JPH0694180A - 配管用ブロックヒータ - Google Patents

配管用ブロックヒータ

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Publication number
JPH0694180A
JPH0694180A JP4244849A JP24484992A JPH0694180A JP H0694180 A JPH0694180 A JP H0694180A JP 4244849 A JP4244849 A JP 4244849A JP 24484992 A JP24484992 A JP 24484992A JP H0694180 A JPH0694180 A JP H0694180A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pipe
heater
block
electrodes
electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP4244849A
Other languages
English (en)
Inventor
Junji Fukuhara
淳司 福原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP4244849A priority Critical patent/JPH0694180A/ja
Publication of JPH0694180A publication Critical patent/JPH0694180A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L53/00Heating of pipes or pipe systems; Cooling of pipes or pipe systems
    • F16L53/30Heating of pipes or pipe systems
    • F16L53/35Ohmic-resistance heating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Pipe Accessories (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来のシースヒータやベルトヒータのように
配管にらせん状に巻き付けることなく、簡単に一つのブ
ロックとして配管に取り付け、取り外しができ、且つ電
流投入後速やかに配管が加熱されること。 【構成】 底部のピボット13により開閉できる二つ割
りのアルミブロック12の内側に、配管を挟み込むため
の凹部14を形成し、内部にヒータ16を埋設し、その
両端子を電極兼止めフック18、18として形成する。
一方、上記両電極兼止めフック18、18に嵌合する2
個の穴状電極19、19を有するソケット兼ブロック押
え21を設け、該押え21を両電極兼止めフック18、
18に差し込んで2つ割りブロック12、12を固定す
ると共にヒータ16に通電し、該ヒータ16と配管との
間に介在された金属メッシュ15を介して速やかに配管
を加熱する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、配管用のベーキングヒ
ータに関し、MO(metal organic)CVD(化学気相成
長法)のガス供給ラインのベーキングヒータ等として用
いて好適のものである。
【0002】
【従来の技術】従来のベーキングヒータは、図5(a)
に示すように、ニクロム線からなるヒータ(発熱体)1
の周囲をアルミナ2で包囲し、外側をシース3で被覆し
て形成されたシースヒータ4と、同図(b)に示すよう
に、2本のニクロム線ヒータ5をシリコンゴム6で被覆
して構成されたシリコンゴムベルトヒータ7が市販され
ている。なお、図中、1aはリード線、3aはアダプタ
ー、3bは防湿剤である。
【0003】上記シースヒータ4を、図6に示すよう
に、配管8に取付ける場合、許容される最大曲げ(曲
率)のために該シースヒータ4を配管8aの周囲にゆる
く螺旋状に巻き付けられていた。なお、図中、8aはフ
ランジ、9は電極である。
【0004】また、シリコンゴムベルトヒータ7につい
ても同様にして用いられていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のもの
(図5、6)においては、シースヒータ4を配管8に取
付ける場合、最大曲げ(曲率)のために、ゆるい螺旋状
に巻かねばならず、そのため、そのまま取り付けるだけ
では互いに接触している部分が少ないので、アルミテー
