JPH067677Y2 - ピエゾゴム超音波探触子 - Google Patents
ピエゾゴム超音波探触子Info
- Publication number
- JPH067677Y2 JPH067677Y2 JP343489U JP343489U JPH067677Y2 JP H067677 Y2 JPH067677 Y2 JP H067677Y2 JP 343489 U JP343489 U JP 343489U JP 343489 U JP343489 U JP 343489U JP H067677 Y2 JPH067677 Y2 JP H067677Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rubber
- electrode layer
- piezoelectric
- base
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ピエゾゴム超音波探触子に関し、更に詳しく
いえば導電リードのヒビ割れ、破損、切断がなく信頼性
の高いピエゾゴム超音波探触子に関する。本考案は、人
体等の物体の表面又はこれらの内部に超音波を照射した
り、また反射して戻ってくる反射波の受信信号より物体
の表面状態又は内部状態を観察するセンサ等に広く利用
される。
いえば導電リードのヒビ割れ、破損、切断がなく信頼性
の高いピエゾゴム超音波探触子に関する。本考案は、人
体等の物体の表面又はこれらの内部に超音波を照射した
り、また反射して戻ってくる反射波の受信信号より物体
の表面状態又は内部状態を観察するセンサ等に広く利用
される。
従来のこの種の超音波探触子は、第３図及び第４図に示
すように、セラミック粉末１２とゴム１１とからなるバ
ッキング基台１と、基台１上に被着され導電物質粉末２
２とゴム２１とからなる下側電極層２と、下側電極層２
上に被着され圧電物質粉末３２とゴム３１とからなる圧
電層３と、圧電層３上に被着され導電物質粉末４２とゴ
ム４１とからなる上側電極層４と、上側電極層４上に被
着される保護層７等と、からなる積層体の側周部に、上
下側電極層２、４の各々の側端部と電気的に接続する一
対の導電リード５′、６′が銀塗料等により塗着形成さ
れたものが知られている。
すように、セラミック粉末１２とゴム１１とからなるバ
ッキング基台１と、基台１上に被着され導電物質粉末２
２とゴム２１とからなる下側電極層２と、下側電極層２
上に被着され圧電物質粉末３２とゴム３１とからなる圧
電層３と、圧電層３上に被着され導電物質粉末４２とゴ
ム４１とからなる上側電極層４と、上側電極層４上に被
着される保護層７等と、からなる積層体の側周部に、上
下側電極層２、４の各々の側端部と電気的に接続する一
対の導電リード５′、６′が銀塗料等により塗着形成さ
れたものが知られている。
上記超音波探触子において、電極層２、４の側端部は極
薄層であるので接触面積が小さく使用中に積層体に曲
げ、引張等の応力が作用すると、各電極２、４若しくは
端子８、９と導電リード５′、６′との接触部（５
ａ′、６ａ′、５ｂ′、６ｂ′）が弱いので剥離が生じ
たり時々断線したりし、またリードの端部（曲がり部）
５ｃ′、６ｃ′に破損又はヒビ割れが生じやすい。従っ
て、この探触子は信頼性に欠けるうらみがあった。
薄層であるので接触面積が小さく使用中に積層体に曲
げ、引張等の応力が作用すると、各電極２、４若しくは
端子８、９と導電リード５′、６′との接触部（５
ａ′、６ａ′、５ｂ′、６ｂ′）が弱いので剥離が生じ
たり時々断線したりし、またリードの端部（曲がり部）
５ｃ′、６ｃ′に破損又はヒビ割れが生じやすい。従っ
て、この探触子は信頼性に欠けるうらみがあった。
本考案は、上記問題点を解消するものであり、導電リー
ドのヒビ割れ、破損、切断がなく信頼性の高いピエゾゴ
ム超音波探触子を提供することを目的とする。
ドのヒビ割れ、破損、切断がなく信頼性の高いピエゾゴ
ム超音波探触子を提供することを目的とする。
本第１考案のピエゾゴム超音波探触子は、セラミック粉
末とゴムとからなるバッキング基台と、該基台上に被着
