JPH0676918A - コロナ放電用電極、コロナ放電処理装置および多孔質フィルムの製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】長尺の各種有機系フィルム表面にその幅方向に
亘って一様かつ高エネルギーのコロナ放電処理を行うこ
とができ、その濡れ性を著しく改善することが可能なコ
ロナ放電処理装置を提供しようとするものである。 【構成】導電性を有するバー型電極本体６の放電面に鋭
い角部を有する多数の導電性粒子８を付着することによ
り形成されたコロナ放電用電極５と、前記電極５に対し
て所望の間隔をあけて配置され、表面に誘電体層３が被
覆された対向電極１と、前記コロナ放電用電極５と前記
対向電極１の間に長尺有機系フィルム１２をそれら電極
５、１に対して所望のギャップをあけて供給するための
供給手段と、前記放電用電極５に高電圧を供給するため
の高電圧供給手段とを具備したことを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、コロナ放電用電極およ
び前記放電用電極を備えたコロナ放電処理装置、多孔質
フィルムの製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術および課題】例えば、ポリエチレンテレフ
タレートフィルムの表面に磁性膜などの各種の塗膜を形
成する場合には、前記フィルム表面の濡れ性を高めこと
が必要である。このような濡れ性を改善するためには、
例えば前記フィルム表面にコロナ処理を施すことが行わ
れている。

【０００３】ところで、従来のコロナ処理装置は導電性
を有するバー型の放電用電極（例えば銅製電極）と、前
記電極に対して所望の距離をあけて配置された表面に誘
電体薄膜が被覆された対向電極と、前記放電用電極に高
電圧を供給するための高電圧供給源とを備えた構造のも
のが知られている。かかるコロナ処理装置において、前
記電極間に例えば長尺ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを前記各電極に対して所望のギャップをあけて供給
すると共に、高電圧供給源から前記放電用電極の所定の
高電圧を供給すると、前記放電用電極の放電面と前記対
向電極との間でコロナ放電を生じる。その結果、前記電
極間を通過する前記フィルムの前記放電用電極側の面に
コロナが照射されて表面が活性化されるため、その濡れ
性が改善される。

【０００４】しかしながら、前述した従来のコロナ処理
装置ではコロナ放電のエネルギーを十分に高められない
ため前記電極間を通過するフィルムの濡れ性を十分に改
善することが困難になるという問題がある。本発明の目
的は、放電面から一様かつ高エネルギーのコロナ放電を
行うことが可能なコロナ放電用電極を提供しようとする
ものである。

【０００５】本発明の別の目的は、長尺の各種フィルム
表面にその幅方向に亘って一様かつ高エネルギーのコロ
ナ放電処理を行うことが可能なコロナ処理装置を提供し
ようとするものである。

【０００６】本発明のさらに別の目的は、長尺有機系フ
ィルムに対してそのフィルム材料本来の特性（例えば、
ソフト感、透明性、強度等）を殆ど損なうことなく、し
かも破断せずに連続的にサブμｍ〜十数μｍの範囲で任
意に選択された微細寸法の多数の貫通孔を一様かつ高密
度（１ｃｍ² 当り５０００個〜２０００００個）で形成
できる多孔質フィルムの製造装置を提供しようとするも
のである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係わるコロナ放
電用電極は、導電性の電極本体と、前記電極本体の放電
面に付着された鋭い角部を有する多数の導電性粒子とを
具備したことを特徴とするものである。前記電極本体
は、例えばバー型、円板型等任意な形状を有する。前記
電極本体は、例えば銅および銅合金、または鉄および鉄
合金等から形成される。

【０００８】前記導電性粒子としてしは、例えばタング
テンカーバイトなどの超硬合金粒子、または炭化ケイ素
粒子、天然又は合成のダイヤモンド粒子等を挙げること
ができる。特に、合成ダイヤモンド粒子は低抵抗で硬
度、強度等が大きく、さらに粒径の揃ったものが入手で
きるために好適である。前記導電性粒子は、粒径が１０
〜１００μｍで粒径のばらつきが５％以下のものを用い
ることが望ましい。

【０００９】前記導電性粒子は、前記電極本体の放電面
に電着、または有機系もしくは無機系の結合剤により付
着させる。特に、導電性粒子として合成ダイヤモンド粒
子を用いた場合、前記合成ダイヤモンド粒子の前記電極
本体の放電面への付着力を向上するために電着を採用す
ることが望ましい。前記導電性粒子は、一様なコロナ放
電を行う観点から、前記電極本体の放電面に７０％以上
付着させることが望ましい。

【００１０】本発明に係わるコロナ放電処理装置は、導
電性を有するバー型電極本体の放電面に鋭い角部を有す
る多数の導電性粒子を付着することにより形成されたコ
ロナ放電用電極；前記電極に対して所望の間隔をあけて
配置され、表面に誘電体層が被覆された対向電極；前記
コロナ放電用電極と前記対向電極の間に長尺有機系フィ
ルムをそれら電極に対して所望のギッヤップをあけて供
給するための供給手段；前記放電用電極に高電圧を供給
するための高電圧供給手段；を具備したことを特徴とす
るものである。前記放電用電極は、前述したコロナ放電
用電極と同様な構成を有する。

【００１１】前記対向電極は、電極本体およびその表面
に被覆された誘電体層とを備える。前記電極本体は、例
えば銅および銅合金、または鉄および鉄合金などの各種
の金属から形成される。前記誘電体材料としては、例え
ばシリコーンゴムまたはアルミナ、ジルコニア、ムライ
ト、窒化ケイ素などのセラミック等を用いることができ
る。前記誘電体層の厚さは、２〜５ｍｍ程度にすること
が望ましい。前記セラミック層を前記電極本体に被覆す
るには、例えば溶射法が採用され、前記電極本体に前記
セラミック層を溶射により被覆した後は、前記セラミッ
ク層表面をに研摩処理を施して平滑にすることが望まし
い。前記対向電極は、回転可能な導電性ロールと、前記
ロール表面に被覆された誘電体層とを備える構造にする
ことがより好ましい。

【００１２】前記有機系フィルムとしては、例えばポリ
エチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリ
エチレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリ塩化
ビニル、フッ素樹脂、ポリアミド、ポリカーボネート、
ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテ
ルケトン、エラストマー、ポリウレタン等からなる各種
高分子樹脂フィルム；発泡ポリエチレン、発泡ポリプロ
ピレンなどの各種の発泡高分子樹脂フィルム；発泡紙；
熱融着性樹脂フィルム；ポリエチレンテレフタレートフ
ィルムとポリエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタ
レートフィルムとポリプロピレンフィルムとを積層した
ような材質の異なる高分子樹脂フィルムを２層または３
層積層した積層フィルム、高分子樹脂フィルムに織布ま
たは不織布を積層した積層フィルム、高分子樹脂フィル
ムに紙を積層した積層フィルムなどの各種の積層フィル
ム等を用いることができる。前記高電圧供給手段は、交
流高電圧供給源、直流高電圧供給源のいずれでもよい。
本発明に係わる多孔質フィルムの製造装置は、長尺有機
系フィルムを供給するための供給手段；

【００１３】鋭い角部を有する多数のモース硬度５以上
の粒子が表面に付着された回転可能な第１ロールと、前
記ロールに対して逆方向に回転可能な第２ロールとを備
え、前記第１、第２のロールを互いに対向して配置して
それらの間に前記長尺フィルムを通過させるようにする
と共に、前記各ロールをそれらの配列方向に移動自在に
配置した穿孔用ユニット；

【００１４】前記ユニットの前記各ロールのうちのいす
れか一方のロールの両端部付近に設けられ、前記各ロー
ルによる前記フィルムへの押圧力を調節するための圧力
調節手段；

【００１５】前記ユニットの後段に配置され、高電圧が
供給される導電性を有するバー型電極本体の放電面に鋭
い角部を有する多数の導電性粒子を付着することにより
形成されたコロナ放電用電極と、前記電極に対して所望
の間隔をあけて配置され、表面に誘電体層が被覆された
対向電極とを備え、前記ユニットから搬送されたフィル
ムにコロナを照射するためのコロナ放電処理手段；を具
備したことを特徴とするものである。

