイミ
ングに基づいて第２のゲ―ト信号を発生させる第２のゲ
―ト発生手段と、前記受信した反射波から第２のゲ―ト
信号によって任意の反射成分を抽出する抽出手段とを具
備する。
めに、本発明の超音波顕微鏡は、高周波信号を発生する
送信波発生部と、送信波発生部において発生された送信
波を超音波に変換して試料に入射させ、この試料からの
反射波を受信する超音波受信部と、前記送信波発生部に
おいて発生された送信波の送信タイミングに基づいて第
１のゲ―ト信号を発生させる第１のゲ―ト発生手段と、
前記超音波受信部から出力された反射波信号を同一レベ
ルの複数の反射波信号に分配する分配手段と、分配され
た１つの反射波信号を所定時間遅延させる遅延手段と、
前記第１のゲ―ト発生手段により発生した第１のゲ―ト
信号によって反射波信号から任意の反射波成分を抽出す
る第１の抽出手段と、この第１の抽出手段により抽出さ
れた反射波成分の強度に応じてしきい値を設定するしき
い値設定手段と、前記抽出された反射波成分を前記しき
い値と比較する比較手段と、前記比較手段の出力タイミ
ングに基づいて第２のゲ―ト信号を発生させる第２のゲ
―ト発生手段と、前記受信した反射波から第２のゲ―ト
信号によって任意の反射成分を抽出する抽出手段とを具
備する。
【０００９】
【作用】すなわち、本発明の超音波顕微鏡においては、
送信波発生部から送信波が送信されると、その送信タイ
ミングに基づいて第１のゲ―ト信号が発生される。この
第１のゲ―ト信号のゲ―ト幅だけゲ―トが開き、反射波
信号から反射波成分が抽出され、反射波成分の強度に応
じてしきい値が設定される。即ち、超音波受信部より出
力された反射波信号の大きさに応じてしきい値が設定さ
れることにより、おのおのの試料に対して適当なしきい
値を自動的に設定することが可能となる。
送信波発生部から送信波が送信されると、その送信タイ
ミングに基づいて第１のゲ―ト信号が発生される。この
第１のゲ―ト信号のゲ―ト幅だけゲ―トが開き、反射波
信号から反射波成分が抽出され、反射波成分の強度に応
じてしきい値が設定される。即ち、超音波受信部より出
力された反射波信号の大きさに応じてしきい値が設定さ
れることにより、おのおのの試料に対して適当なしきい
値を自動的に設定することが可能となる。
【００１０】
【実施例】本発明の一実施例を図１により説明する。図
１は超音波顕微鏡の機能ブロック図である。この超音波
顕微鏡は、送信タイミング発生回路１により送信タイミ
ング信号を発生し、この送信タイミング信号を受けた送
信回路２から送信信号が出力される。前記送信回路２か
ら出力された送信信号は送受信部に入力される。
１は超音波顕微鏡の機能ブロック図である。この超音波
顕微鏡は、送信タイミング発生回路１により送信タイミ
ング信号を発生し、この送信タイミング信号を受けた送
信回路２から送信信号が出力される。前記送信回路２か
ら出力された送信信号は送受信部に入力される。
【００１１】送受信部は方向性結合器３、圧電トランス
デュ―サ（不図示）、音響レンズ４及びプリアンプ５か
ら構成される。この送受信部は送信信号を超音波パルス
に変換して試料２０に照射し、試料２０からの反射波を
電気的な反射波信号に変換して出力するものである。こ
こで、２１は水である。一方、送信タイミング発生回路
１の送信タイミング信号は送信回路２の他に第１のゲ―
ト発生部６へ送られる。この第１のゲ―ト発生部６は、
送信タイミング信号を受けてから所定時間後に所定ゲ―
ト幅のゲ―ト信号（以下このゲ―ト信号を「第１のゲ―
ト信号」と呼称する）を発生させる機能を有するもので
ある。この第１のゲ―ト発生部６で発生した第１のゲ―
ト信号は第１のゲ―ト回路７に入力される。一方、プリ
アンプ５からの反射波信号もまた第１のゲ―ト回路７に
入力される。この第１のゲ―ト回路７は第１のゲ―ト信
号のゲ―ト幅だけゲ―トを開き、反射波信号から反射波
成分を抽出する機能を有する。この第１のゲ―ト回路６
により抽出された反射波成分はピ―クホ―ルド回路８に
入力される。このピ―クホ―ルド回路８は、反射波成分
のピ―ク値（反射波成分は＋及び−の成分の両方を含ん
でいるため＋のピ―ク値と−のピ―ク値が存在するが、
ここでは＋のピ―ク値をピ―ク値と呼ぶことにする）を
検出しこのピ―ク値を一定時間保持し出力するものであ
る。ピ―クホ―ルド回路８からの出力は逓倍器９に送ら