され導電物質粉末とゴムとからなる下側電極層と、該下
側電極層上に被着され圧電物質粉末とゴムとからなる圧
電層と、該圧電層上に被着され導電物質粉末とゴムとか
らなる上側電極層と、上記下側電極層と電気的に接続す
る第１導電リードと、上記上側電極層と電気的に接続す
る第２導電リードと、具備するピエゾゴム超音波探触子
において、 上記第１導電リードは、上記下側電極層と接触し上記基
台を貫通するように埋設された金属線からなり、上記第
２導電リードは、上記上側電極層と接触し上記基台及び
上記圧電層を電気絶縁的に貫通するように埋設された金
属線からなることを特徴とする。
末とゴムとからなるバッキング基台と、該基台上に被着
され導電物質粉末とゴムとからなる下側電極層と、該下
側電極層上に被着され圧電物質粉末とゴムとからなる圧
電層と、該圧電層上に被着され導電物質粉末とゴムとか
らなる上側電極層と、上記下側電極層と電気的に接続す
る第１導電リードと、上記上側電極層と電気的に接続す
る第２導電リードと、具備するピエゾゴム超音波探触子
において、 上記第１導電リードは、上記下側電極層と接触し上記基
台を貫通するように埋設された金属線からなり、上記第
２導電リードは、上記上側電極層と接触し上記基台及び
上記圧電層を電気絶縁的に貫通するように埋設された金
属線からなることを特徴とする。
本第２考案の超音波探触子は、第１考案のバッキング基
台に導電性をもたせて、上記下側電極層及び第１導電リ
ードを省略したものである。
台に導電性をもたせて、上記下側電極層及び第１導電リ
ードを省略したものである。
以下、実施例により本考案を具体的に説明する。
実施例１ 本実施例の探触子の説明断面図を第１図に示す。これ
は、バッキング基台１と下側電極層２と圧電層３と上側
電極層４と第１リード線５と第２リード線６と保護層
（又は１／４λ整合層）７とからなる。
は、バッキング基台１と下側電極層２と圧電層３と上側
電極層４と第１リード線５と第２リード線６と保護層
（又は１／４λ整合層）７とからなる。
基台１は、窒化珪素、アルミナ、チタン酸ジルコン酸鉛
及びチタン酸バリウム等の少なくとも１種からなるセラ
ミック粉末１２と、クロロプレンゴム又はシリコンゴム
等の合成ゴム１１とから構成される。この基台１は、外
径２０mmφ、厚さ０．５〜３mmの円盤状をしている。
及びチタン酸バリウム等の少なくとも１種からなるセラ
ミック粉末１２と、クロロプレンゴム又はシリコンゴム
等の合成ゴム１１とから構成される。この基台１は、外
径２０mmφ、厚さ０．５〜３mmの円盤状をしている。
下側電極層２は、基台１上であってかつ第２リード線６
が埋設される部分例えば右側部分１ａを除く面上に被着
され、銀の導電物質粉末２２と上記と同じゴム２１とか
ら構成される。この電極層２の厚さは約３〜５０μｍで
あり、ゴム２１に対するＡｇ粉末２２の配合割合は約１
０〜７０体積％程度である。
が埋設される部分例えば右側部分１ａを除く面上に被着
され、銀の導電物質粉末２２と上記と同じゴム２１とか
ら構成される。この電極層２の厚さは約３〜５０μｍで
あり、ゴム２１に対するＡｇ粉末２２の配合割合は約１
０〜７０体積％程度である。
圧電層３は、下側電極層２上及び表出する基台表面１ａ
上に被着され、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛系等
の圧電物質粉末とゴムとから構成される。この圧電層３
の厚さは１０〜２００μｍであり、ゴム３１に対する圧
電物質粉末３２の配合割合は約５０〜８０体積％程度で
ある。
上に被着され、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛系等
の圧電物質粉末とゴムとから構成される。この圧電層３
の厚さは１０〜２００μｍであり、ゴム３１に対する圧
電物質粉末３２の配合割合は約５０〜８０体積％程度で
ある。
上側電極層４は、圧電層３上であってかつ第１リード線
５の上方側左端部表面３ａを除く表面上に被着され、上
記下側電極層２と同材料から構成される。尚、この電極
層４は、電気的に抵触することがないので、圧電層３の