【００１６】前記有機系フィルムとしては、例えばポリ
エチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリ
エチレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリ塩化
ビニル、フッ素樹脂、ポリアミド、ポリカーボネート、
ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテ
ルケトン、エラストマー、ポリウレタン等からなる各種
高分子樹脂フィルム；発泡ポリエチレン、発泡ポリプロ
ピレンなどの各種の発泡高分子樹脂フィルム；発泡紙；
熱融着性樹脂フィルム；高分子材料にシリカ粉末、カー
ボン粉末、アルミナ粉末等の無機質粉末を混合させた複
合フィルム；ポリエチレンテレフタレートフィルムとポ
リエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムとポリプロピレンフィルムとを積層したような材質
の異なる高分子樹脂フィルムを２層または３層積層した
積層フィルム、高分子樹脂フィルムに織布または不織布
を積層した積層フィルム、高分子樹脂フィルムに紙を積
層した積層フィルムなどの各種の積層フィルム等を用い
ることができる。前記有機系フィルムは、例えば厚さ５
μｍ〜３ｍｍのものが用いられる。

【００１７】前記長尺フィルムを供給するための供給手
段としては、例えば前記各種のフィルムを巻装したロー
ルを用いることができる。また、前記長尺フィルムが高
分子材料からなる場合には前記供給手段としてインフレ
ーション法によるフィルム製造機、またはキャスティン
グ法によるフィルム製造機を用いることができる。

【００１８】前記第１ロールは、金属製ロール本体の表
面に鋭い角部を有する多数のモース硬度５以上の粒子を
電着、または有機系もしくは無機系の結合剤により付着
させた構造を有する。前記モース硬度５以上の粒子とし
ては、例えばタングテンカーバイトなどの超硬合金粒
子、または炭化ケイ素粒子、炭化ホウ素粒子、サファイ
ア粒子、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）粒子、天然又は合
成のダイヤモンド粒子等を挙げることができる。特に、
合成ダイヤモンド粒子は硬度、強度等が非常に大きく、
優れた耐久性を有し、さらに粒径の揃ったものを容易に
入手できるために好適である。前記合成ダイヤモンド粒
子は、前記金属製ロール本体に強固に付着させる観点か
ら電着により前記ロール本体に付着させることが望まし
い。前記粒子は、粒径が１０〜１００μｍで粒径のばら
つきが５％以下のものを用いることが望ましい。前記多
数の粒子は、前記長尺有機系フィルムに貫通孔を高密度
で形成する観点から、前記ロール本体表面に７０％以上
付着させることが望ましい。

【００１９】前記第２ロールとしては、例えば鉄ロー
ル、鉄系合金ロール、表面にＮｉメッキ処理、Ｃｒメッ
キを施した鉄ロール等の表面が硬質のロール；金属製ロ
ール本体の表面に高分子樹脂層を被覆したもの、真鍮、
アルミニウム、銅からなるロール等の表面が軟質のロー
ル；を用いることができる。前記高分子樹脂としては、
各種の樹脂を用いることができるが、特に前記長尺フィ
ルムに対する緩衝作用の高いウレタン樹脂、シリコンゴ
ム等が好適である。

【００２０】前記穿孔用ユニットは、前記第１、第２の
ロールと、これらロールの中心を貫通して挿着された軸
と、前記各軸の両端付近を軸支する軸受が内蔵されたボ
ックスとから構成することが望ましい。

【００２１】前記穿孔用ユニットを構成する前記第１、
第２のロールは、横方向に並べて配置しても、上下に並
べて配置してもよい。また、前記第１、第２のロールは
例えば前記第１ロールを固定し、前記第１ロールの上方
に前記第２ロールを移動自在に配置する形態を採用する
ことができる。かかる第１、第２のロールの配置形態を
採用した場合には、前記圧力調節手段は前記上部側の第
２ロールの両端付近上面に設けられることになる。

【００２２】前記穿孔用ユニットは、前記第１ロールを
中心にして前記第２ロールの反対側にさらに前記第１ロ
ールに対して逆方向に回転可能な第３ロールが配置され
ることを許容する。このような第３ロールは、前記ロー
ルの中心に軸を貫通して挿着し、かつ前記軸の両端付近
に前記軸を軸支する軸受が内蔵されたボックスを配置し
た構成することが望ましい。

【００２３】前記圧力調節手段は、前記第１、第２のロ
ールのいずれか一方のロールの前記軸の両端部付近に配
置された前記ボックスを他方のロールに向けて押圧する
ためのスプリング等の圧縮部材を備える構造とすること
が望ましい。前記第３ロールをさらに配置する場合に
は、前記第３ロールの軸の両端部付近に配置された前記
ボックスを前記第１ロールに向けて押圧するためのスプ
リング等の圧縮部材を備える構造とすることが望まし
い。前記圧力調節手段が設けられた前記穿孔用ユニット
は、前記長尺フィルムの搬送方向に２つ、または３つ以
上配列することを許容する。前記コロナ処理手段を構成
する放電用電極および対向電極は、前述したコロナ処理
装置と同様な構造のものが用いられる。

【００２４】前記対向電極と前記長尺有機系フィルムと
のギャップは、１〜５ｍｍの範囲にすることが望まし
い。この理由は、前記ギャップが前記範囲を逸脱すると
前記放電用電極と前記対向電極との間に高電圧を加えた
場合、前記穿孔用ユニットで予め前記長尺有機系フィル
ムに穿孔された未貫通孔に充分なパワーのコロナを照射
することが困難となるからである。前記放電用電極に供
給される高電圧は、交流高電圧、直流高電圧のいずれで
もよい。

【００２５】前記コロナ処理手段の後段には、静電除去
手段が配置されることを許容する。かかる静電除去手段
としては、例えば純水を収容した容器と前記純水に超音
波を付与する超音波発生部材とから構成される。

【００２６】

【作用】本発明に係わるコロナ放電用電極によれば、導
電性の電極本体と、前記電極本体の放電面に付着された
鋭い角部を有する多数の導電性粒子とを具備することに
よって、前記電極本体に高電圧を供給することにより前
記電極本体と所定の距離あけて配置された対向電極に前
記多数の導電性粒子の鋭い角部からコロナを放電でき
る。その結果、高エネルギーのコロナを放電できる。

【００２７】本発明に係わるコロナ放電処理装置によれ
ば、導電性を有するバー型電極本体の放電面に鋭い角部
を有する多数の導電性粒子を付着することにより形成さ
れたコロナ放電用電極と、前記電極に対して所望の間隔
をあけて配置され、表面に誘電体層が被覆された対向電
極と、前記コロナ放電用電極と前記対向電極の間に長尺
有機系フィルムをそれら電極に対して所望のギャップを
あけて供給するための供給手段と、前記放電用電極に高
電圧を供給するための高電圧供給手段とを具備する。こ
のような構成において、前記コロナ放電用電極に前記電
源から高電圧を供給すると、前記放電用電極の前記多数
の導電性粒子の鋭い角部において電界が大きくなり、放
電の集中（周辺効果）によりそれらの角部から高エネル
ギーのコロナをそれぞれ前記対向電極に向けて放電でき
る。このため、前記各電極間に前記供給手段から長尺有
機系フィルムを供給すると、前記放電用電極側の前記フ
ィルム面が前記コロナで処理される。その結果、従来の
金属単体からなるバー型放電用電極を用いるコロナ放電
処理装置に比べて前記フィルムの表面の濡れ性を大幅に
向上できる。したがって、前記コロナ処理された長尺有
機系フィルムのコロナ処理面に磁性塗料等の塗膜を形成
する場合、前記塗膜を前記フィルム表面に強固に密着す
ることができる。

【００２８】本発明に係わる多孔質フィルムの製造装置
によれば、長尺有機系フィルムを供給するための供給手
段；鋭い角部を有する多数のモース硬度５以上の粒子が
表面に付着された回転可能な第１ロールと、前記ロール
に対して逆方向に回転可能な第２ロールとを備え、前記
第１、第２のロールを互いに対向して配置してそれらの
間に前記長尺フィルムを通過させるようにすると共に、
前記各ロールをそれらの配列方向に移動自在に配置した
穿孔用ユニット；前記ユニットの前記各ロールのうちの
いすれか一方のロールの両端部付近に設けられ、前記各
ロールによる前記フィルムへの押圧力を調節するための
圧力調節手段；前記ユニットの後段に配置され、高電圧
が供給される導電性を有するバー型電極本体の放電面に
鋭い角部を有する多数の導電性粒子を付着することによ
り形成されたコロナ放電用電極と、前記電極に対して所
望の間隔をあけて配置され、表面に誘電体層が被覆され
た対向電極とを備え、前記ユニットから搬送されたフィ
ルムにコロナを照射するためのコロナ放電処理手段；を
具備することによって、長尺有機系フィルムに対してそ
のフィルム材料本来の特性（例えば、ソフト感、透明
性、強度等）を殆ど損なうことなく、しかも破断せずに
連続的にサブμｍ〜十数μｍの範囲で任意に選択された
微細寸法の多数の貫通孔を一様かつ高密度（１ｃｍ² 当
り５０００個〜２０００００個）で形成できる。

