JPH0675188A - 一列或いは多数列に配置された多数の光源を結像させる方法及び装置 - Google Patents

一列或いは多数列に配置された多数の光源を結像させる方法及び装置

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JPH0675188A
JPH0675188A JP3286679A JP28667991A JPH0675188A JP H0675188 A JPH0675188 A JP H0675188A JP 3286679 A JP3286679 A JP 3286679A JP 28667991 A JP28667991 A JP 28667991A JP H0675188 A JPH0675188 A JP H0675188A
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Peter Albers
アルベルス ペーター
Eckhard Langenbach
ランゲンバッハ エクハルト
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ハイムベック ハンス−イェルク
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FISBA OPT AG
FUISHIYUBA OPT AG
Bystronic Laser AG
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BIYUSUTORONIKU RAZAA AG
FISBA OPT AG
FUISHIYUBA OPT AG
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、一列或いは多数列に配置された非
回転対称の出射強度分布を有する市販の光源を光学的に
良好に結像させることのできる一列或いは多数列に配置
された多数の光源を結像させる方法及び装置を提供する
ことを目的とする。 【構成】 本発明の一列或いは多数列に配置された多数
の光源を結像させる方法及び装置によれば、回転対称で
ない出射強度分布を有する一列に配置された多数の光源
(1)が第1の非中心的に結像を行う機能素子(5)に
よって結像され、それから各光束(9)が光線回転素子
(7)によって回転される。そして、第1の機能素子
(5)によって結像されなかった回転された光束(9)
の光線成分は、第2の非中心的に結像を行う機能素子
(11)によって結像される。機能素子(5,11)及びその
位置は、平行な光束(9)が発生され、それが球面レン
ズ(15)によって空間領域(3)内に合焦されるように
選択される。このように、本発明によれば、多数の個別
光線について良好な合焦可能性が簡単に得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は一列或いは多数列に配置
された多数の光源を結像させる方法及び装置に関し、特
に、一列或いは多数列に配置され, 出射強度分布が回転
対称でない多数の光源を空間領域内に結像させる方法、
及び、一列或いは多数列に配置され,回転対称でない出
射強度分布を有する光源を空間領域内に結像させる少な
くとも2つの結像を行う機能素子を備えた装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】一列或いは多数列に配置された多数の光
源を結像させる方法及び装置は、T.Y.Fan et al の"Sca
lable, end-pumped, diode-laser-pumped laser", Opt.
Lett., 1989年10月1日, 第14巻第19号、第
1057〜1059頁に記載されている。この公知の方
法及び装置において、p−n平面に対して垂直に重ねて
配置された3つのダイオードレーザアレイの出力光線の
前側は、それぞれ1つの球面レンズとその後に順次配置
された3つの円筒レンズを用いてND:YAGレーザク
リスタル内に合焦され、これを光学的に励起する。焦点
距離0.4cmと数値的アパーチャ0.47 を有する球面レ
ンズによって、p−n平面に対して垂直の平面にあるダ
イオードレーザの光束の光線成分は平行にされ、そし
て、p−n平面に対して平行にされたものが偏向され
て、次に円筒レンズによって平行にされる。さらに、平
行にされた光線の前側は、次の2つの円筒レンズによっ
てND:YAG結晶内に合焦される。
【0003】円筒レンズは、非中心的に結像させる機能
素子に属する(Heinz Haferkorn, "Optik" VEB Deutsch
er Verlag der Wissenschaften, ベルリン, 1980年
第244頁参照)。結像させる機能素子は、具体的に
は、全体としてモデルにより決定された環境において与
えられる光学的な入力量を所定の光学的な出力量に変換
する構造となっている。開放角度というのは、放射する
面に垂直な平面において、平面と放射する面との交線か