全面上に形成されてもよい。
５の上方側左端部表面３ａを除く表面上に被着され、上
記下側電極層２と同材料から構成される。尚、この電極
層４は、電気的に抵触することがないので、圧電層３の
全面上に形成されてもよい。
第１リード線５及び第２リード線６は、金からなる。第
１リード線５は、下側電極層２の左方下面と接触するこ
とにより電気的に導通し、基台１を貫通するように埋設
されている。第２リード線６は、上側電極層４の下面と
接触することにより電気的に導通し、基台１及び圧電層
３を貫通するように埋設されている。以上より、両リー
ド線５、６は接触しない構成となっている。このリード
線５、６は、所定の長さをもち、太さ０．２〜１mmであ
り、その下端部は基台１の下面から露出しており、内側
に折り曲げられており、マウント用の端子となるととも
に、電極層２、４と良好に接触できるように規制可能の
構造となっている。
１リード線５は、下側電極層２の左方下面と接触するこ
とにより電気的に導通し、基台１を貫通するように埋設
されている。第２リード線６は、上側電極層４の下面と
接触することにより電気的に導通し、基台１及び圧電層
３を貫通するように埋設されている。以上より、両リー
ド線５、６は接触しない構成となっている。このリード
線５、６は、所定の長さをもち、太さ０．２〜１mmであ
り、その下端部は基台１の下面から露出しており、内側
に折り曲げられており、マウント用の端子となるととも
に、電極層２、４と良好に接触できるように規制可能の
構造となっている。
更に、上記積層体は一体的に加圧加硫された一体物であ
り、かつ両リード線５、６は貫通された後加硫されてい
るのでこのリード線５、６も積層体中に強固に一体的に
固着されている。
り、かつ両リード線５、６は貫通された後加硫されてい
るのでこのリード線５、６も積層体中に強固に一体的に
固着されている。
本探触子は、以下の方法で製作された。
まず、所定のセラミック粉末１２と所定の未加硫ゴム１
１と使用するゴムに応じた加硫剤（例えば金属酸化物、
過酸化物、硫黄等）と、更には必要に応じて添加される
加硫助剤とを配合し、混練し、予備成形する。次いで、
この予備成形時又はこれに次ぐ本成形時に本来の加硫条
件よりも処理時間を短くするか低温加熱等をして半加硫
の状態とした半加硫基台（尚、加硫前の基台にも加硫後
の最終製品の基台と同様に、説明の便宜上、同番号を付
した。以下も同じ。）１を製作する。
１と使用するゴムに応じた加硫剤（例えば金属酸化物、
過酸化物、硫黄等）と、更には必要に応じて添加される
加硫助剤とを配合し、混練し、予備成形する。次いで、
この予備成形時又はこれに次ぐ本成形時に本来の加硫条
件よりも処理時間を短くするか低温加熱等をして半加硫
の状態とした半加硫基台（尚、加硫前の基台にも加硫後
の最終製品の基台と同様に、説明の便宜上、同番号を付
した。以下も同じ。）１を製作する。
この半加硫基台１の所定位置に上記２本のリード線５、
６を貫通させる。この場合、最終加硫後に各電極層２、
４と良好に接触するように、第１リード線５は適度に表
出させ、第２リード線６は適度の高さを突出させる。更
に、その後、この上の所定の位置に、銀粉末２２と上記
ゴム２１と加硫剤とトルエン等の溶剤を混合して分散液
又はペーストを調製し、これを塗布又はスクリーン印刷
をして第１塗膜２を形成する。尚、この貫通工程と塗膜
形成工程は逆にすることもできる。そして、その後、こ
れらに同時に初期加硫を施した。
６を貫通させる。この場合、最終加硫後に各電極層２、
４と良好に接触するように、第１リード線５は適度に表
出させ、第２リード線６は適度の高さを突出させる。更
に、その後、この上の所定の位置に、銀粉末２２と上記
ゴム２１と加硫剤とトルエン等の溶剤を混合して分散液
又はペーストを調製し、これを塗布又はスクリーン印刷
をして第１塗膜２を形成する。尚、この貫通工程と塗膜
形成工程は逆にすることもできる。そして、その後、こ
れらに同時に初期加硫を施した。
次いで、この初期加硫後の第１塗膜２の上及び表出した
基台表面１ａの上に上記圧電物質粉末３２と上記ゴム３