れる。この逓倍器９はピ―ク値をｋ倍（０＜ｋ＜１）し
出力する。以後このピ―ク値のｋ倍の値をスレッシュホ
―ルドレベルと呼ぶことにする。
デュ―サ（不図示）、音響レンズ４及びプリアンプ５か
ら構成される。この送受信部は送信信号を超音波パルス
に変換して試料２０に照射し、試料２０からの反射波を
電気的な反射波信号に変換して出力するものである。こ
こで、２１は水である。一方、送信タイミング発生回路
１の送信タイミング信号は送信回路２の他に第１のゲ―
ト発生部６へ送られる。この第１のゲ―ト発生部６は、
送信タイミング信号を受けてから所定時間後に所定ゲ―
ト幅のゲ―ト信号（以下このゲ―ト信号を「第１のゲ―
ト信号」と呼称する）を発生させる機能を有するもので
ある。この第１のゲ―ト発生部６で発生した第１のゲ―
ト信号は第１のゲ―ト回路７に入力される。一方、プリ
アンプ５からの反射波信号もまた第１のゲ―ト回路７に
入力される。この第１のゲ―ト回路７は第１のゲ―ト信
号のゲ―ト幅だけゲ―トを開き、反射波信号から反射波
成分を抽出する機能を有する。この第１のゲ―ト回路６
により抽出された反射波成分はピ―クホ―ルド回路８に
入力される。このピ―クホ―ルド回路８は、反射波成分
のピ―ク値（反射波成分は＋及び−の成分の両方を含ん
でいるため＋のピ―ク値と−のピ―ク値が存在するが、
ここでは＋のピ―ク値をピ―ク値と呼ぶことにする）を
検出しこのピ―ク値を一定時間保持し出力するものであ
る。ピ―クホ―ルド回路８からの出力は逓倍器９に送ら
れる。この逓倍器９はピ―ク値をｋ倍（０＜ｋ＜１）し
出力する。以後このピ―ク値のｋ倍の値をスレッシュホ
―ルドレベルと呼ぶことにする。
【００１２】一方第１のゲ―ト回路７からの出力はピ―
クホ―ルド回路８の他に第１の遅延回路１０へ送られ
る。この第１の遅延回路１０で一定時間遅延された反射
波成分は比較器１１へ出力される。比較器１１は逓倍器
９からのスレッシュホ―ルドレベルと第１の遅延回路１
０からの遅延された反射波成分を比較し、スレッシュホ
―ルドレベルより遅延された反射波成分の値の方が大き
い時にゲ―トタイミング信号を第２のゲ―ト発生部１２
へ出力する。この第２のゲ―ト発生部１２は比較器１１
からの出力であるゲ―トタイミング信号を受けてから所
定時間後に所定のゲ―ト幅のゲ―ト信号（以下、このゲ
―ト信号を「第２のゲ―ト信号」と呼称する）を発生さ
せる機能を有する。この第２のゲ―ト信号は第２のゲ―
ト回路１４へ出力される。
クホ―ルド回路８の他に第１の遅延回路１０へ送られ
る。この第１の遅延回路１０で一定時間遅延された反射
波成分は比較器１１へ出力される。比較器１１は逓倍器
９からのスレッシュホ―ルドレベルと第１の遅延回路１
０からの遅延された反射波成分を比較し、スレッシュホ
―ルドレベルより遅延された反射波成分の値の方が大き
い時にゲ―トタイミング信号を第２のゲ―ト発生部１２
へ出力する。この第２のゲ―ト発生部１２は比較器１１
からの出力であるゲ―トタイミング信号を受けてから所
定時間後に所定のゲ―ト幅のゲ―ト信号（以下、このゲ
―ト信号を「第２のゲ―ト信号」と呼称する）を発生さ
せる機能を有する。この第２のゲ―ト信号は第２のゲ―
ト回路１４へ出力される。
【００１３】また、第１の遅延回路１０からの遅延され
た反射波成分は第２の遅延回路１３へ送られる。この第
２の遅延回路１３で一定時間遅延された反射波成分は第
２のゲ―ト回路１４へ出力される。この第２のゲ―ト回
路１４は第２のゲ―ト信号のゲ―ト幅だけゲ―トを開
き、第２の遅延回路１３で遅延された反射波成分から所
望の反射波成分を抽出するものである。この第２のゲ―
ト回路１４からの出力は、検波回路１５へ送られ反射波
成分の信号レベルが検出され、デジタルスキャンコンバ
―タ（ＤＳＣ）１６へ出力される。
た反射波成分は第２の遅延回路１３へ送られる。この第
２の遅延回路１３で一定時間遅延された反射波成分は第
２のゲ―ト回路１４へ出力される。この第２のゲ―ト回
路１４は第２のゲ―ト信号のゲ―ト幅だけゲ―トを開
き、第２の遅延回路１３で遅延された反射波成分から所
望の反射波成分を抽出するものである。この第２のゲ―
ト回路１４からの出力は、検波回路１５へ送られ反射波
成分の信号レベルが検出され、デジタルスキャンコンバ
―タ（ＤＳＣ）１６へ出力される。
【００１４】デジタルスキャンコンバ―タ１６は検波回
路１５の出力を所定のビット数に量子化して画像デ―タ