プ等で止めなければならなかった。その結果、はがしに
くく、粘着剤が残り、汚くなるという問題点があった
し、アルミテープ等の代りに、銀ロー溶接も手間がかか
り、修理等で外す際、容易に取り離せないという問題点
があった。また、実際の配管は複数の配管が密集してい
ることが多く、継手や曲がり、T字分岐が入り、長いヒ
ータを螺旋状に巻くのも非常に工数がかかる作業であっ
た。
【0006】本発明は、上記のような従来のシースヒー
タ又はベルトヒータのもつ、巻きにくく、手間がかか
り、接触が悪くて効率が悪いという問題点を解決するも
ので、簡単に、一つのブロック(単位)として取付け、
取外しができ、複雑な形状の配管や継手などであって
も、一様にベーキングすることができ、しかも電流投入
後速やかに配管が加熱される配管用ブロックヒータを提
供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、内面に、配管を密接して挟み込むため
凹部を形成した分割された金属ブロックの内部にヒータ
を埋設し、該ヒータの両端子を該金属ブロックの外部に
突出して設け、該ヒータと配管との間に熱伝導の良好な
メッシュを介在させ、配管を挟み込んだ状態で該分割さ
れた金属ブロックを結合して通電するようにしたことを
特徴としている。
【0008】また、上記分割された金属ブロックに埋設
されたヒータの両端子を電極兼止めフック状に形成し、
配管を密接して挟み込んだ状態でこれら両端子電極にそ
れぞれ嵌合して該分割された金属ブロックを結合する2
個の穴状電極を有するソケット兼ブロック押えを設け、
上記ヒータと配管との間に熱伝導の良好なメッシュを介
在させ、該分割された金属ブロックを配管に挟み込んで
結合した状態で上記穴状電極を介して通電するようにし
たことを特徴とし、更にまた、配管を密接して包囲する
内面を有する金属製バンド型本体の内部にヒータを埋設
し、該ヒータの端子を電極兼止めフック状に形成し、配
管を密接して包囲した状態でこれら両端子電極にそれぞ
れ嵌合して該バンド型本体を結合する2個の穴状電極を
有するプラグを設け、上記ヒータと配管との間に熱伝導
の良好なメッシュを介在させ、該バンド型本体を配管に
巻き付けて結合した状態で上記プラグの電極を介して通
電するようにしたことを特徴としている。
【0009】
【作用】使用時、分割された金属ブロックを配管に挟み
込み、ヒータの両端子に形成された電極兼止めフック
に、ソケット兼ブロック押えの穴状電極を嵌合して該分
割された金属ブロックを結合し、該ソケット兼ブロック
押えの穴状電極を介して該金属ブロックに埋設されたヒ
ータに通電すると、該ヒータと配管との間に介在された
熱伝導の良好なメッシュにより速やかに配管内がベーキ
ングされる。
【0010】また、上記埋設されたヒータの両端子の電
極に、直接コードを接続して通電するようにすることも
可能である。この場合、分割された金属ブロックの結合
手段は通電手段とは別個に構成される。
【0011】更にまた、上記分割された金属ブロックの
代りに、一連の金属製バンド型本体を用いる場合、該本
体を配管に巻きつけ、プラグの電極を介してヒータに通
電すると、該ヒータと配管との間に介在された熱伝導の
良好なメッシュを介して速やかにヒータの熱によって配
管内がベーキングされる。
【0012】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面と共に説明す
る。図1は、本発明の一実施例を示す斜視図である。図
において、11は分割された二つ割り金属ブロックで、
該金属ブロック11は、熱伝導の良いアルミ材で構成さ
れた2個のアルミブロック12を、底部の一側に設けら
れたピボット13により開閉(回動)可能に結合して構
成され、これら2個のアルミブロック12は、各内面に
配管を挟み込むための断面半円形の凹部14が形成さ
れ、該凹部14の表面には、伝熱をよくするために表面
に熱伝導良好な金属メッシュ15が形成されている。ま
た、上記金属ブロック12の内部には、ニクロム線から
なるヒータ16が、両金属ブロック12を連続して埋設
され、該ヒータ16は、絶縁セラミックス17で包囲さ
れ、その両端には、電極兼止めフック18が突設されて
いる。
【0013】一方、上記2個の電極兼止めフック18に
それぞれ嵌合する2個の穴状電極19が底面に設けられ
且つこれらの両穴状電極19に導電線20を接続したソ
ケット兼ブロック押え21が設けられており、上記二つ
割り金属ブロック12が図示しない配管を挟み込んだ状
態で、両電極兼止めフック18とソケット兼ブロック押
え21の穴状電極19とを差し込んで嵌合させるように
なっている。なお、図中、20aは導電線20を接続す