１と加硫剤と溶剤を混合して未加硫圧電層３を形成し、
次いで、この上の所定の位置に、上記第１塗膜２と同様
にして第２塗膜４（図中、４１はゴム、４２は銀粉末を
示す）を形成し、更に、この第２塗膜４の上及び表出し
た未加硫圧電層３ａの上にゴム板（保護層）７を配置し
て、これら基台１等の積層体に対して追加加硫を、５０
Kg/cm2以上の加圧下にて一体的に施して、上記構成の探
触子を製作した。
基台表面１ａの上に上記圧電物質粉末３２と上記ゴム３
１と加硫剤と溶剤を混合して未加硫圧電層３を形成し、
次いで、この上の所定の位置に、上記第１塗膜２と同様
にして第２塗膜４（図中、４１はゴム、４２は銀粉末を
示す）を形成し、更に、この第２塗膜４の上及び表出し
た未加硫圧電層３ａの上にゴム板（保護層）７を配置し
て、これら基台１等の積層体に対して追加加硫を、５０
Kg/cm2以上の加圧下にて一体的に施して、上記構成の探
触子を製作した。
尚、保護層７としては、ゴム板の代わりにポリエステル
フィルム等を用いることもでき、この場合は、加硫後の
積層体の表面に接着剤により接着して形成する。
フィルム等を用いることもでき、この場合は、加硫後の
積層体の表面に接着剤により接着して形成する。
本探触子は、リードとして金線を用い、かつ積層体内部
を貫通して配置されており、しかも５０Kg/cm2の圧力が
加わっているので、従来のように薄層でしかも積層体の
側周部に形成されるリードでないので、積層体の端部で
破損、ヒビ割れ等は全くなく、また電極とリード線との
接合も強固のためここが切れるということもない。更
に、従来ようにリード端部を端子と接合することもなく
そのままマウントできるので、構成が簡単であり、しか
もその接合部が切れるということもない。また、全ての
層がゴムで構成されかつ一体的に加圧加硫されているの
で、極めて柔軟性に富み容易に曲げることができ、更
に、積層体およびリード線が完全に一体となっており、
そのため各層及びリード線が剥離することもなく極めて
強固な構造となっており、多少曲げてもリードが切れる
ことがない。また、リード線として金線を用いるので耐
酸化性に優れ、加硫時に酸化されることもなく、寿命も
長い。
を貫通して配置されており、しかも５０Kg/cm2の圧力が
加わっているので、従来のように薄層でしかも積層体の
側周部に形成されるリードでないので、積層体の端部で
破損、ヒビ割れ等は全くなく、また電極とリード線との
接合も強固のためここが切れるということもない。更
に、従来ようにリード端部を端子と接合することもなく
そのままマウントできるので、構成が簡単であり、しか
もその接合部が切れるということもない。また、全ての
層がゴムで構成されかつ一体的に加圧加硫されているの
で、極めて柔軟性に富み容易に曲げることができ、更
に、積層体およびリード線が完全に一体となっており、
そのため各層及びリード線が剥離することもなく極めて
強固な構造となっており、多少曲げてもリードが切れる
ことがない。また、リード線として金線を用いるので耐
酸化性に優れ、加硫時に酸化されることもなく、寿命も
長い。
以上より、本探触子は、耐久性および信頼性に優れる。
実施例２ 本実施例の探触子は、第２図に示すように、上記実施例
１の探触子のバッキング基台１に導電性をもたせて、上
記下側電極層２及び第１リード線５を省略したものであ
る。本探触子は、（１）基台１に配合される充填剤をセ
ラミック粉末の代わりにＷ粉末を用いて、この基台１の
上に圧電層３を形成したこと、（２）第２リード線６と
圧電層３及び基台１との間に電気的抵触を防ぐためにゴ
ム、樹脂等の絶縁層１０が形成されていること、以外
は、実施例１と同様にして製作された。尚、同図に示す
ように、必要に応じて導電性基台１にマウント用の端子
５１を配設する。
１の探触子のバッキング基台１に導電性をもたせて、上
記下側電極層２及び第１リード線５を省略したものであ
る。本探触子は、（１）基台１に配合される充填剤をセ
ラミック粉末の代わりにＷ粉末を用いて、この基台１の
上に圧電層３を形成したこと、（２）第２リード線６と
圧電層３及び基台１との間に電気的抵触を防ぐためにゴ