【００２９】すなわち、前記穿孔用ユニットを構成する
金属からなる第２ロールや表面が高分子樹脂層で覆われ
た第２ロールは、現在の機械加工技術において数μｍな
いしサブμｍの精度で加工することが可能である。しか
しながら、前記ユニットを構成する多数のモース硬度５
以上の粒子（例えば合成ダイヤモンド粒子）が表面に付
着された第１ロールでは、前記粒子を付着させた後、研
磨仕上げを行ってもその表面精度は数十μｍが限界であ
る。かかる表面仕上げ精度の第１ロールおよび前記第２
ロールを組み込んだ穿孔用ユニットを用い、前記各ロー
ル間に長尺有機系フィルムを通すと、ロールと接触する
前記フィルムの幅方向全体に亘って均一に押圧すること
が困難となる。従って、前記ユニットを用いて長尺フィ
ルムの穿孔を行うと次のような問題を生じる。

【００３０】（１）前記第のロールの変位に起因して長
尺有機系フィルムへの押圧が不十分な部分が生じるた
め、部分的に穿孔されない箇所が生じて貫通孔等を一様
に形成することが困難となる。

【００３１】（２）前記第１ロールの変位に起因して第
１、第２のロールの回転が間欠的となり、円滑なロール
の回転が阻害される。その結果、前記フィルムの全面に
亘って皺が発生する。

【００３２】（３）前記フィルムに厚さのばらつきがあ
ると、前記ロール間を通過する過程で断線を生じる。そ
の結果、長尺有機系フィルムに貫通孔を連続的に形成す
ることが困難となる。

【００３３】このようなことから、本発明は前記穿孔用
ユニットを構成する多数のモース硬度５以上の粒子が表
面に付着された第１ロール、表面が平滑な第２ロールの
うち移動自在に配置されるロールの両端部付近に圧力調
節手段を設けることによって、表面精度が数十μｍであ
る前記第１ロールを組み込んでも互いに逆方向に回転す
る前記各ロール間を通過する前記長尺有機系フィルムへ
の押圧力を調節できる。つまり、前記ロール間を通過す
る長尺有機系フィルムへの押圧力を前記フィルムの幅方
向全体に均一化できる。また、前記フィルムの通過に伴
う前記各ロール間の振動、衝撃などの動的外力を吸収、
緩和して前記ロールを円滑かつ連続的に回転できる。従
って、次のような効果を発揮できる。

【００３４】（１）互いに逆方向に回転する前記第１、
第２のロール間に長尺有機系フィルムを通過させる際、
前記各ロールによる前記フィルムへの押圧力をその幅方
向全体に亘って均一にできるため、前記フィルムに貫通
孔等を一様かつ高密度で形成することができる。しか
も、前記穿孔操作は前記第１ロール表面に付着された鋭
い角部を有する多数のモース硬度５以上の粒子による機
械的な力によりなされるため、前記フィルム材料本来の
特性を殆ど損なうことなくを、前記フィルムにサブμｍ
〜十数μｍの範囲で任意に選択された微細寸法の多数の
均一な貫通孔または未貫通孔を形成できる。

【００３５】（２）前記第１、第２のロールの回転を円
滑化できるため、前記長尺有機系フィルムに皺が発生す
ることなく穿孔することができる。しかも、前記各ロー
ルの高速回転が可能となるため、前記フィルムへの穿孔
処理能力を大幅に向上できる。

【００３６】（３）前記長尺有機系フィルムに厚さのば
らつきがあっても、前記ロール間を通過する過程で破断
することなく、長尺有機系フィルムに貫通孔または未貫
通孔を連続的に穿孔することができる。

【００３７】前記ユニットによる穿孔操作により前記長
尺有機系フィルムに多数の貫通孔を形成する場合、前記
フィルムに未貫通孔が形成されることがある。かかる穿
孔操作後の前記フィルムを前記コロナ放電処理手段のコ
ロナ放電用電極と対向電極の間に通過させると共に前記
放電用電極に高電圧（例えば交流高電圧）を供給するこ
とによって、前記放電用電極の放電面に付着した多数の
導電性粒子（例えば合成ダイヤモンド粒子）の鋭い角部
において電界が大きくなり、放電の集中（周辺効果）に
よりそれらの角部から高エネルギーのコロナを放出する
ことができる。その結果、前記電極間を通過する前記フ
ィルムにコロナを照射でき、前記未貫通孔の未貫通部
（残存薄膜部）をコロナで穿孔できるため、前記フィル
ムの孔全てを貫通孔とすることができる。

【００３８】一方、前記長尺有機系フィルムに前記ユニ
ットにより未貫通孔を形成すると、貫通孔を形成する場
合に比べて未貫通孔周囲のフィルムへの機械的破損等を
抑制することができる。かかる穿孔操作後の前記フィル
ムに前記コロナ放電処理手段によりコロナを照射するこ
とによって、前記多数の未貫通孔の未貫通部がコロナで
穿孔されるため、多数の貫通孔をその周囲のフィルム部
分への機械的な強度低下を招くことなく、より一様かつ
高密度で形成できる。

【００３９】以上のような製造装置により長尺有機系フ
ィルムにサブμｍ〜十数μｍの範囲で任意に選択された
微細寸法を有する多数の均一な貫通孔を一様かつ高密度
（１ｃｍ2 当り５０００〜２０００００個）で形成する
ことによって、透湿性、通気性を有する多孔質フィルム
を製造することができる。このような多孔質フィルム
は、好適な透湿性、通気性を有し、使い捨て紙おむつに
代表される衛生材料、医療材料、衣料材料等の素材とし
て利用することができる。

【００４０】また、前記長尺有機系フィルムの供給手段
としてインフレーション法によるフィルム製造機、また
はキャスティング法によるフィルム製造機を用いること
によって、高分子材料の原料から高分子材料からなる多
孔質フィルムを一貫して、つまりインラインで製造する
ことが可能となる。

【００４１】さらに、前記コロナ放電処理手段を付設し
た製造装置は摩擦を主体とした穿孔用ユニットにより前
記長尺有機系フィルムに未貫通孔等を形成する時、更に
コロナ放電時に前記フィルム表面には大量の静電気が発
生し、周囲のダストを付着させる。このようなことか
ら、前記コロナ放電処理手段の後段に静電除去手段を設
けることによって、前記穿孔処理後の長尺有機系フィル
ム表面に生じる大量の静電気を除去でき、前記フィルム
表面にダストが付着して容易に除去できる。

【００４２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。 実施例１ 図１は本発明に係わるコロナ放電処理装置を示す斜視
図、図２は図１のII−II線に沿う断面図である。

【００４３】対向電極１は、例えば鉄製のロール本体２
と、前記ロール本体２の表面に被覆した例えばアルミナ
からなる誘電体層３と、前記ロール本体２の中心を貫通
し、前記本体２の両端から突出するように設けられた軸
４とから構成されている。前記対向電極１は、その両端
に突出した軸４が図示しない駆動源により後述する長尺
有機系フィルムの供給速度と同期して回転され、かつ図
示しない昇降部材により上下動できるようになってい
る。

【００４４】コロナ放電用電極５は、前記対向電極１の
上方に所定の距離をあけて配置されている。前記放電用
電極５は、例えば下面（放電面）にニッケルめっき層
（図示せず）が被覆された銅からなるバー型電極本体６
と、前記電極本体６の下面のニッケルめっき層に電着層
７を介して接着された鋭い角部を有する多数の導電性粒
子である合成ダイヤモンド粒子８とから構成されてい
る。前記合成ダイヤモンド粒子８は、例えば５０〜６０
μｍの粒径を有し、前記電極本体６の下面に７０％以上
の面積率で接着されている。