に変換する。ＣＲＴ１７はデジタルスキャンコンバ―タ
１６から出力された画像デ―タを画像メモリに記憶し
て、各画像デ―タが有している画像情報を一枚の超音波
画像として表示するものである。
路１５の出力を所定のビット数に量子化して画像デ―タ
に変換する。ＣＲＴ１７はデジタルスキャンコンバ―タ
１６から出力された画像デ―タを画像メモリに記憶し
て、各画像デ―タが有している画像情報を一枚の超音波
画像として表示するものである。
【００１５】以上のように構成された本実施例の動作に
ついて図１及び図２を参照して説明する。送信タイミン
グ発生回路１から送信タイミング信号（Ａ）が出力され
るとその送信タイミングに合わせて送信回路２から送信
信号が出力される。送信信号は超音波パルスに変換され
た後、音響レンズ４を介して試料２０に照射される。試
料２０からの反射波は再び音響レンズ４に入射し、反射
波信号に変換され、さらにプリアンプ５で増幅される。
この増幅された反射波信号（図２（Ｃ））は第１のゲ―
ト回路７へ出力される。
ついて図１及び図２を参照して説明する。送信タイミン
グ発生回路１から送信タイミング信号（Ａ）が出力され
るとその送信タイミングに合わせて送信回路２から送信
信号が出力される。送信信号は超音波パルスに変換され
た後、音響レンズ４を介して試料２０に照射される。試
料２０からの反射波は再び音響レンズ４に入射し、反射
波信号に変換され、さらにプリアンプ５で増幅される。
この増幅された反射波信号（図２（Ｃ））は第１のゲ―
ト回路７へ出力される。
【００１６】一方、第１のゲ―ト発生部６は送信タイミ
ング信号が出力されてから所定時間遅延（ＤＬ１）後に
第１のゲ―ト信号（図２（Ｂ））を出力する。この第１
のゲ―ト信号もまた第１のゲ―ト回路７へ出力される。
この第１のゲ―ト回路７で抽出された反射波信号（図２
（Ｄ））はピ―クホ―ルド回路８でピ―ク検波され逓倍
器９によりスレッシュホ―ルドレベルが設定される（図
２（Ｆ））。さらに比較器１１において、逓倍器９によ
り設定されたスレッシュホ―ルドレベルより第１の遅延
回路１０からの反射波信号（図２（Ｇ））が最初に越え
た時点での比較器出力（図２（Ｈ））から所定時間遅延
（ＤＬ２）後に第２のゲ―ト信号（図２（Ｉ））が出力
される。第２のゲ―ト信号の出力タイミングと第２の遅
延回路１３で遅延時間とを調節することにより、反射波
信号の任意の箇所にゲ―トがかけられ図２（Ｋ）に示す
ような試料２０の所定部位からの反射波成分のみが抽出
される。
ング信号が出力されてから所定時間遅延（ＤＬ１）後に
第１のゲ―ト信号（図２（Ｂ））を出力する。この第１
のゲ―ト信号もまた第１のゲ―ト回路７へ出力される。
この第１のゲ―ト回路７で抽出された反射波信号（図２
（Ｄ））はピ―クホ―ルド回路８でピ―ク検波され逓倍
器９によりスレッシュホ―ルドレベルが設定される（図
２（Ｆ））。さらに比較器１１において、逓倍器９によ
り設定されたスレッシュホ―ルドレベルより第１の遅延
回路１０からの反射波信号（図２（Ｇ））が最初に越え
た時点での比較器出力（図２（Ｈ））から所定時間遅延
（ＤＬ２）後に第２のゲ―ト信号（図２（Ｉ））が出力
される。第２のゲ―ト信号の出力タイミングと第２の遅
延回路１３で遅延時間とを調節することにより、反射波
信号の任意の箇所にゲ―トがかけられ図２（Ｋ）に示す
ような試料２０の所定部位からの反射波成分のみが抽出
される。
【００１７】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、試
料の材質により超音波受信部から出力される反射波信号
の大きさが異った場合においても、反射波成分を抽出す
るための第２のゲ―ト信号の発生タイミングを決定する
しきい値を自動的に設定することができる。
料の材質により超音波受信部から出力される反射波信号
の大きさが異った場合においても、反射波成分を抽出す
るための第２のゲ―ト信号の発生タイミングを決定する
しきい値を自動的に設定することができる。
【００１８】このしきい値の自動設定より、従来のよう
に試料に合わせてその都度、しきい値を設定するといっ
たわずらわしい作業を行なう必要がなくなる。
に試料に合わせてその都度、しきい値を設定するといっ
たわずらわしい作業を行なう必要がなくなる。