ム、樹脂等の絶縁層１０が形成されていること、以外
は、実施例１と同様にして製作された。尚、同図に示す
ように、必要に応じて導電性基台１にマウント用の端子
５１を配設する。
本探触子は、実施例１と同様にリードとして金線を用い
これが積層体内部に埋設されているので、実施例１と同
様の効果をもつとともに、下側電極層を不要とするので
構造が簡単で製造工程が少ないという効果ももつ。
これが積層体内部に埋設されているので、実施例１と同
様の効果をもつとともに、下側電極層を不要とするので
構造が簡単で製造工程が少ないという効果ももつ。
尚、本考案においては、上記具体的実施例に示すものに
限られず、目的、用途に応じて本考案の範囲内で種々変
更した実施例とすることができる。即ち、本探触子の全
体形状、大きさ、更には各基台、上下側電極層、圧電
層、保護層の形状、大きさ、厚さ等は、目的、用途によ
り種々選択される。この場合、使用する各材料も上記の
ものでなく、同効果をもつ他の材料を用いることがで
き、その割合等も種々選択できる。例えば、圧電材料と
しては、他に、上記以外のペロブスカイト系化合物、ニ
オブ酸バリウムナトリウム等のタングステンブロンズ系
化合物、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等を用
いることもできる。また、各層に用いられる各ゴム材料
又は上下側電極層に用いられる各導電物質は、上記実施
例のように同材料でもよいが、異種材料でもよい。
限られず、目的、用途に応じて本考案の範囲内で種々変
更した実施例とすることができる。即ち、本探触子の全
体形状、大きさ、更には各基台、上下側電極層、圧電
層、保護層の形状、大きさ、厚さ等は、目的、用途によ
り種々選択される。この場合、使用する各材料も上記の
ものでなく、同効果をもつ他の材料を用いることがで
き、その割合等も種々選択できる。例えば、圧電材料と
しては、他に、上記以外のペロブスカイト系化合物、ニ
オブ酸バリウムナトリウム等のタングステンブロンズ系
化合物、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等を用
いることもできる。また、各層に用いられる各ゴム材料
又は上下側電極層に用いられる各導電物質は、上記実施
例のように同材料でもよいが、異種材料でもよい。
更に、リード線も、その形状、太さ、断面形状、長さ、
端部曲がりの有無及び曲がり形状、材質等も種々選択さ
れる。例えば、この材質は、金でなく、他に白金、パラ
ジウム、銀、更にはアルミニウム、銅等とすることがで
き、後者の比較的酸化されやすい材料の場合には表面を
耐酸化性に優れる材料で被覆したものを用いることもで
きるし、加硫条件を変えることにより酸化を抑制するこ
ともできる。また、リード線は、電極層と接触さえすれ
ばよく、上記実施例のように電極層の下面とほぼ接触し
てもよいが、例えば第２図に示すように電極層４内にそ
の先端が埋設されてもよいし、電極層を貫通してその表
面上に突出してもよい。この突出する場合、突出したリ
ード線が他の電極層と抵触したり保護層表面から露出し
ない限りであればよい。例えば、第１リード線は、圧電
層に埋設される程度に突出してもよいし、圧電層を貫通
して保護層に埋設されてもよいし、第２リード線は突出
して保護層に埋設されてもよい。また、このリード線と
各層の接合強度を一層向上させたい場合には、ポリウレ
タン系接着剤等の金属−ゴム接着剤の使用又は金属の表
面処理等を施すことができる。
端部曲がりの有無及び曲がり形状、材質等も種々選択さ
れる。例えば、この材質は、金でなく、他に白金、パラ
ジウム、銀、更にはアルミニウム、銅等とすることがで
き、後者の比較的酸化されやすい材料の場合には表面を
耐酸化性に優れる材料で被覆したものを用いることもで
きるし、加硫条件を変えることにより酸化を抑制するこ
ともできる。また、リード線は、電極層と接触さえすれ
ばよく、上記実施例のように電極層の下面とほぼ接触し
てもよいが、例えば第２図に示すように電極層４内にそ
の先端が埋設されてもよいし、電極層を貫通してその表
