JPH0688791B2 - タップ密度の低い酸化ジルコニウム微粉末の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、酸化ジルコニウム微粉
末の製造方法に係り、特にかさ密度、タップ密度の極め
て小さな分散性に優れた酸化ジルコニウム微粉末の製造
方法に関し、フアインセラミックス製造分野、特にエレ
クトロニクス用フアインセラミクス製造分野において広
く利用される。

【０００２】

【従来の技術】酸化ジルコニウム粉は、エレクトロニク
ス用フアインセラミツクスなどの原料として使用され
る。このような用途に使用される酸化ジルコニウム粉
は、純度が高く、粒径が微小で、かつ粒度分布がシャ−
プであり、更にかさ密度、タップ密度が小さく、凝集粒
子が少なくて分散性の良いことが求められている。ジル
コニウム塩水溶液をアルカリ処理して水酸化ジルコニウ
ム沈殿を作り、これを仮焼して酸化ジルコニウムにする
方法等の従来技術で得られた酸化ジルコニウム粉は、一
般に一次粒子及び二次粒子が強く凝集した粗大粒子を含
んでいるので、そのままでは上記の用途に使用できな
い。そこで、このような凝集粒子を含む酸化ジルコニウ
ム粉を粉砕することによって微細な粉末を得ようとする
と、長時間の粉砕操作を要し、しかも粉砕装置から不純
物が混入する恐れがあるほか、粒度の分布幅が広く、か
つ凝集力が非常に強く分散が困難な粉末となってしま
う。更に、このような方法で得られた酸化ジルコニウム
粉末はかさ密度、タップ密度の高い粉になるのが通常で
ある。

【０００３】これに対して２次粒子の凝集性を緩和させ
てソフトな粉を作る方法としてUSP-2564522が知られて
いる。これはジルコニウム塩水溶液に硫酸または硫酸塩
を溶解して加熱することにより不溶性の塩基性硫酸ジル
コニウム沈殿を生成させ、これを分離後に仮焼して酸化
ジルコニウムの微粉を得る方法である。ここで得られる
酸化ジルコニウムはジルコニウム塩水溶液のアルカリ中
和により得られた水酸化ジルコニウムを仮焼して得られ
た酸化ジルコニウムに比較すると数段凝集力が弱く、ボ
−ルミル等で数時間粉砕することにより１μm程度にす
ることは可能である。処がこれらの方法で得られた酸化
ジルコニウム粉はいずれも重く、タップ密度１g/mlを越
すものであった。かさ密度、タップ密度の低い酸化ジル
コニウムを製造する方法としては特開平１−２７０５１
５が提案されている。すなわち、ジルコニウム塩水溶液
に硫酸アンモニウムを溶解し、この水溶液を撹拌せずに
加熱昇温して塩基性硫酸ジルコニウム沈殿を生成し、こ
のスラリ−を急速にアンモニア水で中和することにより
得られた水酸化ジルコニウムを分離して仮焼した後軽く
粉砕することにより、かさ密度０．２８〜０．４２g/ml
の酸化ジルコニウム微粉が得られ、この粉のタップ密度
を測定すると０．７〜１．０g/mlとなり、従来技術で得
られた酸化ジルコニウム粉よりかさ密度、タップ密度の
低い粉が得られている。

【０００４】しかし技術の進歩に伴い特にタップ密度に
ついてはより低い水準の粉が求められるようになり、従
来これに応えることは困難であった。かくのごとく、従
来公知の方法では、かさ密度、タップ密度が著しく小さ
く、不純物が少なく、粒径が微小かつ粒度分布がシャ−
プな酸化ジルコニウム粉末を得ることが困難であった。
なお、ここで言う「かさ密度」はJISK5101顔料試験方法
に定められたカサ測定法により求められた値Ｅ(ml/g)の
逆数（単位g/ml）を指し、「タップ密度」は某製作所製
・振とう比重測定機KPS-409を使用して円筒シリンダ−
に入れた粉を５mmの高さから３００回落下させたときの
密度（単位g/ml）を指すものとする。また粒径は特に断
らない限りマイクロトラックにより測定した平均粒径
（Ｄ₅₀μm）を指すものとする。

【０００５】〔発明が解決しようとする問題点〕本発明
の目的は、上記従来法の欠点を排除して、粒径が微小で
粒度分布がシャ−プで分散性が良く、不純物が少なく、
かつ、かさ密度、タップ密度の極めて低い酸化ジルコニ
ウム微粉末の効果的な製造方法を提供するにある。