ら径方向の等距離にある2つの測定点の間の角度であっ
て、一方の測定点は中心の上方に位置し、他方の測定点
は出射された強度がこの平面で測定された最大の強度に
対して1/e2 に低下した箇所に位置している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の一列或いは多数列に配置された多数の光源を結像させ
る技術においては、光源とレンズを入念に整合させるこ
とが不可欠である。本発明は、この従来の一列或いは多
数列に配置された多数の光源を結像させる技術が有する
課題に鑑み、一列或いは多数列に配置された非回転対称
の出射強度分布を有する市販の光源を光学的に良好に結
像させることのできる一列或いは多数列に配置された多
数の光源を結像させる方法及び装置を提供することを目
的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、一列或
いは多数列に配置され、出射強度分布が回転対称でない
多数の光源を空間領域内に結像させる方法であって、前
記光源から出射する光束を空間的に所定角度回転したこ
とを特徴とする一列或いは多数列に配置された多数の光
源を結像させる方法が提供される。
【0006】さらに、本発明によれば、一列或いは多数
列に配置され、回転対称でない出射強度分布を有する光
源を空間領域内に結像させる少なくとも2つの結像を行
う機能素子を備えた装置であって、前記光源の光路内
に、該光源の光束を空間的に回転させる光線回転素子を
設けたことを特徴とする一列或いは多数列に配置された
多数の光源を結像させる装置が提供される。
【0007】
【作用】本発明の一列或いは多数列に配置された多数の
光源を結像させる方法によれば、光源から出射する光束
は、空間的に所定角度回転されるようになっている。さ
らに、本発明の一列或いは多数列に配置された多数の光
源を結像させる装置によれば、光源の光路内に、光源の
光束を空間的に回転させる光線回転素子が設けられるよ
うになっている。
【0008】
【実施例】以下、本発明に係る一列或いは多数列に配置
された多数の光源を結像させる方法及び装置の実施例を
図面を参照して詳細に説明する。図1及び図2は、一列
に配置された5つのダイオードレーザ1の光線が空間領
域3内に合焦される様子を示している。各ダイオードレ
ーザ1は、互いに平行に一列に配置され, 集積され, そ
して, 位相結合され、光線を放出する40の細片から形
成される。空間領域3としては、例えば、ダイオードレ
ーザ1の照射によって光学的に励起しようとする図示し
ないレーザの前面、或いは、ダイオードレーザ1の照射
をその中に導入しようとする図示しない光学的繊維の前
面が用いられる。
【0009】図1の上面図において、ダイオードレーザ
1のp−n平面は図面シートの平面にあって、図2にお
いてはそれに垂直の平面にある。図1及び図2から明ら
かなように、ダイオードレーザ1の光線はほぼ鏡面対称
であるが、回転対称ではない。また、全てのダイオード
レーザ1の光線の出射特性は互いに類似している。ダイ
オードレーザ1の各光束9の開放角度は、p−n平面に
対して平行な平面において最も小さく、垂直な平面にお
いて最も大きくなっている。
【0010】ダイオードレーザ1の前には、円筒レンズ
として作用する非中心的に結像を行う機能素子5が配置
されており、その円筒軸はp−n平面にある。さらに、
機能素子5に続いて、後述する光線回転素子7が設けら
れ回転素子は、各ダイオードレーザ1の光束9を90°
回転させるようになっている。また、光線回転素子7の
次には、円筒レンズとして作用する非中心的に結像させ
る機能素子11が設けられ、その円筒軸もp−n平面に
ある。そして、機能素子11の出射光線は、中心的に結
像させる機能素子としての球面レンズ13によって空間
領域3内に合焦されるようになっている。
【0011】機能素子5のダイオードレーザ1の前面か
らの距離は、その焦点距離に対応している。さらに、機
能素子5の焦点距離とアパーチャは、結像される光束9
が光線回転素子7のアパーチャにぴったり適合するよう
に選択されている。ここで、機能素子11のダイオード
レーザ1の前面からの距離は、光線回転素子7を通る光
学的な距離を考慮して、許容誤差分だけその焦点距離よ
り大きくなっている。さらに、光線回転素子7は、2つ
の機能素子5と11の間に配置され、また、球面レンズ
13の空間領域3からの距離は、その焦点距離に対応し
ている。
【0012】ダイオードレーザ1から放出される光束9
は、機能素子5を通過し、該機能素子は、ダイオードレ
ーザ1のp−n平面に対して垂直な平面に在る全ての光
線成分を、図2に示すように平行に整合する。ここで、
ダイオードレーザ1から出射される光束9の最大開放角
度は、p−n平面に対して垂直であり、ダイオードレー
ザ1のp−n平面に対して平行な面に在る全ての光線成
分は、図1に示すように元の方向に機能素子5を通過す
る。そして、機能素子5の屈折率が空気より大きいこと
によって、光線が光学軸方向にわずかにずれる。
【0013】ダイオードレーザ1から出射する光束9の
