JPH0676939B2 - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
- Publication number
- JPH0676939B2 JPH0676939B2 JP5167186A JP5167186A JPH0676939B2 JP H0676939 B2 JPH0676939 B2 JP H0676939B2 JP 5167186 A JP5167186 A JP 5167186A JP 5167186 A JP5167186 A JP 5167186A JP H0676939 B2 JPH0676939 B2 JP H0676939B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- control valve
- pressure chamber
- differential
- guiding means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は，差圧測定装置に関し，インテリジェントな機
能を備えた高精度差圧測定装置に関する。
能を備えた高精度差圧測定装置に関する。
＜従来の技術＞ 従来，差圧測定装置としては力平衡方式や変位平衡式の
ものが用いられ広く実用に供されている。
ものが用いられ広く実用に供されている。
＜発明が解決しようとする問題点＞ しかしながら，上記従来の差圧測定装置においては零点
変動やスパン変動を自動的にチェックする機能を持た
ず，この様なチェックを行う場合は測定ラインから装置
を外し，特殊な工具を使用して調整をしなければならな
いという不便があり，また，複雑な過大圧防止機構を必
要とするという問題がある。
変動やスパン変動を自動的にチェックする機能を持た
ず，この様なチェックを行う場合は測定ラインから装置
を外し，特殊な工具を使用して調整をしなければならな
いという不便があり，また，複雑な過大圧防止機構を必
要とするという問題がある。
本願の第１の発明は自動零調整機構を備えており， 第２の発明は，自動零調整機構の他に過大圧防止機構を
備えており， 第３の発明は自動零調整機構の他に過大圧防止機構およ
び自動スパン調整機構を備えたものであり高精度，高信
頼性を有する差圧測定装置を実現することを目的とす
る。
備えており， 第３の発明は自動零調整機構の他に過大圧防止機構およ
び自動スパン調整機構を備えたものであり高精度，高信
頼性を有する差圧測定装置を実現することを目的とす
る。
＜問題点を解決するための手段＞ 上記問題点を解決するための第１の発明の構成は，本体
の両側面にシールダイアフラムの周縁を固定して形成さ
れた高圧室および低圧室と，前記高圧室および低圧室を
結ぶ第１の導圧手段と，前記導圧手段の途中に設けられ
た差圧センサおよび第１の制御弁と，前記差圧センサの
高圧側および低圧側を結ぶ第２の導圧手段と前記第２の
導圧手段の途中に設けられた第２の制御弁と，前記第１
の弁と第２の弁の制御手段を備えたものであり， 第２の発明は上記の構成に高圧室および低圧室の圧力を
測定する第１および第２の圧力センサを付加し，前記第
１および第２の制御弁を制御する制御手段を備えたもの
であり、 第３の発明は前記第２の発明の構成に前記差圧センサの
高圧側と低圧側を結ぶ第３の導圧手段と，前記第３の導
圧手段の途中に第３の制御弁および基準圧力発生手段を
付加し，前記第1,第2,第３の制御弁を制御する制御手段
を備えたものである。
の両側面にシールダイアフラムの周縁を固定して形成さ
れた高圧室および低圧室と，前記高圧室および低圧室を
結ぶ第１の導圧手段と，前記導圧手段の途中に設けられ
た差圧センサおよび第１の制御弁と，前記差圧センサの
高圧側および低圧側を結ぶ第２の導圧手段と前記第２の
導圧手段の途中に設けられた第２の制御弁と，前記第１
の弁と第２の弁の制御手段を備えたものであり， 第２の発明は上記の構成に高圧室および低圧室の圧力を
測定する第１および第２の圧力センサを付加し，前記第
１および第２の制御弁を制御する制御手段を備えたもの
であり、 第３の発明は前記第２の発明の構成に前記差圧センサの
高圧側と低圧側を結ぶ第３の導圧手段と，前記第３の導
圧手段の途中に第３の制御弁および基準圧力発生手段を
付加し，前記第1,第2,第３の制御弁を制御する制御手段
を備えたものである。
＜実施例＞ 第１図は本願の第１〜第３発明に係かる一実施例を示す
断面構成図である。図において１は両側面にシールダイ
アフラム2,2aが設けられた本体である。この本体１とシ