るコンセントである。
【0014】上記のように構成されているので、使用
時、二つ割りされた両アルミブロック12の内面に形成
された凹部14に、図示しない配管を挟み込み、両電極
兼止めフック18に、ソケット兼ブロック押え21の穴
状両電極19を差し込んで嵌合すると、両ブロック12
は図示しない配管に固定される。
【0015】次いで、ソケット兼ブロック押え21の穴
状電極19に導電線20を介して通電すると、アルミブ
ロック12のヒータ16に通電されて発熱し、該ヒータ
16と図示しない配管との間に介在する金属メッシュ1
5を介して速やかに配管が加熱され、ベーキングされ
る。
【0016】この実施例によれば、次のような効果が奏
される。 (i)従来例(図6)のようにシースヒータ4を配管8
に巻き付けなくて済むので、取り付け、取り外しが容易
であり、特に取り外しを繰り返えす必要がある場合に使
用して便利であるばかりでなく、複雑な曲げや交叉部、
T部があっても差支えない。 (ii)また、アルミブロック12の凹部14の内面に熱
伝導の良い金属メッシュを介在させたことにより、配管
への密着が良いので、熱伝達効率がよい。 (iii)スパイラル配管やフレキシブル(可撓性)配管に
もそのまま取り付けられるので、曲げることが可能とな
る。 (iv)スペースが狭いため従来巻かなかった場所でも、
取り付けが可能である。
【0017】図2(a)は、本発明の他の実施例を示す
斜視図であり、同図(b)は、配管に取り付けた状態を
示す要部断面説明図である。図中、図1に記載した符号
と同一の符号は同一ないし同類部分を示すものとする。
【0018】この実施例では、図1に示す底部で開閉自
在に結合された二つ割り金属ブロック12の代りに、配
管8の回りに巻き付けられる一連のバンド型に形成され
た金属製本体22からなり、該本体22の内面には、配
管8に密接すると共に、熱をよく伝える金属メッシュ1
5が差し込まれており、また、該本体22の内部には1
本の連続したニクロム線からなるヒータ26が埋設さ
れ、該ヒータ26の両端には、電極兼止めフック28が
形成され、該電極兼止めフック28と嵌合する穴状電極
29を有するソケット兼ブロック押えに相当するプラグ
31が設けられている。
【0019】またこの実施例では、同図(b)に示すよ
うに、本体22を配管8に金属メッシュ15を差し込ん
で巻き付けた状態で固定するため、該本体22の両端近
傍に2個の透孔32が穿設され、各透孔32にはねじ3
3が互いに逆方向に挿入され、ナット34によって締め
付けて配管8に固定されるようになっている。
【0020】この実施例によれば、ブロックヒータの本
体22がバンド型に形成されているため、配管8に容易
に取付けることができ、配管8に巻き付けたあと、ねじ
33とナット34によって締付けて固定されるため、一
定期間取り外さない簡易型として使用される外、前記実
施例(図1)と同様の効果が奏される。
【0021】図3(a)は、本発明の配管用ブロックヒ
ータ11、22を配管8に3〜5cmの間隔で取り付け
た使用の態様を示す説明図であり、同図(b)は導電線
20の結線図である。図中に記載した符号のうち、図
1、図2に記載した符号と同一の符号は同一ないし同類
部分を示すものとする。
【0022】図4は、二つ割りの金属ブロック42、4
2を断面丸形に形成した他の実施例を示す要部正面図で
あって、底部がピボット43で回動自在に支持され、頂
部に電極兼止めフック48が設けられている外、直方体
で形成された第1の実施例(図1)と変りはない。
【0023】上記した実施例(図1、図4)において、
二つ割り金属ブロック12、42の底部をピボット1
3、43によって開閉自在に支持し、頂部を、ヒータ端
部に形成された電極兼止めフックとソケット兼ブロック
押えとを嵌合して固定する構造について説明したが、電
極を止めフックと兼用する形状も球形以外の種々の形状
に設計可能であり、また、二つ割りブロック同士の対向
面をかみ合せて固定する形状に形成すると共に、ヒータ
の両端子に直接導電線を接続することも可能である。
【0024】また、金属メッシュの形状も種々のパター
ンが考えられ、また該金属メッシュは、ブロック12や
ベルト型本体22と一体に形成したり、別体として挟み
込むようにしてもよい。また熱伝導の良好なものであれ
ば金属でなくても、例えばシリコンゴム、テフロンでも
よい。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば内
面に、配管を密接して挟み込むため凹部を形成した分割
された金属ブロックの内部にヒータを埋設し、該ヒータ
の両端子を該金属ブロックの外部に突出して設け、該ヒ