最小の開放角度は、p−n平面に対して平行であり、光
線回転素子7によって、各光束9は90°回転される。
すなわち、平行な光線成分は図1に示す光線回転素子7
の後方で見られ、且つ、図2に示す光線回転素子7の後
方で変わらぬ光線成分が見られる。尚、図では、区別す
るために、回転された光束9には異なるハッチングが選
択されている。また、機能素子11によってまだ変化さ
れていない光線成分も平行に整合される。
【0014】上述の装置(その結像させる機能素子5と
光線回転素子7については後述する)によって、多数の
個別光線について良好な合焦可能性が得られる。この良
好な合焦可能性は、光学的機能素子によって改良すべき
でない悪い光線パラメータの積が光軸に対して垂直な平
面に維持され、光束9の最良の光線パラメータの積のみ
が重畳によって低下されるように、多数のダイオードレ
ーザ1の光束9が重畳されることによって得られる。
【0015】光束9の合焦可能性の尺度としては、光線
パラメータの積(英語では”beam quality product”)
が用いられる。光線パラメータの積は、数値的なアパー
チャに照射面の半径をかけた積である。そして、この積
が小さくなるほど、合焦可能性が良くなることになる。
数値の例としては、照射する面がそれぞれ400μm×
1μmである5つのダイオードレーザ1が考えられる。
ここで、400μmの面の最大幅は、p−n平面に在
り、1μmの高さは、p−n平面に対して垂直である。
【0016】400μmは、約5°の開放角度、すなわ
ち、約0.1の数値的アパーチャを有し、1μmは20°
から30°の開放角度、すなわち、約0.4の数値的アパ
ーチャを有する。ダイオードレーザ1のp−n平面全体
は1つの平面に在り、或いは、互いに平行になってい
る。そして、個々のダイオードレーザ1は、互いに2m
m離れている。
【0017】上述の光線パラメータの積によって、1つ
の個別ダイオード(40の細片が線形に集積されて配置
されている)のみが照射された場合には、個別ダイオー
ドのp−n平面における20μmの値とそれに対して垂
直に0.2μmの値が得られる。すなわち、この簡略化さ
れた考え方においては、合焦可能性は、p−n平面にお
いては、p−n平面に対して垂直の場合よりも100倍
程低下していることになる。
【0018】上述した装置の結像によって、20〜30
°の開放角度については、上述の光線パラメータの積は
変化しないが、約5°の開放角度について0.2μmの光
線パラメータの積により結像する場合(それぞれ2つの
光束9の間の光線のない間隙は光束9と同じ幅であり、
すなわち、光学的なマーク・スペース比は2である場
合)には、5つのダイオードレーザ1については、0.2
μm×5×2=2.0μmとなる。すなわち、理論的に
は、上述のデータを有する50のダイオードレーザ1を
並べて配置することが可能であって、その場合に、初め
て光束9の拡散方向に対して垂直なすべての平面におい
て20μmの光線パラメータの積が得られることにな
る。
【0019】次に、装置の構造の実施例を説明する。第
1の非中心的に結像させる機能素子5は、図3に示すよ
うに、ダイオードレーザ1から始まって200μmの直
径を有する石英ガラスからなる完全円筒19と1.44 m
mの厚みを有するSFL6からなる2つの同一の平凸の
円筒レンズ21と22を有する。ここで、円筒レンズ2
1及び22の半径は、3.56 mmであり、2つの円筒レ
ンズ21と22は互いに1.82 mm離れている。そし
て、円筒レンズ21は、完全円筒19から0.1mmの距
離を有し、円筒レンズ22は、光線回転素子7から0.1
mmの距離を有している。また、機能素子5の入力側の
±30°の開放角度については、±0.5mmの光線高さ
が生じる。
【0020】第2の非中心的に結像させる機能素子11
は、厚み3mmのSFL6からなる唯一の平凸円筒レン
ズから形成され、その軸はp−n平面に対して平行とな
っている。ここで、円筒レンズの半径は、35.6mmで
あり、円筒レンズの平坦な面は、光線回転素子7の出力
から32mm程離れて配置されている。光線回転素子7
として、それぞれ個々のダイオードレーザ1についてア
ッベ・ケーヒッヒプリズム27が使用されている。ここ
で、アッベ・ケーニッヒプリズム27は、その対称平面
を中心として、且つ、各光線9の対称平面を中心とし
て、光学軸において45°回転されている。
【0021】図4は本発明を説明するための図であり、
装置の光線回転素子としてのアッベ・ケーニッヒプリズ
ムにより45°傾斜した光路を示す図であり、同図
(a)は図4(b)のIVa−IVa方向に見た1つのダイ
オードレーザのアッベ・ケーニッヒプリズムに当接する
光線の入射位置を示し、同図(b)はアッベ・ケーニッ
ヒプリズムを通過する光路を示し、そして、同図(c)
は図4bのIVc−IVc方向に見たアッベ・ケーニッヒプ
リズムを出る光線の出射位置を示している。
【0022】図示を簡略化するために、図4(b)にお
いて、アッベ・ケーニッヒプリズム27は、45°側方