ールダイアフラム2,2aの間には高圧室H,低圧室Ｊが形成
され，これらの室は本体１を貫通する第１の導圧手段３
によって連結されている。第１の導圧手段３の途中には
差圧センサPdが本体に内臓して配置されており，この差
圧センサPdと高圧室Ｈの途中には第１の制御弁Vdが設け
られている。
断面構成図である。図において１は両側面にシールダイ
アフラム2,2aが設けられた本体である。この本体１とシ
ールダイアフラム2,2aの間には高圧室H,低圧室Ｊが形成
され，これらの室は本体１を貫通する第１の導圧手段３
によって連結されている。第１の導圧手段３の途中には
差圧センサPdが本体に内臓して配置されており，この差
圧センサPdと高圧室Ｈの途中には第１の制御弁Vdが設け
られている。
４は低圧室Ｊと差圧センサPdの高圧側を結ぶ第２の導圧
手段で，図では低圧側の第１の導圧手段の途中に第２の
導圧手段の一端が連結され，他端が差圧センサの高圧側
に連結されており，この第２の導圧手段の途中には第２
の制御弁Voが設けられている。以上が第１の発明のセン
サ側の構成である。
手段で，図では低圧側の第１の導圧手段の途中に第２の
導圧手段の一端が連結され，他端が差圧センサの高圧側
に連結されており，この第２の導圧手段の途中には第２
の制御弁Voが設けられている。以上が第１の発明のセン
サ側の構成である。
P1は高圧室Ｈの圧力を測定する第１の圧力センサ,P2は
低圧室Ｊの圧力を測定する第２の圧力センサであり，こ
れらの圧力計P1,P2を付加して第２の発明のセンサ側が
構成される。
低圧室Ｊの圧力を測定する第２の圧力センサであり，こ
れらの圧力計P1,P2を付加して第２の発明のセンサ側が
構成される。
５は低圧室Ｊと差圧センサの高圧側を結ぶ第３の導圧手
段で，この第３の導圧手段の途中にはベローズ７（ダイ
アフラムでもよい）およびスプリング８からなる基準圧
力発生手段および第３の制御弁Vsであり，これらの機構
が付加されて第３の発明のセンサ側が構成されている。
段で，この第３の導圧手段の途中にはベローズ７（ダイ
アフラムでもよい）およびスプリング８からなる基準圧
力発生手段および第３の制御弁Vsであり，これらの機構
が付加されて第３の発明のセンサ側が構成されている。
第２は第１図に示す差圧測定装置の制御手段を示す概念
図である。図において20は例えばマイクロプロセッサ
（μＰ）で，差圧センサPdの入出力や過大圧が印加され
たときに発信されるP1,P2の出力信号に基づいて第１〜
第３の制御弁Vd,Vo,Vsの開閉を制御する制御手段であ
り,21はμＰと信号の授受を行う外部装置（I/O）であ
る。第２図では第１〜第３の発明に必要な制御手段を示
すが第1,第２の発明の場合は必要な制御手段のみが選択
される。
図である。図において20は例えばマイクロプロセッサ
（μＰ）で，差圧センサPdの入出力や過大圧が印加され
たときに発信されるP1,P2の出力信号に基づいて第１〜
第３の制御弁Vd,Vo,Vsの開閉を制御する制御手段であ
り,21はμＰと信号の授受を行う外部装置（I/O）であ
る。第２図では第１〜第３の発明に必要な制御手段を示
すが第1,第２の発明の場合は必要な制御手段のみが選択
される。
第１図，第２図において，測定モードのときは，μＰは
第１の制御弁Vdに開の信号を第２の制御弁Voには閉の信
号を発する。この結果，差圧センサPdからはその時点で
印加された差圧信号がμＰに送信される。零点チェック
時はVdの制御弁を閉とし,Voの制御弁を開とし，差圧セ
ンサPdの高圧側と低圧側の低圧室Ｊの圧力ＰＬを印加
し，圧力でバランスさせて零点チェックを行う（第１の
発明）。
第１の制御弁Vdに開の信号を第２の制御弁Voには閉の信
号を発する。この結果，差圧センサPdからはその時点で
印加された差圧信号がμＰに送信される。零点チェック
時はVdの制御弁を閉とし,Voの制御弁を開とし，差圧セ
ンサPdの高圧側と低圧側の低圧室Ｊの圧力ＰＬを印加
し，圧力でバランスさせて零点チェックを行う（第１の
発明）。
次に，例えば高圧室Ｈに過大圧が印加された場合は第１
の圧力センサP1および第２の圧力センサP2からμＰに信
号が発せられ，μＰはこれら２つの圧力センサの信号の
差から過大圧が印加されたことを判断し，第１の制御弁
Vdを閉とし第２の制御弁Voを開とする信号を発する。こ
の結果，高圧室Ｈの圧力は第１の制御弁Vdでストップさ
れ，差圧センサPdの高圧側には第２の制御弁Voを経由し
て低圧室Ｊの圧力が印加され，圧力差が零となってバラ
ンスし，差圧センサPdは破壊することがない。
の圧力センサP1および第２の圧力センサP2からμＰに信