【０００６】〔問題点を解決するための手段および作
用〕本発明の要旨とするところは次のとおりである。す
なわち、 （１）水溶性ジルコニウム化合物を水に溶解し加熱昇温
する段階と、該溶液を撹拌しながら硫酸アンモニウム溶
液を添加して不溶性の塩基性硫酸ジルコニウム沈殿が懸
濁したスラリ−を得る段階と、当該スラリ−をアルカリ
性物質で処理した後水酸化ジルコニウムを分離する段階
と、前記水酸化ジルコニウムを仮焼した後粉砕する段階
と、を有して成る酸化ジルコニウム微粉末の製造方法に
おいて、前記水溶性ジルコニウム塩溶液濃度を硫酸アン
モニウム溶液添加後の全容に対してZrO₂として２０〜８
０g/l、溶液温度を７０℃以上に調整する段階と、前記
硫酸アンモニウム溶液濃度が２０〜６００g/ｌ，硫酸ア
ンモニウム溶液量がSO₄として酸化ジルコニウム１モル
当り０．４２〜０．５５モルとなるように調整する段階
と、前記水溶性ジルコニウム化合物を撹拌しながら硫酸
アンモニウム水溶液を添加混合して塩基性硫酸ジルコニ
ウム沈殿スラリ−を生成させる段階と、前記スラリ−を
アルカリ性物質によって中和した後濾過、洗浄して塩基
性硫酸ジルコニウムから硫酸根を脱離して水酸化ジルコ
ニウムに変化させる段階と、を有することを特徴とする
タップ密度の低い酸化ジルコニウム微粉末の製造方法。 （２）前記水溶性ジルコニウム化合物を水に溶解し加熱
昇温した溶液を撹拌しながら硫酸アンモニウム溶液を添
加する工程に要する時間を２〜２５分に調整することを
特徴とする上記（１）に記載のタップ密度の低い酸化ジ
ルコニウム微粉末の製造方法。

【０００７】先ず、本発明を得るに至った経過ならびに
技術思想について説明する。一般にジルコニウム塩水溶
液を出発原料として酸化ジルコニウムの粉を生成する場
合、得られる酸化ジルコニウム粉の基本的性質であるタ
ップ密度、粒径及び粒度分布等は水溶液から得られる固
体ジルコニウム化合物沈殿の性質、すなわち構造に依存
するところが大きい。水溶液から沈殿分離したジルコニ
ウム化合物が微細であると、これを焼成して得られた酸
化ジルコニウムは微細な粉となり、また水溶液から沈殿
させるジルコニウム化合物の生成条件によりタップ密度
も変化するものである。本発明者らは、生成した酸化ジ
ルコニウム粉２次凝集粒子が微粒子で形が不均一である
と、タップ密度が小さくなるのではないかと推定して、
このような酸化ジルコニウム粉になるような水酸化ジル
コニウムを作る方法を研究した結果、上記要旨の如き方
法によりタップ密度の低い優れた酸化ジルコニウム微粉
末を得ることができた。

【０００８】本発明の工程において７０℃に加熱したジ
ルコニウム塩水溶液に硫酸アンモニウム水溶液を添加す
ると、溶液の混合が起こると同時に塩基性硫酸ジルコニ
ウムの沈殿が生成する。ここに生成する塩基性硫酸ジル
コニウムの組成、分子量は決まったものではない。水溶
液の中ではジルコニウムに対してSO₄が結合しながら架
橋を作りZrO₂が多数結合して次第に分子量が大きくな
り、限度を越えると不溶性の沈殿となる反応を行ってい
るのであり、溶解しているジルコニウム化合物も分子量
の比較的小さな様々な塩基性硫酸ジルコニウムを形成し
ており、分子量が大きくなって沈殿形成した塩基性硫酸
ジルコニウムでもその中に結合しているZrO₂とSO₄の比
率は様々に変化するのである。ジルコニウム塩水溶液と
硫酸アンモニウム水溶液の全量が瞬時に混合するとか、
予め均一に混合された溶液を均一に加熱していく場合、
例えば撹拌しながら加熱する場合にはジルコニウム塩と
硫酸アンモニウムとの反応は比較的均一に進行して温度
が上昇するに従い、反応速度が上昇して６０℃を越える
と不溶性の塩基性硫酸ジルコニウム沈殿が発生する。し
かるに７０℃以上に加熱したジルコニウム塩水溶液に硫
酸アンモニウム水溶液を添加すると、硫酸アンモニウム
水溶液が挿入された部分でまず混合が起こり、そこで塩
基性硫酸ジルコニウムの生成による沈殿生成が始まる。