【００４５】２つの高電圧供給端子９は、前記バー型電
極本体６の両端付近を挟持して前記電極本体６を支持し
ている。金属製ロッド１０は、その下端が前記各供給端
子１０にそれぞれ取着され、かつ前記金属ロッド１０の
他端は例えば図示しない高圧トランスおよび交流電源に
接続されている。碍子１１は、前記供給端子１０近傍の
前記金属ロッド１０部分にそれぞれ嵌合されている。長
尺有機系フィルム（例えば長尺ポリエチレンテレフタレ
ートフィルム；ＰＥＴフィルム）１２は、図示しないフ
ィルム供給ロールから前記放電用電極５と前記対向電極
１の間に供給される。

【００４６】このような構成によれば、対向電極１を昇
降部材（図示せず）によりコロナ放電用電極５との距離
を調節した後、前記対向電極１を図示しない駆動源によ
り後述する長尺ＰＥＴフィルムの供給速度と同期して回
転させながら、前記交流電源および高圧トランス（いず
れも図示せず）から例えば８〜１０ｋＶの交流高電圧を
それぞれ２本の金属ロッド１０および供給端子９を通し
てコロナ放電用電極５のバー型電極本体６に供給する
と、前記バー型電極本体６の放電面に電着層７を介して
鋭い角部を有する多数のダイヤモンド粒子８の付着さ
れ、かつ前記対向電極１の表面に例えばアルミナからな
る誘電体層３が被覆されているため、図３に示すように
前記バー型電極本体６の放電面に電着層７を介して付着
された多数のダイヤモンド粒子８の鋭い角部からコロナ
１３がそれぞれ対向電極１に向けて一様に放電される。
前記コロナ１３は、前記多数のダイヤモンド粒子８の鋭
い角部において電界が大きくなり放電の集中（周辺効
果）によりこれら角部から放電されるため、そのエネル
ギーは従来のコロナ放電処理装置の金属単体からなるバ
ー型電極本体から放電されるコロナに比べて著しく高め
られる。

【００４７】前記コロナ放電が安定した状態で、図示し
ないフィルム供給ロールから長尺ＰＥＴフィルム１２を
前記放電用電極５と前記対向電極１の間にそれら電極
５、１と所望のギャップをあけて供給すると、前記放電
用電極５側の前記長尺ＰＥＴフィルム１２の面に高エネ
ルギーのコロナ１３が一様に照射される。その結果、前
記長尺ＰＥＴフィルム１２面がコロナ処理され、濡れ正
が著しく改善される。

【００４８】事実、本実施例１によりコロナ処理された
ＰＥＴフィルムと従来の金属単体からなるバー型電極本
体を有するコロナ放電用電極を備えたコロナ放電処理装
置によりココロナ処理されたＰＥＴフィルムの濡れ張力
を調べた。その結果、本実施例１のコロナ放電処理装置
でコロナ処理されたＰＥＴフィルムの濡れ張力は４０ｄ
ｙｎｅ／ｃｍ以上であるのに対し、従来のコロナ放電処
理装置でコロナ処理されたＰＥＴフィルムの濡れ張力は
３５ｄｙｎｅ／ｃｍであり、本発明のコロナ放電処理装
置でコロナ処理されたＰＥＴフィルムは濡れ性が著しく
改善されことが確認された。

【００４９】また、前記対向電極１の回転速度を前記長
尺ＰＥＴフィルム１２の供給速度と同期させることによ
って、前記コロナ１３が前記対向電極１表面の誘電体層
３の同一箇所に照射されるのを回避できため、前記誘電
体層３のコロナ破壊を抑制して装置の長寿命化を図るこ
とができる。 実施例２

【００５０】図４は、実施例２の多孔質フィルムの製造
装置を示す正面図、図５は図４の製造装置の要部を示す
側面図、図６は図５のVI−VI線に沿う断面図である。図
中の１０１は、ベッドである。前記ベッド１０１の右端
付近を除く上面には、テーブル１０２が設けられてい
る。前記テーブル１０２上には、２つのカギ型のフレー
ム１０３が前記テーブル１０２の幅方向にそれぞれ所定
の間隔をあけて設置されている。前記フレーム１０３
は、下板１０３ａ、側板１０３ｂ及び上板１０３ｃから
形成されでいる。前記各フレーム１０３の側板１０３ｂ
の中間付近には、軸受１０４を内蔵した第１ボックス１
０５がそれぞれ固定されている。前記各フレーム１０３
間には、第１ロール１０６が配置されている。前記第１
ロール１０６は、図５に示すように例えば７０〜８５μ
ｍの粒径で鋭い角部を有する多数のモース硬度５以上の
粒子（例えば合成ダイヤモンド粒子）１０７が表面に７
０％以上の面積率で電着された鉄製のロール本体１０８
と、前記本体１０８の中心を貫通して前記本体１０８の
両端面から突出された軸１０９とから構成されている。
前記軸１０９の突出した両端部は、前記第１ボックス１
０５内の軸受１０４にそれぞれ軸支されている。前記第
１ロール１０６の一端側（例えば左端側）の軸１０９
は、前記ボックス１０５を貫通しており、かつ前記軸１
０９の突出部分には図示しないモータの駆動軸の歯車と
噛合する歯車１１１が軸着されている。従って、前記モ
ータの駆動により前記第１ロール１０６が例えば時計回
り方向に回転されるようになっている。また、前記歯車
１１１と前記ボックス１０５の左側面の間に位置する前
記軸１０９の突出部分には、歯車１１０が軸着されてい
る。

【００５１】前記第１ボックス１０５の下方および上方
に位置する前記各フレーム１０３の側板１０３ｂ部分に
は、レール１１２、１１３がそれぞれ形成されている。
前記下方の各レール１１２には、図６に示すようにスラ
イダー１１４（他方のスライダーは図示せず）が上下動
自在にそれぞれ配置されている。前記各スライダー１１
４には、軸受１１５を内蔵した第２ボックス１１６がそ
れぞれ固定され、前記レール１１２に沿って上下動でき
るようになっている。また、前記各フレーム１０３間に
は第２ロール１１７が前記第１ロール１０６の下方に位
置するように対向して配置されている。前記第２ロール
１１７は、例えばステンレスからなる表面が硬質のロー
ル本体１１８と、前記本体１１８の中心を貫通して前記
本体１１８の両端面から突出された軸１１９とから構成
されている。前記軸１１９の突出した両端部は、前記第
２ボックス１１６内の軸受１１５にそれぞれ軸支されて
いる。前記第２ロール１１７の一端側（例えば左端側）
の軸１１９部分は、前記第２ボックス１１６を貫通して
突出しており、かつ前記軸１１９の突出部分には前記第
１ロール１０６の軸１０９の歯車１１０と噛合する歯車
１２０が軸着されている。従って、前記第２ロール１１
７は前記第２ボックス１１６及び前記スライダー１１４
により前記レール１１２に沿って上下動自在に配置され
る。また、前記モータにより前記第１ロール１０６の軸
１０９を時計回り方向に回転することによって、前記軸
１０９の歯車１１０と噛合する前記歯車１２０を有する
前記軸１１９が反時計回り方向に回転し、結果的には前
記第２ロール１１７が反時計回り方向に回転するように
なっている。

【００５２】前記上方の各レール１１３には、図６に示
すようにスライダー１２１（他方のスライダーは図示せ
ず）が上下動自在にそれぞれ配置されている。前記各ス
ライダー１２１には、軸受１２２を内蔵した第３ボック
ス１２３がそれぞれ固定され、前記レール１１３に沿っ
て上下動できるようになっている。また、前記各フレー
ム１０３間には第３ロール１２４が前記第１ロール１０
６の上方に位置するように対向して配置されている。前
記第３ロール１２４は、例えばウレタン樹脂などの高分
子樹脂層１２５が表面に被覆された鉄製のロール本体１
２６と、前記本体１２６の中心を貫通して前記本体１２
６の両端面から突出された軸１２７とから構成されてい
る。前記軸１２７の突出した両端部は、前記第３ボック
ス１２３内の軸受１２２にそれぞれ軸支されている。前
記第３ロール１２４の一端側（例えば左端側）の軸１２
７部分は、前記第３ボックス１２３を貫通して突出して
おり、かつ前記軸１２７の突出部分には前記第１ロール
１０６の軸１０９の歯車１１０と噛合する歯車１２８が
軸着されている。従って、前記第３ロール１２４は前記
第３ボックス１２３及び前記スライダー１２１により前
記レール１１３に沿って上下動自在に配置される。ま
た、前記モータにより前記第１ロール１０６の軸１０９
を時計回り方向に回転することによって、前記軸１０９
の歯車１１０と噛合する前記歯車１２８を有する前記軸
１２７が反時計回り方向に回転し、結果的には前記第３
ロール１２４が反時計回り方向に回転するようになって
いる。