ータと配管との間に熱伝導の良好なメッシュを介在さ
せ、配管を挟み込んだ状態で該分割された金属ブロック
を結合して通電するようにしたことにより、次のような
効果が奏される。 (i)従来例のようにシースヒータを配管に巻き付けな
くて済むので、取り付け、取り外しが容易であるばかり
でなく、複雑な曲げや交叉部、T部があっても差支えな
い。 (ii)埋設されたヒータと配管との間に熱伝導の良好な
メッシュを介在させたことにより、配管への密着が良好
となり、電流投入後、速やかに配管を加熱することがで
きる。 (iii)スパイラル配管やフレキシブル配管にもそのまま
取り付けられるので、曲げることが可能となり、また、
スペースが狭いため従来巻かなかった場所でも、取り付
けが可能となる。
【0026】また、埋設されたヒータの両端子に形成さ
れた電極兼止めフックにそれぞれ嵌合する2個の穴状電
極を有するソケット兼ブロック押えを設けたことによ
り、分割された金属ブロックの両端子電極に該ソケット
兼ブロック押えを差し込むことにより、該分割された金
属ブロックを固定すると同時にヒータに通電することが
でき、取り外しを繰り返えす必要がある場合に使用して
操作が容易である。
【0027】更にまた、分割された金属ブロックを一連
のバンド型本体に形成することにより、取り外ししない
場合など、簡易に該バンド型本体を配管に巻き付け、ね
じ等により固定して使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図2】(a)は本発明の他の実施例を示す斜視図であ
り、(b)は配管に取り付けた状態を示す要部断面説明
図である。
【図3】(a)は本発明の使用状態を示す説明図、
(b)は結線図である。
【図4】本発明の更に他の実施例を示す要部平面図であ
る。
【図5】(a)及び(b)は異なった従来例を示す説明
図である。
【図6】従来例の使用状態を示す説明図である。
【符号の説明】
8 配管 11 二つ割り金属ブロック 12、42 アルミブロック 13、43 ピボット 14 凹部 15 金属メッシュ 16、26 ヒータ 17 絶縁セラミックス 18、28、48 電極兼止めフック 19、29 穴状電極 20 導電線 21 ソケット兼ブロック押え 22 バンド型金属製本体 31 プラグ 32 透孔 33 ねじ 34 ナット

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内面に、配管を密接して挟み込むため凹
    部を形成した分割された金属ブロックの内部にヒータを
    埋設し、該ヒータの両端子を該金属ブロックの外部に突
    出して設け、該ヒータと配管との間に熱伝導の良好なメ
    ッシュを介在させ、配管を挟み込んだ状態で該分割され
    た金属ブロックを結合して通電するようにしたことを特
    徴とする配管用ブロックヒータ。
  2. 【請求項2】 分割された金属ブロックに埋設されたヒ
    ータの両端子を電極兼止めフック状に形成し、配管を密
    接して挟み込んだ状態でこれら両端子電極にそれぞれ嵌
    合して該分割された金属ブロックを結合する2個の穴状
    電極を有するソケット兼ブロック押えを設け、上記ヒー
    タと配管との間に熱伝導の良好なメッシュを介在させ該
    分割された金属ブロックを配管に挟み込んで結合した状
    態で上記ソケット兼ブロック押えの電極を介して通電す
    るようにしたことを特徴とする請求項1記載の配管用ブ
    ロックヒータ。
  3. 【請求項3】 配管を密接して包囲する内面を有する金
    属製バンド型本体の内部にヒータを埋設し、該ヒータの
    端子を電極兼止めフック状に形成し、配管を密接して包
    囲した状態でこれら両端子電極にそれぞれ嵌合して該バ
    ンド型本体を結合する2個の穴状電極を有するプラグを
    設け、上記ヒータと配管との間に熱伝導の良好なメッシ
    ュを介在させ、該バンド型本体を配管に巻き付けて結合
    した状態で上記電極を介して通電するようにしたことを
    特徴とする配管用ブロックヒータ。
JP4244849A 1992-09-14 1992-09-14 配管用ブロックヒータ Pending JPH0694180A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008060073A (ja) * 2006-07-27 2008-03-13 Air Products & Chemicals Inc コンポーネント・ヒーター
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