面上に突出してもよい。この突出する場合、突出したリ
ード線が他の電極層と抵触したり保護層表面から露出し
ない限りであればよい。例えば、第１リード線は、圧電
層に埋設される程度に突出してもよいし、圧電層を貫通
して保護層に埋設されてもよいし、第２リード線は突出
して保護層に埋設されてもよい。また、このリード線と
各層の接合強度を一層向上させたい場合には、ポリウレ
タン系接着剤等の金属−ゴム接着剤の使用又は金属の表
面処理等を施すことができる。
更に、本探触子の製造方法も上記のものに限らず、加硫
条件を変えたり、各層の加硫状態を調整したりして一体
加硫積層体とすることもできるし、一体加硫体ではなく
各層の全部又はその一部を接着剤で接着した一体物とす
ることもできる。
条件を変えたり、各層の加硫状態を調整したりして一体
加硫積層体とすることもできるし、一体加硫体ではなく
各層の全部又はその一部を接着剤で接着した一体物とす
ることもできる。
本第１及び第２考案の探触子は、導電リードとして金属
線を用い、かつ積層体内部を貫通して埋設されており、
従来のように薄層でしかも積層体の周囲に形成されるリ
ードでないので、積層体の側周部で破損、ヒビ割れ等は
全くなく、また電極とリード線との接合も強固のためこ
こが切れるということもない。更に、従来ようにリード
端部を端子と接合することもないので、構造が簡単でし
かもそのままマウントでき、しかもその接合部が切れる
こともない。また、全ての層がゴムで構成されているの
で、極めて柔軟性に富み容易に曲げることができ、更
に、積層体およびリード線が完全に一体となっており、
そのため各層等が剥離することもなく極めて強固な構造
となっており、多少曲げてもリードが切れることがな
い。
線を用い、かつ積層体内部を貫通して埋設されており、
従来のように薄層でしかも積層体の周囲に形成されるリ
ードでないので、積層体の側周部で破損、ヒビ割れ等は
全くなく、また電極とリード線との接合も強固のためこ
こが切れるということもない。更に、従来ようにリード
端部を端子と接合することもないので、構造が簡単でし
かもそのままマウントでき、しかもその接合部が切れる
こともない。また、全ての層がゴムで構成されているの
で、極めて柔軟性に富み容易に曲げることができ、更
に、積層体およびリード線が完全に一体となっており、
そのため各層等が剥離することもなく極めて強固な構造
となっており、多少曲げてもリードが切れることがな
い。
以上より、本探触子は、使用中に積層体に曲げ、引張等
の応力が作用しても耐久性および信頼性に極めて優れ
る。
の応力が作用しても耐久性および信頼性に極めて優れ
る。
本第２考案の探触子は、上記第１考案の探触子のバッキ
ング基台に導電性をもたせて、上記下側電極層及び第１
リード線を省略している。従って、本探触子は、構造が
簡単で製造工程が少ないという効果ももつ。
ング基台に導電性をもたせて、上記下側電極層及び第１
リード線を省略している。従って、本探触子は、構造が
簡単で製造工程が少ないという効果ももつ。
第１図は実施例１に係わるピエゾゴム超音波探触子の説
明断面図、第２図は実施例２に係わる超音波探触子の説
明断面図、第３図は従来の超音波探触子の説明断面図、
第４図は従来の超音波探触子の斜視図である。 １；バッキング基台、２；下側電極層、３；圧電層、
４；上側電極層、１１、２１、３１、４１；ゴム、１
２；セラミック粉末、２２、４２；導電物質粉末、３
２；圧電物質粉末、５；第１導電リード（リード線）、
６；第２導電リード（リード線）、７；保護層、１０；
絶縁層。
明断面図、第２図は実施例２に係わる超音波探触子の説
明断面図、第３図は従来の超音波探触子の説明断面図、
第４図は従来の超音波探触子の斜視図である。 １；バッキング基台、２；下側電極層、３；圧電層、
４；上側電極層、１１、２１、３１、４１；ゴム、１
２；セラミック粉末、２２、４２；導電物質粉末、３
２；圧電物質粉末、５；第１導電リード（リード線）、
６；第２導電リード（リード線）、７；保護層、１０；
絶縁層。
Claims (2)
- 【請求項１】セラミック粉末とゴムとからなるバッキン