【００５３】前記２つのフレーム１０３、前記２つの第
１ボックス１０５、前記第１ロール１０６、前記２つの
各スライダー１１２、１１３、前記２つの第２ボックス
１１６、前記第２ロール１１７、前記２つの第３ボック
ス１２３、前記第３ロール１２４により穿孔用ユニット
１２９を構成している。

【００５４】前記２つの第２ボックス１１６の下壁に
は、上下にフランジ１３０、１３１を有する円筒体１３
２がそれぞれ配置されている。前記各円筒体１３２は、
図８に示すように前記上部フランジ１３０から前記第２
ボックス１１６の下壁に螺着された複数のネジ１３３に
より前記第２ボックス１１６にそれぞれ固定されてい
る。前記各円筒体１３２の下部フランジ１３１には、中
央に穴１３４を有する円板１３５がそれぞれ配置され、
かつ前記各円板１３５は前記各円板１３５から前記下部
フランジ１３１に螺着された複数のネジ１３６によりそ
れぞれ固定されている。前記各円筒体１３２内には、コ
イルバネ１３７がそれぞれ上下方向に弾性力を付与する
ように収納されている。前記各円筒体１３２内には、上
端に圧力センサ１３８を取着したロッド１３９がそれぞ
れ前記円板１３５の穴１３４を通して挿入されている。
前記各圧力センサ１３８は、前記各コイルバネ１３７の
下端に当接され、前記各ロッド１３９の上昇による前記
コイルスバネ１３７への押圧力を検出できるようになっ
ている。前記各センサ１３８下方の前記ロッド１３９部
分には、前記ロッド１３９を円滑に上下動させるための
円板状ガイド１４０がそれぞれ取り付けられている。前
記各ロッド１３９の下端部には、ボールスクリュー１４
１それぞれ挿着されている。前記各ボールスクリュー１
４１は、前記フレーム１０３の下板１０３ａを貫通して
前記ベッド１０２の窪み部（図示せず）にそれぞれ突出
している。前記窪み部内には、ネジ加工された係合板
（図示せず）を内蔵したケーシング（他方のケーシング
は図示せず）１４２がそれぞれ設けられている。前記各
ケーシング１４２内の前記係合板には、前記ボールスク
リュー１４１の下端突出部が螺合されている。前記各ケ
ーシング１４２内には、前記ボールスクリュー１４１の
下端突出部と係合するウォーム軸（図示せず）が水平方
向からそれぞれ挿入され、かつ前記各ウォーム軸の一端
にハンドル（他方のハンドルは図示せず）１４３がそれ
ぞれ設けられている。従って、前記ハンドル１４３を回
転することにより前記ハンドル１４３のウォーム軸と係
合する前記ボールスクリュー１４１が回転し、前記ボー
ルスクリュー１４１が挿着された前記ロッド１３９を上
昇（または下降）するようになっている。この場合、前
記ロッド１３９をある距離以上に下降させると、前記ロ
ッド１３９に取り付けられた前記円板状ガイド１４０が
前記円筒体１３２下部の円板１３５内面に当接して前記
円筒体１３２自体を下降させる。このため、前記円筒体
１３２の上端に固定された前記第２ボックス１１６が前
記スライダー１１４により前記レール下方の１１２に沿
って下降される。

【００５５】前記２つの円筒体１３２、前記２つの円板
１３５、前記２つのコイルバネ１３７、前記２つの圧力
センサ１３８、前記２つのロッド１３９、前記２つの円
板状カイド１４０、前記２つのボールスクリュー１４
１、前記２つのケーシング１４２、前記２つのウォーム
軸（図示せず）および前記２つのハンドル１４３により
前記第１、第２ロール１０６、１１７間を通過するフィ
ルムへの押圧力を調節する第１圧力調節手段１４４を構
成している。

【００５６】前記２つの第３ボックス１２３の上壁に
は、上下にフランジ１４５、１４６を有する円筒体１４
７がそれぞれ配置されている。前記各円筒体１４７は、
図８に示すように前記下部フランジ１４６から前記第３
ボックス１２３の上壁に螺着された複数のネジ１４８に
より前記第３ボックス１２３にそれぞれ固定されてい
る。前記各円筒体１４７の上部フランジ１４５には、中
央に穴１４９を有する円板１５０がそれぞれ配置され、
かつ前記各円板１５０は前記各円板１５０から前記上部
フランジ１４５に螺着された複数のネジ１５１によりそ
れぞれ固定されている。前記各円筒体１４７内には、コ
イルバネ１５２がそれぞれ上下方向に弾性力を付与する
ように収納されており、かつ前記各コイルバネ１５２の
下端は前記第３ボックス１２３の上壁にそれぞれ当接さ
れている。前記各円筒体１４７内には、下端に圧力セン
サ１５３を取着したロッド１５４がそれぞれ前記円板１
５０の穴１４９を通して挿入されている。前記各圧力セ
ンサ１５３は、前記各コイルバネ１５２の上端に当接さ
れ、前記各ロッド１５４の下降によるコイルバネ１５２
への押圧力を検出できるようになっている。前記各セン
サ１５３上方の前記ロッド１５４部分には、前記ロッド
１５４を円滑に上下動させるための円板状ガイド１５５
がそれぞれ取り付けられている。前記各ロッド１５４の
上端部には、ボールスクリュー１５６がそれぞれ挿着さ
れている。前記各ボールスクリュー１５６は、前記フレ
ーム１０３の上板１０３ｃを貫通して前記上板１０３ｃ
の上方にそれぞれ突出している。前記各上板１０３ｃの
上面には、ネジ加工された係合板（図示せず）を内蔵し
たケーシング（他方のケーシングは図示せず）１５７が
それぞれ設けられている。前記各ケーシング１５７内の
前記係合板には、前記ボールスクリュー１５６の上端突
出部が螺合されている。前記各ケーシング１５７内に
は、前記ボールスクリュー１５６の上端突出部と係合す
るウォーム軸（図示せず）が水平方向からそれぞれ挿入
され、かつ前記各ウォーム軸の一端にハンドル（他方の
ハンドルは図示せず）１５８がそれぞれ設けられてい
る。従って、前記ハンドル１５８を回転することにより
前記ハンドル１５８のウォーム軸と係合する前記ボール
スクリュー１５６が回転し、前記ボールスクリュー１５
６が挿着された前記ロッド１５４を下降（または上昇）
するようになっている。この場合、前記ロッド１５４を
ある距離以上に上昇させると、前記ロッド１５４に取り
付けられた前記円板状ガイド１５５が前記円筒体１４７
上部の円板１５０内面に当接して前記円筒体１４７自体
を上昇させる。このため、前記円筒体１４７の下端に固
定された前記第３ボックス１２３が前記スライダー１２
１により前記レール１１３に沿って上昇される。

【００５７】前記２つの円筒体１４７、前記２つの円板
１５０、前記２つのコイルバネ１５２、前記２つの圧力
センサ１５３、前記２つのロッド１５４、前記２つの円
板状カイド１５５、前記２つのボールスクリュー１５
６、前記２つのケーシング１５７、前記２つのウォーム
軸（図示せず）および前記２つのハンドル１５８により
前記第１、第３ロール１０６、１２４間を通過するフィ
ルムへの押圧力を調節する第２圧力調節手段１５９を構
成している。

