JPH0672242U - マルチチップモジュール - Google Patents

マルチチップモジュール

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JPH0672242U
JPH0672242U JP018541U JP1854193U JPH0672242U JP H0672242 U JPH0672242 U JP H0672242U JP 018541 U JP018541 U JP 018541U JP 1854193 U JP1854193 U JP 1854193U JP H0672242 U JPH0672242 U JP H0672242U
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 マルチチップモジュールに関し、配線基板へ
のICチップの実装配線後に行われる電気的テストを容
易にしてテスト時間を短縮し、信頼性を高める。 【構成】 マルチチップモジュールにおいて、ICチッ
プ(2a〜2d)の実装部周囲の配線基板(1)表面
に、ICチップ(2a〜2d)のボンディングパッド
(3)に接続された配線の配線層(1b)に接続するよ
うに形成された露出電極からなるテスト用端子(6)を
設ける。また、このテスト用端子(6)は複数のICチ
ップ(2a〜2d)に同一のパターンで配置形成され
る。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、配線基板に複数のベアICチップ等の回路素子を直接実装し回路を 構成したマルチチップモジュールに関し、特に各回路素子の実装部周囲の配線基 板表面に、回路素子の実装配線後に各回路素子の接続状態等を試験するためのテ スト用端子を設けたマルチチップモジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】
コンピュータ等の大量に半導体部品を使用する機器においては、ICチップ等 の回路素子の集積度を高め、できる限りチップ間の配線長さを短くして配線の導 体抵抗を下げ、また遅延時間を減少させて、回路の小型化をはかり、信号伝送特 性を向上させることが必要とされている。
【0003】 集積度を高める技術としては、薄膜抵抗や配線パターンを形成したガラスエポ キシやセラミックなどの基板上にベア半導体チップなどの回路素子を搭載し電子 回路を構成した混成ICや、薄膜技術により半導体ウエハ上に直接回路素子や配 線パターンを形成したWSIがあるが、WSIは歩留まり、冗長度などの点にお いても課題が多く、また採算面でもある程度の量産規模が必要とされるため、混 成ICの技術は重要なものとなっている。
【0004】 ICチップの集積度を高めるために、混成ICの技術を応用して配線パターン を形成した配線基板に複数のベアICチップを実装し、ICチップ相互を効率よ く配線接続して集積度を高めたものがマルチチップモジュールである。
【0005】 マルチチップモジュールは一般に、ガラスエポキシ、セラミックや金属等から なる基板に銅箔等により配線パターンを形成した配線基板に、複数のベアICチ ップやその他の回路素子を直接ダイボンディングし、ベアICチップのボンディ ングパッドと配線パターンに形成されたセカンドパッドをAu細線等によりワイ ヤボンディング接続し回路を構成したものである。また配線基板にはマルチチッ プモジュールをプリント基板に実装するための外部出力端子が設けられている。
【0006】 このようなマルチチップモジュールの歩留まりを向上させるためには、まず品 質保証されたベアICチップを使用することが第一であるが、ベアICチップを 配線基板に実装し配線パターンとワイヤボンディング接続して配線が構成された 時点で、ベアICチップをダイボンディングする際の熱衝撃等による影響や、ボ ンディングワイヤ等の接続状態をテストする工程が必要となる。このテスト工程 で良品と確認されると、次に樹脂封止の工程に移行する。
【0007】 従来、このベアICチップ実装後のテストは、マルチチップモジュールの配線 基板に設けられた外部出力用の端子に試験機のプローブを接続することにより、 各回路素子の配線の適否等についてテストを行っていた。
【0008】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のテスト方法では、一つの外部出力端子が複数 の回路素子からなる電子回路に接続されている場合も多く、もし不良が発見され た場合にもその不良箇所がどの回路素子のどの配線部分であるかの判別が難しく 、また各回路素子相互を接続する配線については直接外部出力端子に接続されな いため、実質的にテストが不可能であった。