【図１】本発明の一実施例に係る超音波顕微鏡の機能ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】図１に示す超音波顕微鏡の動作を説明するため
のフローチャートである。
のフローチャートである。
１…送信タイミング発生回路、２…送信回路、３…方向
性結合器、４…音響レンズ、５…プリアンプ、６…第１
のゲート発生部、７…第１のゲート回路、８…ピークホ
ールド回路、９…逓倍器、１０…第１の遅延回路、１１
…比較器、１２…第２のゲート発生部、１３…第２の遅
延回路、１４…第２のゲート回路、１５…検波回路、１
６…ＤＳＣ、１７…ＣＲＴ、２０…試料、２１…水。
性結合器、４…音響レンズ、５…プリアンプ、６…第１
のゲート発生部、７…第１のゲート回路、８…ピークホ
ールド回路、９…逓倍器、１０…第１の遅延回路、１１
…比較器、１２…第２のゲート発生部、１３…第２の遅
延回路、１４…第２のゲート回路、１５…検波回路、１
６…ＤＳＣ、１７…ＣＲＴ、２０…試料、２１…水。
Claims (1)
- 【請求項１】 高周波信号を発生する送信波発生部と、 送信波発生部において発生された送信波を超音波に変換
して試料に入射させ、この試料からの反射波を受信する
超音波受信部と、 前記送信波発生部において発生された送信波の送信タイ
ミングに基づいて第１のゲ―ト信号を発生させる第１の
ゲ―ト発生手段と、 前記超音波受信部から出力された反射波信号を同一レベ
ルの複数の反射波信号に分配する分配手段と、 分配された１つの反射波信号を所定時間遅延させる遅延
手段と、 前記第１のゲ―ト発生手段により発生した第１のゲ―ト
信号によって反射波信号から任意の反射波成分を抽出す
る第１の抽出手段と、 この第１の抽出手段により抽出された反射波成分の強度
に応じてしきい値を設定するしきい値設定手段と、 前記抽出された反射波成分を前記しきい値と比較する比
較手段と、 前記比較手段の出力タイミングに基づいて第２のゲ―ト
信号を発生させる第２のゲ―ト発生手段と、 前記受信した反射波から第２のゲ―ト信号によって任意
の反射成分を抽出する抽出手段と、を具備することを特
徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4246905A JPH0694689A (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4246905A JPH0694689A (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694689A true JPH0694689A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17155496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4246905A Withdrawn JPH0694689A (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0694689A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011193978A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Canon Inc | 静電容量型電気機械変換装置の駆動装置及び駆動方法 |
-
1992
- 1992-09-16 JP JP4246905A patent/JPH0694689A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011193978A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Canon Inc | 静電容量型電気機械変換装置の駆動装置及び駆動方法 |
| US9072429B2 (en) | 2010-03-18 | 2015-07-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for driving capacitive electromechanical transduction apparatus |
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