【００５８】前記穿孔用ユニット１２９の前段には、長
尺有機系フィルムの供給ロール（図示せず）が配置さ
れ、前記供給ロールの長尺有機系フィルム１６０は２つ
の送りロール１６１を経由して前記ユニット１２９の前
記第１、第２のロール１０６、１１７間および第１、第
３のロール１０６、１２４間に供給される。前記ユニッ
ト１２９の後段には、コロナ放電処理機構１６２が配置
されている。前記コロナ放電処理機構１６２は、対向電
極１６３を備えている。前記対向電極１６３は、図７に
示すように例えば鉄製のロール本体１６４と、前記ロー
ル本体１６４の表面に被覆した例えばアルミナからなる
誘電体層１６５と、前記ロール本体１６４の中心を貫通
し、前記本体１６４の両端から突出するように設けられ
た軸１６６とから構成されている。前記対向電極１６３
の両端に突出した軸１６６は、それぞれ互いに底板で一
体化された２つの軸受ボックス（他方の軸受ボックスは
図示せず）１６７に軸支されている。前記軸１６７は、
図示しない駆動源により回転されるようになっている。
前記軸１６７の回転速度は、前記長尺有機系フィルム１
６０の供給速度に同期するように調節されている。前記
底板中央の下面には、ボールスクリュー１６８が取り付
けられている。前記ボールスクリュー１６８は、前記テ
ーブル１０２の窪み部（図示せず）内に突出している。
なお、図中の１６９は前記フレーム１０３の下板１０３
ａからの延出部である。前記窪み内には、ネジ加工され
た係合板（図示せず）を内蔵したケーシング１７０が設
けられている。前記ケーシング１７０内の前記係合板に
は、前記ボールスクリュー１６８の下端突出部が螺合さ
れている。前記ケーシング１７０内には、前記ボールス
クリュー１６８の下端突出部と係合するウォーム軸（図
示せず）が水平方向から挿入され、かつ前記ウォーム軸
の一端にハンドル１７１が設けられている。従って、前
記ハンドル１７１を回転することにより前記ハンドル１
７１のウォーム軸と係合する前記ボールスクリュー１６
８が回転し、前記ボールスクリュー１６８が取着された
前記軸受ボックス１６７を下降（または上昇）させて前
記ボックス１６７に軸支された前記対向電極１６３が送
りロール１６１間を搬送される前記長尺有機系フィルム
１６０と所望のギャップをあけて位置されるようになっ
ている。

【００５９】前記対向電極１６３の上方には、コロナ放
電用電極１７２が前記対向電極１６３の長手方向に亘っ
て前記対向電極１６３と一定間隔をあけて対向するよう
に配置されている。前記放電用電極１７２は、前述した
図１と同様に例えば下面（放電面）にニッケルめっき層
（図示せず）が被覆された銅からなるバー型電極本体１
７３と、前記電極本体１７３下面のニッケルめっき層に
電着層を介して接着された鋭い角部を有する多数の導電
性粒子である合成ダイヤモンド粒子１７４とから構成さ
れている。前記合成ダイヤモンド粒子１７４は、例えば
５０〜６０μｍの粒径を有し、前記電極本体１７２の下
面に７０％以上の面積率で接着されている。２つの高電
圧供給端子１７５は、前記バー型電極本体の両端付近を
挟持して前記電極本体１７３を支持している。金属製ロ
ッド１７６は、その下端が前記各供給端子１７５にそれ
ぞれ取着され、かつ前記金属ロッド１７６の他端は支持
部材１７７により支持されている。前記支持部材１７７
は、例えば図示しない高圧トランスを通して直流電源に
接続されている。碍子１７８は、前記供給端子１７５近
傍の前記金属ロッド１７６部分にそれぞれ嵌合されてい
る。

【００６０】前記コロナ放電処理機構１６２の後段に
は、静電除去機構１７９が配置されている。前記静電除
去機構１７９は、前記テーブル１０２上に設置され、純
水を収容した容器１８０と、前記純水に超音波を付与す
るための超音波発生部材（図示せず）とから構成されて
いる。前記ユニット１２９、前記コロナ放電処理機構１
６２および前記静電除去手段１７９の間、前記容器１８
０内および前記容器１８０の後段には、前記第１、第３
のロール１０６、１２４間を通過した前記長尺有機系フ
ィルム１６０を搬送するための送りロール１６１がそれ
ぞれ配置されている。なお、前記容器１８０の前後段に
位置する前記２つの送りロール１６１には当てロール１
８１がそれぞれ配置されている。前記静電除去手段１７
９の後段には、前記送りロール１６１、当てロール１８
１間を通過した前記フィルム１６０を乾燥するための複
数の熱風噴射部材（図示せず）および巻取ロール（図示
せず）が順次配置されている。

【００６１】次に、前述した構成の多孔質フィルムの製
造装置により、前記穿孔用ユニット１２９の第１、第３
ロール１０６、１２４間で長尺有機系フィルムを予備穿
孔し、コロナ放電処理機構１６２により未貫通孔を穿孔
する操作を図４〜図７を参照して説明する。

【００６２】まず、第１圧力調節手段１４４の２つのハ
ンドル１４３を例えば反時計回り方向に回転させること
により、各円筒体１３２の上端に連結された穿孔用ユニ
ット１２９の各第２ボックス１１６をスライダー１１４
により各フレーム１０３の各レール１１２に沿ってそれ
ぞれ下降させ、前記各第２ボックス１１６内の軸受１１
５に軸支された第２ロール１１７をその上の第１ロール
１０６から十分な間隔をあけて離なす。また、第２圧力
調節手段１５９の２つのハンドル１５８を例えば時計回
り方向に回転させることにより、各円筒体１４７の下端
に連結された各第３ボックス１２３をスライダー１２１
により各フレーム１０３の各レール１１３に沿ってそれ
ぞれ上昇させ、前記各第３ボックス１２３内の軸受１２
２に軸支された第３ロール１２４をその下の第１ロール
１０６から十分な間隔をあけて離なす。かかる状態にお
いて、巻回ロール（図示せず）から例えばポリエチレン
からなる長尺有機系フィルム１６０を２つの送りロール
１６１により前記ユニット１２９の前記第１、第２ロー
ル１０６、１１７間、送りロール１６１及び第１、第３
ロール１０６、１２４間を通過させた後、前記４つの送
りロール１６１により静電除去手段１６２の容器内１６
３内を通過させ、さらに複数の熱風噴射部材（図示せ
ず）を通過させて巻取ロール（図示せず）に前記長尺有
機系フィルム１６０の先端を巻く。なお、前記長尺有機
系フィルム１６０を前記第１、第２ロール１０６、１１
７間を通過させる場合には、前記長尺有機系フィルム１
６０が前記第１ロール１０６表面に接触させないようす
る。

【００６３】前記長尺有機系フィルム１６０の先端を巻
取ロールに巻き取った後、前記第２圧力調節手段１５９
の２つのハンドル１５８を反時計回り方向に回転させる
ことにより、各円筒体１４７の下端に連結された各第３
ボックス１２３をスライダー１２１により各フレーム１
０３の各レール１１３に沿ってそれぞれ下降させ、前記
各第３ボックス１２３内の軸受１２２に軸支された第３
ロール１２４をその下の第１ロール１０６と当接させ
る。更に、前記各ハンドル１５８を同方向に回転させる
ことにより、各ロッド１５４下端の各センサ１５２によ
りその下の各コイルバネ１５２を圧縮させる。かかる前
記各コイルバネ１５２の圧縮により、前記各第３ボック
ス１２４の上壁に押圧力が付与され、前記第３ボックス
１２３内の軸受１２２に軸支された前記第３ロール１２
４と前記第１ロール１０６間の押圧力が上昇する。この
際、前記各圧力センサ１５２により前記第３ロール１２
４と前記第１ロール１０６間の押圧力（圧縮力）を検出
して、前記各ハンドル１５８を正逆方向に回転を調節す
ることにより、前記第３、第１のロール１２４、１０６
間に位置する前記長尺有機系フィルム１６０への押圧力
が調節される。このような前記第２圧力調節手段１５９
による前記ユニット１２９への押圧調節により、前記第
３、第１のロール１２４、１０６間に位置する前記長尺
有機系フィルム１６０の幅方向全体に亘って均一な押圧
力が付与され、穿孔操作の準備が完了する。