【0009】 また、マルチチップモジュールのように複数のベアICチップが配線基板に実 装される場合、それぞれのベアICチップのボンディングパッドに接続する配線 の数は非常に多くなるので、テストに非常に時間がかかっていた。
【0010】 従って、本考案の目的は、配線基板に回路素子を実装し配線した後に行われる 電気的テストにおいて、実装された回路素子のボンディングパッドに接続するす べての配線について電気的テストを容易に行うことができるようにすることであ る。
【0011】 また、本考案の他の目的は、配線基板に複数の回路素子を実装し配線した後に 行われる電気的テストにおいて、複数の回路素子のテストが効率的に行え、テス ト時間が短縮できるようにすることである。
【0012】
【考案が解決するための手段】
上記問題点の解決のため、本考案によれば、配線パターンを形成した配線層と 絶縁体層からなる配線基板に回路素子をダイボンディングし、前記回路素子の電 極と前記配線パターンを接続して構成したマルチチップモジュールにおいて、前 記回路素子の電極に接続される配線に接続された露出電極を、前記配線基板表面 に形成することによりテスト用端子またはテストパッドとし、またこのテスト用 端子を複数の回路素子それぞれの周囲に同一パターンで形成する。
【0013】
【作用】
このように回路素子のボンディングパッドに接続された各配線に対応して、配 線基板表面に露出電極からなるテスト用端子を設けることにより、回路素子を配 線基板に実装し配線した後に行われる回路素子や配線の接続状態を試験する電気 的テストにおいて、試験機のプローブをこのテスト用端子に接続してテストを行 うことができるので、回路素子の各電極に接続された配線すべてについて容易に 電気的テストが可能となる。
【0014】 またそのテスト用端子を、配線基板に実装された複数の各回路素子に同一のパ ターンで配置形成することにより、複数の回路素子が異なる種類のICチップで あっても、テスト用端子に接続する試験機のプローブの配置を各回路素子によっ て変更する必要がなく、しかもテスト治具を調整する必要がないので、テスト時 間を短縮することができる。
【0015】
【実施例】
以下、図面を参照して本考案の実施例につき説明する。図1は本考案の一実施 例に係わるマルチチップモジュールの構成を示し、ICチップ2a〜2dを実装 し配線が完了した工程にあるようすを示す上面図である。図2は図1のマルチチ ップモジュールのICチップ2aの実装部分の拡大図であり、(a)は上方から 見た図、(b)は断面図である。また図3はICチップ2aの実装部周囲の配線 基板に形成されたテスト用端子の構造を示す断面斜視図である。
【0016】 これらの図に示されたマルチチップモジュールにおいては、ガラスエポキシや セラミックからなる絶縁体層1aの上にCu等の導電部材からなり配線パターン を形成する配線層1bが積層されて構成される配線基板1にICチップ実装用凹 部が形成されている。この凹部にはそれぞれICチップ2a〜2dがダイボンデ ィングされている。配線基板1のICチップ2a〜2dの実装部周辺には配線層 1bの配線パターンが露出し、その露出部にはセカンドパッド5が形成されてい る。これらセカンドパッド5はICチップ2a〜2dのボンディングパッド3と Au細線4によりワイヤボンディング接続されている。
【0017】 また、図3に示すように、各ICチップ実装部周囲の絶縁体層1aには、配線 層1bから配線基板1の表面に通じるスルーホール7が形成されている。スルー ホール7内部は銅メッキ等の手段により導電体層が形成され、配線基板1表面に 形成された露出電極であるテスト用端子6と配線層1bとを電気的に接続する。 このテスト用端子6はICチップ2a〜2bのそれぞれのボンディングパッド3 にワイヤボンディング接続するすべての配線に対応して形成すると好都合である 。
【0018】 また、図1に示すようにこのテスト端子6は各ICチップ2a〜2dのそれぞ れの実装部周囲に同一パターンで配置形成される。 なお図1では、マルチチップモジュールの配線基板1をプリント基板等に実装 するための外部出力端子は示されていない。
【0019】 このように、ICチップ2a〜2dの実装部周囲にICチップの各ボンディン グパッド3に接続する各配線に対応して、テスト用端子6を形成することにより 、マルチチップモジュールの製造工程中、ICチップ2a〜2dを実装し配線し た後に行われるICチップや各配線の接続状態を試験する電気的テストを行う際 に、試験機のプローブをこのテスト用端子6に接続しテストする事ができるので 、ICチップ2a〜2dに配線接続されるすべての配線についてきわめて容易に テストを行なうことが可能となる。