に傾斜した面で示されている。また、図4(a)はアッ
ベ・ケーニッヒプリズム27上に当接する光線9を示
し、図4(c)はプリズム27を出る光線9を同様に4
5°傾斜して示している。ここで、矩形の光線9の周縁
光線は、参照符号a, b, c, dで示されている。
【0023】図4(a)において、の光線境界a−b及
びc−dは、既に機能素子5によって平行に整合されて
おり、それによってその距離a/dないしb/cは、プ
リズム27を通過後も変化しない。まだ機能素子11に
よって結像されない光線境界a−d及びb−cは、該当
するダイオード1から出射する光線9の開放角度によっ
て、図4(c)の距離a/b及びd/cが拡大されてい
るように、互いに離れる方向へ延びている。ここで、光
線9がプリズム27によって回転されることは、図4
(a)において上にある周縁光線aが図4(c)では下
になり、また、図4(a)において下にある周縁光線c
が図4(c)では上にあることによって知ることができ
る。尚、周縁光線bとdは、側方に入れ替わらない。
【0024】機能素子5と11及び光線回転素子7によ
って、2mmの格子で一列に並べられた5つのダイオー
ドレーザ1の光束9から、同一の格子で1mm幅を有す
る平行光線の5つの矩形の光束が得られる。そして、図
示しないミラーコームを通して光束間の間隙にそれぞれ
第2の装置の他の光束が導入される。
【0025】矩形の光束9の高さは、第2の機能素子1
1の焦点距離によって任意に調節することができる。そ
れは、上述の数値例を有する本実施例では、約±4.5m
mとされている。従って、5つのダイオードレーザの場
合には、光線の全断面は、約9mm×9mmの大きさと
なる。ここで、光線断面のそれぞれの種類は、機能素子
を適当に選択することによって調節することができる。
【0026】以上において、それぞれ特殊な用途に応じ
て、アッベ・ケーニッヒプリズム27の代わりに、特
に、シュミット・ペッヒアンプリズム, レマン・シュプ
リンガープリズム等を使用することも可能である。ま
た、球面レンズ15の代わりに、互いに垂直に配置され
た不図示の2つの円筒レンズを使用することもできる。
【0027】さらに、結像を行う機能素子の選択は、ダ
イオードレーザ1の開放角度に従う。そのため、光源と
してのダイオードレーザ1から出発して、非中心的な結
像、光線の回転, さらに, 非中心的な結像による結像を
行うことは必ずしも必要ではない。尚、ダイオードレー
ザ1から出発して、最初に光線の回転を行うことも可能
である。
【0028】
【発明の効果】以上、詳述したように、本発明によれ
ば、光源から出射する光束を空間的に所定角度回転する
ことによって、或いは、光源の光路内に光源の光束を空
間的に回転させる光線回転素子を設けることによって、
多数の個別光線について良好な合焦可能性が簡単に得ら
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る装置を示す図であり、5つのダイ
オードレーザを1つの空間領域に結像させる装置の概略
を示す上面図である。
【図2】図1に示す装置の側面図である。
【図3】本発明の装置を説明するための1つのダイオー
ドレーザ直前に配置された非中心的に結像させる機能素
子の側面図である。
【図4】本発明を説明するための図であり、装置の光線
回転素子としてのアッベ・ケーニッヒプリズムにより4
5°傾斜した光路を示す図であり、同図(a)は同図
(b)のIVa−IVa方向に見た1つのダイオードレーザ
のアッベ・ケーニッヒプリズムに当接する光線の入射位
置を示し、同図(b)はアッベ・ケーニッヒプリズムを
通過する光路を示し、同図(c)は同図(b)のIVc−
IVc方向に見たアッベ・ケーニッヒプリズムを出る光線
の出射位置を示している。
【符号の説明】
1…光源 3…空間領域 5, 11, 15…機能素子 7…光線回転素子 9…光束
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペーター アルベルス スイス国,ツェーハー−1005 ローザン ヌ,リュ ドゥ ローロレ 3 (72)発明者 エクハルト ランゲンバッハ スイス国,ツェーハー−9014 サン ガラ ン,ウルマンシュトラーセ 39 セ (72)発明者 ハンス−イェルク ハイムベック スイス国,ツェーハー−9435 ヘルブル ク,シュラットシュトラーセ 5

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一列或いは多数列に配置され、出射強度
    分布が回転対称でない多数の光源(1)を空間領域
    (3)内に結像させる方法であって、 前記光源(1)から出射する光束(9)を空間的に所定
    角度回転したことを特徴とする一列或いは多数列に配置
    された多数の光源を結像させる方法。
  2. 【請求項2】 前記光源(1)が出射する光束(9)
    を、その最大と最小の光線パラメータ積の間で少なくと
    もほぼ空間的な角度回転したことを特徴とする請求項1