【０００９】溶液全体が混合されるには多少の時間を要
するため、最初の混合部分では硫酸アンモニウムのジル
コニウムに対するモル比（以下単にモル比という）が高
い状態で反応が進行して、SO₄の大量に結合した塩基性
硫酸ジルコニウム沈殿が生成する。混合が進行するに従
い、塩基性硫酸ジルコニウムとジルコニウム塩の反応が
進行して、ジルコニウム塩は塩基性ジルコニウム沈殿か
らSO₄を奪って新しい塩基性硫酸ジルコニウム化合物を
生成する。SO₄を奪われた塩基性硫酸ジルコニウムは架
橋が切断して分子量が小さくなり、この時硫酸アンモニ
ウムのジルコニウムに対するモル比が小さいと沈殿は溶
解する。硫酸アンモニウム水溶液が全量一度に投入され
ない場合にはこの傾向は顕著になり、硫酸アンモニウム
の投入されている場所では塩基性硫酸ジルコニウムの沈
殿が生成し、撹拌によって混合されている場所では沈殿
が溶解する。投入の時間経過に伴い反応系のモル比は刻
々と変化し、生成する塩基性硫酸ジルコニウムの組成、
ひいては分子量も変化する。更にこれが再溶解する経過
と相俟って最終的に生成する塩基性硫酸ジルコニウムの
組成、分子量は多様なものと成ることが推定される。こ
のように不均一な反応生成物を得ることが最終的に得ら
れる酸化ジルコニウム微粉のタップ密度を極めて小さく
することができる原因であろうと考えられる。

【００１０】以下本発明の詳細について説明する。本発
明で採用する最も特徴的な方法は、加熱したジルコニウ
ム塩水溶液を撹拌しながら、これに硫酸アンモニウム水
溶液を分散して時間をかけて添加することにより塩基性
硫酸ジルコニウム沈殿を生成して、これをアルカリで中
和して水酸化ジルコニウムに変換した後に常法で処理し
て酸化ジルコニウム粉を得るものである。ジルコニウム
塩水溶液に硫酸アンモニウムを溶解すると反応して水不
溶性の塩基性硫酸ジルコニウム沈殿が生成するが、６０
℃以下では反応速度が極度に遅く、沈殿生成量も少ない
が、６０℃を越すと反応速度が顕著に増大し、７０℃を
越すとほとんど瞬時に沈殿が生成するのである。

【００１１】（Ａ）水溶性ジルコニウム化合物、例えば
オキシ塩化ジルコニウムを水に溶解する。次に別の容器
に硫酸アンモニウムをSO₄として酸化ジルコニウム１モ
ル当り０．４２〜０．５５モルとなるように秤取り水に
溶解して(NH₄)₂SO₄として２０〜６００g/lになるように
調整する。このときオキシ塩化ジルコニウム溶液濃度と
硫酸アンモニウム溶液濃度との関係はオキシ塩化ジルコ
ニウム溶液に硫酸アンモニウム溶液を添加した後のスラ
リ−溶液中のジルコニウム濃度がZrO₂として２０〜８０
g/lになるように相互に調整する。この限定理由は次の
如くである。ZrO₂濃度を限定するのは実験結果によるも
のであり、ZrO₂濃度が高すぎるとタップ密度の高い酸化
ジルコニウムになり、タップ密度を０．６g/ml以下にす
るにはZrO₂として８０g/ml以下にする必要があり、好ま
しくは４０〜６０g/mlの範囲に設定すると最もタップ密
度の低い酸化ジルコニウムが得られる。ZrO₂２０g/l以
下では生産性が低くなる。硫酸アンモニウム添加率につ
いても上記限定範囲を外れると、タップ密度が上昇する
本発明者らの実験結果から限定した。硫酸アンモニウム
濃度についても低すぎると生産性が低下し、高すぎると
硫酸アンモニウム添加時に部分的に不溶性の塩基性硫酸
ジルコニウムの大きなフロックが生成してタップ密度の
高い酸化ジルコニウムになるので２０〜６００g/lの範
囲に限定した。好ましくは４０〜３００g/lに調整する
のが望ましい。５００g/lを越えると反応ロット毎のタ
ップ密度の値が変動する傾向がある。