号が発せられ，μＰはこれら２つの圧力センサの信号の
差から過大圧が印加されたことを判断し，第１の制御弁
Vdを閉とし第２の制御弁Voを開とする信号を発する。こ
の結果，高圧室Ｈの圧力は第１の制御弁Vdでストップさ
れ，差圧センサPdの高圧側には第２の制御弁Voを経由し
て低圧室Ｊの圧力が印加され，圧力差が零となってバラ
ンスし，差圧センサPdは破壊することがない。
また，低圧室Ｊから過大圧が印加された場合も同様に，
μＰが２つの圧力センサの信号の差から過大圧が印加さ
れたことを判断し，第１の制御弁Vdを閉とし第２の制御
弁Voを開とする信号を発する。この結果，低圧室Ｊの過
大圧は第２の制御弁Voを通って差圧センサVdの高圧側に
入力され圧力差がバランスするので破損することがない
（第２の発明）。
μＰが２つの圧力センサの信号の差から過大圧が印加さ
れたことを判断し，第１の制御弁Vdを閉とし第２の制御
弁Voを開とする信号を発する。この結果，低圧室Ｊの過
大圧は第２の制御弁Voを通って差圧センサVdの高圧側に
入力され圧力差がバランスするので破損することがない
（第２の発明）。
スパンチェック時は第１の制御弁Vdおよび第２の制御弁
Voを閉とし，第３の制御弁Vsを開とする。この結果，差
圧センサVdの低圧側には低圧室Ｊの圧力が，高圧側には
基準圧力発生器６を経た圧力（この例では低圧室の圧力
より高い圧力となるように基準圧力発生器を用いる）が
印加される。
Voを閉とし，第３の制御弁Vsを開とする。この結果，差
圧センサVdの低圧側には低圧室Ｊの圧力が，高圧側には
基準圧力発生器６を経た圧力（この例では低圧室の圧力
より高い圧力となるように基準圧力発生器を用いる）が
印加される。
従って差圧センサPdには常に一定の差圧が加えられるこ
とになる（第３の発明）。
とになる（第３の発明）。
上記構成によれば第１の発明では零点チェックを行うこ
とができ，第２の発明では零点チェックの他過大圧によ
る差圧センサの破壊を自動的に防止することができ，第
３の発明では上記第２の発明に加えてスパンチェックを
行うことができ，これらのチェックは装置をラインから
取外すことなく行うことができる。また，これらのチェ
ックはμＰに所定のプログラムを与え，一定時間毎に制
御弁を切替えて自動的に行うことが可能であり，また，
必要に応じて任意に行うことも可能である。
とができ，第２の発明では零点チェックの他過大圧によ
る差圧センサの破壊を自動的に防止することができ，第
３の発明では上記第２の発明に加えてスパンチェックを
行うことができ，これらのチェックは装置をラインから
取外すことなく行うことができる。また，これらのチェ
ックはμＰに所定のプログラムを与え，一定時間毎に制
御弁を切替えて自動的に行うことが可能であり，また，
必要に応じて任意に行うことも可能である。
なお，第1,第２の圧力センサP1,P2,および各制御弁は本
体１とは別に設けてもよく，本体１自身に一体として組
込んでもよい。また，制御弁の数および導圧手段（配
管）は上記実施例に限ることなく各種変形が可能であ
る。
体１とは別に設けてもよく，本体１自身に一体として組
込んでもよい。また，制御弁の数および導圧手段（配
管）は上記実施例に限ることなく各種変形が可能であ
る。
＜発明の効果＞ 以上，実施例とともに具体的に説明したように本発明に
よれば， （１）測定ラインに装置を取付けたままチェックを行う
ことが出来るので保守が容易である。
よれば， （１）測定ラインに装置を取付けたままチェックを行う
ことが出来るので保守が容易である。
（２）差圧センサの過大圧保護をダイアフラム等のネス
トで行っていないためシール膜の変形が少なく応力が小
さい。また，過大圧に因るヒステリシスが発生しない。
トで行っていないためシール膜の変形が少なく応力が小
さい。また，過大圧に因るヒステリシスが発生しない。
（３）温度係数，圧力係数，姿勢誤差，経年変化等すべ
ての誤差を自動零調整，自動スパン調整機能により取除
くが可能なので，レンジアビリティが大きく，高精度，
高信頼性を実現することが出来る。
ての誤差を自動零調整，自動スパン調整機能により取除
くが可能なので，レンジアビリティが大きく，高精度，
高信頼性を実現することが出来る。
第１図は本発明の差圧測定装置の一実施例を示す構成断
面図，第２図は第１図に示す差圧測定装置の制御手段を
示す概念図である。 １……本体,2,2a……シールダイアフラム,3……第１の
導圧手段,4……第２の導圧手段,5……第３の導圧手段,6
……基準圧力発生手段,Pd……差圧センサ,P1……第１の