    に記載の一列或いは多数列に配置された多数の光源を結
    像させる方法。
  3. 【請求項3】 少なくとも1つの第1の結像工程を、前
    記出射した光束(9)の回転前に非中心的に行うように
    したことを特徴とする請求項1または2に記載の一列或
    いは多数列に配置された多数の光源を結像させる方法。
  4. 【請求項4】 少なくとも1つのダイオードアレイ
    (1)の光線(9)を結像させる方法であって、前記ダ
    イオード光束(9)を第1の結像工程において出射強度
    分布の最大開放角度が存在する平面に対して平行に向
    け、座標軸方向において平行に向けられた光束(9)を
    ダイオード出力光線の最大と最小の開放角度の角度差だ
    け回転し、そして、該回転された光束(9)を平行に向
    けられた光線境界に対して垂直になるように平行に向
    け、空間領域(3)内に合焦するようにしたことを特徴
    とする請求項3に記載の一列或いは多数列に配置された
    多数の光源を結像させる方法。
  5. 【請求項5】 一列或いは多数列に配置され、回転対称
    でない出射強度分布を有する光源(1)を空間領域
    (3)内に結像させる少なくとも2つの結像を行う機能
    素子(5, 11, 15)を備えた請求項1から4のいず
    れか1項に記載の方法を実施する装置であって、 前記光源(1)の光路(9)内に、該光源(1)の光束
    (9)を空間的に回転させる光線回転素子(7)を設け
    たことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記
    載の方法を実施する一列或いは多数列に配置された多数
    の光源を結像させる装置。
  6. 【請求項6】 前記各光源(1)の光束(9)を、前記
    光線回転素子(7)によって、少なくともほぼ光束
    (9)の最大と最小の光線パラメータ積の間の角度だ
    け、特に、90°回転したことを特徴とする請求項5に
    記載の一列或いは多数列に配置された多数の光源を結像
    させる装置。
  7. 【請求項7】 前記光線回転素子(7)を、前記光源
    (1)毎にそれぞれ反転プリズム(27)を備えるよう
    に構成したことを特徴とする請求項5または6に記載の
    一列或いは多数列に配置された多数の光源を結像させる
    装置。
  8. 【請求項8】 前記光源(1)と前記光線回転素子
    (7)との間に第1の非中心的に結像させる機能素子
    (5)を配置し、該第1の機能素子(5)によって前記
    光線(9)の最大の開放角度が存在する平面に対して平
    行なそれぞれの光線成分の開放角度を減少したことを特
    徴とする請求項5から7のいずれか1項に記載の一列或
    いは多数列に配置された多数の光源を結像させる装置。
  9. 【請求項9】 前記光線回転素子(7)と前記空間領域
    (3)との間に第2の非中心的に結像を行う機能素子
    (11)を配置し、該第2の機能素子(11)によって
    前記光束(9)の回転された最小の開放角度が存在する
    平面に対して平行な前記光源(1)の光束(9)の開放
    角度を減少したことを特徴とする請求項5から8のいず
    れか1項に記載の一列或いは多数列に配置された多数の
    光源を結像させる装置。
  10. 【請求項10】 前記空間領域(3)と前記第2の機能
    素子(11)との間に、前記光束(9)を空間領域
    (3)内に中心的に合焦させる機能素子(15)を配置
    したことを特徴とする請求項9に記載の一列或いは多数
    列に配置された多数の光源を結像させる装置。
  11. 【請求項11】 前記第1及び第2の非中心的に結像さ
    せる機能素子(5,11)を円筒レンズ(5, 11)と
    し、且つ、該円筒レンズをそれぞれ或る平面に対して平
    行な光線成分をほぼ平行に向けるように、光路内に配置
    したことを特徴とする請求項5から10のいずれか1項
    に記載の一列或いは多数列に配置された多数の光源を結
    像させる装置。
  12. 【請求項12】 前記光線を1つの空間領域(3)に結
    像する1つ或いは多数のダイオードアレイを備えて構成
    したことを特徴とする請求項5から11のいずれか1項
    に記載の一列或いは多数列に配置された多数の光源を結
    像させる装置。
  13. 【請求項13】 前記一列或いは多数列に配置された多
    数の光源を結像させる装置は少なくとも2列の光源を備
    え、それぞれ2列の光源の光束を光線回転素子と非中心
    的に結像を行う機能素子の後方で組み合わせる少なくと
    も1つのミラーコームを設けたことを特徴とする請求項
    5から12のいずれか1項に記載の一列或いは多数列に
    配置された多数の光源を結像させる装置。
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