【００６４】穿孔操作の準備が完了した後、前記コロナ
放電処理機構１６２のハンドル１７１を回転させて前記
対向電極１６３を前記長尺有機系フィルム１６０下面と
のギッャプが例えば２ｍｍ程度なるように前記フィルム
１６０に対向配置すると共に、前記コロナ放電用電極１
７２を前記長尺有機系フィルム１６０上面とのギャップ
がほぼゼロとなるように配置する。また、前記静電除去
手段１７９の容器１８０に収容された純水に図示しない
超音波発生部材により超音波を付与する。つづいて、前
記巻取ロールを回転させると同時に、図示しないモータ
の駆動軸を回転させることにより、前記駆動軸の歯車、
前記第１ロール１０６における軸１０９の歯車１１１の
回転伝達により前記第１ロール１０６が時計回り方向に
回転される。前記第１ロール１０６が回転すると、前記
軸１０９の歯車１１０と前記第３ロール１２４における
軸１２７の歯車１２８の回転伝達により前記第３ロール
１２４が反時計回り方向に回転される。この場合、前記
第２ロール１１７は前記第１ロール１０６の上方に十分
離して配置されているため、前記第２ロール１１７にお
ける軸１１９の歯車１２０と前記第１ロール１０６にお
ける軸１０９の歯車１１０の噛合が解除され、前記第２
ロール１１７はモータの回転による駆動はなされれず、
フリーな回転となる。このように第１、第３のロール１
０６、１２４が回転されることにより、これらロール１
０６、１２４間を通過する前記長尺有機系フィルム１６
０が穿孔される。

【００６５】すなわち、前記第１ロール１０６は図７に
示すように鋭い角部を有する多数の合成ダイヤモンド粒
子１０７が表面に７０％以上の面積率で電着された鉄製
のロール本体１０８を備えた構造になっていおり、かつ
前記第３ロール１２４は例えばウレタン樹脂などの高分
子樹脂層１２５が表面に被覆されたロール本体１２６を
備えた構造になっている。その結果、前記長尺有機系フ
ィルム１６０が前記第１、第３のロール１０６、１２４
間を通過する時に、前記第１ロール１０６表面の多数の
合成ダイヤモンド粒子１０７の鋭い角部により穿孔され
ると共に、前記合成ダイヤモンドの穿孔による押圧力が
前記高分子樹脂層１２５で緩和される。このため、前記
合成ダイヤモンド粒子１０７の鋭い角部が前記長尺有機
系フィルム１６０に喰い込むため、サブμｍ〜十数μｍ
の微細寸法の多数の均一な未貫通孔が前記長尺有機系フ
ィルム１６０に一様かつ高密度で形成される。また、前
記第２圧力調節手段１５９による前記ユニット１２９へ
の押圧調節により、表面精度が数十μｍである前記第１
ロール１０６を組み込んでも前記第１、第３のロール１
０６、１２４間を通過する前記長尺有機系フィルム１６
０の幅方向全体に亘って均一な押圧力が付与されるた
め、前記長尺有機系フィルム１６０の通過に伴う前記第
１、第３のロール１０６、１２４間の振動、衝撃などの
動的外力が吸収、緩和され、前記第１、第３ロール１０
６、１２４が円滑かつ連続的に回転される。その結果、
前記長尺有機系フィルム１６０に前記微細寸法の多数の
均一な未貫通孔が一様かつ高密度で予備穿孔される。

【００６６】前記ユニット１２９で予備穿孔された前記
長尺有機系フィルム１６０を、複数の送りロール１６１
で前記コロナ放電処理機構１６２に搬送し、前記コロナ
放電処理機構１６２の対向電極１６３を前記フィルム１
６０の走行速度に同期させて回転させると共に、前記交
流電源および高圧トランス（いずれも図示せず）から例
えば８〜１０ｋＶの交流高電圧をそれぞれ２本の金属ロ
ッド１７６および供給端子１７５を通してコロナ放電用
電極１７２のバー型電極本体１７３に供給すると、前記
バー型電極本体１７３の放電面に電着層を介して鋭い角
部を有する多数のダイヤモンド粒子１７４が付着され、
かつ前記対向電極１６３の表面に例えばアルミナからな
る誘電体層１６５が被覆されているため、図７に示すよ
うに前記バー型電極本体１７３の多数のダイヤモンド粒
子１７４の鋭い角部から高エネルギーのコロナ１８２が
それぞれ対向電極１６３に向けて一様に放電される。こ
のため、前記フィルム１６０の幅方向に亘って穿孔され
た各未貫通孔１８３の未貫通部に前記コロナが均一に照
射されて穿孔され、前記微細寸法の多数の均一な貫通孔
１８４が前記フィルム１６０形成される。なお、かかる
コロナ放電工程において前記対向電極１６３を回転させ
ることによって前記対向電極１６３表面の誘電体層１６
５が損傷されるのを抑制することができる。

【００６７】前記穿孔処理がなされた前記長尺有機系フ
ィルム１６０は、５つの送りロール１６１および２つの
当てロール１８１により前記静電除去機構１７９の容器
１８０内を通過、搬送される。前記ユニット１２９によ
る前記長尺有機系フィルム１６０への穿孔は、前記第
１、第３のロール１０６、１２４の摩擦を主体としたも
のであり、前記コロナ放電処理機構１６２による未貫通
孔へのコロナ放電は前記フィルム１６０に帯電を誘起す
るため、穿孔処理後の前記フィルム１６０表面に大量の
静電気が発生し、周囲のダストを付着させる。穿孔処理
後の前記長尺有機系フィルム１６０を前記静電除去手段
１７９の純水が収容された容器１８０を通過させると共
に、図示しない超音波発生部材により前記純水に超音波
を付与することにより、前記長尺有機系フィルム１６０
に付着したダストが容易に洗い流される。ダストが洗い
流された多数の貫通孔が形成された前記長尺有機系フィ
ルム１６０は、図示しない複数の熱風噴射部材を通過し
て表面の水が揮散除去され、更に巻取ロールに巻き取ら
れる。従って、前述した実施例２の多孔質フィルムの製
造装置によれば次のような効果が発揮される。

【００６８】（１）前記圧力調節手段１５９による前記
穿孔用ユニット１２９への押圧調節により、表面に合成
ダイヤモンド粒子１０７が電着された表面精度が数十μ
ｍである前記第１ロール１０６を組み込んでも、前記第
１、第３のロール１０６、１２４間を通過する前記長尺
有機系フィルム１６０の幅方向全体に亘って均一な押圧
力を付与できるため、前記長尺有機系フィルム１６０に
多数の未貫通孔１８３を一様かつ高密度で予備穿孔する
ことができる。しかも、前記予備穿孔操作は前記第１ロ
ール１０６表面に付着された鋭い角部を有する多数の合
成ダイヤモンド粒子１０７による機械的な力によりなさ
れるため、前記長尺有機系フィルム１６０の本来の特性
（例えば強度、ソフト感、透明性）を殆ど損なうことな
くを、前記長尺有機系フィルム１６０にサブμｍ〜十数
μｍの範囲で任意に選択された微細寸法の多数の均一な
未貫通孔１８３を形成できる。

【００６９】（２）前記第１、第３のロール１０６、１
２４の回転を円滑化できるため、前記長尺有機系フィル
ム１６０に皺が発生することなく予備穿孔することがで
きる。しかも、前記第１、第３ロール１０６、１２４の
高速回転が可能となるため、前記長尺有機系フィルム１
６０への予備穿孔処理能力を大幅に向上できる。

【００７０】（３）前記長尺有機系フィルム１６０に厚
さのばらつきがあっても、前記第１、第３のロール１０
６、１２４間を通過する過程で破断されることなく、前
記長尺有機系フィルム１６０に貫通孔を連続的に形成す
ることができる。

【００７１】（４）図７に示すように前記穿孔用ユニッ
トにより前記長尺有機系フィルム１６０に多数の未貫通
孔を形成する予備穿孔を行ない、前記コロナ放電処理機
構１６２により前記長尺有機系フィルム１６０の未貫通
孔１８３の未貫通部に高エネルギーのコロナ１８２を均
一に照射することによって、前記穿孔用ユニット１２９
のみによって多数の貫通孔を形成する場合に比べて貫通
孔周囲のフィルム部分への傷発生を抑制できると共に、
より微細な貫通孔の形成が可能となる。その結果、前記
貫通孔周囲の引っ張り強度等が改善され、フィルム本来
の特性を維持すると共に、サブμｍ〜十数μｍの微細寸
法の多数の均一な貫通孔が一様かつ高密度で形成された
長尺多孔質フィルムを連続的に製造できる。

【００７２】（５）穿孔処理後の長尺有機系フィルムを
静電除去機構を通過させることにより、ダスト等の付着
のない取扱いが容易な多孔質フィルムを巻取ロールの巻
き取ることができる。