【００１２】（Ｂ）次に、オキシ塩化ジルコニウム水溶
液を加熱して７０℃以上に昇温した後溶液を強く撹拌し
ながら硫酸アンモニウム水溶液を添加する。ここで塩化
ジルコニウム水溶液と添加する硫酸アンモニウム水溶液
は素早く混合しなければならない。混合速度が遅いと、
添加した硫酸アンモニウムが過度に不均一に反応してタ
ップ密度が上昇する。不均一反応させると言っても反応
パタ−ンは大量のジルコニウム塩に対して少量の硫酸ア
ンモニウムが反応して比較的SO₄結合量の低い塩基性硫
酸ジルコニウムを生成し、次第にSO₄結合力を多くして
行くことが必要である。硫酸アンモニウム濃度が過度に
高いと、部分的に硫酸アンモニウムのモル比が高い塩基
性硫酸ジルコニウムの大きなフロックが生じて、これが
原因でタップ密度が高くなるものと考えられる。撹拌混
合についても同様なことが言える。

【００１３】ビ−カ−スケ−ルの反応では撹拌機で撹拌
すると混合が素早く行われるが、大容量の生産設備の場
合には撹拌機による撹拌のみでは混合が素早く行われず
タップ密度が上昇することがあるので、硫酸アンモニウ
ム水溶液を太い水流で添加することなく細い水流で添加
するか、もしくはスプレ−状で添加する等の分散した状
態で添加することが有効である。７０℃以上に加熱する
のは、この温度ではオキシ塩化ジルコニウムと硫酸アン
モニウム中のSO₄が直ちに反応して不溶性の塩基性硫酸
ジルコニウムを生成させることができる温度であるから
である。反応溶液温度を７０℃以下に低下させないため
には硫酸アンモニウム水溶液を予め加熱して昇温してお
くことも時には有効である。ここでオキシ塩化ジルコニ
ウム水溶液温度を９０℃以上に昇温した後に反応させる
とタップ密度がより低位に安定する傾向がある。

【００１４】硫酸アンモニウム水溶液は２分〜２５分の
時間で全量添加する必要がある。これは時間が長すぎる
と粒径が大きくなり過ぎ、短すぎるとタップ密度の大き
な酸化ジルコニウムになるからである。硫酸アンモニウ
ム水溶液を添加していくと全体の７０〜８０％添加で溶
液全体が白濁しジルコニウムは不溶性の塩基性硫酸ジル
コニウム沈殿として溶液中に懸濁した状態になる。この
後暫時撹拌を継続して反応を完結した後スラリ−をアン
モニア水で中和して塩基性硫酸ジルコニウムに結合して
いるSO₄をＯＨで置換して水酸化ジルコニウムの沈殿に
変換し、濾過洗浄した後固形物をリパルプ、濾過、洗浄
を繰り返して塩基性硫酸ジルコニウムから硫酸根を離脱
して水酸化ジルコニウムに変化させる。得られた水酸化
ジルコニウムは常法により仮焼したあと乳鉢で軽く粉砕
してかさ密度、タップ密度の極めて低い酸化ジルコニウ
ム微粉末を得ることができる。上記の方法によって得ら
れた酸化ジルコニウム微粉末の物性はかさ密度、０．３
g/ml以下、タップ密度０．６g/ml以下、平均粒径１μm
である。次に実施例により本発明を説明する。

【００１５】

【実施例】

実施例１ ZrO₂として５０ｇを含むオキシ塩化ジルコニウム水溶液
６８５ｍｌをビ−カ−にいれウオタ−バス中で８５℃に
加熱した。別に２４ｇの硫酸アンモニウムを１５０ｍｌ
の水に溶解した水溶液を調整した。硫酸アンモニウムの
量はSO₄としてZrO₂１モル当り０．４５モルに相当す
る。またZrO₂量はオキシ塩化ジルコニウム水溶液と硫酸
アンモニウム水溶液の合計量に対して６０g/lに相当す
る。オキシ塩化ジルコニウム水溶液を撹拌機で撹拌しな
がら硫酸アンモニウム水溶液をビユレツトから少量ずつ
添加し全量添加するのに５分要した。硫酸アンモニウム
水溶液を殆ど添加し終えるころ溶液は白濁し不溶性の塩
基性硫酸ジルコニウム沈殿が大量に生成したことを示し
た。このときスラリ−温度は７６℃に低下していた。更
に撹拌を３０分継続した後アンモニア水で中和してから
ヌツチエで吸引濾過し、取り出した固形物を希薄アンモ
ニア水でリパルプ後再度吸引濾過、洗浄を繰り返し、SO
₄を除去した水酸化ジルコニウム固形物を得た。これを
坩堝に入れ６８０℃に加熱しているマッフル炉に入れて
５０分間仮焼した後めのう乳鉢で粉砕すると柔らかな微
粉末が得られた。この微粉末のかさ密度及びタップ密度
はそれぞれ０．２４g/ml、０．５０g/mlと極めて小さ
く、平均粒径は０．７８μmと微粒子であった。