【0020】 また、テスト用端子6を配線基板1に実装された4つのICチップ2a〜2d に同じパターンで配置し形成したので、それぞれのICチップ2a〜2dをテス トする際、ICチップ2a〜2dの種類が異なる場合であっても、試験機のプロ ーブの配置を変更する必要がなく、共通のプローブですべてのICチップ2a〜 2dの電気的テストを行なうことが可能となる。
【0021】 なお、本実施例では4つのベアICチップが実装されたマルチチップモジュー ルについて説明したが、ICチップの数はいくつ実装されていてもよく、また必 要であればICチップ以外の回路素子に接続する配線にテスト用端子を設けても よい。
【0022】 また、本実施例ではICチップの電極と配線基板の配線パターンをワイヤボン ディングにより接続しているが、ICチップにバンプを形成することにより接続 してもよい。
【0023】 また、本実施例ではテスト用端子をICチップ実装部周囲の配線基板表面に形 成しているが、形成する場所はICチップ実装部周辺に限定されるものではなく 、例えばマルチチップモジュールの配線基板の端部にまとめて形成してもよい。
【0024】
【考案の効果】
以上のように、本考案によれば、マルチチップモジュールの配線基板表面にI Cチップ等の回路素子の各電極に接続された配線に対応するテスト用端子を設け たから、ICチップを実装し配線接続が完了した後に行われる電気的テストにお いて、試験機のプローブをこのテスト用端子に接続することにより、ICチップ の各電極に配線接続された配線についてきわめて容易にテストをすることが可能 となる。したがって電気的テストを効率化しかつ信頼性を向上させることができ る。
【0025】 また、このテスト用端子をマルチチップモジュールに実装された複数のICチ ップに同一のパターンで配置形成したので、電気的テストの際、ICチップの種 類が異なる場合であっても、各ICチップにより試験機のプローブの配置を変更 する必要がなく、テストが容易になると共にテスト時間が短縮でき、マルチチッ プモジュールの生産性を大幅に向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例に係るマルチチップモジュー
ルのテスト用端子を示す説明図である。
【図2】図1のマルチチップモジュールに搭載された一
つのICチップの周囲に形成されたテスト用端子の構造
を示す部分拡大図である。(a)は断面図(b)は上面
図である。
【図3】図1のマルチチップモジュールに搭載されたI
Cチップ周囲の配線基板に形成されたテスト用端子部分
の構造を示す断面斜視図である。
【符号の説明】
1 配線基板 1a 絶縁体層 1b 配線層 2a〜2d ICチップ 3 ボンディングパッド 4 Au細線 5 セカンドパッド 6 テスト用端子またはテストパッド 7 スルーホール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/3205

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 配線パターンを形成した配線層と絶縁体
    層からなる配線基板に回路素子をダイボンディングし、
    前記各回路素子の電極と前記配線パターンの配線を接続
    して構成したマルチチップモジュールにおいて、 前記回路素子の電極に接続する前記配線に接続された露
    出電極を前記配線基板の表面に形成したことを特徴とす
    るマルチチップモジュール。
  2. 【請求項2】 前記配線基板には複数の前記回路素子が
    実装され、前記各回路素子周囲に前記露出電極がほぼ同
    一パターンで配置形成されていることを特徴とする請求
    項1に記載のマルチチップモジュール。
JP018541U 1993-03-19 1993-03-19 マルチチップモジュール Pending JPH0672242U (ja)

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JP018541U JPH0672242U (ja) 1993-03-19 1993-03-19 マルチチップモジュール

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JP018541U JPH0672242U (ja) 1993-03-19 1993-03-19 マルチチップモジュール

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JP018541U Pending JPH0672242U (ja) 1993-03-19 1993-03-19 マルチチップモジュール

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