JPH0678955U

JPH0678955U - ペリクル及びそのライナーの引剥用治具

Info

Publication number: JPH0678955U
Application number: JP1931393U
Authority: JP
Inventors: 稔藤田
Original assignee: 三井石油化学工業株式会社
Priority date: 1993-04-15
Filing date: 1993-04-15
Publication date: 1994-11-04

Abstract

(57)【要約】【目的】ペリクルの枠下側面のマスク側接着剤面に
貼付されるライナーを円滑かつ確実に剥離させることが
できるペリクルと治具を提供する。【構成】上腕部７ａと下腕部７ｂよりなってピンセ
ット状をなし、上腕部先端に突部８を、下腕部先端に突
部８が嵌合する凹部９をそれぞれ形成し、ペリクルより
ライナー４を引剥すときには、治具を掴んで両腕部間に
ライナー４より突出形成される耳片６を挟み込み、突部
８を耳片６の治具孔５に通して凹部９に嵌合係止させた
状態で引剥しを行う。【効果】引剥時に突部８が治具孔５に引っ掛かり、
これより滑って外れることがないため、円滑かつ確実に
ライナーを引剥すことができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、フォトマスクやレチクルの防塵カバーとして用いられるペリクルにおいて、マスク側接着剤面に貼着される剥離ライナーを円滑かつ確実に剥離させることができるようにしたペリクル及びそのライナーを引剥すための治具に関する。

【０００２】

【従来技術】

ＩＣ、ＬＳＩ等の集積回路の製造工程において、半導体基板上に回路パターンを形成するために用いられるフォトマスクやレチクルには、露光されるパターン上に塵埃等の異物が付着したり、フォトマスクやレチクル上に異物が付着して露光時に異物の影がパターン上に投影されたりするのを防止するため、防塵カバーとしてのペリクルを装着して露光に供される。

【０００３】ペリクルは通常、枠と、枠上側端面に貼着され、ニトロセルロース等からなるペリクル膜とから構成され、枠の下側端面には接着剤が塗布、または両面粘着テープが貼られると共に、これらの接着剤層の下面に貯蔵や保管中に接着剤層を保護するための剥離ライナーが貼着してあり、その側方には枠より突出する把持用の耳片が突設されている。

【０００４】ペリクルをフォトマスクやレチクルに貼る作業は、剥離ライナーを接着剤層より引剥したのち、人手により或いは機械を用いて貼着され、ライナーの剥離は耳片を指先により、或いはピンセット等の治具を用いて掴むことにより行われている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ライナーを剥離するため、耳片を指先で掴んで引剥す場合、指先に油が付着して汚れたり、ペリクルへ塵埃が付着するおそれがあり、またピンセット等の治具を用いて耳片を掴み、ライナーを引剥す際、耳片より滑って掴み損ねたり、外れたライナーがペリクル膜に当たってペリクル膜を破損するおそれがある。

【０００６】本考案は、剥離ライナーを円滑かつ確実に剥離させることができて、フォトマスクやレチクルに装着する際の作業性に優れたペリクル及びそのライナー引剥用の治具を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題の解決手段及】

本考案のペリクルは、枠と、枠上側端面に貼着されるペリクル膜と、枠下側端面にのマスク側接着剤面に貼付され、側方に枠より突出する耳片を突設したライナーとよりなるペリクルにおいて、この耳片に治具孔を設けたものである。また本考案ののライナー引剥用治具は、上腕部と下腕部よりなってピンセット状をなし、両腕部のうちの一方にライナーの耳片に形成される治具孔に係脱可能に係止する突部を設けたことを特徴とし、好ましくは両腕部のうちの他方に上記突部が嵌合する凹部が形成される。

【０００８】治具には、例えばテフロン加工したもの、ステンレス製、セラミック製のものなど発塵しない材質のものが用いられる。

【０００９】

【作用】

ライナーを引剥すときには、治具を掴んで両腕部間に耳片を挟み、突部を治具孔に当てゝ両腕部を押込む。これにより突部が治具孔に係止され、治具を左右動させても突部が治具孔に引っ掛かって外れなくなる。他方の腕部に凹部を形成して突部を嵌合させるようにすれば、治具孔が突部に確実に係止し、外れるおそれがなくなる。

【００１０】

【実施例】

図１及び図２は、アルミ枠１上側端面にペリクル膜２を貼着すると共に、枠下側端面に接着剤３を塗布してライナー４を貼付したペリクルについて示すもので、ライナー４には枠１より側方より突出し、治具孔５を備えた耳片６が設けられている。図示する実施例において、耳片は方形をなし、治具孔は円形となっているが、耳片は長円形、三角形その他任意形状とすることができ、治具孔も角形その他任意の形状とすることができる。

【００１１】ライナーの形状についても、アルミ枠下端面全てを覆うようなライナー、枠下端面のマスク側接着剤面のみを覆うようなライナーなどを挙げることができる。図３は、ライナー４を引剥すために用いられる治具の一例を示すもので、上腕部７ａと下腕部７ｂよりなってピンセット状をなし、上腕部先端に突部８を、下腕部先端に突部８が嵌合する凹部９を形成してなるものである。

【００１２】ペリクルからライナー４を引剥すときには、治具を掴んで上腕部７ａと下腕部７ｂ間に枠下側部より突出するライナー４の耳片６を挟み込み、突部８を治具孔５に当てがって両腕部７ａ、７ｂを押え込む。そして図４に示すように突部８が治具孔５を通り、凹部９に嵌合した状態で、治具操作によりライナー４を枠下側部の接着剤層３より引剥す。

【００１３】

【考案の効果】

本考案のペリクルとその引剥用の治具によれば、腕部を押え込んで突部を治具孔に係止させると、突部が治具孔に引っ掛かって外れなくなるため、ライナー引剥時に治具が耳片より滑って外れるようなことがなくなり、そのためライナーの引剥しを円滑かつ確実に行えるようになる。

【００１４】また腕の他方に突部が嵌合する凹部を設ければ、突部が治具孔をより確実に係止しうるようになり、耳片を確実に掴むことができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ペリクルの斜視図。

【図２】同ペリクルの断面図。

【図３】ペリクルのライナー引剥用治具の部分断面正
面図。

【図４】引剥時の部分断面正面図。

【符号の説明】

１・・・枠２・・・ペリ
クル膜３・・・接着剤４・・・ライ
ナー５・・・治具孔６・・・耳片７ａ・・・上腕部７ｂ・・・下
腕部８・・・突部９・・・凹部

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】枠と、枠上側端面に貼着されるペリクル
膜と、枠下側端のマスク側接着剤面に貼付され、側方に
枠より突出する耳片を突設したライナーとよりなるペリ
クルにおいて、上記耳片が治具孔を有していることを特
徴とするペリクル。
【請求項２】枠と、枠上側端面に貼着されるペリクル
膜と、枠下側端のマスク側接着剤面に貼付され、側方に
枠より突出する耳片を突設したライナーとよりなるペリ
クルのライナー引剥用治具であって、上腕部と下腕部よ
りなってピンセット状をなし、両腕部のうちの一方にラ
イナーの耳片に形成される治具孔に係脱可能に係止する
突部を設けたことを特徴とする治具。
【請求項３】他方の腕部には、突部が嵌合する凹部が
形成される請求項２記載の治具。