【００７３】また、前記穿孔用ユニット１２９のみによ
り前記長尺有機系フィルム１６０に多数の貫通孔を形成
すると、穿孔された全てが貫通孔とならず、未貫通孔が
一部残る場合がある。かかる場合には、未貫通孔が一部
残る長尺有機系フィルムを前述したコロナ放電処理機構
１６２を通過させることにより長尺有機系フィルムの孔
全てを貫通孔とすることができる。

【００７４】なお、前記実施例２の多孔質フィルムの製
造装置において前記圧力調節手段を前記円筒体、前記円
板、前記コイルバネ、前記圧力センサ、前記ロッド、前
記円板状カイド、前記ボールスクリュー、前記ケーシン
グ、前記ウォーム軸および前記ハンドルにより構成した
が、これに限定されない。例えばエアーシリンダで圧力
調節手段を形成してもよい。また、前記圧力調節手段の
一構成部材である圧力センサを省略してもよい。但し、
より精度の高い穿孔操作を行うには前記センサを内蔵す
ることが望ましい。

【００７５】また、前記実施例２の製造装置において第
１ロールの表面に付着させる多数のモース硬度５以上の
粒子として合成ダイヤモンド粒子を用いたが、これに限
定されない。例えば、前記合成ダイヤモンド粒子の代わ
りにタングテンカーバイトなどの超硬合金粒子、または
炭化ケイ素粒子、炭化ホウ素粒子、サファイア粒子等の
別のモース硬度５以上の粒子を用いても長尺有機系フィ
ルムにサブμｍから十数μｍの範囲で任意に選択された
微細寸法の多数の均一な貫通孔又は未貫通孔を一様かつ
高密度で形成することが可能である。

【００７６】

【発明の効果】以上詳述し如く、本発明によれば放電面
から一様かつ高エネルギーのコロナ放電を行うことが可
能なコロナ放電用電極を提供てきる。

【００７７】また、本発明によれば長尺の各種フィルム
表面にその幅方向に亘って一様かつ高エネルギーのコロ
ナ放電処理を行うことができ、前記フィルム表面の濡れ
性を著しく改善することが可能なコロナ放電処理装置を
提供できるものである。

【００７８】さらに、本発明によれば長尺有機系フィル
ムに対してそのフィルム材料本来の特性（例えば、ソフ
ト感、透明性、強度等）を殆ど損なうことなく、しかも
破断せずに連続的にサブμｍ〜十数μｍの範囲で任意に
選択された微細寸法の多数の貫通孔を一様かつ高密度
（１ｃｍ² 当り５０００個〜２０００００個）で形成で
き、使い捨て紙おむつに代表される衛生材料、医療材
料、衣料材料および包装材料の素材として有効に利用可
能な多孔質フィルムの製造装置を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１におけるコロナ放電処理装置
を示す斜視図。

【図２】図２は図１のII−II線に沿う断面図。

【図３】図１のコロナ放電処理装置によるコロナ処理を
説明するための断面図。

【図４】本発明の実施例２の多孔質フィルムの製造装置
を示す正面図。

【図５】図４の製造装置の要部を示す側面図。

【図６】図５のVI−VI線に沿う断面図。

【図７】図４の多孔質フィルムの製造装置に組み込まれ
るコロナ放電処理機構の要部断面図。

【符号の説明】

１、１６３…対向電極、３、１６５…誘電体層、５、１
７２…コロナ放電用電極、７、１７４…ダイヤモンド粒
子、１２、１６０…長尺有機系フィル、１３、１８２…
コロナ、１０１…ベッド、１０５…第１ボックス、１０
６…第１ロール、１１６…第２ボックス、１１７…第２
ロール、１２４…第３ロール、１２９…穿孔用ユニッ
ト、１４４、１５９…圧力調節手段、１６２…コロナ放
電処理機構、１７９…静電除去機構、１８３…未貫通
孔、１８４…貫通孔。

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導電性の電極本体と、前記電極本体の放
   電面に付着された鋭い角部を有する多数の導電性粒子と
   を具備したことを特徴とするコロナ放電用電極。
2. 【請求項２】 前記導電性粒子は、合成ダイヤモンド粒
   子であり、前記合成ダイヤモンド粒子は前記電極本体の
   放電面に電着されていることを特徴とする請求項１記載
   のコロナ放電用電極。
3. 【請求項３】 導電性を有するバー型電極本体の放電面
   に鋭い角部を有する多数の導電性粒子を付着することに
   より形成されたコロナ放電用電極；前記電極に対して所
   望の間隔をあけて配置され、表面に誘電体層が被覆され
   た対向電極；前記コロナ放電用電極と前記対向電極の間
   に長尺有機系フィルムをそれら電極に対して所望のギャ
   ップをあけて供給するための供給手段；前記放電用電極
   に高電圧を供給するための高電圧供給手段；を具備した
   ことを特徴とするコロナ放電処理装置。
4. 【請求項４】 前記導電性粒子は、合成ダイヤモンド粒
   子であり、前記合成ダイヤモンド粒子は前記電極本体の
   放電面に電着されていることを特徴とする請求項３記載
   のコロナ放電処理装置。
5. 【請求項５】 前記対向電極は回転可能な導電性ロール
   と、前記ロール表面に被覆された誘電体層とを備えるこ
   とを特徴とする請求項３または４記載のコロナ放電処理
   装置。
6. 【請求項６】 長尺有機系フィルムを供給するための供
   給手段；鋭い角部を有する多数のモース硬度５以上の粒
   子が表面に付着された回転可能な第１ロールと、前記ロ
   ールに対して逆方向に回転可能な第２ロールとを備え、
   前記第１、第２のロールを互いに対向して配置してそれ
   らの間に前記長尺フィルムを通過させるようにすると共
   に、前記各ロールをそれらの配列方向に移動自在に配置
   した穿孔用ユニット；前記ユニットの前記各ロールのう
   ちのいすれか一方のロールの両端部付近に設けられ、前
   記各ロールによる前記フィルムへの押圧力を調節するた
   めの圧力調節手段；前記ユニットの後段に配置され、高
   電圧が供給される導電性を有するバー型電極本体の放電
   面に鋭い角部を有する多数の導電性粒子を付着すること
   により形成されたコロナ放電用電極と、前記電極に対し
   て所望の間隔をあけて配置され、表面に誘電体層が被覆
   された対向電極とを備え、前記ユニットから搬送された
   フィルムにコロナを照射するためのコロナ放電処理手
   段；を具備したことを特徴とする多孔質フィルムの製造
   装置。
7. 【請求項７】 前記モース硬度５以上の粒子は、合成ダ
   イヤモンド粒子であることを特徴とする請求項６記載の
   多孔質フィルムの製造装置。
8. 【請求項８】 前記穿孔用ユニットの前記第１、第２の
   ロールは、それらの中心を貫通して挿着された軸により
   回転されると共に、前記各軸の両端付近はボックスに内
   蔵した軸受にそれぞれ軸支されていることを特徴とする
   請求項７記載の多孔質フィルムの製造装置。
9. 【請求項９】 前記圧力調節手段は、前記移動自在なロ
   ールの前記軸の両端部付近に配置された前記ボックスを
   前記固定側のロールに向けて押圧するためのスプリング
   を備えることを特徴とする請求項６または９記載の多孔
   質フィルムの製造装置。
10. 【請求項１０】 前記穿孔用ユニットは、前記第１ロー
    ルを中心にして前記第２ロールの反対側にさらに前記第
    １ロールに対して逆方向に回転可能な第３ロールが配置
    されることを特徴とする請求項６記載の多孔質フィルム
    の製造装置。
11. 【請求項１１】 前記導電性粒子は、合成ダイヤモンド
    粒子であり、前記合成ダイヤモンド粒子は前記電極本体
    の放電面に電着されていることを特徴とする請求項６記
    載の多孔質フィルムの製造装置。
12. 【請求項１２】 前記対向電極は、回転可能な導電性ロ
    ールと、前記ロール表面に被覆された誘電体層とを備え
    ることを特徴とする請求項６または１２記載の多孔質フ
    ィルムの製造装置。
13. 【請求項１３】 前記コロナ放電処理手段の後段にさら
    に静電除去手段を設けたことを特徴とする請求項６記載
    の多孔質フィルムの製造装置。載の多孔質フィルムの製
    造装置。