【００１６】実施例２ ZrO₂として２９０kg含有しているオキシ塩化ジルコニウ
ム水溶液５８００ｌを撹拌しながら加熱して７５℃に昇
温した。硫酸アンモニウム１５２kgを６５０ｌの純水に
溶解し７０℃に加熱した後ポンプでスプレ−ノズルを通
してオキシ塩化ジルコニウム溶液に添加した。この添加
に９分要した。十分混合した後アンモニア水中にポンプ
で投入して全体を中和した後、フイルタ−プレスで濾
過、洗浄した。生成した水酸化ジルコニウムケ−クを仮
焼炉で７５０℃６０分仮焼した後ジエツトミル粉砕して
分散性の良い酸化ジルコニウム微粉末を得た。生成した
酸化ジルコニウムは、かさ密度０．２１g/ml、タップ密
度０．４２g/ml、粒度分布はＤ₅₀０．８９μmであり、
かさ密度タップ密度が極めて小さく粒度分布のシヤ−プ
な粉体であった。

【００１７】実施例３ ZrO₂として５０ｇ含有しているオキシ塩化ジルコニウム
水溶液を９５℃に加熱して撹拌しながら硫酸アンモニウ
ム水溶液を７分かけて添加した。（NH₄）₂SO₄量はモル
比０．４２〜０．５５の範囲で調整し、濃度は（NH₄）₂
SO₄として２５０g/lとした。反応液の全量は１ｌになる
ようにオキシ塩化ジルコニウム水溶液量を計算して設定
した他は実施例１と同操作で行った。得られた酸化ジル
コニウム微粉末の粉体特性は表１に示すように極めてタ
ップ密度が低い値を示した。特にモル比０．４５〜０．
４９の間でタップ密度、粒径ともに安定して低い値を示
している。

【００１８】実施例４ ZrO₂として１０Kg含有するオキシ塩化ジルコニウム水溶
液１８０ｌを９５℃に昇温して、撹拌しながら(NH₄)₂SO
₄として５．０Kg含有する硫酸アンモニウム水溶液２０
ｌをスプレ−状に添加した。添加時間は７分、１４分、
２１分の３通りの時間で行った。ZrO₂濃度は溶液全量に
対して５０g/l、(NH₄)₂SO₄濃度は２５０g/l、モル比は
０．４７であった。生成した塩基性硫酸ジルコニウム沈
殿スラリ−をアンモニアで中和した後に濾過、洗浄して
得られた水酸化ジルコニウムをマッフル炉で６８０℃１
時間仮焼した後乳鉢で粉砕してタップ密度、粒径を測定
した。結果を表２に示す。

【００１９】〔比較例１〕ZrO₂濃度７６．５g/lのオキ
シ塩化ジルコニウム水溶液２００ml（ZrO₂１５．３g）
に硫酸ナトリウム１０．５ｇを溶解して撹拌しながら９
０℃迄加熱した。水不溶性の塩基性硫酸ジルコニウムの
白色沈殿をマツフル炉で７００℃６０分仮焼してZrO₂粉
末を得た。これをめのう乳鉢で粉砕した後粉体特性を測
定して、かさ密度１．２３ｇ／mlタツプ密度１．６１g/
ml、Ｄ₅₀３μmの値を得た。かさ密度、タツプ密度が極
めて大きく粒径も大きな粉末であつた。

【００２０】〔比較例２〕ZrO₂濃度６０g/lのオキシ塩
化ジルコニウム水溶液を１５０mlをアンモニア水で中和
して得られた水酸化ジルコニウム白色沈殿を濾過、洗浄
して沈殿を分離した後にマッフル炉で７５０℃６０分仮
焼した。得られたZrO₂仮焼物はめのう乳鉢での微粉砕は
困難であった。これをボ−ルミルで８時間粉砕して得ら
れた粉末のかさ密度は１．２０g/ml、タップ密度１．８
７g/mlと極めて重く、平均粒径は０．８９μmであっ
た。