グ基台と、該基台上に被着され導電物質粉末とゴムとか
らなる下側電極層と、該下側電極層上に被着され圧電物
質粉末とゴムとからなる圧電層と、該圧電層上に被着さ
れ導電物質粉末とゴムとからなる上側電極層と、上記下
側電極層と電気的に接続する第１導電リードと、上記上
側電極層と電気的に接続する第２導電リードとを、具備
するピエゾゴム超音波探触子において、 上記第１導電リードは、上記下側電極層と接触し上記基
台を貫通するように埋設された金属線からなり、上記第
２導電リードは、上記上側電極層と接触し上記基台及び
上記圧電層を貫通するように埋設された金属線からなる
ことを特徴とするピエゾゴム超音波探触子。 - 【請求項２】導電物質粉末とゴムとからなる導電性バッ
キング基台と、該基台上に被着され圧電物質粉末とゴム
とからなる圧電層と、該圧電層上に被着され導電物質粉
末とゴムとからなる上側電極層と、上記上側電極層と電
気的に接続する第２導電リードと、具備するピエゾゴム
超音波探触子において、 上記第２導電リードは、上記上側電極層と接触し上記基
台及び上記圧電層を電気絶縁的に貫通するように埋設さ
れた金属線からなることを特徴とするピエゾゴム超音波
探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP343489U JPH067677Y2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | ピエゾゴム超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP343489U JPH067677Y2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | ピエゾゴム超音波探触子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0293898U JPH0293898U (ja) | 1990-07-25 |
| JPH067677Y2 true JPH067677Y2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=31205065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP343489U Expired - Lifetime JPH067677Y2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | ピエゾゴム超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067677Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002365270A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-18 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | すぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブ |
-
1989
- 1989-01-13 JP JP343489U patent/JPH067677Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002365270A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-18 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | すぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0293898U (ja) | 1990-07-25 |
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