圧力センサ,P2……第２の圧力センサ,Vd……第１の制御
弁,Vo……第２の制御弁,Vs……第３の制御弁。
面図，第２図は第１図に示す差圧測定装置の制御手段を
示す概念図である。 １……本体,2,2a……シールダイアフラム,3……第１の
導圧手段,4……第２の導圧手段,5……第３の導圧手段,6
……基準圧力発生手段,Pd……差圧センサ,P1……第１の
圧力センサ,P2……第２の圧力センサ,Vd……第１の制御
弁,Vo……第２の制御弁,Vs……第３の制御弁。
Claims (3)
- 【請求項１】本体の両側面にシールダイアフラムの周縁
を固定して形成された高圧室および低圧室と，前記高圧
室および低圧室を結ぶ第１の導圧手段と，前記第１の導
圧手段の途中に設けられた差圧センサおよび第１の制御
弁と，前記差圧センサの高圧側および低圧側を結ぶ第２
の導圧手段と，前記第２の導圧手段の途中に設けられた
第２の制御弁と，前記第１および第２の制御弁の制御手
段を備えたことを特徴とする差圧測定装置。 - 【請求項２】本体の両側面にシールダイアフラムの周縁
を固定して形成された高圧室および低圧室と，前記高圧
室および低圧室を結ぶ第１の導圧手段と，前記第１の導
圧手段の途中に設けられた差圧センサおよび第１の制御
弁と，前記差圧センサの高圧側および低圧側を結ぶ第２
の導圧手段と前記第２の導圧手段の途中に設けられた第
２の制御弁と前記高圧室および低圧室の圧力を測定する
第１および第２の圧力センサと，前記第１および第２の
制御弁を制御する制御手段を備えたことを特徴とする差
圧測定装置。 - 【請求項３】本体の両側面にシールダイアフラムの周縁
を固定して形成された高圧室および低圧室と，前記高圧
室および低圧室を結ぶ第１の導圧手段と，前記導圧手段
の途中に設けられた差圧センサおよび第１の制御弁と，
前記差圧センサの高圧側および低圧側を結ぶ第２の導圧
手段と前記第２の導圧手段の途中に設けられた第２の制
御弁と前記高圧室および低圧室の圧力を測定する第１お
よび第２の圧力センサと，前記差圧センサの高圧側と低
圧側を結ぶ第３の導圧手段と，前記第３の導圧手段の途
中に第３の制御弁および基準圧力発生手段とを設け，前
記第1,第2,第３の制御弁を制御する制御手段を備えたこ
とを特徴とする差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5167186A JPH0676939B2 (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5167186A JPH0676939B2 (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62207924A JPS62207924A (ja) | 1987-09-12 |
| JPH0676939B2 true JPH0676939B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=12893342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5167186A Expired - Lifetime JPH0676939B2 (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0676939B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2615532B2 (ja) * | 1991-09-04 | 1997-05-28 | 動力炉・核燃料開発事業団 | 高精度差圧測定装置における零点補正方法 |
| US7412893B2 (en) * | 2006-03-23 | 2008-08-19 | Rosemount Inc. | Redundant mechanical and electronic remote seal system |
| JP5455533B2 (ja) * | 2009-10-06 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | 圧力制御装置 |
-
1986
- 1986-03-10 JP JP5167186A patent/JPH0676939B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62207924A (ja) | 1987-09-12 |
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