【００２１】〔比較例３〕ZrO₂として５０ｇを含むオキ
シ塩化ジルコニウム水溶液４５５ｍｌを１ｌビ−カに入
れ、ウオタ−バス中で撹拌しながら９０℃に加熱した。
ここに硫酸アンモニウム２５ｇを含む水溶液１００ｍｌ
を７分かけて注入して塩基性硫酸ジルコニウムの白色沈
殿スラリ−を生成した。スラリ−中のZrO₂濃度は９０g/
l、(NH₄)₂SO₄とZrO₂のモル比は０．４７であった。以下
実施例１と同一手順で処理して酸化ジルコニウム粉末を
得た。これのかさ密度は０．３５g/ml、タップ密度０．
７２g/ml、Ｄ₅₀３．２μm、Ｄ₉₀８．１μmであった。

【００２２】

【発明の効果】エレクトロニクス用フアインセラミクス
などの原料として使用される酸化ジルコニウム粉の従来
の製造方法では、ジルコニウム塩類の水溶液に硫酸イオ
ンを共存させた溶液を加熱して不溶性の塩基性硫酸ジル
コニウム沈殿を生成させ、これを個液分離してそのまま
仮焼して酸化ジルコニウムにする方法、もしくはジルコ
ニウム塩水溶液をアルカリ処理して水酸化ジルコニウム
沈殿を作り、これを仮焼して酸化ジルコニウムにする方
法等であって、そのままでは上記の用途に使用できな
い。

【００２３】本発明は上記従来法の欠点を排除して独特
の方法をとり、特に水溶性ジルコニウムを水に溶解した
後、添加する硫酸アンモニウムの添加率、濃度、温度お
よび添加時間を限定し、次にオキシ塩化ジルコニウム水
溶液を加熱して７０℃以上に昇温した後、溶液を強く撹
拌しながら硫酸アンモニウム水溶液を添加した後のスラ
リ−中のZrの濃度をZrO₂として２０〜８０g/l、溶液温
度を７０℃以上に調整し、最後に得られた塩基性硫酸ジ
ルコニウムから硫酸根を除去して水酸化ジルコニウムに
する等の方法をとったので、次の如きエレクトロニクス
用フアインセラミクスの原料として好適な優れた酸化ジ
ルコニウム微粉末を得ることができた。 （イ）粒径が微小で粒度分布がシヤ−プである。 （ロ）不純物が少なく、かつかさ密度、タップ密度が極
めて低い。 （ハ）分散性が良好である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水溶性ジルコニウム化合物を水に溶解し
   加熱昇温する段階と、該溶液を撹拌しながら硫酸アンモ
   ニウム溶液を添加して不溶性の塩基性硫酸ジルコニウム
   沈殿が懸濁したスラリ−を得る段階と、前記スラリ−を
   アルカリ性物質で処理した後水酸化ジルコニウムを分離
   する段階と、前記水酸化ジルコニウムを仮焼した後粉砕
   する段階と、を有して成る酸化ジルコニウム微粉末の製
   造方法において、前記水溶性ジルコニウム塩溶液濃度を
   硫酸アンモニウム溶液添加後の全容に対してZrO₂として
   ２０〜８０g/l、溶液温度を７０℃以上に調整する段階
   と、前記硫酸アンモニウム溶液濃度が２０〜６００g/
   ｌ，硫酸アンモニウム溶液量がSO₄として酸化ジルコニ
   ウム１モル当り０．４２〜０．５５モルとなるように調
   整する段階と、前記水溶性ジルコニウム化合物を撹拌し
   ながら硫酸アンモニウム水溶液を添加混合して塩基性硫
   酸ジルコニウム沈殿スラリ−を生成させる段階と、前記
   スラリ−をアルカリ性物質によって中和した後濾過、洗
   浄して塩基性硫酸ジルコニウムから硫酸根を脱離して水
   酸化ジルコニウムに変化させる段階と、を有することを
   特徴とするタップ密度の低い酸化ジルコニウム微粉末の
   製造方法。
2. 【請求項２】 前記水溶性ジルコニウム化合物を水に溶
   解し加熱昇温した溶液を撹拌しながら硫酸アンモニウム
   溶液を添加する工程に要する時間を２〜２５分に調整す
   ることを特徴とする請求項１に記載のタップ密度の低い
   酸化ジルコニウム微粉末の製造方法。